JPH07210810A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH07210810A JPH07210810A JP237994A JP237994A JPH07210810A JP H07210810 A JPH07210810 A JP H07210810A JP 237994 A JP237994 A JP 237994A JP 237994 A JP237994 A JP 237994A JP H07210810 A JPH07210810 A JP H07210810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- thickness
- metal
- winding window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 巻線窓部におけるコイルと金属磁性膜間の漏
れ磁束を抑制し、インダクタンスの低減を図って、電磁
変換特性及びヘッド効率を高める。 【構成】 本発明は、金属磁性積層膜4,5を一対の非
磁性基板6,7及び8,9によりその膜厚方向から挟み
込んでなる一対の磁気コア半体1,2を、金属磁性積層
膜4,5の端面同士を突き合わせて接合した積層型磁気
ヘッドである。そして、本発明では、コイルが巻回され
る巻線窓10部分のチップ厚T1 を、ヘッドチップ全体
の厚みT2 より薄くする。
れ磁束を抑制し、インダクタンスの低減を図って、電磁
変換特性及びヘッド効率を高める。 【構成】 本発明は、金属磁性積層膜4,5を一対の非
磁性基板6,7及び8,9によりその膜厚方向から挟み
込んでなる一対の磁気コア半体1,2を、金属磁性積層
膜4,5の端面同士を突き合わせて接合した積層型磁気
ヘッドである。そして、本発明では、コイルが巻回され
る巻線窓10部分のチップ厚T1 を、ヘッドチップ全体
の厚みT2 より薄くする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば高品位ビデオテ
ープレコーダー(以下、VTRと称する。)やデジタル
VTR等の高密度、広帯域周波数記録再生装置に搭載し
て有用な磁気ヘッドに関する。
ープレコーダー(以下、VTRと称する。)やデジタル
VTR等の高密度、広帯域周波数記録再生装置に搭載し
て有用な磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、VTRや、デジタルオーディオ
テープレコーダ(DAT)等の磁気記録再生装置におい
ては、高密度、高画質化等を目的として情報信号の短波
長記録化が進められている。これに対応して、磁気記録
媒体には強磁性金属粉末を用いた,いわゆるメタルテー
プや、ベースフィルム上に強磁性金属材料を直接被着し
た蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されるよ
うになってきた。
テープレコーダ(DAT)等の磁気記録再生装置におい
ては、高密度、高画質化等を目的として情報信号の短波
長記録化が進められている。これに対応して、磁気記録
媒体には強磁性金属粉末を用いた,いわゆるメタルテー
プや、ベースフィルム上に強磁性金属材料を直接被着し
た蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されるよ
うになってきた。
【0003】一方、それに対応すべく磁気ヘッドの分野
においても研究が進められており、高抗磁力磁気記録媒
体に対し良好に記録再生を可能ならしめるため、コア材
料に良好な軟磁気特性を有する金属磁性材料を用いると
共に、狭トラック化を図った磁気ヘッドが開発されてい
る。
においても研究が進められており、高抗磁力磁気記録媒
体に対し良好に記録再生を可能ならしめるため、コア材
料に良好な軟磁気特性を有する金属磁性材料を用いると
共に、狭トラック化を図った磁気ヘッドが開発されてい
る。
