JPS62246110A - 複合型磁気ヘツドとその製造方法 - Google Patents

複合型磁気ヘツドとその製造方法

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JPS62246110A
JPS62246110A JP61089715A JP8971586A JPS62246110A JP S62246110 A JPS62246110 A JP S62246110A JP 61089715 A JP61089715 A JP 61089715A JP 8971586 A JP8971586 A JP 8971586A JP S62246110 A JPS62246110 A JP S62246110A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic material
thin film
magnetic core
track width
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JP61089715A
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English (en)
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Satoshi Watanabe
諭史 渡辺
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/29Structure or manufacture of unitary devices formed of plural heads for more than one track

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気記録再生装置、特に、ビデオテープレコー
ダ等の高密度記録再生用磁気ヘッドとして好適な接合型
磁気ヘッドとその製造方法に間する。
(従来例とその問題点) 最近、磁気記録再生装置における高性能化、超小型化を
実現するために、磁気テープの記録媒体に高密度化を可
能とする高抗磁力を有する、例えば、!i性メタル等が
使用されているが、一方ではこのような高抗磁力を有す
る磁気テープを充分記録可能とする磁気ヘッドの研究開
発が進められており、このような磁気ヘッドには、飽和
磁束密度の高い金属系磁性材料と高周波特性に浸れたフ
ェライト磁性材とを組合せて磁気コア本体とした、いわ
ゆる慶台型磁気ヘッドが実用化されている。
第13図は従来の複合型磁気ヘッドの磁気コア本体1を
示す斜視図であり、第14図は第13図に示す磁気コア
本体1のテープ摺動面を示す一部拡大図である。
図中、2.3は磁気コア半体で、例えば、センダスト(
登録商標)、アモルファス、パーマロイ等飽和磁束密度
の高い金属系磁性体の薄板からなる金fiD72a 、
3aを、例えば、Mn−Znフェライト等高周波特性に
優れた酸化物系磁性体の薄板からなるフェライトコア2
b、2c及び3b。
3Cとにより、接合剤、例えば、高融点ガラスの薄膜等
を介して積層され一体に接合されることにより形成され
ている。
4はアジマス角θを有する磁気ギャップであり、磁気コ
ア半体2.3が例えば、SiO2からなる磁気ギャップ
材を介して突合され、金属コア2a。
3aの接合部がテープ摺動部5に現れたものである。
6.7は、例えば、ガラス等からなる非磁性体であり、
フェライトコア2b、2c及び3b、3cのテープ摺動
面5上を半月状に切欠いたトラック幅規制用溝68,7
aの中に充填されたものである。
8は巻線窓で、一方の磁気コア半体3の非磁性体3a 
、3bに連通するように設けられている。
しかしながら、上述した従来の磁気コア本体1の金属コ
ア2a 、3aは金属系磁性材を機械力l工によって薄
帯化した薄板を使用しているため、トラック幅を20μ
m以下に構成する必要がある場合には20μm以下の薄
板を使う必要がある。
し5かし、金属系磁性材を20μm以下の薄板にすると
非常にカケやすく生産性が悪いという問題点があった。
また、8■ビデオテープレコーダのように搬送周波数が
4.2MHz 〜5.4MHzと高くなると、20.c
zm程度の金属磁性材料の透磁率は渦電流損失等により
200〜300程度と低くなり、フェライト磁性体の透
