JP3036020B2 - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JP3036020B2 JP3036020B2 JP2216921A JP21692190A JP3036020B2 JP 3036020 B2 JP3036020 B2 JP 3036020B2 JP 2216921 A JP2216921 A JP 2216921A JP 21692190 A JP21692190 A JP 21692190A JP 3036020 B2 JP3036020 B2 JP 3036020B2
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- magnetic
- magnetic head
- head
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッド特に磁気コアの磁気ギャップ形
成面に高飽和磁束密度の軟磁性金属膜が被着形成されて
成るいわゆるMIG（Metal in Gap）型磁気ヘッドの製造
方法に係わる。
成面に高飽和磁束密度の軟磁性金属膜が被着形成されて
成るいわゆるMIG（Metal in Gap）型磁気ヘッドの製造
方法に係わる。
本発明は磁気ギャップ形成面に、高飽和磁束密度の軟
磁性金属磁性膜が被着形成されて成る磁気ヘッドの製造
方法において、金属磁性膜にトラック幅方向に磁化容易
軸を誘導して記録及び再生出力特性の向上をはかる。
磁性金属磁性膜が被着形成されて成る磁気ヘッドの製造
方法において、金属磁性膜にトラック幅方向に磁化容易
軸を誘導して記録及び再生出力特性の向上をはかる。
磁気ヘッドに用いられる磁性材には、高透磁率を有す
ることが要求される。そして、この高透磁率はMHz帯以
上の高周波において、磁化困難軸方向に磁路を形成する
ことによって得られることができることが知られてい
る。
ることが要求される。そして、この高透磁率はMHz帯以
上の高周波において、磁化困難軸方向に磁路を形成する
ことによって得られることができることが知られてい
る。
したがって、この磁性材の磁気異方性の大きさや、方
向を制御することで磁気ヘッドの電磁変換特性が大きく
左右される。
向を制御することで磁気ヘッドの電磁変換特性が大きく
左右される。
例えば、特開昭62−139114号公開公報（資料１）に
は、基板上に磁気抵抗効果（MR）型磁気ヘッドと誘導型
磁気ヘッドとが積層されたすなわち薄膜型の磁気ヘッド
において両ヘッドのトラック幅方向、すなわち、誘導型
磁気ヘッドの薄膜ヨークについてもその膜面方向に一軸
異方性が発生するようにしてこれとほぼ直交する膜面方
向の磁束が通る方向を磁化困難軸方向として、高周波帯
域で高い透磁率を示すようにしてヘッドの記録効率の向
上をはかるものである。
は、基板上に磁気抵抗効果（MR）型磁気ヘッドと誘導型
磁気ヘッドとが積層されたすなわち薄膜型の磁気ヘッド
において両ヘッドのトラック幅方向、すなわち、誘導型
磁気ヘッドの薄膜ヨークについてもその膜面方向に一軸
異方性が発生するようにしてこれとほぼ直交する膜面方
向の磁束が通る方向を磁化困難軸方向として、高周波帯
域で高い透磁率を示すようにしてヘッドの記録効率の向
上をはかるものである。
更に、特開昭63−304414号公報（資料２）には、強磁
性薄膜と絶縁薄膜とを交互に積層した多層膜構造のベッ
ドコアによる磁気ヘッドにおいて、ヘッドコアの磁化容
易軸の方向をトラック幅方向と平行にして特性の向上を
はかるに、形状による反磁界係数が大なることによるト
ラック幅方向を磁化容易軸とすることの困難性を、多層
膜の積層面をテープ摺動面に対してトラック幅方向に傾
斜させることによって補償することの記載がある。
性薄膜と絶縁薄膜とを交互に積層した多層膜構造のベッ
ドコアによる磁気ヘッドにおいて、ヘッドコアの磁化容
易軸の方向をトラック幅方向と平行にして特性の向上を
はかるに、形状による反磁界係数が大なることによるト
ラック幅方向を磁化容易軸とすることの困難性を、多層
膜の積層面をテープ摺動面に対してトラック幅方向に傾
斜させることによって補償することの記載がある。
しかしながら第２図に示すように、例えば高周波特性
にすぐれた磁性フェライト等より成る対の磁気コア（1
A）及び（1B）を互いに対向させ、これらの前方端面間
に形成される磁気ギャップｇの形成面すなわちその前方
対向端面に高飽和磁束密度Bsを有する軟磁性金属磁性膜
（２）が形成されてなる磁気ヘッドいわゆるMIG磁気ヘ
ッドにおいては、その軟磁性金属磁性膜（２）に対する
