JPH0386905A - 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number
JPH0386905A
JPH0386905A JP19117189A JP19117189A JPH0386905A JP H0386905 A JPH0386905 A JP H0386905A JP 19117189 A JP19117189 A JP 19117189A JP 19117189 A JP19117189 A JP 19117189A JP H0386905 A JPH0386905 A JP H0386905A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic head
head
soft magnetic
laminated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19117189A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihiro Motomura
嘉啓 本村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP19117189A priority Critical patent/JPH0386905A/ja
Publication of JPH0386905A publication Critical patent/JPH0386905A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野〕 本発明は高密度磁気記録に用いられる磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関する。 [従来の技術] 近年、コンピューター用リジッド磁気ディスク装置を初
めとして、フレキシブル磁気ディスク装置、磁気テープ
装置等の磁気記録装置の高密度化が進められている。磁
気記録の高密度化のためには、信号を記録するトラック
の長さ方向の記録密度である線密度と、トラック幅方向
の記録密度であるトラック密度とをバランスよく向上さ
せる必要があり、両者の比率は1:10〜l:20程度
が適当とされている。このうち、線密度は記録媒体の高
保磁力化、磁気ヘッドの狭ギャップ化、さらには垂直磁
気記録媒体の導入により100kBPr(1インチ当り
の記録ビット数が100.000である記録密度)以上
の高密度化が可能となっている。一方、トラック密度を
高めるためには、トラック幅を決定する磁気ヘッドのコ
ア幅を小さくする必要がある。 従来広く用いられている、酸化物軟磁性体であるフェラ
イト材を用いて磁気ヘッドコアを形成する、いわゆるバ
ルクヘッドにおいては、フェライト材を機械加工してコ
ア幅を決定しているためlopm以下のコア幅を実現す
るのは困難である。また、薄膜の微細加工によって磁気
ヘッドを形成する薄膜磁気ヘッドにおいても、上下の磁
性層をギャップ層を介して精度よく重ね合わせてコアを
形成しなければならないため、IOpm以下のトラック
幅を実現するのは困難である。 このような従来の磁気ヘッドに代わる新しい狭トラツク
ヘツドとして、第3図に示すような軟磁性層Ifからな
るコアを非磁性基板12で挟持した構造の積層型磁気ヘ
ッドが提案されている。このような磁気ヘッドの例とし
ては、斎藤他著: IEEE TRANSACTION
S ON MAGNERIC5(アイ・イー・イー・イ
ー・ トランザクションズ オン マグネティクス) 
1987年23巻、2925ページ〜2927ページ、
高橋他著: IEEE TRANSACTIONS O
N MAGNERIC3(アイ・イー・イー・イー・ 
トランザクションズ オンマグネティクス) 1987
年23巻、2928ページ〜2930ページ等がある。 これらの積層型磁気ヘッドにおいては、基板12.12
間に挟持される軟磁性層11の厚さがコア幅となるため
、1011m以下のコア幅も容易に実現できる。また、
これらのヘッドでは、コアを形成する軟磁性層IIとし
ては、飽和磁化が大きく、高周波特性が優れた材料が要
求されるため、金属軟磁性薄膜、又は金属軟磁性薄膜を
非磁性層を介して積層したものが用いられている。 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、これらの積層型磁気ヘッドにおいては、コアを
形成する磁性層が薄いためにコア全体の磁気抵抗が大き
くなってヘッド効率が低下したり、記録電流を大きくし
たときに特にその巻線部で磁気飽和が生じ易いといった
問題点がある。 このような問題点を改良するために、第4図に示すよう
にコアの半分をフェライトブロック13で形成する方法
が提案されている(特開昭58−70418号)。しか
し、この構造の磁気ヘッドにおいては、薄膜で形成され
たコア部分とフェライトブロック13のコア部分とが接
着層を介して接合されるため、この部分での磁気抵抗が
大きくなってしまうといった問題点があった。 本発明の目的は上記課題を解決した磁気ヘッドおよび磁
気ヘッドの製造方法を提供することにある。 [課題を解決するための手段] 上記目的を達成するため、本発明は、金属軟磁性薄膜、
又は金属軟磁性薄膜を非磁性層を介して交互に積層した
積層膜よりなる軟磁性層によって形成された磁気ヘッド
コアと、前記磁気ヘッドコアを挟持する基板とを有する
磁気ヘッドにおいて、前記基板の一部が酸化物軟磁性材
料であることを特徴とする・ものである。 本発明の磁気ヘッドは、非磁性材料と酸化物軟磁性材料
とを接合して複合基板を形成する工程と、前記複合基板
上に軟磁性層を形成して積層基板を形成する工程と、前
記積層基板を複数積層して接合して積層体を形成する工
程と、前記積層体を積層面に直、交する2面で切り出し
磁気ヘッドコアブロックを形成する工程と、前記磁気ヘ
ッドコアブロック2個を所要の溝加工を施した後に磁気
ヘッドギャップを介して接合し、個々の磁気ヘッドを切
り出す工程とを含む製造方法によって得られる。 以下、図面を参照して本発明をさらに詳細に説明する。 第1図は本発明の磁気ヘッドの一例を示すものである。 本発明に係わる非磁性基板1の材料としては、ガラス、
セラミックガラス、Si、CaTio、、 BaTi0
.、 AQ、O,、Tic、 SiC,All、0.と
TiCとの焼結体等を用いることができる。酸化物軟磁
性基板2の材料としてはMnZn−フェライト、NiZ
n−フェライト、又はこれらに添加物を加えたものを用
いることができる。また、軟磁性層3の材料としては、
Fe、 FeSi、 FeC,Fe5iAQ、 CoB