磁率の約半分以下となって再生効率が悪化するという問
題点があった。
そこで近年、特開昭59−116918号などに提案さ
れているように、非磁性体基板上にスバッリング等の薄
膜形成手段によってアモルファス等の薄膜をS+02等
のIIIを介して順次積層してトラック幅相当の金属コ
アを設け、その金属コアの形成面上に、上記非磁性体基
板と同一材料をテープ摺動部となる様に金属系磁性体に
接合して設けたサイドコアを1体に接合した複合型磁気
I\フッド開示されている。
しかし、この磁気ヘッドは、金属コアの両面の一面に非
磁性体が、他面に板状の金属系磁性体が設けられている
構造のため、高周波におけるサイドコアを含めた磁気回
路の再生効率が優れているとは言えず、再生出力C/N
 (搬送波レベルとランダム雑音の実効値の比)が充分
に得られない等の問題点があった。
(問題点を解決するための手段) 本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り、金属系磁性体からなる1膜と酸化物系非磁性体から
なる薄膜とを酸化物系磁性体からなる第1の磁性基板上
に交互に順次v4Hすることによりトラック幅相当の金
属コアを形成し、この金属コアの金属コア形成面上に非
磁性体からなる薄膜を介して第2の磁性基板を積層して
なる磁気コア半体の一対が非磁性体からなる磁気ギャッ
プ材を介して接合され、上記磁気コア半体の金属コアが
テープ店動面上で磁気ギャップを形成する如く構成され
た磁気コア本体からなり、この磁気コア本体はコイルを
巻回するための巻線窓を有すると共に磁気ギャップ近傍
の磁性基板にこの巻線窓に連するトラック幅規制用溝を
形成し、このトラック幅規制用溝に非磁性を充填してな
ることを特徴とする磁気ヘッド及びその製造方法を提供
することを目的とする。
(実施例) 第1図は本発明になる複合型磁気ヘッドの磁気コア本体
10を示す平面図であり、第2図は第1図に示す磁気コ
ア本体10のテープ溜動面を示す平面図である。
以下、第1図及び第2図を用いて説明する。
図中、11及び12は磁気コア半体であり、例えば、M
n−2nフエライト、N+−1nフエライト等の酸化物
系磁性体からなる磁性基板11a。
11b及び12a、12bとトラック幅相当の厚さを有
する金属コア11c及び12cとをそれぞれ接合剤によ
って1体に接合することによって設けたものである。
金属コア11c及び12cは、例えば、スパッタリング
等の既知の薄膜形成技術によって、例えば、アモルファ
ス、センダスト等の金属系磁性体からなる1lfilと
、例えば、Si 02 、AJ1203等の酸化物系非
磁性体からなる1lIIlとを例えば、磁性基板11b
及び12b上に交互に複数層重ねることにより形成した
ものである。
13は磁気ギャップであり、金属コア11cと12cと
が酸化物系非磁性体からなる磁気ギャップ材を介しで接
合されることにより形成されており、デーブ贋初面14
上でθなるアジマス角を有している。15.16はガラ
ス等からなる非磁性体であり、磁気ギャップ13近傍の
磁性基板11a。
11b、12a、12bに設けられたトラック幅規制用
溝17.18の中に充填されたものである。
19は巻線窓であり、トラック幅規制用溝に連通してい
る。20は巻線ガイドであり、磁気コア半体11.12
の側部に渦状として設けられている。
2)はガラス等からなる非磁性体であり、磁気コア半体
lL12の突合ぜ面にそれぞれ設けられた接合窓22に
充填されたものである。
上述のように、本発明の磁気ヘッドの磁気コア本体10
は高周波特性の優れたフェライト磁性基板と高い飽和磁
束密度を有する金属系磁性体からなるR9膜を酸化物系
非磁性体からなる1ll10を介してトラック幅とする
金属コアとを重ね合せて構成したため、記録特性はもと
より高周波における再生時の渦電流農夫が少なくなり、
高い再生効率とC/Nが得られる。また、多層の金属系
磁性体の(IIIを耐摩耗性に富んだ酸化物系磁性材で
はさんだ構造となっているため耐摩耗性に優れている。
次に、本発明になる複合型磁気ヘッドの磁気コア本体の
製造方法を実施例によって説明する。
第3〜第12図は第1図及び第2図で説明した磁気コア
本体10の製造方法の一実施例を示し、その主要工程の
概略説明図である。
以下各図を用いて順次説明する。
第1の工程は以下に示す通りであり、第3図及び第4図
に示す様に例えば、Mn−Znフェライト等の酸化物系
磁性体からなる磁性基板30の上面30aにスパッタリ
