JPS6366703A - 複合型磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、記録媒体に情報を高密度に記録し、かつそ
の高密度に記録された情報を再生するのに好適な複合型
磁気ヘッドの９Ｊ造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

磁気記録再生装置において、磁気記録媒体に記録される
情報の高密度化を考える場合、磁気記録媒体（例えば磁
気テープ等）の残留磁束密度とその保磁力等を高めれば
有利であることが知られている。すなわち、これは残留
磁束密度が大きいと再生出力は大きくなるが、磁性体同
士の消磁効果も大きくなるので磁化が消えないように保
磁力を大きくする必要があるという事情によるものであ
る。また、例えばメタルテープ等の高い保磁力を有する
磁気テープ媒体等に情報を記録するには強い磁界が必要
となっているが、現在磁気ヘッドに用いられている軟磁
性フェライトを例に上げると、その飽和磁束密度が４０
００乃至５０００ガウス程度であるため先のメタルテー
プ媒体等のように１４００乃至１５００エルステツドと
高い保磁力を有する磁気記録媒体に対しては記録が不十
分となる欠点がある。

一方、金属磁性材からなる磁気ヘッドにあっては、例え
ばＦｅ　−ＡＩ　−８ｉ　　（センダスト）合金、Ｎｉ
　−Ｆｅ　　（パーマロイ）合金等の結晶質合金あるい
は非晶質合金からなるものは、その飽和磁束密度が高く
、しかも摺動ノイズが低いといった優れた特性をしてい
る。しかしながら、このような構成の磁気ヘッドの場合
、一般に使用されるトラック幅（１０ミクロン以上）程
度の厚みに対しては渦電流損失によりビデオ周波数領域
での実効透磁率がフェライトより低下して再生能率が低
くなる欠点があり、また媒体摺動特性においても、その
耐摩耗性に関してはフェライトより数段劣る。

そこで、上記のような問題点を解決するため、フェライ
トと金属磁性材とを組合せることによって双方の優れた
点を有効に活用することのできる複合型磁気ヘッドが提
案されている。

すなわら、この複合型磁気ヘッドとしては、例えば第１
１因に示すように互いに略Ｖ字型の金属磁性体１１１１
００を作動ギャップ面１０１にて挾持させながら高透磁
率を有する磁性ブロック体１０３内に被着した構成のも
のである。なお、図中符号１０４はガラスモールド、１
０５は非磁性体。

１０６はコイル巻線用の窓である。

ところで、このような構成の複合型磁気ヘッドにあって
は、通常法のような製造方法によってその複合型磁気ヘ
ッドが製造されている。すなわち、この製造方法とは、 （１）まず、フェライト等により形成した高透磁率のブ
ロック体１０３を用意し、このブロック体１０３にコイ
ル巻線用の溝１０７を形成する（第１２図参照）。

（２）次に、この溝１０７に直交し作動ギャップの突合
せ面になる部位１０３ａに略Ｖ字型の溝１０８を平行に
複数本形成する（第１３図参照）。

（３）そして、このようにして形成されたブロック１０
９の溝１０８を含めギャップ突合せ面全体に先のフェラ
イトよりも飽和磁束密度の高い金属あるいは非晶質磁性
体膜１００をスパッタリング等によって堆積させる（第
１４図参照）。

（４）次に、第３工程で得られた金属あるいは非晶ｗｒ
ａ性体１１１００の上に少なくとも溝１０８が埋まる程
度に非磁性材１０５を充填（ガラスモールド）する（第
１５図参照）。

（５）そして、金属あるいは非晶質磁性体膜１００に所
定幅ｔの作動ギヤツブ面１０１が形成されるよう先のブ
ロック１０９の溝１０８に充填堆積された非磁性材１０
５及び金属あるいは非晶質磁性体膜１００のうち不要部
分を除去しながら鏡面加工を滴し、作動ギャップ面１０
１を露呈させてコアブロック休１１１を形成する（第１
６図参照）。

