JPH11149613A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短冊状コア基板を接合一体化して磁気コア基
板を作製する際の磁気コア基板の欠損を防止して、製造
歩留まりを向上させる磁気ヘッドの製造方法を提供す
る。 【解決手段】 複数の短冊状コア基板３０を、長手方向
に交互に所定量ずらして積み重ね、これらを相互に接合
して磁気コア基板４０を作製する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばビデオテー
プレコーダやデジタルデータレコーダ等の磁気記録再生
装置に搭載される磁気ヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばビデオテープレコーダやデジタル
データレコーダ等の磁気記録再生装置においては、ビデ
オ画像の高画質化、データの記憶容量の拡大等を目的と
して、情報信号の短波長化による高密度記録化が進めら
れている。

【０００３】このような高密度記録化に対応すべく、磁
気記録媒体には、磁性粉としてＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強
磁性金属の粉末を用いたいわゆるメタルテープや、ベー
スフィルム上に強磁性金属材料を直接被着したいわゆる
蒸着テープ等のような、高い残留磁束密度Ｂｒと高い保
持力Ｈｃを有する磁気記録媒体が使用されるようになっ
ている。

【０００４】一方、磁気ヘッドにおいても、このような
磁気記録媒体の使用に対応すべく、磁気コア材料として
高い飽和磁束密度Ｂｓと高い透磁率を有する材料を用
い、また、高密度記録化を達成するために、狭トラック
化及び狭ギャップ化を図った磁気ヘッドが開発されてい
る。

【０００５】このような磁気ヘッドとしては、高透磁率
かつ高飽和磁束密度を有する金属磁性層をセラミックス
等からなる一対の非磁性基板により挟み込んでなる一対
の磁気コア半体が、互いの金属磁性層の側端部を突き合
わせて接合一体化され、突合せ接合面間に磁気ギャップ
が形成されてなる、いわゆるラミネートタイプの磁気ヘ
ッドが提供されている。

【０００６】このラミネートタイプの磁気ヘッドを構成
する少なくとも一方の磁気コア半体には、他方の磁気コ
ア半体との対向面に、ヘッドの厚み方向に亘って溝部が
形成されており、この溝部が、一対の磁気コア半体が接
合一体化された状態において、磁気ギャップのデプスを
規制するとともにコイルが巻回される巻線溝を構成して
いる。また、このラミネートタイプの磁気ヘッドは、一
対の磁気コア半体の接合面と直交する一方の面が、所定
の曲率を有する円弧状に研磨されて磁気記録媒体摺動面
とされている。

【０００７】以上のように構成されるラミネートタイプ
の磁気ヘッドは、磁気ギャップのトラック幅が、一対の
非磁性基板により挟み込まれた金属磁性層の膜厚によっ
て規定される。したがって、このラミネートタイプの磁
気ヘッドは、金属磁性層の膜厚を制御することによっ
て、容易に狭トラック化を図ることができるという特徴
を有している。また、このラミネートタイプの磁気ヘッ
ドは、構造上、磁気コアとなる金属磁性層と一対の非磁
性基板との境界部分が磁気ギャップのトラック幅方向と
平行となることがないので、疑似ギャップの発生が抑制
される。

【０００８】また、このラミネートタイプの磁気ヘッド
は、金属磁性層を、複数の強磁性金属薄膜とＳｉＯ₂ 、
Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄等の酸化物や窒化物等からなる電気
的絶縁膜とを交互に積層して構成することにより、渦電
流損失を回避でき、特に高周波帯域での周波数特性が改
善され、高出力化を図ることができる。