、 CoZr、 C。 ZrNb、 CoZrMo、 CoTa等を用いること
ができる。さらに、軟磁性層としては上記の軟磁性材料
とSi。 Sin、 Sin、、 C,AQ、O,、Ta等の非磁
性材料とを交互に積層した積層膜を用いることもできる
。 第2図は本発明の磁気ヘッドの製造方法の一例を示すも
のである。まず第2図(a)に示すように非磁性基板l
と酸化物軟磁性基板2とを接合して複合基板4を形成す
る。この接合手段としては、低融点ガラスを用いたガラ
スボンディング、オルガノシラノール等の無機接着剤を
用いる方法、エポキシ樹脂等の有機接着剤を用いる方法
、Mo/Au等による加熱圧着を用いる方法等がある。 接合した後、複合基板の両面を平坦に研磨する。次に、
第2図(ロ)のように複合基板上に軟磁性層3を形成し
て積層基板5を形成する。このため、前記の軟磁性材料
をスパッタリング又は真空蒸着によって基板l上に成膜
して軟磁性層3を形成する。軟磁性層3として積層膜を
用いる場合には、前記軟磁性材料と非磁性材料とを2基
のターゲットを持つスパッタリング装置で蒸発させ、2
基の蒸発源ターゲットを交互に開閉したり、あるいは基
板を2基の蒸発源上を交互に通過させることによって、
基板上に2種類の材料を交互に積層させることができる
。次に、第2図(c)において、前記積層基板を複数積
層して接合して積層体6を形成する。この接合には、前
記複合基板を形成するときと同様の接合方法が用いられ
る。この後、前記積層体6を積層面に直交する2面で切
り出し第2図■に示す磁気ヘッドコアブロック7の対を
形成する。次に、第2図(e)のように−力の磁気ヘッ
ドコアブロック7′に所要の溝加工を施し、ギャップ形
成面を鏡面研磨する。次に他方の磁気コアブロック7に
ギャップ層となるSin、層を被着し、両コアブロック
7゜7′を接合する(第2図ω)。この接合には、前記
複合基板を形成するときと同様の接合方法が用いられる
。最後に、両コアブロックの接合体から第2図(g)の
ように個々の磁気ヘッドのコア8を切り出し、媒体走行
面の研磨、スライダへの組み込み、巻き線窓へのコイル
装着等を行う。 【実施例】 以下に本発明の詳細を実施例により説明する。 第1表に示す構成により、本発明の磁気ヘッドである試
料l〜5を試作した。また、基板として、フェライト部
分を含まないセラミックガラスを用いて、第3図に示し
た構造の磁気ヘッドを試作してこれを比較例とした。こ
の時、試料lのヘッドは軟磁性層として厚さ61mのセ
ンダスト薄膜を用いた。これ以外のヘッドでは、軟磁性
層として厚さ3pmの磁性薄膜を、tooo人の厚さの
非磁性薄膜を介して積層した積層膜を用いた。また、酸
化物軟磁性基板の厚さは200 pmとした。非磁性基
板と酸化物軟磁性基板との接合、積層基板同士の接合、
ヘッドブロックコアの積層には、試料3のヘッドについ
ては無機接着剤であるオルガノシラノールを用いたが、
その他のヘッドについては低融点ガラスによるガラスボ
ンディングを用いた。ヘッドギャップ長は0.3pmと
した。 これらの磁気ヘッドをVTRヘッド形状に加工し、メタ
ル塗膜を用いた8mmVTRテープと組合せて記録再生
を行った。第2表に各ヘッドの50kFRPI (1イ
ンチ当りの磁束反転の数が50.000である記録密度
)での再生出力を比較した結果を示す。この時、比較例
のヘッドの出力を基準としている。第2表から明らかな
ように、本発明の磁気ヘッドは高い記録密度において、
従来のヘッドよりも優れた特性を有している。 以上実施例ではVTRヘッド形状を用いたが、本発明の
効果は磁気ヘッドの形状にはよらず、リジッド磁気ディ
スク装置用のヘッド形状、フレキシブル磁気ディスク装
置用のヘッド形状等でも、同等の優れた特性が得られる
。 第1表 (以下余白) 第 2 表 〔発明の効果〕 本発明の磁気ヘッドによれば、磁気ヘッドコアの挟持す
る基板に用いた酸化物軟磁性材料部分が磁気ヘッドの磁
気回路の一部として機能するために、ヘッドの磁気抵抗
を低下させ、磁気飽和を防ぎ、効率の高い磁気ヘッドが
得られるという効果がある。 また、本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、上記構
造を有する優れた特性の磁気ヘッドを簡単な工程で大量
に生産できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の磁気ヘッドの構造を示す斜視図、第2
図(a)〜(g)は本発明の磁気ヘッドの製造工程を示
す斜視図、第3図、第4図はそれぞれ従来の磁気ヘッド
の構造を示す斜視図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)金属軟磁性薄膜、又は金属軟磁性薄膜を非磁性層
    を介して交互に積層した積層膜よりなる軟磁性層によっ
    て形成された磁気ヘッドコアと、前記磁気ヘッドコアを
    挟持する基板とを有する磁気ヘッドにおいて、前記基板
    の一部が酸化物軟磁性材料であることを特徴とする磁気
    ヘッド。
  2. (2)非磁性材料と酸化物軟磁性材料とを接合して複合
    基板を形成する工程と、前記複合基板上に軟磁性層を形
    成して積層基板を形成する工程と、前記積層基板を複数
    積層して接合して積層体を形成する工程と、前記積層体
    を積層面に直交する2面で切り出し磁気ヘッドコアブロ
    ックを形成する工程と、前記磁気ヘッドコアブロック2
    個を所要の溝加工を施した後に磁気ヘッドギャップを介
    して接合し、個々の磁気ヘッドを切り出す工程とを含む
    ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
JP19117189A 1989-07-24 1989-07-24 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 Pending JPH0386905A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19117189A JPH0386905A (ja) 1989-07-24 1989-07-24 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19117189A JPH0386905A (ja) 1989-07-24 1989-07-24 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0386905A true JPH0386905A (ja) 1991-04-11