磁路の方向が、前述した資料１及び２における薄膜の磁
気コアとは異なる態様を採ることから、例えば特開平１
−158606号公開公報（資料３）に示されるように、ギャ
ップデプス方向に一軸異方性を誘導することで少くとも
その軟磁性金属磁性膜（２）に対して垂直方向の透磁率
の向上をはかるようにしたMIG型の磁気ヘッドの提案が
なされている。
にすぐれた磁性フェライト等より成る対の磁気コア（1
A）及び（1B）を互いに対向させ、これらの前方端面間
に形成される磁気ギャップｇの形成面すなわちその前方
対向端面に高飽和磁束密度Bsを有する軟磁性金属磁性膜
（２）が形成されてなる磁気ヘッドいわゆるMIG磁気ヘ
ッドにおいては、その軟磁性金属磁性膜（２）に対する
磁路の方向が、前述した資料１及び２における薄膜の磁
気コアとは異なる態様を採ることから、例えば特開平１
−158606号公開公報（資料３）に示されるように、ギャ
ップデプス方向に一軸異方性を誘導することで少くとも
その軟磁性金属磁性膜（２）に対して垂直方向の透磁率
の向上をはかるようにしたMIG型の磁気ヘッドの提案が
なされている。
しかしながら、この種磁気ヘッドにおいて必ずしも充
分その記録及び再生特性において周波数特性の改善がは
かられないことが究明された。
分その記録及び再生特性において周波数特性の改善がは
かられないことが究明された。
本発明においては、上述したMIG型磁気ヘッドにおい
てその記録及び再生特性が安定して低域及び高域におい
て優れた特性を有するようにした磁気ヘッドを提供す
る。
てその記録及び再生特性が安定して低域及び高域におい
て優れた特性を有するようにした磁気ヘッドを提供す
る。
本発明においては、第１図にその略線的拡大斜視図を
示すように、磁気コア（1A）及び（1B）の磁気ギャップ
ｇの形成面に高飽和磁束密度Bsを有する軟磁性金属磁性
膜（２）が被着形成されてなる磁気ヘッドの製造過程に
おいて、その金属磁性膜の成膜工程より後の工程で、回
転磁界中で熱処理する工程と、その後に、最終的に得る
磁気ヘッドにおけるトラック幅方向の固定磁界中で熱処
理する工程とを経てこの金属磁膜に、そのトラック幅方
向に磁化容易軸を誘導し、目的とする磁気ヘッドを得
る。
示すように、磁気コア（1A）及び（1B）の磁気ギャップ
ｇの形成面に高飽和磁束密度Bsを有する軟磁性金属磁性
膜（２）が被着形成されてなる磁気ヘッドの製造過程に
おいて、その金属磁性膜の成膜工程より後の工程で、回
転磁界中で熱処理する工程と、その後に、最終的に得る
磁気ヘッドにおけるトラック幅方向の固定磁界中で熱処
理する工程とを経てこの金属磁膜に、そのトラック幅方
向に磁化容易軸を誘導し、目的とする磁気ヘッドを得
る。
上述の本発明製造方法によれば、低域及び高域におい
て優れた記録及び再生特性が得られることが確認され
た。
て優れた記録及び再生特性が得られることが確認され
た。
さらに、第１図を参照して本発明による磁気ヘッドの
製造方法の一例を詳細に説明する。
製造方法の一例を詳細に説明する。
実施例１ 例えば周波数特性の高いMnZnフェライトよりなり主た
る磁気コア（1A）及び（1B）の磁気ギャップｇの形成面
に高飽和磁束密度Bsを有する例えばCoZr系アモルファス
のスパッタ膜による軟磁性金属磁性膜が被着された構成
を有する。このようにして磁気コア（1A）及び（1B）が
対向合体されて形成された磁気ヘッドチップに対してこ
れを所要の磁界例えば4kOe中でそのギャップ長方向（磁
気コア（1A）及び（1B）のギャップ形成面と直交する方
向）に沿うチップの中央部の第１図鎖線ａで示す軸を中
心として350℃の加熱下で10分間回転させる方法による
回転磁界中加熱アニールいわゆるRFAによってまず磁界
異方性を排除する。その後、トラック幅Tw方向に外部磁
界を一致させた状態で停止した静止磁界加熱アニールい
わゆるSFAを210℃で30分間行ってトラック幅方向Twに磁
化容易軸を誘導する。
る磁気コア（1A）及び（1B）の磁気ギャップｇの形成面
に高飽和磁束密度Bsを有する例えばCoZr系アモルファス
のスパッタ膜による軟磁性金属磁性膜が被着された構成
を有する。このようにして磁気コア（1A）及び（1B）が
対向合体されて形成された磁気ヘッドチップに対してこ
れを所要の磁界例えば4kOe中でそのギャップ長方向（磁
気コア（1A）及び（1B）のギャップ形成面と直交する方
向）に沿うチップの中央部の第１図鎖線ａで示す軸を中
心として350℃の加熱下で10分間回転させる方法による
回転磁界中加熱アニールいわゆるRFAによってまず磁界
異方性を排除する。その後、トラック幅Tw方向に外部磁