【0004】かかる磁気ヘッドとしては、高透磁率且つ
高飽和磁束密度を有する金属磁性膜とSiO2 等の絶縁
膜を交互に積層した金属磁性積層膜を、一対の非磁性基
板でその膜厚方向から挟み込んだ,いわゆる積層型磁気
ヘッドが提案されている。
高飽和磁束密度を有する金属磁性膜とSiO2 等の絶縁
膜を交互に積層した金属磁性積層膜を、一対の非磁性基
板でその膜厚方向から挟み込んだ,いわゆる積層型磁気
ヘッドが提案されている。
【0005】かかる積層型磁気ヘッドは、例えば図12
に示すように、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体1
01,102を有し、これら磁気コア半体101,10
2が突き合わされ接合一体化されることにより、磁気記
録媒体摺動面103に磁気ギャップgを形成して構成さ
れている。
に示すように、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体1
01,102を有し、これら磁気コア半体101,10
2が突き合わされ接合一体化されることにより、磁気記
録媒体摺動面103に磁気ギャップgを形成して構成さ
れている。
【0006】上記磁気コア半体101,102は、非磁
性基板104,105及び106,107と、膜厚の薄
い金属磁性膜を非磁性膜を介して何層にも積層した金属
磁性積層膜108,109とからなり、その金属磁性積
層膜108,109を一対の非磁性基板104,105
及び106,107によって挟み込むことにより形成さ
れている。
性基板104,105及び106,107と、膜厚の薄
い金属磁性膜を非磁性膜を介して何層にも積層した金属
磁性積層膜108,109とからなり、その金属磁性積
層膜108,109を一対の非磁性基板104,105
及び106,107によって挟み込むことにより形成さ
れている。
【0007】そして、これら磁気コア半体101,10
2同士の突き合わせ面においては、金属磁性積層膜10
8,109の端面部が突き合わされることによって磁気
ギャップgが形成されている。上記磁気ギャップgのト
ラック幅Twは、金属磁性積層膜108,109を挟み
込む非磁性基板104,105及び106,107が非
磁性材料であることから、上記金属磁性積層膜108,
109の膜厚によって規制される。
2同士の突き合わせ面においては、金属磁性積層膜10
8,109の端面部が突き合わされることによって磁気
ギャップgが形成されている。上記磁気ギャップgのト
ラック幅Twは、金属磁性積層膜108,109を挟み
込む非磁性基板104,105及び106,107が非
磁性材料であることから、上記金属磁性積層膜108,
109の膜厚によって規制される。
【0008】また、一方の磁気コア半体102の突き合
わせ面には、当該磁気ギャップgのデプスを規制すると
共に、コイルを巻回させるための巻線窓110が形成さ
れている。この巻線窓110は、磁気コア半体102の
突き合わせ面の途中部に、平面略矩形形状の孔としてコ
ア厚方向に貫通して形成されている。
わせ面には、当該磁気ギャップgのデプスを規制すると
共に、コイルを巻回させるための巻線窓110が形成さ
れている。この巻線窓110は、磁気コア半体102の
突き合わせ面の途中部に、平面略矩形形状の孔としてコ
ア厚方向に貫通して形成されている。
【0009】上記積層型磁気ヘッドは、金属磁性積層膜
108,109の膜厚がトラック幅Twとなるため、機
械加工によりトラック幅Twを規制する他のバルクヘッ
ド,例えばフェライトヘッドやメタルインギャップヘッ
ド(MIGヘッド)に比べ、容易に狭トラック化を図る
ことができる。
108,109の膜厚がトラック幅Twとなるため、機
械加工によりトラック幅Twを規制する他のバルクヘッ
ド,例えばフェライトヘッドやメタルインギャップヘッ
ド(MIGヘッド)に比べ、容易に狭トラック化を図る
ことができる。
【0010】また、この積層型磁気ヘッドは、磁路を形
成する磁気コアである金属磁性積層膜108,109が