【０００９】ところで、以上のように構成されるラミネ
ートタイプの磁気ヘッドは、以下のように製造される。

【００１０】すなわち、先ず、図１１に示すように、セ
ラミックス等からなる略直方体の非磁性基板１０１の少
なくとも一方の主面に、磁気コアとなる金属磁性膜１０
２及び接合膜１０３がスパッタ等の真空薄膜形成法によ
り成膜され、短冊状コア基板１００が作製される。ここ
で、後工程において短冊状コア基板１００を融着ガラス
により接合する場合は、接合膜として、融着用ガラス膜
が形成され、短冊状コア基板１００を低温金属接合によ
り接合する場合は、接合膜として、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ等
の金属膜が形成される。

【００１１】次に、図１２に示すように、複数の短冊状
コア基板１００が、それぞれの長手方向の端部が揃うよ
うに積み重ねられる。そして、加圧加熱処理が行われる
ことにより、溶融ガラスにより又は低温金属接合によ
り、各短冊状コア基板１００が接合一体化され、非磁性
基板１０１と金属磁性膜１０２とが交互に積層された磁
気コア基板１０４が作製される。

【００１２】次に、図１３に示すように、磁気コア基板
１０４が、Ａ２−Ａ２線、Ｂ２−Ｂ２線、Ｃ２−Ｃ２線
に沿って、各短冊状コア基板１００が積み重ねられた方
向、すなわち、各短冊状コア基板１００の長手方向と直
交する方向に対して、所定のアジマス角α２分だけ傾斜
した方向に切断され、図１４に示すような、互いに略対
象な一対の磁気コア半体ブロック１０５，１０６が作製
される。

【００１３】次に、図１５に示すように、一対の磁気コ
ア半体ブロック１０５，１０６のうち一方の磁気コア半
体ブロック１０５の一方の切断面１０５ａに、その長手
方向に沿って、巻線溝となる溝部１０７が形成される。
そして、この溝部１０７が形成された一方の磁気コア半
体ブロック１０５の一方の切断面１０５ａと、他方の磁
気コア半体ブロック１０６の一方の切断面１０６ａとが
それぞれ平滑研磨される。平滑研磨された各磁気コア半
体ブロック１０５，１０６の切断面１０５ａ，１０６ａ
には、ガラス等よりなるギャップスペーサーが、スパッ
タ等の真空薄膜形成法により成膜される。

【００１４】次に、図１６に示すように、それぞれのギ
ャップスペーサーが成膜された面を突き合わせ面とし
て、一対の磁気コア半体ブロック１０５，１０６が突き
合わされ、加圧加熱処理が行われることにより、これら
一対の磁気コア半体ブロック１０５，１０６が接合一体
化されて、磁気コアブロック１０８が作製される。この
磁気コアブロック１０８の磁気コア半体ブロック接合面
と直交する一方の面は、所定の曲率を有する円弧状に研
磨される。そして、この磁気コアブロック１０８が、図
１３中Ｄ２−Ｄ２線、Ｅ２−Ｅ２線に沿って切断される
ことにより、上述したラミネートタイプの磁気ヘッドが
製造される。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
なラミネートタイプの磁気ヘッドの製造方法において
は、複数の短冊状コア基板１００を接合一体化して磁気
コア基板１０４を作製する際に、短冊状コア基板１００
の接合不良に起因して、作製された磁気コア基板１０４
にブロック折れ等の欠損が生じてしまう場合があった。

【００１６】すなわち、略直方体とされる非磁性基板１
０１は、その厚みを均一にすることが困難で、特に長手
方向の中央部の厚みと両端部の厚みとにばらつきが生じ
ている場合がある。そして、このような非磁性基板１０
１を用いて作製された短冊状コア基板１００を、それぞ
れの長手方向の端部が揃うように積み重ねると、非磁性
基板１０１の厚みのばらつきに起因して、図１７及び図
１８に示すように、各短冊状コア基板１００間に大きな
隙間ｓ３，ｓ４が形成されてしまう。

【００１７】このように各短冊状コア基板１００間に大
きな隙間ｓ３，ｓ４が形成された状態で、加圧加熱処理
を行って磁気コア基板１０４を作製しようとすると、短
冊状コア基板１００の隙間ｓ３，ｓ４を形成している箇
所に大きな負荷がかかり、磁気コア基板１０４にブロッ
ク割れ等の欠損が生じて、製造歩留まりの低下を招いて
しまうという問題があった。

【００１８】そこで、本発明は、短冊状コア基板を接合
一体化して磁気コア基板を作製する際の磁気コア基板の
欠損を防止して、製造歩留まりを向上させる磁気ヘッド
の製造方法を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、一対の非磁性基板により金属磁性層を挟み込
んでなる一対の磁気コア半体が、上記金属磁性層の側端
部を突き合わせて接合一体化され、この突合せ接合面間
に磁気ギャップが形成されてなる磁気ヘッドの製造方法
において、略直方体の非磁性基板の少なくとも一方の主
面に金属磁性層を形成して短冊状コア基板を作製する第
１の工程と、第１の工程により作製された複数の短冊状
コア基板を、長手方向に交互に所定量ずらして積み重
ね、これらを相互に接合して磁気コア基板を作製する第
２の工程と、第２の工程により作製された磁気コア基板
から切り出された一対の磁気コア半体ブロックを接合し
て磁気コアブロックを作製し、この磁気コアブロックを
分断して複数個の磁気ヘッドを得る第３の工程とを有し
ている。

【００２０】この磁気ヘッドの製造方法によれば、第２
の工程において、第１の工程により作製された複数の短
冊状コア基板を、それぞれ長手方向に交互に所定量ずら
して積み重ねて接合し、磁気コア基板を作製するように
しているので、短冊状コア基板の長手方向の中央部の厚
みと両端部の厚みとにばらつきが生じている場合であっ
ても、これら短冊状コア基板を積み重ねたときに各短冊
状コア基板間に大きな隙間が形成されることを抑制する
ことができる。

【００２１】また、この磁気ヘッドの製造方法は、第１
の工程において、非磁性基板の少なくとも一方の主面
に、複数の強磁性金属薄膜を電気的絶縁膜を介して積層
して金属磁性層を形成することが望ましい。

【００２２】このように、複数の強磁性金属薄膜を電気
的絶縁膜を介して積層して金属磁性層を形成することに
より、製造される磁気ヘッドは、渦電流損失が回避さ
れ、特に高周波帯域での周波数特性が改善され、高出力
化が実現される。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００２４】まず、本発明の磁気ヘッドの製造方法によ
り製造されるラミネートタイプの磁気ヘッドについて説
明する。

【００２５】このラミネートタイプの磁気ヘッド（以
下、単に磁気ヘッド１という。）は、例えばビデオテー
プレコーダやデジタルデータレコーダ等の磁気記録再生
装置に使用される磁気ヘッドであり、図１に示すよう
に、高透磁率かつ高飽和磁束密度を有する金属磁性層１
１を、セラミックス等からなる一対の非磁性基板１２，
１３により挟み込んでなる第１の磁気コア半体１０と、
高透磁率かつ高飽和磁束密度を有する金属磁性層２１
を、セラミックス等からなる一対の非磁性基板２２，２
３により挟み込んでなる第２の磁気コア半体２０とが組
み合わされて構成される。すなわち、この磁気ヘッド１
は、第１の磁気コア半体１０と第２の磁気コア半体２０
とが、各金属磁性層１１と２１の互いに相対向する側端
部が突き合わされるとともに、その突合せ面間に磁気ギ
ャップｇを形成して一体に接合されてなる。

【００２６】磁気ヘッド１を構成する第１及び第２の磁
気コア半体１０，２０のうち、少なくとも一方の磁気コ
ア半体１０（２０）の他方の磁気コア半体２０（１０）
との対向面には、磁気ヘッド１の厚み方向に亘って溝部
が形成されている。そして、第１及び第２の磁気コア半
体１０，２０が接合一体化され磁気ヘッド１とされた状
態において、この溝部が、磁気ギャップｇのデプスを規
制するとともに図示しないコイルが巻回される巻線溝２
を構成している。