（６）次に、そのコアブロック休１１１をラインＡ−Ａ
に泊って２つに分断して半コアブロック体１１２を形成
する（第１６図参照）。

（７）そして、これら一対の半コアブロック体１１２の
うちいずれか一方にギャップスペーサ膜（図略）を被着
形成し、互いに作動ギャップ面１０１が合致するように
突合せて接合一体化させ、接合ブロック１１３を形成す
る（第１７図参照）。

（８）この接合ブロック１１３の作動ギャップ面１０１
となるトラック幅【の部位を中央部側から含むようにし
てラインＢ−８で示ず所要のコア幅Ｔとなるようにその
接合ブロック１１３を切断すると、第１．１図に示すよ
うな先程の複合型Ｆ４１気へラドコア１１４が得られる
（第１７図参照）。

〔解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような方法を用いて先のような構成
の複合型磁気ヘッドを！１ｌｆｆｉするには、先にも説
明したように、半コアブロック体のうちいずれか一方側
にギャップスペーサ膜を被着したのちこれら双方をギャ
ップスペーサ膜を介して接合する際にその作動ギャップ
面が互いに合致するように接合しなければならないがト
ラック幅方向にずれを生ずることがあり、所定寸法のト
ラック幅を形成するのは面倒であるため、その位置合せ
作業が困難であると共に接合面における機械的な強度に
難点がある。

また、このような構成の複合型磁気ヘッドを例えば垂直
磁気記録用として使用して再生特性等を高めようとする
場合には、発生磁界の垂直成分が急峻となることが必要
となっており、このためには作動ギャップ長をできるだ
け短縮化すると共にギャップ深さＤをできるだけ浅くす
ることが要請されているが、先のような構成の複合型磁
気ヘッドにあっては、その作動ギャップの長さやギャッ
プ深さの短縮化を図ることは困難である。

そこで、この発明は、上記した従来の欠点に鑑み、トラ
ック幅を高精度の寸法で形成することができると共に機
械的強度が高く、しかもＲ々厚管理が容易で正確な作動
ギャップ長さ並びにギャップ深さのものを形成するのが
容易な複合型磁気ヘッドの製造方法を提供することを目
的とするものである。

（問題点を解決するための手段） すなわち、この発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は、
フェライトブロックを用意し、この一面にＷ型の溝を刻
設して溝フェライトブロックを形成する工程と、この溝
フェライトブロックの前記溝が刻設された面上に第１磁
極となる高飽和磁束密度の第１磁性体膜をスパッタリン
グ法や蒸着法等によって被着して第１被着磁性体膜ブロ
ックを形成する工程と、この第１被＠磁性体模ブロック
の前記第１磁性体膜が被着された面上のＷ型の溝に挾ま
れた突出部に所定トラック幅の平面が形成されるまで鏡
面状に研磨加工して鏡面ブロックを形成する工程と、こ
の鏡面ブロックの前記第１磁性体膜が被着された面上に
所定ギャップ長かつ所定ギャップ深さに非磁性材からな
るギャップスペーサ膜をスパッタリング法や蒸着法によ
って被着してギャップスペーサブロックを形成する工程
と、このギャップスペーサブロックのギャップスペーサ
膜が被着された面上全体に亙って高飽和磁束密度の第２
磁性体膜をスパッタリング法や蒸着法等によって被着す
る第２被着磁性体膜ブロックを形成する工程と、この第
２被着磁性体膜ブロックの前記第２磁性体膜にエツチン
グによって第２磁極を所定トラック幅のパターンに形成
してパターンブロックを形成する工程と、このパターン
ブロックの前記第２磁性体膜が形成されている方の面上
に接合膜をｆａｌｌ−填充して接合膜ブロックを形成す
る工程と、この接合膜ブロックの前記接合膜上に非磁性
材からなる非磁性ブロック体を接合若しくはガラスモー
ルドによって形成したのちコイル巻線用窓を形成して巻
線窓ブロックを形成する工程と、この巻線窓ブロックを
所定のヘッドチップ幅に切り出してコアヘッドを形成す
る工程とを有するものである。

（作用〕 この発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は、作動ギャッ
プ面として第２被着磁性体摸を正確な寸法パターンでエ
ツチングを行いながら第２磁極をす形成しているため、
狭トラツク化や正確なトラック幅寸法のものを形成する
ことが可能になるものである。

また、この発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は、第１
の磁極、ギャップスペーサ、第２の磁極を互いに積層さ
せて形成するような構成となっているため、薄膜形成技
術がそのまま流用でき、換言すれば高精度に膜厚管理が
できるため正確なギャップ長のものが形成できると共に
、第１磁極と第２磁極とを接続していない分だけこれら
双方の機械的強度を高めることが可能となっているもの
である。

〔実施例〕

以下、このｔｌ明の一実施例について添附図面を参照し
ながら説明する。

第１図はこの発明にかかる複合型磁気ヘッドの製造方法
によって製造された磁気ヘッドを示すものであり、この
複合型磁気ヘッドは、フェライト体１と、このフェライ
ト体１に被着した第１磁極を構成する第１磁性体膜２と
、この第１磁性体膜２に被着したギャップスペーサＨ！
Ｉ３と、このギャップスペーサ膜３上に被着した第２磁
極を構成する第２ｆｔｉ性体膜４と、この第２磁性体膜
４の周囲を補填するようにして形成された接合膜５と、
この接合膜５及び第２磁性体膜４の上に接合した非磁性
ブロック休６とから構成されている。なお、図中符号７
はコイル形成用の巻線窓である。

フェライト体１は、高透磁率、軟磁気特性が良好なフェ
ライトで形成されている。

第１磁性体膜２は、飽和磁束密度の高いもの、例えばＦ
ｃ）　−ＡＩ　−８ｉ　　（センダスト）合金。

Ｎｒ　−Ｆｅ　　＜パーマロイ）合金等の結晶質磁性合
金若しくは非晶質磁性合金等で形成されている。

そして、この第１１！性体膜２は、一端側が平面状に形
成された作動ギャップ面２を構成するようになっており
、記録媒体走行方向に対して平行な横方向の断面が略Ｖ
字型になっている。

ギャップスペーサＭｌ　３は、第１磁極と第２磁極との
ギャップスペースを一定に保持するためのものであり、
ガラス材等を用いて所定深さ寸法で所定厚さに形成され
ている。

第２磁性体ＩＩＩ　４は、第１磁性体膜２と同様に高飽
和磁束密度を有する例えばＦｅ　−ＡＩ　−８ｉ（セン
ダスト）合金、　Ｎｒ　−４”ｅ　　＜パーマロイ）合
金等の結晶質磁性合金若しくは非晶質磁性合金等で形成
されている。そして、この第２磁性体膜４は、エツチン
グ等により一定寸法パターンのトラック幅に形成されて
いる。

接合層５は、第２磁性体Ｉｔ！　４の周囲を補填させる
と共に非磁性ブロック体６との確実な接合を図るための
ものであり、第２磁性体模４が非晶質磁性合金の場合に
あっては有機系等の接着剤が用いられ、またセンダスト
等のような結晶質磁性合金の場合にあってはガラス材等
が用いられている。

非磁性ブロック体６は、第２！ｉ性体膜４を保護して機
械的強度を高めるためのものである。そして、この非磁
性ブロック体６は第２磁性体膜４がンダスト等の結晶質
…性合金の場合にあってはガラスモールド等によって形
成することが可能であり、またその第２磁性体ＩＩ４が
非晶質磁性合金の場合にあっては予めセラミックやガラ
ス等で一定寸法に形成しておいたものを接着剤等によっ
て接着させて接合するようになっている。