トラック幅Twと同じ膜厚しかないので、コイル巻数当
たりのインダクタンスも他のバルクヘッドに比べ小さく
なり、広帯域のヘッドとして優れた特性を持つ。また、
この積層型磁気ヘッドは、他のバルクヘッドと同程度の
共振特性を得るに当たっては、その分コイルの巻数を増
やすことができ、電磁変換特性上有利となる。
成する磁気コアである金属磁性積層膜108,109が
トラック幅Twと同じ膜厚しかないので、コイル巻数当
たりのインダクタンスも他のバルクヘッドに比べ小さく
なり、広帯域のヘッドとして優れた特性を持つ。また、
この積層型磁気ヘッドは、他のバルクヘッドと同程度の
共振特性を得るに当たっては、その分コイルの巻数を増
やすことができ、電磁変換特性上有利となる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の積層
型磁気ヘッドにおいては、ヘッドチップ全体の厚みは金
属磁性積層膜108,109の厚みに非磁性基板10
4,105及び106,107の厚みが加わるため、漏
れ磁束が増大し、ヘッドインダクタンス以外の余分なイ
ンダクタンスが加算され、上述の利点が損なわれるとい
う問題がある。
型磁気ヘッドにおいては、ヘッドチップ全体の厚みは金
属磁性積層膜108,109の厚みに非磁性基板10
4,105及び106,107の厚みが加わるため、漏
れ磁束が増大し、ヘッドインダクタンス以外の余分なイ
ンダクタンスが加算され、上述の利点が損なわれるとい
う問題がある。
【0012】特に、巻線窓110が形成される部分は、
コイルの面積が大きくなり、当該コイルと金属磁性積層
膜108,109間で漏れ磁束が生ずる。この結果、金
属磁性積層膜108,109に流れる磁束は、コイルと
金属磁性積層膜108,109間で流れる漏洩磁束と並
列状態になり、見かけ上のインダクタンスが増大し、共
振特性も悪化する。さらに、ギャップの磁気抵抗も減少
し、ヘッド効率も悪化する。
コイルの面積が大きくなり、当該コイルと金属磁性積層
膜108,109間で漏れ磁束が生ずる。この結果、金
属磁性積層膜108,109に流れる磁束は、コイルと
金属磁性積層膜108,109間で流れる漏洩磁束と並
列状態になり、見かけ上のインダクタンスが増大し、共
振特性も悪化する。さらに、ギャップの磁気抵抗も減少
し、ヘッド効率も悪化する。
【0013】本発明は、上述の従来の有する課題に鑑み
て提案されたものであって、コイルと金属磁性膜間の漏
れ磁束を抑制し、インダクタンスの低減が図れるヘッド
効率に優れた磁気ヘッドを提供することを目的とする。
て提案されたものであって、コイルと金属磁性膜間の漏
れ磁束を抑制し、インダクタンスの低減が図れるヘッド
効率に優れた磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
金属磁性膜を一対の非磁性基板によりその膜厚方向から
挟み込んでなる一対の磁気コア半体を、金属磁性膜の端
面同士を突き合わせて接合した積層型磁気ヘッドであ
る。そして、この磁気ヘッドにおいては、コイルが巻回
される巻線窓部分のチップ厚を、ヘッドチップ全体の厚
みより薄くすることにより、上述の課題を解決する。
金属磁性膜を一対の非磁性基板によりその膜厚方向から
挟み込んでなる一対の磁気コア半体を、金属磁性膜の端
面同士を突き合わせて接合した積層型磁気ヘッドであ
る。そして、この磁気ヘッドにおいては、コイルが巻回
される巻線窓部分のチップ厚を、ヘッドチップ全体の厚
みより薄くすることにより、上述の課題を解決する。
【0015】コイルが巻回される巻線窓部分のチップ厚
をヘッドチップ全体の厚みよりも薄くするには、巻線窓
部分に溝部を形成する。かかる溝部は、少なくとも巻線
窓部が形成される部分にあればよい。また、溝部は、金
属磁性膜を挟んでその両側に形成される非磁性基板のい
ずれか一方又は両方に形成されていてもよい。いずれに
しても巻線窓部の厚みがヘッドチップ全体の厚みに対し
薄ければよい。
をヘッドチップ全体の厚みよりも薄くするには、巻線窓
部分に溝部を形成する。かかる溝部は、少なくとも巻線
窓部が形成される部分にあればよい。また、溝部は、金
属磁性膜を挟んでその両側に形成される非磁性基板のい
ずれか一方又は両方に形成されていてもよい。いずれに
しても巻線窓部の厚みがヘッドチップ全体の厚みに対し
薄ければよい。
【0016】
【作用】本発明の磁気ヘッドによれば、巻線窓部分のチ
ップ厚をヘッドチップ全体の厚みより薄くする,つまり
巻線窓部の非磁性基板の厚みを極力薄くすると、巻線窓
部に巻回されるコイルの面積が小さくなり、当該コイル
と磁気コア(金属磁性積層膜)間で生ずる漏れ磁束が減
少する。そのため、漏れ磁束による余分なインダクタン
スが低減され、ヘッド全体のインダクタンスも小さくな
り、共振特性がより高周波数帯域にシフトする。この結
果、バルクヘッドと同程度の共振特性を得るにはコイル
の巻数を増やすことができ、電磁変換特性上有利にな
る。さらに、磁気ギャップ部の磁気抵抗も増加し、ヘッ
ド効率もよくなる。
ップ厚をヘッドチップ全体の厚みより薄くする,つまり
巻線窓部の非磁性基板の厚みを極力薄くすると、巻線窓
部に巻回されるコイルの面積が小さくなり、当該コイル
と磁気コア(金属磁性積層膜)間で生ずる漏れ磁束が減
少する。そのため、漏れ磁束による余分なインダクタン
スが低減され、ヘッド全体のインダクタンスも小さくな
り、共振特性がより高周波数帯域にシフトする。この結
果、バルクヘッドと同程度の共振特性を得るにはコイル
の巻数を増やすことができ、電磁変換特性上有利にな
る。さらに、磁気ギャップ部の磁気抵抗も増加し、ヘッ
ド効率もよくなる。
【0017】
【実施例】実施例1 以下、本発明を適用した具体的な実施例について、図面
を参照しながら詳細に説明する。
を参照しながら詳細に説明する。
【0018】本実施例の磁気ヘッドは、図1に示すよう
に、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体1,2を有
し、これら磁気コア半体1,2同士が突き合わされ接合
一体化されることにより、磁気記録媒体摺動面3に磁気
ギャップgを構成する。
に、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体1,2を有
し、これら磁気コア半体1,2同士が突き合わされ接合
一体化されることにより、磁気記録媒体摺動面3に磁気
ギャップgを構成する。
【0019】上記磁気コア半体1,2は、膜厚の薄い金
属磁性膜を非磁性膜を介して何層にも積層してなる金属
磁性積層膜4,5と、この金属磁性積層膜4,5を膜厚
方向から挟み込む一対の非磁性基板6,7及び8,9と
から構成されている。
属磁性膜を非磁性膜を介して何層にも積層してなる金属
磁性積層膜4,5と、この金属磁性積層膜4,5を膜厚
方向から挟み込む一対の非磁性基板6,7及び8,9と
から構成されている。
【0020】そして、これら磁気コア半体1,2の突き
合わせ面1aにおいては、金属磁性積層膜4,5の端面
同士が突き合わされることによって、記録用又は再生用
或いはその両方のギャップとして動作する磁気ギャップ
gが形成されている。上記磁気ギャップgのトラック幅
Twは、非磁性基板6,7及び8,9がセラミックス等
の非磁性材料からなることから、上記金属磁性積層膜
4,5の膜厚によって規制されている。つまり、金属磁
性積層膜4,5の膜厚が磁気ギャップgのトラック幅T
wとなる。
合わせ面1aにおいては、金属磁性積層膜4,5の端面
同士が突き合わされることによって、記録用又は再生用
或いはその両方のギャップとして動作する磁気ギャップ
gが形成されている。上記磁気ギャップgのトラック幅
Twは、非磁性基板6,7及び8,9がセラミックス等
の非磁性材料からなることから、上記金属磁性積層膜
4,5の膜厚によって規制されている。つまり、金属磁
性積層膜4,5の膜厚が磁気ギャップgのトラック幅T
wとなる。
【0021】また、上記磁気コア半体1,2の突き合わ
せ面1aには、当磁気ギャップgのデプスを規制すると
共に、コイルを巻回させるための巻線窓10が形成され
ている。かかる巻線窓10は、一方の磁気コア半体2の
突き合わせ面の途中に、平面略矩形状をなす貫通孔とし
てコア厚方向に形成されている。
せ面1aには、当磁気ギャップgのデプスを規制すると
共に、コイルを巻回させるための巻線窓10が形成され
ている。かかる巻線窓10は、一方の磁気コア半体2の
突き合わせ面の途中に、平面略矩形状をなす貫通孔とし
てコア厚方向に形成されている。
【0022】より具体的には、巻線窓10は、磁気ギャ
ップgのデプスを規制する傾斜面10aと、磁気コア半
体1,2同士の突き合わせ面1aと平行なコイル巻回面
10bと、上記突き合わせ面1aと垂直なコイル巻回位
置規制面10cとを有している。
ップgのデプスを規制する傾斜面10aと、磁気コア半
体1,2同士の突き合わせ面1aと平行なコイル巻回面
10bと、上記突き合わせ面1aと垂直なコイル巻回位
置規制面10cとを有している。
【0023】上記金属磁性積層膜4,5に用いられる金
属磁性材料には、各種強磁性材料の他に、例えば高飽和
磁束密度を有し、且つ軟磁気特性に優れた強磁性合金材
料が使用されるが、かかる強磁性合金材料としては従来
より公知の物がいずれも使用でき、結晶質、非晶質であ
るかを問わない。
属磁性材料には、各種強磁性材料の他に、例えば高飽和
磁束密度を有し、且つ軟磁気特性に優れた強磁性合金材
料が使用されるが、かかる強磁性合金材料としては従来
より公知の物がいずれも使用でき、結晶質、非晶質であ
るかを問わない。
【0024】例示するならば、FeAlSi系合金、F
eSiCo系合金、FeNi系合金、FeAlGe系合
金、FeGaGe系合金、FeSiGa系合金、FeS
iGaRu系合金、FeCoSiAl系合金等が挙げら
れる。さらには、耐蝕性や耐摩耗性の一層の向上を図る
ために、Ti、Cr、Mn、Zr、Nb、Ta、W、R
u、Os、Rh、Ir、Re、Ni、Pd、Pt、H
f、V等の少なくとも一種を添加したものであってもよ
い。
eSiCo系合金、FeNi系合金、FeAlGe系合
金、FeGaGe系合金、FeSiGa系合金、FeS
iGaRu系合金、FeCoSiAl系合金等が挙げら
れる。さらには、耐蝕性や耐摩耗性の一層の向上を図る
ために、Ti、Cr、Mn、Zr、Nb、Ta、W、R
u、Os、Rh、Ir、Re、Ni、Pd、Pt、H
f、V等の少なくとも一種を添加したものであってもよ
い。
【0025】また、強磁性非晶質合金、いわゆるアモル
ファス合金(例えば、Fe、Ni、Coの一つ以上の元
素とP、C、B、Siの一つ以上の元素とからなる合
金、またはこれらを主成分としてAl、Ge、Be、S
n、In、Mo、W、Ti、Mn、Cr、Zr、Hf、
Nb等を含んだ合金等のメタル−メタロイド系アモルフ
ァス合金、或いはCo、Hf、Zr等の遷移元素や希土
類元素等を主成分とするメタル−メタル系アモルファス
合金)等が挙げられる。
ファス合金(例えば、Fe、Ni、Coの一つ以上の元
素とP、C、B、Siの一つ以上の元素とからなる合
金、またはこれらを主成分としてAl、Ge、Be、S
n、In、Mo、W、Ti、Mn、Cr、Zr、Hf、
Nb等を含んだ合金等のメタル−メタロイド系アモルフ
ァス合金、或いはCo、Hf、Zr等の遷移元素や希土
類元素等を主成分とするメタル−メタル系アモルファス
合金)等が挙げられる。
【0026】これら金属磁性材料のの成膜方法として
は、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティ
ング法、イオンビーム法等に代表される真空薄膜形成技
術が採用される。金属磁性積層膜4,5を形成するに
は、この真空薄膜形成技術を用いて、先ず膜厚の薄い金
属磁性膜を成膜した後、この上に非磁性膜を成膜し、さ
らにこの上に金属磁性膜を成膜する工程を順次繰り返
す。
は、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティ
ング法、イオンビーム法等に代表される真空薄膜形成技
術が採用される。金属磁性積層膜4,5を形成するに
は、この真空薄膜形成技術を用いて、先ず膜厚の薄い金
属磁性膜を成膜した後、この上に非磁性膜を成膜し、さ
らにこの上に金属磁性膜を成膜する工程を順次繰り返
す。
【0027】なお、本実施例では、磁路を構成する磁気
コアとして金属磁性積層膜4,5を用いたが、金属磁性
材料のみからなる単層の膜であってもよい。
コアとして金属磁性積層膜4,5を用いたが、金属磁性
材料のみからなる単層の膜であってもよい。
【0028】上記非磁性基板6,7及び8,9は、磁路
を構成する金属磁性積層膜4,5をその膜厚方向から挟
み込んでこの金属磁性積層膜4,5を補強すると共に、
磁気記録媒体に対する当たりを確保する働きをする。
を構成する金属磁性積層膜4,5をその膜厚方向から挟
み込んでこの金属磁性積層膜4,5を補強すると共に、
磁気記録媒体に対する当たりを確保する働きをする。
【0029】この非磁性基板6,7及び8,9には、加
工性、耐摩耗性、金属磁性材料との熱膨張係数等を考慮
した材料が望ましく、例えばセラミクス系の非磁性材料
が好適である。
工性、耐摩耗性、金属磁性材料との熱膨張係数等を考慮
した材料が望ましく、例えばセラミクス系の非磁性材料
が好適である。
【0030】そして特に、本実施例の磁気ヘッドにおい
ては、巻線窓10が形成される部分のチップ厚T1 がヘ
ッドチップ全体の厚みT2 よりも薄くされている。すな
わち、磁気記録媒体摺動面3から巻線窓10のコイル巻
回位置規制面10cに至る範囲で非磁性基板6,7及び
8,9の厚みが薄くされることにより、巻線窓10が形
成される部分のチップ厚T1 がヘッドチップ全体の厚み
T2 よりも薄くなっている。
ては、巻線窓10が形成される部分のチップ厚T1 がヘ
ッドチップ全体の厚みT2 よりも薄くされている。すな
わち、磁気記録媒体摺動面3から巻線窓10のコイル巻
回位置規制面10cに至る範囲で非磁性基板6,7及び
8,9の厚みが薄くされることにより、巻線窓10が形
成される部分のチップ厚T1 がヘッドチップ全体の厚み
T2 よりも薄くなっている。
【0031】巻線窓10が形成される部分の非磁性基板
6,7及び8,9の厚みを薄くすると、巻線窓10に巻
回されるコイル(図示は省略する。)の面積が小さくな
り、当該コイルと金属磁性積層膜4,5間で生ずる漏れ
磁束が減少する。そのため、漏れ磁束による余分なイン
ダクタンスが低減され、ヘッド全体のインダクタンスも
小さくなって、共振特性をより高周波数帯域にシフトす
ることができる。したがって、バルクヘッドと同程度の
共振特性を得るにはコイルの巻数を増やすことができ、
電磁変換特性上有利になる。さらには、磁気ギャップ部
の磁気抵抗も増加し、ヘッド効率もよくなる。
6,7及び8,9の厚みを薄くすると、巻線窓10に巻
回されるコイル(図示は省略する。)の面積が小さくな
り、当該コイルと金属磁性積層膜4,5間で生ずる漏れ
磁束が減少する。そのため、漏れ磁束による余分なイン
ダクタンスが低減され、ヘッド全体のインダクタンスも
小さくなって、共振特性をより高周波数帯域にシフトす
ることができる。したがって、バルクヘッドと同程度の
共振特性を得るにはコイルの巻数を増やすことができ、
電磁変換特性上有利になる。さらには、磁気ギャップ部
の磁気抵抗も増加し、ヘッド効率もよくなる。
【0032】上記巻線窓10が形成される部分のチップ
厚T1 は、上記の理由から極力薄い方がよいが、磁気記
録媒体との当たり特性から自ずとその下限が決められ
る。また、上記の例では、巻線窓10が形成されていな
い磁気コア半体1の厚みをも薄くしているが、巻線窓1
0が形成される磁気コア半体2のみを薄くしても同様の
効果がある。または、巻線窓10が形成される磁気コア
半体2の一方の非磁性基板8又は9の厚みを薄くするこ
とによっても同様の効果が得られる。要は、巻線窓10
が形成される部分のチップ厚T1 が薄ければよい。
厚T1 は、上記の理由から極力薄い方がよいが、磁気記
録媒体との当たり特性から自ずとその下限が決められ
る。また、上記の例では、巻線窓10が形成されていな
い磁気コア半体1の厚みをも薄くしているが、巻線窓1
0が形成される磁気コア半体2のみを薄くしても同様の
効果がある。または、巻線窓10が形成される磁気コア
半体2の一方の非磁性基板8又は9の厚みを薄くするこ
とによっても同様の効果が得られる。要は、巻線窓10
が形成される部分のチップ厚T1 が薄ければよい。
【0033】次に、上述の磁気ヘッドの製造方法につい
て説明する。先ず、図2に示すように、短冊状の非磁性
基板11の一主面に、金属磁性材料と非磁性材料を交互
にスパッタリングする。その結果、非磁性基板11の一
主面に積層膜構造とされた金属磁性積層膜12が形成さ
れてなる複合基板13が作製される。
て説明する。先ず、図2に示すように、短冊状の非磁性
基板11の一主面に、金属磁性材料と非磁性材料を交互
にスパッタリングする。その結果、非磁性基板11の一
主面に積層膜構造とされた金属磁性積層膜12が形成さ
れてなる複合基板13が作製される。
【0034】次に、上記複合基板13を複数作製し、こ
れを図3に示すように、金属磁性積層膜12を非磁性基
板11で挟み込むようにして重ね合わせる。そして、こ
れら複合基板13を接合一体化して、ブロック状の磁気
コア基板14を作製する。
れを図3に示すように、金属磁性積層膜12を非磁性基
板11で挟み込むようにして重ね合わせる。そして、こ
れら複合基板13を接合一体化して、ブロック状の磁気
コア基板14を作製する。
【0035】次に、上記磁気コア基板14を、複合基板
13の突き合わせ方向に、図4中線A−A´、線B−B
´、線C−C´に沿ってブロック切断する。その結果、
図5に示すように、互いに対称な一対の磁気コア半体ブ
ロック15,16が作製される。
13の突き合わせ方向に、図4中線A−A´、線B−B
´、線C−C´に沿ってブロック切断する。その結果、
図5に示すように、互いに対称な一対の磁気コア半体ブ
ロック15,16が作製される。
【0036】次いで、これら磁気コア半体ブロック1
5,16の少なくとも一方に、その長手方向に沿って巻
線窓となる巻線溝17を形成した後、その溝形成面を平
滑研磨する。そして、上記研磨面にギャップ膜としての
ギャップスペーサをスパッタ等の真空薄膜形成技術によ
り形成し、これら磁気コア半体ブロック15,16をそ
れぞれの金属磁性積層膜12同士が相対向するようにト
ラック位置合わせしながら突き合わせる。
5,16の少なくとも一方に、その長手方向に沿って巻
線窓となる巻線溝17を形成した後、その溝形成面を平
滑研磨する。そして、上記研磨面にギャップ膜としての
ギャップスペーサをスパッタ等の真空薄膜形成技術によ
り形成し、これら磁気コア半体ブロック15,16をそ
れぞれの金属磁性積層膜12同士が相対向するようにト
ラック位置合わせしながら突き合わせる。
【0037】しかる後、これら磁気コア半体ブロック1
5,16を接合一体化する。磁気コア半体ブロック1
5,16同士を接合するには、従来公知の接合方法が使
用可能である。例示するならば、Au等の如き貴金属層
同士の熱拡散による低温熱拡散接合や、ガラスを用いた
ガラス融着等による接合方法等が挙げられる。
5,16を接合一体化する。磁気コア半体ブロック1
5,16同士を接合するには、従来公知の接合方法が使
用可能である。例示するならば、Au等の如き貴金属層
同士の熱拡散による低温熱拡散接合や、ガラスを用いた
ガラス融着等による接合方法等が挙げられる。
【0038】これら磁気コア半体ブロック15,16同
士が接合一体化されることにより、ギャップスペーサを
介して相対向した金属磁性積層膜12,12間には、図
7に示すように作動ギャップとして動作する磁気ギャッ
プgが形成される。
士が接合一体化されることにより、ギャップスペーサを
介して相対向した金属磁性積層膜12,12間には、図
7に示すように作動ギャップとして動作する磁気ギャッ
プgが形成される。