界を一致させた状態で停止した静止磁界加熱アニールい
わゆるSFAを210℃で30分間行ってトラック幅方向Twに磁
化容易軸を誘導する。
このヘッドチップの両磁気コア（1A）及び（1B）には
ヘッド巻線（３）を巻装する。
ヘッド巻線（３）を巻装する。
比較例１ 実施例１と同様にRFA及びSFAによるものの、ギャップ
デプス方向にSFAを行ってギャップデブス方向に磁化容
易軸を誘導した磁気ヘッドを構成した。
デプス方向にSFAを行ってギャップデブス方向に磁化容
易軸を誘導した磁気ヘッドを構成した。
上述の実施例１及び比較例１による各ヘッドの記録及
び再生の出力特性を測定した。この場合、各磁気ヘッド
は、その磁気コア（1A）及び（1B）の高さすなわちヘッ
ドチップの高さｌを1.9mmとし、幅Ｗを2.0mmとし、厚さ
ｔを200μｍとし、トラック幅Twを85μｍとし、ギャッ
プ長を0.257μｍとし、ギャップデプスを20μｍとし、
軟磁性金属磁性膜（２）の厚さ（ギャップ長方向の厚
さ）を８μｍとした。そして、これら磁気ヘッドを、金
属薄膜型磁気テープを走行速度6.9m/secをもって各実施
例１及び比較例１のヘッドについてその記録及び再生出
力特性の各周波数に対して行った測定結果を表１に示
す。この場合、アニール処理をRFAのみを行ったものに
ついての特性を0dBとした。
び再生の出力特性を測定した。この場合、各磁気ヘッド
は、その磁気コア（1A）及び（1B）の高さすなわちヘッ
ドチップの高さｌを1.9mmとし、幅Ｗを2.0mmとし、厚さ
ｔを200μｍとし、トラック幅Twを85μｍとし、ギャッ
プ長を0.257μｍとし、ギャップデプスを20μｍとし、
軟磁性金属磁性膜（２）の厚さ（ギャップ長方向の厚
さ）を８μｍとした。そして、これら磁気ヘッドを、金
属薄膜型磁気テープを走行速度6.9m/secをもって各実施
例１及び比較例１のヘッドについてその記録及び再生出
力特性の各周波数に対して行った測定結果を表１に示
す。この場合、アニール処理をRFAのみを行ったものに
ついての特性を0dBとした。
これより明らかなように、ギャップデプス方向に磁化
容易軸を誘導した比較例１の磁気ヘッドに比し本発明に
よる磁気ヘッドは、その周波数特性が低域及び高域にお
いて改善されていることがわかる。
容易軸を誘導した比較例１の磁気ヘッドに比し本発明に
よる磁気ヘッドは、その周波数特性が低域及び高域にお
いて改善されていることがわかる。
本発明による磁気ヘッドは、複数個のヘッドチップの
磁気コア（1A）及び（1B）を形成する対の例えばフェラ
イトよりなる磁性ブロックを設け、これらを互いに対向
合体し、この合体ブロックから複数のヘッドチップを切
り出して形成し得る。
磁気コア（1A）及び（1B）を形成する対の例えばフェラ
イトよりなる磁性ブロックを設け、これらを互いに対向
合体し、この合体ブロックから複数のヘッドチップを切
り出して形成し得る。
各磁性ブロックの互いの対向面には予め各巻線溝
（４）を掘り込み更にその互いの対向面にそれぞれ高飽
和磁束密度Bsの軟磁性金属磁性膜（２）例えばCoZr系ア
モルファスを例えばスパッタによって被着形成しおく。
（４）を掘り込み更にその互いの対向面にそれぞれ高飽
和磁束密度Bsの軟磁性金属磁性膜（２）例えばCoZr系ア
モルファスを例えばスパッタによって被着形成しおく。
各磁性膜（２）は、これらを各ブロックに被着した状
態で前述したRFA及びSFAを行うか、あるいは両ブロック
を合体して合体ブロックを形成して後に上述のRFA及びS
FAを行うか、更にまたはこの合体ブロック切断して各磁
気ヘッドチップを形成して後に上述したRFA及びSFAを行
うか、いずれかの方法をも採り得る。
態で前述したRFA及びSFAを行うか、あるいは両ブロック
を合体して合体ブロックを形成して後に上述のRFA及びS
FAを行うか、更にまたはこの合体ブロック切断して各磁
気ヘッドチップを形成して後に上述したRFA及びSFAを行
うか、いずれかの方法をも採り得る。
また第１図に示した例では、磁気記録媒体との対向面
の中央部にトラック幅Twを規制する凸部を形成するよう
にその両外側に切込み（21）を形成したものであるが、
このような形状に限らず、種々の構成によることができ
る。
の中央部にトラック幅Twを規制する凸部を形成するよう
にその両外側に切込み（21）を形成したものであるが、
このような形状に限らず、種々の構成によることができ
る。
上述したように本発明によれば、MIG型磁気ヘッドに
おいて、その高飽和磁束密度Bsを有する軟磁性金属磁性
膜（２）の特にトラック幅方向に磁化容易軸を誘導する