ング等の1llll形成技術により金属系磁性体からな
る薄膜31と、例えば、Si 02 、AJL203等
の酸化物系非磁性体からなる0、1μm程度の薄113
2とを交互に順次積層してトラック幅℃相当の厚さとな
るように金属コア部33を形成した第1の積層基板34
を設ける。
第2の工程は以下に示す通りであり、第5図のように、
磁性基板30の両面30a 、30bにスバッタリング
等の@膜形成手段によって高融点の非磁性体からなる簿
膜35.36を設けることにより、第2の積MM板37
を設ける。
第3の工程は以下に示す通りであり、第1の積層基板3
4と第2の積層基板37とを交互に重ねて加圧し、高融
点の非磁性体からなる薄膜35゜36の作業温度(約7
50℃)に加熱し、第6図に示す複合ブロック38を得
る。
第4の工程は以下に示す通りであり、第6図のようにこ
の複合ブロック38をアジマス角θを有する切断線39
に沿って切断し、厚さWなる複合板40を得る。
第5の工程は以下に示す通りであり、第7図のように。
複合板40にトラック幅規制用溝41を金属コア部33
の両サイドに沿って設け、溝入れ複合板42を得る。
第6の工程は以下に示す通りであり、第8図のように、
トラック幅規制用溝41に第2の工程で用いた高融点の
非磁性体からなる薄膜35.36より作業温度の低い中
融点の非磁性体43を充填することにより非磁性体充填
複合板44を得る。
第7の工程は以下に示す通りであり、第9図の様に、こ
の非磁性体充填複合板44に巻線[45ど巻線ガイド溝
46及び接合溝47を設けたのちギャップ長の1/2で
ある、例えばSiO2゜A、1jz03等の酸化物系非
磁性体からなる薄膜48と前記中融点の非磁性体43と
同じ材質からなるi[49とをスパッタリング等によっ
て形成し、第1の磁気コア半体ブロック50を得る。
第8の工程は以下に示す通りであり、第10図の様に上
記非磁性体充填複合板44に巻線ガイドW446及び接
合溝47を設けたのち、ギャップ長の1/2である酸化
物系非磁性体からなる薄膜48と前記中融点の非磁性体
43と同じ材質からなる薄膜49とをスパッタリング等
によって形成し、第2の磁気コア半体ブロック51を得
る。
第9の工程は以下に示す通りであり、第11図の様に、
第1の磁気コア半体ブロック50と第2の磁気コア半体
ブロック51とを突き合せて加圧のち、接合溝47と巻
線溝45との中に前記中融点の非磁性体43と同じ材質
からなる非磁性体52゜53を充填し作業温度500℃
に加熱して第12図に示すように磁気コアブロック54
を得る。
第10の工程は以下に示す通りであり、第12図に示す
様に磁気コアブロック54を金属コア部33に対して平
行に1点g3線55に沿って切断すると第1図に示す磁
気コア10を得る。上述のように、本発明の複合型磁気
ヘッドは第1〜第10の工程によって製造されるもので
あり、このような本発明の製造方法では、金属コア部の
所定のトラック幅を金属系磁性体からなる薄膜と酸化物
系非磁性体からなる薄膜との多層積層によって形成する
ため正確に形成することが出来る。また、金属コア部の
ワレ、カケ等も発生しない。
(発明による効果) 本発明になる複合型磁気ヘッドは上jホのような構成と
したので、高周波における再生時の渦iI流損失が少な
く、高い再生効率とC;I Nが得られるためビデオテ
ープレコーダに用いると優れた画像を楽しむことが出来
ると共に耐摩耗性の構造を有しているため長寿命である
という特長を有する。
また、本発明になる製造方法によると、上記の複合型磁
気ヘッドの大量生産が可能となり、特に、金属コア部を
金属系磁性体からなる薄膜と酸化物系非磁性体からなる
薄膜との多層積層によって形成するため、トラック幅の
大小によらず正確なトラック幅を得ることが出来ると共
に、ワレ、カケ等の生産上のトラブルも発生せず、歩留
りの向上が期待出来るという特長がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明になる複合型磁気ヘッドの磁気コア本体
を示す平面図、第2図は第1図に示す磁気コア本体のテ
ープ摺動面を示す平面図、第3図〜第12図は第1図及
び第2図で説明した複合型磁気ヘッドの製造方法の一実
施例を示し、その主要工程の概略説明図、第13図は従
来の複合型磁気ヘッドの磁気コア本体を示す斜視図であ
、第14図は第13図に示す磁気コア本体のテープ摺動
面を示す一部拡大図である。 10・・・磁気コア本体、11.12・・・磁気コア半