【００２７】また、この磁気ヘッド１は、第１及び第２
の磁気コア半体１０，２０の接合面と直交する一方の面
が、所定の曲率を有する円弧状に研磨されて磁気記録媒
体摺動面１ａとされている。

【００２８】以上のように構成される磁気ヘッド１は、
例えばヘッドベースに支持された状態で回転ドラムに搭
載され、回転ドラムの周面に接して走行する磁気テープ
等の磁気記録媒体上を摺動し、この磁気記録媒体に対し
て情報信号等を記録し、またはこの磁気記録媒体に記録
された情報信号を読み取る。

【００２９】この磁気ヘッド１は、磁気ギャップｇのト
ラック幅が、一対の非磁性基板１２，１３（２２，２
３）とにより挟み込まれる金属磁性層１１（２１）の膜
厚によって規定されるので、この金属磁性層１１（２
１）の膜厚を制御することによって、容易に狭トラック
化を図ることができる。

【００３０】また、この磁気ヘッド１は、構造上、磁気
コアとなる金属磁性層１１（２１）と一対の非磁性基板
１２，１３（２２，２３）との境界部分が磁気ギャップ
ｇのトラック幅方向と平行となることがないので、疑似
ギャップの発生が抑制される。

【００３１】なお、磁気ヘッド１は、金属磁性層１１
（２１）が、複数の金属磁性膜１１ａ，１１ｂ，１１ｃ
と、ＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄等の酸化物や窒化物
等からなる電気的絶縁膜１１ｄ，１１ｅとを交互に積層
した構造とされていることが望ましい。磁気ヘッド１
は、金属磁性層１１（２１）を以上のような構造とする
ことにより、渦電流損失が回避され、特に高周波帯域で
の周波数特性を改善して、高出力化が図られる。

【００３２】次に、以上のように構成される磁気ヘッド
１の製造方法について説明する。

【００３３】磁気ヘッド１は、図２に示すように、非磁
性基板材３１の主面上に金属磁性層３２を形成して短冊
状コア基板３０を作製する短冊状コア基板作製工程ＳＴ
１と、短冊状コア基板作製工程ＳＴ１において作製され
た複数の短冊状コア基板３０を接合一体化して磁気コア
基板４０を作製する磁気コア基板作製工程ＳＴ２と、磁
気コア基板作製工程ＳＴ２において作製された磁気コア
基板４０を切断して一対の磁気コア半体ブロック５１，
５２を作製する磁気コア半体ブロック作製工程ＳＴ３
と、磁気コア半体ブロック作製工程ＳＴ３において作製
された一対の磁気コア半体ブロック５１，５２を接合一
体化して磁気コアブロック６０を作製する磁気コアブロ
ック作製工程ＳＴ４と、磁気コアブロック作製工程ＳＴ
４において作製された磁気コアブロック６０を切断して
磁気ヘッド１を得る磁気コアブロック切断工程ＳＴ５と
を経て製造される。

【００３４】すなわち、磁気ヘッド１を製造する際は、
まず、略直方体の非磁性基板３１が準備される。この非
磁性体基板３１は、上述した第１の磁気コア半体１０の
非磁性基板１２，１３及び第２の磁気コア半体２０の非
磁性基板２２，２３を構成する部材であり、例えばセラ
ミックス等が用いられる。そして、この非磁性基板３１
の主面には、平滑な面を得るために鏡面加工が施され
る。

【００３５】次に、短冊状コア基板作製工程ＳＴ１にお
いて、スパッタ等の真空薄膜形成法により、非磁性基板
３１の主面上に、金属磁性層３２と接合膜３３とがそれ
ぞれ形成され、図３に示すような略直方体の短冊状コア
基板３０が作製される。

【００３６】金属磁性層３２は、上述した第１の磁気コ
ア半体１０の金属磁性層１１及び第２の磁気コア半体２
０の金属磁性層２１を構成する部材であり、その材料と
しては、例えば、（１）Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｎｉ
−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ
等、及びこれらに８原子％以下のＣｏ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎ
ｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎ、Ｃ、Ｏ等のう
ちの１種又は数種を添加して構成された結晶質材料や、
（２）Ｃｏに主としてＺｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、
Ｎｂのうちの１種又は数種を添加して構成されたアモル
ファス材料や、（３）Ｃｏ、Ｆｅに主としてＺｒ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂのうちの
１種又は数種と、Ｎ、Ｃ、Ｏのうちの１種又は数種とを
添加して構成された微結晶材料が用いられる。

【００３７】なお、金属磁性層３２は、上記金属磁性材
料だけからなる構成としてもよいが、複数の金属磁性膜
とＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄等の酸化物や窒化物等
からなる電気的絶縁膜とを複数層に積層してなる積層膜
構造とすることがより好ましい。このように、金属磁性
層３２を積層膜構造とすることにより、上述したように
製造される磁気ヘッド１の渦電流損失を回避し、特に高
周波帯域での周波数特性を改善して、高出力化を図るこ
とができる。

【００３８】また、接合膜３３の材料としては、融着用
ガラス又は低温金属接合用のＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等の金属
材料が用いられる。

【００３９】次に、磁気コア基板作製工程ＳＴ２におい
て、短冊状コア基板作製工程ＳＴ１で作製された複数の
短冊状コア基板３０が、厚み方向に積み重ねられ、非磁
性基板３１と金属磁性層３２とが交互に並ぶように重ね
合わされる。

【００４０】このとき、各短冊状コア基板３０は、図４
に示すように、それぞれの長手方向の端部が、隣接する
短冊状コア基板３０の長手方向の端部から所定量ずれた
位置に位置するように、長手方向に交互に所定量Ｔ分だ
けずらして積み重ねられる。

【００４１】このように、各短冊状コア基板３０を長手
方向に交互に所定量Ｔ分だけずらして積み重ねることに
より、図５及び図６に模式的に示すように、非磁性基板
３１の厚みのばらつきにより各短冊状コア基板３０の長
手方向の中央部の厚みと両端部の厚みとが不均一になっ
ている場合であっても、各短冊状コア基板３０間の隙間
ｓ１，ｓ２を小さくすることができる。具体的には、各
短冊状コア基板３０を長手方向に交互に所定量Ｔ分だけ
ずらして積み重ねることにより、各短冊状コア基板３０
間の隙間ｓ１，ｓ２は、短冊状コア基板を長手方向の端
部を揃えて積み重ねた場合の各短冊状コア基板間の隙間
（図１７及び図１８における隙間ｓ３，ｓ４）の１／３
〜１／２程度にまで小さくすることが可能となる。

【００４２】各短冊状コア基板３０の交互にずらす量Ｔ
は、あまり小さいと各短冊状コア基板３０間の隙間ｓ
１，ｓ２を十分に小さくすることができず好ましくな
い。また、あまり大きいと後工程において磁気コア基板
４０から切り出される磁気コア半体ブロック５０の数が
少なくなり、生産性の悪化を招いて好ましくない。した
がって、各短冊状コア基板３０の交互にずらす量Ｔは、
各短冊状コア基板３０の長手方向の中央部の厚みと両端
部の厚みのばらつきの程度を勘案して決定されるが、通
常は短冊状コア基板３０の長手方向の長さの１／４〜１
／２程度が好ましい。

【００４３】各短冊状コア基板３０は、長手方向に交互
に所定量Ｔ分だけずらして積み重ねられた状態で加圧加
熱処理が施されることにより接合一体化し、磁気コア基
板４０が作製される。このとき、各短冊状コア基板３０
間には、大きな隙間が形成されていないので、各短冊状
コア基板３０同士の接合不良が抑制され、磁気コア基板
４０のブロック折れ等の欠損が回避される。

【００４４】次に、磁気コア半体ブロック作製工程ＳＴ
３において、図７に示すように、磁気コア基板作製工程
ＳＴ２で作製された磁気コア基板４０がＡ１−Ａ１線、
Ｂ１−Ｂ１線、Ｃ１−Ｃ１線に沿って、各短冊状コア基
板３０が積み重ねられた方向、すなわち、各短冊状コア
基板３０の長手方向と直交する方向に対して、所定のア
ジマス角α１分だけ傾斜した方向に切断され、図８に示
すような、互いに略対象な一対の磁気コア半体ブロック
５１，５２が作製される。

【００４５】これら一対の磁気コア半体ブロック５１，
５２のうち一方の磁気コア半体ブロック５１の一方の切
断面５１ａには、図９に示すように、その長手方向に沿
って、巻線溝２となる溝部５３が形成される。そして、
この溝部５３が形成された一方の磁気コア半体ブロック
５１の一方の切断面５１ａと、他方の磁気コア半体ブロ
ック５２の一方の切断面５２ａとがそれぞれ平滑研磨さ
れる。平滑研磨された各磁気コア半体ブロック５１，５
２の切断面５１ａ，５２ａには、ガラス等よりなるギャ
ップスペーサーが、スパッタ等の真空薄膜形成法により
成膜される。

【００４６】次に、磁気コアブロック作製工程ＳＴ４に
おいて、磁気コア半体ブロック作製工程ＳＴ３で作製さ
れた一対の磁気コア半体ブロック５１，５２が、それぞ
れのギャップスペーサーが成膜された面５１ａ，５２ａ
を突き合わせ面として突き合わされ、加圧加熱処理が行
われる。これにより、一対の磁気コア半体ブロック５
１，５２が接合一体化されて、図１０に示すような磁気
コアブロック６０が作製される。この磁気コアブロック
６０の磁気コア半体ブロック接合面と直交する一方の面
６０ａは、所定の曲率を有する円弧状に研磨される。こ
れにより、磁気ギャップの深さが設定されるとともに、
磁気記録媒体摺動面が形成される。

【００４７】次に、磁気コアブロック切断工程ＳＴ５に
おいて、磁気コアブロック作製工程ＳＴ５で作製された
磁気コアブロック６０が、図１０中Ｄ１−Ｄ１線、Ｅ１
−Ｅ１線で示す金属磁性層３２と平行な線に沿って切断
されることにより、先に図１で示した磁気ヘッド１が製
造される。

【００４８】以上説明した磁気ヘッド１の製造方法は、
磁気コア基板作製工程ＳＴ２において、複数の短冊状コ
ア基板３０を長手方向に交互に所定量Ｔ分だけずらして
積み重ねて加圧加熱処理を施すようにしているので、各
短冊状コア基板３０の長手方向の中央部の厚みと両端部
の厚みとが不均一になっている場合であっても、各短冊
状コア基板３０間の隙間ｓ１，ｓ２を小さくすることが
できる。したがって、この磁気ヘッド１の製造方法によ
れば、各短冊状コア基板３０同士の接合不良を抑制し
て、磁気コア基板４０のブロック折れ等の欠損を回避す
ることができ、磁気ヘッド１の製造歩留まりを向上させ
ることができる。

【００４９】

【発明の効果】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によ
れば、第１の工程により作製された複数の短冊状コア基
板を、第２の工程において、長手方向に交互に所定量ず
らして積み重ね、これらを相互に接合して磁気コア基板
を作製するようにしているので、各短冊状コア基板の長
手方向の中央部の厚みと両端部の厚みとが不均一になっ
ている場合であっても、各短冊状コア基板間の隙間を小
さくすることができる。