ようにしたことによって低域及び高域に対して再生記録
特性の向上がはかられる。
おいて、その高飽和磁束密度Bsを有する軟磁性金属磁性
膜（２）の特にトラック幅方向に磁化容易軸を誘導する
ようにしたことによって低域及び高域に対して再生記録
特性の向上がはかられる。
第１図は本発明による磁気ヘッドの一例を略線的拡大斜
視図、第２図は従来の磁気ヘッドの説明に供する斜視図
である。 （1A）及び（1B）は磁気コア、（２）は軟磁性金属磁性
膜、（３）はヘッド巻線、ｇは磁気ギャップである。
視図、第２図は従来の磁気ヘッドの説明に供する斜視図
である。 （1A）及び（1B）は磁気コア、（２）は軟磁性金属磁性
膜、（３）はヘッド巻線、ｇは磁気ギャップである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 篤 東京都品川区北品川６丁目５番６号 ソ ニー・マグネ・プロダクツ株式会社内 (72)発明者 内海 ゆかり 東京都品川区北品川６丁目５番６号 ソ ニー・マグネ・プロダクツ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−300412（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−119905（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−101612（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−152705（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−37806（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−209702（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−266709（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−158606（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255
Claims (1)
- 【請求項１】磁気コアの磁気ギャップ形成面に高飽和磁
束密度の軟磁性金属磁性膜が被着形成されて成る磁気ヘ
ッドの製造過程において、 上記金属磁性膜の成膜工程より後の工程で、回転磁界中
で熱処理する工程と、その後に、最終的に得る磁気ヘッ
ドにおけるトラック幅方向の固定磁界中で熱処理する工
程とを経て上記金属磁性膜に、上記トラック幅方向に磁
化容易軸を誘導することを特徴とする磁気ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216921A JP3036020B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216921A JP3036020B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04102206A JPH04102206A (ja) | 1992-04-03 |
| JP3036020B2 true JP3036020B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=16696016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2216921A Expired - Fee Related JP3036020B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036020B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112048704B (zh) * | 2020-08-13 | 2021-05-25 | 北京航空航天大学合肥创新研究院 | 一种超薄多层膜的集成式加工设备及应用方法 |
-
1990
- 1990-08-17 JP JP2216921A patent/JP3036020B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04102206A (ja) | 1992-04-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |