JPH0869609A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0869609A JPH0869609A JP20513194A JP20513194A JPH0869609A JP H0869609 A JPH0869609 A JP H0869609A JP 20513194 A JP20513194 A JP 20513194A JP 20513194 A JP20513194 A JP 20513194A JP H0869609 A JPH0869609 A JP H0869609A
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- Japan
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- magnetic
- magnetic head
- head
- film
- metal
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲ等の
高周波信号を効率よく記録再生する磁気ヘッドを提供す
ることを目的とする。 【構成】 金属磁性層３の両側を非磁性基板４で挟持し
たリング型磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの巻線溝面
とヘッドコア側面のすくなくとも一部に、ほぼトラック
幅方向にスリット溝８を配し、スリット溝８近傍の磁化
容易軸の方向を変化させ、磁路がほぼ磁化困難軸方向で
形成されたことを特徴とする。 【効果】 高周波特性の優れた高性能磁気ヘッドが実現
できる。
高周波信号を効率よく記録再生する磁気ヘッドを提供す
ることを目的とする。 【構成】 金属磁性層３の両側を非磁性基板４で挟持し
たリング型磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの巻線溝面
とヘッドコア側面のすくなくとも一部に、ほぼトラック
幅方向にスリット溝８を配し、スリット溝８近傍の磁化
容易軸の方向を変化させ、磁路がほぼ磁化困難軸方向で
形成されたことを特徴とする。 【効果】 高周波特性の優れた高性能磁気ヘッドが実現
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高品位ＶＴＲやデジタル
ＶＴＲ等の高周波信号を効率よく記録再生するのに適し
た磁気ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
ＶＴＲ等の高周波信号を効率よく記録再生するのに適し
た磁気ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲ等の
広帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになって
きており、磁気ヘッドとしても高飽和磁束密度を有し周
波数特性の優れた磁気ヘッドの開発が望まれている。現
在、飽和磁束密度の高い金属磁性材料を用いた磁気ヘッ
ドの開発が行われているが、その高周波特性は強磁性共
鳴によるスヌークの限界で制約されている。
広帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになって
きており、磁気ヘッドとしても高飽和磁束密度を有し周
波数特性の優れた磁気ヘッドの開発が望まれている。現
在、飽和磁束密度の高い金属磁性材料を用いた磁気ヘッ
ドの開発が行われているが、その高周波特性は強磁性共
鳴によるスヌークの限界で制約されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】高品位ＶＴＲやデジタ
ルＶＴＲ等の広帯域の信号を取り扱うシステムでは、磁
気ヘッド用コア材料として高周波帯域で高い初透磁率を
有するものが要求される。しかし、ほとんどの磁性膜は
初透磁率の高周波特性が強磁性共鳴によるスヌークの限
界で制約されており、３０ＭＨｚ以上の周波数帯での初
透磁率は５００以下となる。
ルＶＴＲ等の広帯域の信号を取り扱うシステムでは、磁
気ヘッド用コア材料として高周波帯域で高い初透磁率を
有するものが要求される。しかし、ほとんどの磁性膜は
初透磁率の高周波特性が強磁性共鳴によるスヌークの限