体、11a、11b、12a、12b−ia磁性基板1
1c、12c・・・金属コア、13・・・磁気ギャップ
、14・・・テープ摺動面、15.16.2),43゜
52.53・・・非磁性体、17,18.41・・・ト
ラック幅規制用溝、19・・・巻線窓、20・・・巻線
ガイド、22・・・接合窓、30・・・磁性基板、31
・・・金属系磁性体からなる薄膜、32.38・・・酸
化物系非磁性体からなる薄膜、33・・・金属コア部、
34・・・第1の積層基板、35.36.39・・・非
磁性体からなる′4膜、37・・・第2の積層基板、3
8・・・複合ブロック、40・・・複合板、44・・・
非磁性体充填複合板、45・・・巻線溝、46・・・巻
線ガイド溝、47・・・接合溝、50・・・第1の磁気
コア半体ブロック、51・・・第2の磁気コア半体ブロ
ック、54・・・磁気コアブロック。 第1図 ’−30 3g4図    第5図 第6図    第7図 f!Ik8  図 tIE9図    第10図 第14図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)金属系磁性体からなる薄膜と酸化物系非磁性体か
    らなる薄膜とを酸化物系磁性体からなる第1の磁性基板
    上に交互に順次積層することによりトラック幅相当の金
    属コアを形成し、この金属コアの金属コア形成面上に非
    磁性体からなる薄膜を介して第2の磁性基板を積層して
    なる磁気コア半体の一対が非磁性体からなる磁気ギャッ
    プ材を介して接合され、上記磁気コア半体の金属コアが
    テープ摺動面上で磁気ギャップを形成する如く構成され
    た磁気コア本体からなり、この磁気コア本体はコイルを
    巻回するための巻線窓を有すると共に磁気ギャップ近傍
    の磁性基板にこの巻線窓に連通するトラック幅規制用溝
    を形成し、このトラック幅規制用溝に非磁性体を充填し
    てなることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
  2. (2)酸化物系磁性体からなる磁性基板上に、金属系磁
    性体からなる薄膜と酸化物系非磁性体からなる薄膜とを
    交互に順次積層し、トラック幅相当の金属コア部を形成
    して第1の積層基板を得る第1の工程と、 上記磁性基板の両面に非磁性体からなる薄膜を形成して
    第2の積層基板を得る第2の工程と、前記第1の積層基
    板と第2の積層基板とを交互に重ねて複合ブロックを得
    る第3の工程と、この複合ブロックをアジマス角θを有
    する切断線に沿って切断して複合板を得る第4の工程と
    、この複合板にトラック幅規制用溝を前記金属コア部の
    両面に沿うように形成して溝入れ複合板を得る第5の工
    程と、 このトラック幅規制用溝に非磁性体を充填して非磁性体
    充填複合板を得る第6の工程と、 この非磁性体充填複合板の一面に巻線溝を設けたのち、
    この面の所定箇所に、所要の非磁性体からなる薄膜を形
    成して第1の磁気コア半体ブロックを得る第7の工程と
    、 前記第6の工程で得られた非磁性体充填複合板の一面の
    所定箇所に、所要の非磁性体からなる薄膜を形成して第
    2の磁気コア半体ブロックを得る第8の工程と、 前記第1と第2の磁気コア半体ブロックを一体に接合し
    て磁気コアブロックを得る第9の工程と、この磁気コア
    ブロックを切断して磁気コア本体を得る第10の工程か
    らなることを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0473092A2 (en) * 1990-08-31 1992-03-04 Sanyo Electric Co., Ltd. Method of manufacturing floating type magnetic head

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JPS5898824A (ja) * 1981-12-09 1983-06-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気ヘツド

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