【００５０】したがって、この磁気ヘッドの製造方法に
よれば、各短冊状コア基板同士の接合不良を抑制して、
磁気コア基板のブロック折れ等の欠損を回避することが
でき、磁気ヘッドの製造歩留まりを向上することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法により製造
される磁気ヘッドの斜視図である。

【図２】同磁気ヘッドの製造工程を説明する工程説明図
である。

【図３】短冊状コア基板を示す斜視図である。

【図４】複数の短冊状コア基板を積み重ね接合一体化し
てなる磁気コア基板を示す斜視図である。

【図５】複数の短冊状コア基板を長手方向に交互に所定
量ずらして積み重ねた際の各短冊状コア基板間に形成さ
れる隙間の大きさを説明する模式図である。

【図６】複数の短冊状コア基板を長手方向に交互に所定
量ずらして積み重ねた際の各短冊状コア基板間に形成さ
れる隙間の大きさを説明する模式図である。

【図７】上記磁気コア基板を切断して磁気コア半体ブロ
ックを作製する状態を示す斜視図である。

【図８】一対の磁気コア半体ブロックを示す斜視図であ
る。

【図９】一方に巻線溝となる溝部が形成された一対の磁
気コア半体ブロックを示す斜視図である。

【図１０】一対の磁気コア半体ブロックを接合一体化し
てなる磁気コアブロックを示す要部斜視図である。

【図１１】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、短冊状コア基板を示す斜視図である。

【図１２】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、複数の短冊状コア基板を積み重ね接合一体化して
なる磁気コア基板を示す斜視図である。

【図１３】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、上記磁気コア基板を切断して磁気コア半体ブロッ
クを作製する状態を示す斜視図である。

【図１４】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、一対の磁気コア半体ブロックを示す斜視図であ
る。

【図１５】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、一方に巻線溝となる溝部が形成された一対の磁気
コア半体ブロックを示す斜視図である。

【図１６】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、一対の磁気コア半体ブロックを接合一体化してな
る磁気コアブロックを示す要部斜視図である。

【図１７】複数の短冊状コア基板を長手方向の端部を揃
えて積み重ねた際の各短冊状コア基板間に形成される隙
間の大きさを説明する模式図である。

【図１８】複数の短冊状コア基板を長手方向の端部を揃
えて積み重ねた際の各短冊状コア基板間に形成される隙
間の大きさを説明する模式図である。

【符号の説明】

１ 磁気ヘッド、１０，２０ 磁気コア半体、１１，２
１ 金属磁性層、１２，１３，２２，２３ 非磁性基
板、３０ 短冊状コア基板、３１ 非磁性基板、３２
金属磁性層、４０ 磁気コア基板、５１，５２ 磁気コ
ア半体ブロック、６０ 磁気コアブロック

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の非磁性基板により金属磁性層を挟
   み込んでなる一対の磁気コア半体が、上記金属磁性層の
   側端部を突き合わせて接合一体化され、この突合せ接合
   面間に磁気ギャップが形成されてなる磁気ヘッドの製造
   方法において、略直方体の非磁性基板の少なくとも一方
   の主面に金属磁性層を形成して短冊状コア基板を作製す
   る第１の工程と、 上記第１の工程により作製された複数の短冊状コア基板
   を、長手方向に交互に所定量ずらして積み重ね、これら
   を相互に接合して磁気コア基板を作製する第２の工程
   と、 上記第２の工程により作製された磁気コア基板から切り
   出された一対の磁気コア半体ブロックを接合して磁気コ
   アブロックを作製し、この磁気コアブロックを分断して
   複数個の上記磁気ヘッドを得る第３の工程とを有するこ
   とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 上記第１の工程は、上記非磁性基板の少
   なくとも一方の主面に、複数の強磁性金属薄膜を電気的
   絶縁膜を介して積層して金属磁性層を形成する工程であ
   ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方
   法。