次に、この実施例にかかる禮台型磁気ヘッドの製造方法
について第２図ないし第１０図を参照しながら説明する
。

（１）一定寸法に加工されたのらにフェライト体１とな
るフェライトブロック８の一面側にＷ型の溝９を複数刻
設して溝フェライトブロック１０を形成する（第２図参
照）。

（２）次に、この溝フェライトブロック１０の溝９が刻
設された面上に第１磁極となる高飽和磁束密度の第１磁
性体Ｉ！Ｊ１１をスパッタリング法や蒸着法等によって
被着して第１磁性体膜ブロック１２を形成する（第３図
参照）。

（３）そして、この第１被着磁性体膜ブロック１２の第
１磁性体膜が被着された面上の溝９に挾まれた突出部１
３に所定トラック幅ＴＷの平面１４が形成されるまで鏡
面上に研磨加工（以下鏡面加工と呼ぶ）して鏡面ブロッ
ク１５を形成する（第４図参照）。　　・ （４）次に、この鏡面ブロック１５の第１磁性体ｌｌ１
１１１の被着された面上に所定ギャップ長さ寸法Ｇｌ、
かつ所定ギャップ深さ寸法Ｇｐに非磁性材からなるギャ
ップスペーサ膜１６を形成するため、第１磁性体膜１１
のそれ以外のものにマスク（同格）を行ってスパッタリ
ング法や蒸着法によりそのギャップスペーサ膜１６を被
着しギャップスペーサブロック１７を形成する（第５図
参照〉。

（５）そして、そのギャップスペーサ膜１６面を含む第
１磁性体１１１の面上にのちに第２磁極となるｎ飽和磁
束密度の第２磁性体膜１８をスパッタリング法や蒸着法
等によって被着しＷｇ２被ｉ磁性体膜ブロック１９を形
成する（第６図参照）。

（６）この第２被着磁性体膜ブロック１つに形成した第
２Ｔｉｌｉ性体膜１８のうちトラック幅Ｔｗ部分のみを
残して他を除去するため、その第２噛性体膜１８に所定
パターンでエツチングを行い、第２磁極を形成してパタ
ーンブロック２０を形成する（第７図参照）。

（７）次に、パターンブロック２０の第２ｉｉｆ！性体
膜１８が形成されている方の面上に接合膜２１を積層充
填して接合膜ブロック２２を形成する（第８図参照）。

（８）そして、その接合Ｈ’Ａ　２１上に予め所定寸法
に形成加工した非磁性ブロック体２３を有機接着剤等を
用いて接合一体化したのら、コイル巻線用窓２４（第９
図参照）を穿設してさ線窓ブロック２５を形成する。

（９）最後に巻線窓ブロック２５を第１０図に示すライ
ンαに沿ったヘッドチップ幅に切出して第１図に示すよ
うなコアヘッドを形成する。

（１０）このようにして（ｑられたコアヘッドのす線窓
２４にｍｓを巻装してコイルを形成すると複合型磁気ヘ
ッドが完成する。

したがって、この実施例にかかる複合型磁気へラドの製
造方法によれば、例えばこの複合型磁気ヘッドの製造方
法によって製造された複合型磁気ヘッドを垂直磁気記録
用として使用する場合、スパッタリング法や蒸着法によ
りギャップスペーサ１１ｆＪ１６をマスクを用いて形成
しており、そのギャップ長さ寸法やギャップ深さ寸法は
簡単に調整管理することができ、これによって記録再生
特性の向上や高密度の記録を行うことが可能である。

〔効果〕

以上Ｕ２明してきたように、この発明にががる複合型磁
気ヘッドの製造方法によれば、ギャップスペーサを膜厚
・膜長等の寸法管理が容易なスパッタリング法や蒸着法
の薄膜￥Ｕ造方法によって形成しているため、高精度の
作動ギャップ長さのものが得られ、これによって均一な
品質管理のものを製造することができ量産性が格段と高
まるものである。

また、この発明にかかる複合型磁気ヘッドの製造方法に
よれば、第２磁極となる第２磁性体膜がエツチングによ
って形成できるため、高精度なトラック幅を容易に形成
することができ、その分作業性が向上すると共に、その
第２磁性体膜はギャップスペーサに対して接着剤によっ
て接合されているのではないため機械的強度も格段と向
上するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる複合型磁気ヘッドの製造方法
によって製造された複合型磁気ヘッドの構成を示す斜視
図、第２図乃至第１０図はこの発明にかかる複合型磁気
ヘッド製造方法を示す工程図、第１１図は従来型の複合
型磁気ヘッドの構成を示す斜視図、第１２図乃至第１７
図は第１１図に示す従来型の複合型磁気ヘッドのＦＪ　
漬方法を示す工程図である。 ８・・・フェライトブロック。 ９・・・（Ｗ型の）溝。 １０・・・溝フェライトブロック。 １１・・・第１磁性体膜（第１ｆＡ１極）。 １２・・・第１１１性体膜ブロック。 １３・・・突出部。 １５・・・鏡面ブロック。 １６・・・ギャップスペーサ膜。 １７・・・ギャップスペーサブロック。 １８・・・第２ｖＡ性体膜（第２磁極）。 １９・・・第２磁性体膜ブロック。 ２０・・・パターンブロック。 ２１・・・接合膜。 ２２・・・接合膜ブロック。 ２３・・・非磁性ブロック体。 ２４・・・コイル巻線用窓。 ２５・・・巻線窓ブロック。 出願人　日本電気ホームエレクト ロニクス株式会社 代理人　弁理士　増　１）竹　夫 ＩＩＩ　　図 第２”　　　　　　！３図 第４図　　　　　　第５図 Ｔ、１ Ｗｈ６図　　　　　第７因 第　９　図 第１０　図 第　１４　　図 第１３図 第１５図 第１６図 ［ 第１７９

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フェライトブロックを用意し、この一面にＷ型の溝
   を刻設して溝フェライトブロックを形成する工程と、 この溝フェライトブロックの前記溝が刻設された面上に
   第１磁極となる高飽和磁束密度の第１磁性体膜をスパッ
   タリング法や蒸着法等によって被着して第１被着磁性体
   膜ブロックを形成する工程と、 この第１被着磁性体膜ブロックの前記第１磁性体膜が被
   着された面上のＷ型の溝に挾まれた突出部に所定トラッ
   ク幅の平面が形成されるまで鏡面状に研磨加工して鏡面
   ブロックを形成する工程と、 この鏡面ブロックの前記第１磁性体膜が被着された面上
   に所定ギャップ長かつ所定ギャップ深さに非磁性材から
   なるギャップスペーサ膜をスパッタリング法や蒸着法に
   よつて被着してギャップスペーサブロックを形成する工
   程と、このギャップスペーサブロックのギャップスペー
   サ膜が被着された面上全体に亙って高飽和磁束密度の第
   ２磁性体膜をスパッタリング法や蒸着法等によつて被着
   する第２被着磁性体膜ブロックを形成する工程と、 この第２被着磁性体膜ブロックの前記第２磁性体膜にエ
   ッチングによって第２磁極を所定トラック幅のパターン
   に形成してパターンブロックを形成する工程と、 このパターンブロックの前記第２磁性体膜が形成されて
   いる方の面上に接合膜を積層・填充して接合膜ブロック
   を形成する工程と、 この接合膜ブロックの前記接合膜上に非磁性材からなる
   非磁性ブロック体を接合若しくはガラスモールドによつ
   て形成したのちコイル巻線用窓を形成して巻線窓ブロッ
   クを形成する工程と、 この巻線窓ブロックを所定のヘッドチップ幅に切り出し
   てコアヘッドを形成する工程と を有することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法
   。