界で制約されており、３０ＭＨｚ以上の周波数帯での初
透磁率は５００以下となる。
【０００４】したがって、このような無配向の磁性膜を
ヘッドコアとして用いたのでは前記のような高周波シス
テムに対応する高性能ヘッドを実現するのは困難であ
る。
ヘッドコアとして用いたのでは前記のような高周波シス
テムに対応する高性能ヘッドを実現するのは困難であ
る。
【０００５】一方、一軸異方性を有するアモルファス磁
性膜をその磁化容易軸方向を揃えて積層した多層膜の初
透磁率特性は、磁化容易軸方向に測定すると全周波数帯
で低い初透磁率特性となるのに対し、磁化困難軸方向に
測定した場合は高周波まで高い初透磁率を維持する。し
たがって、磁化困難軸方向だけで磁路を形成すれば高周
波まで高い再生効率のヘッドが実現できるが、ビデオヘ
ッド等のリングタイプのヘッドにおいては磁化困難軸方
向だけで磁路を構成することはヘッドの製造工程上極め
て難しい現状である。
性膜をその磁化容易軸方向を揃えて積層した多層膜の初
透磁率特性は、磁化容易軸方向に測定すると全周波数帯
で低い初透磁率特性となるのに対し、磁化困難軸方向に
測定した場合は高周波まで高い初透磁率を維持する。し
たがって、磁化困難軸方向だけで磁路を形成すれば高周
波まで高い再生効率のヘッドが実現できるが、ビデオヘ
ッド等のリングタイプのヘッドにおいては磁化困難軸方
向だけで磁路を構成することはヘッドの製造工程上極め
て難しい現状である。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑み、３０ＭＨ
ｚ以上の高周波帯でも十分高い効率で記録再生できる高
周波用の磁気ヘッドおよびその製造方法を提供すること
を目的とする。
ｚ以上の高周波帯でも十分高い効率で記録再生できる高
周波用の磁気ヘッドおよびその製造方法を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持したリング型磁気
ヘッドにおいて、巻線溝部とヘッドコア側面に、スリッ
ト溝を配し、スリット溝近傍の磁化容易軸の方向を変化
させ、磁路がほぼ磁化困難軸方向で形成されたことを特
徴とする磁気ヘッドであり、またその製造方法は、あら
かじめ金属磁性膜に磁化容易軸を付与する工程と、磁路
が磁化困難軸方向となるようにスリット溝を形成する工
程とを有するものと、さらに熱処理を行う工程を有する
ことを特徴とする。
金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持したリング型磁気
ヘッドにおいて、巻線溝部とヘッドコア側面に、スリッ
ト溝を配し、スリット溝近傍の磁化容易軸の方向を変化
させ、磁路がほぼ磁化困難軸方向で形成されたことを特
徴とする磁気ヘッドであり、またその製造方法は、あら
かじめ金属磁性膜に磁化容易軸を付与する工程と、磁路
が磁化困難軸方向となるようにスリット溝を形成する工
程とを有するものと、さらに熱処理を行う工程を有する
ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】したがって本発明によれば、金属磁性膜に磁化
容易軸を付与し、前記スリット溝を形成することによっ
て、磁化困難軸方向だけで磁路を構成でき、高周波特性
の優れた高性能磁気ヘッドが実現できる。
容易軸を付与し、前記スリット溝を形成することによっ
て、磁化困難軸方向だけで磁路を構成でき、高周波特性
の優れた高性能磁気ヘッドが実現できる。
【０００９】
【実施例】図１は、第１の発明の実施例における磁気ヘ
ッドの斜視図を示す。あらかじめ金属磁性膜１に磁気ギ
ャップ面７とほぼ平行に磁化容易軸９ａを付与し、磁気
ギャップ面７とほぼ平行な巻線溝面とコア側面の双方の
一部にスリット溝８を形成する。これによりスリット溝
８近傍の磁化容易軸９ａの向きが変化し、磁化容易軸９
ｂが形成され、高周波特性の優れた高性能磁気ヘッドが
実現できた。
ッドの斜視図を示す。あらかじめ金属磁性膜１に磁気ギ
ャップ面７とほぼ平行に磁化容易軸９ａを付与し、磁気
ギャップ面７とほぼ平行な巻線溝面とコア側面の双方の
一部にスリット溝８を形成する。これによりスリット溝
８近傍の磁化容易軸９ａの向きが変化し、磁化容易軸９
ｂが形成され、高周波特性の優れた高性能磁気ヘッドが
実現できた。
【００１０】図２は、第１の発明の実施例における磁気
ヘッドの製造方法の斜視図を示す。チタン酸マグネシウ
ム系の非磁性基板４に、Ｃｏ系アモルファス合金からな
る金属磁性膜１と、ＳｉＯ2 からなる絶縁膜２とが交互
に積層された金属磁性層３をスパッタリングにより形成
し、これを接着ガラス５を用いて積層し一対のコア半体
１０ａ、１０ｂをつくる。Ｃｏ系アモルファス合金には
スパッタ時あるいは積層接着時に磁化容易軸９ａが磁気
ギャップ面７とほぼ平行になるように磁気異方性を付与
する。次に、このコア半体１０ａの磁気ギャップ面７に
巻線窓６を形成し、さらに、磁気ギャップ面７とほぼ平
行な巻線溝面とコア側面の双方にスリット溝８を形成す
る。次に、両コア半体１０ａ，１０ｂを高融点ガラス等
のギャップ材を介して磁気ギャップ面７で突き合わせ、
所定の厚み１１で切断し磁気ヘッドを得る。
ヘッドの製造方法の斜視図を示す。チタン酸マグネシウ
ム系の非磁性基板４に、Ｃｏ系アモルファス合金からな
る金属磁性膜１と、ＳｉＯ2 からなる絶縁膜２とが交互
に積層された金属磁性層３をスパッタリングにより形成
し、これを接着ガラス５を用いて積層し一対のコア半体
１０ａ、１０ｂをつくる。Ｃｏ系アモルファス合金には
スパッタ時あるいは積層接着時に磁化容易軸９ａが磁気
ギャップ面７とほぼ平行になるように磁気異方性を付与
する。次に、このコア半体１０ａの磁気ギャップ面７に
巻線窓６を形成し、さらに、磁気ギャップ面７とほぼ平
行な巻線溝面とコア側面の双方にスリット溝８を形成す
る。次に、両コア半体１０ａ，１０ｂを高融点ガラス等
のギャップ材を介して磁気ギャップ面７で突き合わせ、
所定の厚み１１で切断し磁気ヘッドを得る。
【００１１】以上の方法により作製したヘッドは、磁化
容易軸９ａの向きが磁化容易軸９ｂのように変化し、磁
化困難軸だけで磁路が形成され、高周波特性の優れた高
性能磁気ヘッドが実現できた。
容易軸９ａの向きが磁化容易軸９ｂのように変化し、磁
化困難軸だけで磁路が形成され、高周波特性の優れた高
性能磁気ヘッドが実現できた。
【００１２】図３は、第２の発明の実施例における磁気
ヘッドの斜視図を示す。あらかじめ金属磁性膜１に磁気
ギャップ面７とほぼ垂直に磁化容易軸９ａを付与し、磁
気ギャップ面７と非平行な巻線溝面とコア側面の双方の
一部にスリット溝８を形成する。これによりスリット溝
８近傍の磁化容易軸９ａの向きが変化し、磁化容易軸９
ｂが形成され、高周波特性の優れた高性能磁気ヘッドが
実現できた。
ヘッドの斜視図を示す。あらかじめ金属磁性膜１に磁気
ギャップ面７とほぼ垂直に磁化容易軸９ａを付与し、磁
気ギャップ面７と非平行な巻線溝面とコア側面の双方の
一部にスリット溝８を形成する。これによりスリット溝
８近傍の磁化容易軸９ａの向きが変化し、磁化容易軸９
ｂが形成され、高周波特性の優れた高性能磁気ヘッドが
実現できた。
【００１３】図４は、第２の発明の実施例における磁気
ヘッドの製造方法の斜視図を示す。チタン酸マグネシウ
ム系の非磁性基板４に、Ｃｏ系アモルファス合金からな
る金属磁性膜１と、ＳｉＯ2 からなる絶縁膜２とが交互
に積層された金属磁性層３をスパッタリングにより形成
し、これを接着ガラス５を用いて積層し一対のコア半体
１０ａ、１０ｂをつくる。Ｃｏ系アモルファス合金には
スパッタ時あるいは積層接着時に磁化容易軸９ａが磁気
ギャップ面７とほぼ垂直になるように磁気異方性を付与
する。次に、このコア半体１０ａの磁気ギャップ面７に
巻線窓６を形成し、さらに、磁気ギャップ面７と非平行
な巻線溝面とコア側面の双方にスリット溝８を形成す
る。次に、両コア半体１０ａ，１０ｂを高融点ガラス等
のギャップ材を介して磁気ギャップ面７で突き合わせ、
所定の厚み１１で切断し、磁気ギャップ深さを所定の深
さに研磨して磁気ヘッドを得る。
ヘッドの製造方法の斜視図を示す。チタン酸マグネシウ
ム系の非磁性基板４に、Ｃｏ系アモルファス合金からな
る金属磁性膜１と、ＳｉＯ2 からなる絶縁膜２とが交互
に積層された金属磁性層３をスパッタリングにより形成
し、これを接着ガラス５を用いて積層し一対のコア半体
１０ａ、１０ｂをつくる。Ｃｏ系アモルファス合金には
スパッタ時あるいは積層接着時に磁化容易軸９ａが磁気
ギャップ面７とほぼ垂直になるように磁気異方性を付与
する。次に、このコア半体１０ａの磁気ギャップ面７に
巻線窓６を形成し、さらに、磁気ギャップ面７と非平行
な巻線溝面とコア側面の双方にスリット溝８を形成す
る。次に、両コア半体１０ａ，１０ｂを高融点ガラス等
のギャップ材を介して磁気ギャップ面７で突き合わせ、
所定の厚み１１で切断し、磁気ギャップ深さを所定の深
さに研磨して磁気ヘッドを得る。
【００１４】以上の方法により作製したヘッドは、磁化
容易軸９ａの向きが磁化容易軸９ｂのように変化し、磁
化困難軸だけで磁路が形成され、高周波特性の優れた高
性能磁気ヘッドが実現できた。
容易軸９ａの向きが磁化容易軸９ｂのように変化し、磁
化困難軸だけで磁路が形成され、高周波特性の優れた高
性能磁気ヘッドが実現できた。
【００１５】また、第１の発明および第２の発明におい
て、スリット溝８を形成した後、熱処理を行うことによ
り磁化容易軸９ｂの変化が強くなり、さらに高周波特性
の優れた高性能磁気ヘッドが実現できた。
て、スリット溝８を形成した後、熱処理を行うことによ
り磁化容易軸９ｂの変化が強くなり、さらに高周波特性
の優れた高性能磁気ヘッドが実現できた。
【００１６】図５は、従来の無配向の積層金属磁性膜を
用いた磁気ヘッド（ｃ）、第１の発明の製造方法による
磁化容易軸が形成された磁気ヘッド（ａ）および第２の
発明の製造方法による磁化容易軸が形成された磁気ヘッ
ド（ｂ）の相対出力の周波数特性を示す。３０ＭＨｚ以
上の高周波において、本発明の磁気ヘッドは、従来の磁
気ヘッドを大きく上回る高周波特性を示していることが
わかる。
用いた磁気ヘッド（ｃ）、第１の発明の製造方法による
磁化容易軸が形成された磁気ヘッド（ａ）および第２の
発明の製造方法による磁化容易軸が形成された磁気ヘッ
ド（ｂ）の相対出力の周波数特性を示す。３０ＭＨｚ以
上の高周波において、本発明の磁気ヘッドは、従来の磁
気ヘッドを大きく上回る高周波特性を示していることが
わかる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、３０ＭＨｚ
以上の高周波帯でも十分高い効率で記録再生できる高周
波用磁気ヘッドが容易に得られる。
以上の高周波帯でも十分高い効率で記録再生できる高周
波用磁気ヘッドが容易に得られる。
【図１】第１の発明の実施例における磁気ヘッドの斜視
図
図
【図２】第１の発明の実施例における磁気ヘッドの製造
方法の斜視図
方法の斜視図
【図３】第２の発明の実施例における磁気ヘッドの斜視
図
図
【図４】第２の発明の実施例における磁気ヘッドの製造
方法の斜視図
方法の斜視図
【図５】従来の磁気ヘッドおよび本発明による磁気ヘッ
ドの相対出力の周波数特性を示す図
ドの相対出力の周波数特性を示す図
１ 金属磁性膜 ２ 絶縁膜 ３ 金属磁性層 ４ 基板 ５ 接着ガラス ６ 巻線窓 ７ 磁気ギャップ面 ８ スリット溝 ９ａ、９ｂ 磁化容易軸 １０ａ、１０ｂ コア半体 １１ 切断幅
Claims (10)
- 【請求項１】金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持した
リング型磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性膜が前記磁
気ヘッドの磁気ギャップ面とほぼ平行に磁化容易軸を有
しており、前記磁気ヘッドの磁気ギャップ面とほぼ平行
な巻線溝面とヘッドコア側面のすくなくとも一部に、ほ
ぼトラック幅方向にスリット溝を配することにより、ス
リット溝近傍の磁化容易軸の方向を変化させ、磁路がほ
ぼ磁化困難軸方向で形成されたことを特徴とする磁気ヘ
ッド。 - 【請求項２】金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持した
リング型磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性膜に、前記
磁気ヘッドの磁気ギャップ面とほぼ平行に磁化容易軸を
付与する工程と、前記磁気ヘッドの磁気ギャップ面とほ
ぼ平行な巻線溝面とヘッドコア側面のすくなくとも一部
に、ほぼトラック幅方向にスリット溝を配する工程とを
有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】スリット溝を形成した後、熱処理を行う工
程を有することを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド
の製造方法。 - 【請求項４】金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持した
リング型磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性膜が前記磁
気ヘッドの磁気ギャップ面とほぼ垂直に磁化容易軸を有
しており、前記磁気ヘッドの磁気ギャップ面と非平行な
巻線溝面とヘッドコア側面のすくなくとも一部に、ほぼ
トラック幅方向にスリット溝を配することにより、スリ
ット溝近傍の磁化容易軸の方向を変化させ、磁路がほぼ
磁化困難軸方向で形成されたことを特徴とする磁気ヘッ
ド。 - 【請求項５】金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持した
リング型磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性膜に、前記
磁気ヘッドの磁気ギャップ面と垂直に磁化容易軸を付与
する工程と、前記磁気ヘッドの磁気ギャップ面と非平行
な巻線溝面とヘッドコア側面のすくなくとも一部に、ほ
ぼトラック幅方向にスリット溝を配する工程とを有する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】スリット溝を形成した後、熱処理を行う工
程を有することを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッド
の製造方法。 - 【請求項７】金属磁性膜が金属磁性膜と絶縁膜との積層
膜であることを特徴とする請求項１または４記載の磁気
ヘッド。 - 【請求項８】金属磁性膜が金属磁性膜と絶縁膜との積層
膜であることを特徴とする請求項２、３、５、６のいず
れか１項に記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項９】金属磁性膜がアモルファス磁性膜であるこ
とを特徴とする請求項７記載の磁気ヘッド。 - 【請求項１０】金属磁性膜がアモルファス磁性膜である
ことを特徴とする請求項８記載の磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20513194A JPH0869609A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20513194A JPH0869609A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0869609A true JPH0869609A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16501953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20513194A Pending JPH0869609A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0869609A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8605386B1 (en) | 2012-07-25 | 2013-12-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording head, head gimbal assembly with the same, and disk drive |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP20513194A patent/JPH0869609A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8605386B1 (en) | 2012-07-25 | 2013-12-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording head, head gimbal assembly with the same, and disk drive |
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