Family

ID=16270083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19117189A Pending JPH0386905A (ja) 1989-07-24 1989-07-24 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0386905A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5986976A (en) * 1992-08-28 1999-11-16 Canon Kabushiki Kaisha Magnetooptical recording head for a recording apparatus including a laminated core having a plurality of magnetic thin films sandwiching insulating films therebetween
US6985336B2 (en) * 2001-10-09 2006-01-10 Sony Corporation Magnetic reproducing head having a structure to inhibit electrostatic discharge to a recording tape

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6126912A (ja) * 1984-07-16 1986-02-06 Sharp Corp 薄膜磁気ヘツド
JPH01118206A (ja) * 1987-10-30 1989-05-10 Sanyo Electric Co Ltd 磁気ヘッド

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6126912A (ja) * 1984-07-16 1986-02-06 Sharp Corp 薄膜磁気ヘツド
JPH01118206A (ja) * 1987-10-30 1989-05-10 Sanyo Electric Co Ltd 磁気ヘッド

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5986976A (en) * 1992-08-28 1999-11-16 Canon Kabushiki Kaisha Magnetooptical recording head for a recording apparatus including a laminated core having a plurality of magnetic thin films sandwiching insulating films therebetween
US6985336B2 (en) * 2001-10-09 2006-01-10 Sony Corporation Magnetic reproducing head having a structure to inhibit electrostatic discharge to a recording tape
US7009819B2 (en) * 2001-10-09 2006-03-07 Sony Corporation Magnetic reproducing head having a structure to inhibit electrostatic discharge damage to a recording tape

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5184393A (en) Method of manufacturing flying magnetic head
US5247415A (en) Magnetic head having main and auxiliary magnetic paths
JPS5870418A (ja) 磁気ヘツドの製法
JPH0475563B2 (ja)
JPH0386905A (ja) 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法
JPS5888814A (ja) 磁気ヘツド
KR0152601B1 (ko) 복합형 자기헤드 코아 및 그 제조방법
KR0155468B1 (ko) 자기헤드 및 그 제조방법
JP2933638B2 (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JP2542627Y2 (ja) 薄膜磁気ヘッド
JPS62205507A (ja) 磁気ヘツド
JP2646746B2 (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPS63112809A (ja) 磁気ヘツド
JPS59203210A (ja) 磁気コアおよびその製造方法
JPH113506A (ja) 磁気ヘッド
JPS62246110A (ja) 複合型磁気ヘツドとその製造方法
JPH0668106U (ja) 磁気ヘッド
JPH0817010A (ja) 磁気ヘッド及びその磁気ヘッドを備えたハードディスク用ヘッド装置
JPH05114111A (ja) 磁気ヘツド
JPH0869609A (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPH07220221A (ja) 磁気ヘッド
JPH06274826A (ja) 複合型磁気ヘッドおよびその製造方法
JPS62141609A (ja) 磁気ヘツドの製造法
JPS6394418A (ja) 磁気ヘツド
JPS6363108A (ja) 磁気ヘツドの製造方法