【0039】次に、接合一体化された磁気コアブロック
に対し、所定のギャップ深さ(デプス長)まで曲面研磨
を施して磁気記録媒体摺動面18を形成する。そして、
こうして得られた磁気コアブロックに、図7に示すよう
に磁気記録媒体に対する当たり幅を規制するための面取
り溝19を形成する。
に対し、所定のギャップ深さ(デプス長)まで曲面研磨
を施して磁気記録媒体摺動面18を形成する。そして、
こうして得られた磁気コアブロックに、図7に示すよう
に磁気記録媒体に対する当たり幅を規制するための面取
り溝19を形成する。
【0040】面取り溝19は、各金属磁性積層膜12の
間に、巻線溝17のコイル巻回位置規制面17aに達す
る位置まで形成する。面取り溝19の深さを巻線溝17
のコイル巻回位置規制面17aに達する位置までとする
ことにより、巻線窓部分の非磁性基板11の厚みが薄く
なる。これにより、巻線窓17部に巻回されるコイルの
コイル面積が非磁性基板11の厚みを薄くしなかった磁
気ヘッドに比べておよそ1/3になり、巻線窓17部に
おけるコイルと金属磁性積層膜12間に生ずる漏れ磁束
を低減することができる。
間に、巻線溝17のコイル巻回位置規制面17aに達す
る位置まで形成する。面取り溝19の深さを巻線溝17
のコイル巻回位置規制面17aに達する位置までとする
ことにより、巻線窓部分の非磁性基板11の厚みが薄く
なる。これにより、巻線窓17部に巻回されるコイルの
コイル面積が非磁性基板11の厚みを薄くしなかった磁
気ヘッドに比べておよそ1/3になり、巻線窓17部に
おけるコイルと金属磁性積層膜12間に生ずる漏れ磁束
を低減することができる。
【0041】そして最後に、上記各面取り溝19の略中
央位置において、所定のヘッドチップ厚となるように、
図7中線D−D´、E−E´に沿ってチップ切断する。
その結果、図1に示す如き磁気ヘッドが完成する。
央位置において、所定のヘッドチップ厚となるように、
図7中線D−D´、E−E´に沿ってチップ切断する。
その結果、図1に示す如き磁気ヘッドが完成する。
【0042】以上のように作製された磁気ヘッドのイン
ダクタンス及びQ値の周波数応答を図8に示す。この結
果より、巻線窓部分の厚みを媒体当たり幅程度にした本
実施例の磁気ヘッドでは、インダクタンスが従来ヘッド
と比較して1割程度低減され、周波数応答及びQ値には
ほとんど変化が見られない。したがって、従来のバルク
型磁気ヘッドと同等の共振特性を得るには、コイルの巻
数を増やすことができ、電磁変換特性上有利になること
がわかる。
ダクタンス及びQ値の周波数応答を図8に示す。この結
果より、巻線窓部分の厚みを媒体当たり幅程度にした本
実施例の磁気ヘッドでは、インダクタンスが従来ヘッド
と比較して1割程度低減され、周波数応答及びQ値には
ほとんど変化が見られない。したがって、従来のバルク
型磁気ヘッドと同等の共振特性を得るには、コイルの巻
数を増やすことができ、電磁変換特性上有利になること
がわかる。
【0043】実施例2 本実施例の磁気ヘッドは、図9に示すように、ヘッドチ
ップ全体の厚みT2 に対して巻線窓10が形成される部
分のチップ厚T1 のみを薄くしたものである。すなわ
ち、巻線窓10が形成される部分に非磁性基板6,7及
び8,9の厚みを薄くするような断面略コ字状のストレ
ート溝20,21を磁気ギャップgに対して垂直に形成
することにより、当該巻線窓10部分のチップ厚T1 の
みを薄くしたものである。
ップ全体の厚みT2 に対して巻線窓10が形成される部
分のチップ厚T1 のみを薄くしたものである。すなわ
ち、巻線窓10が形成される部分に非磁性基板6,7及
び8,9の厚みを薄くするような断面略コ字状のストレ
ート溝20,21を磁気ギャップgに対して垂直に形成
することにより、当該巻線窓10部分のチップ厚T1 の
みを薄くしたものである。
【0044】なお、実施例1の磁気ヘッドと同一の部材
には同一の符号を付するものとし、その説明は省略す
る。
には同一の符号を付するものとし、その説明は省略す
る。
【0045】この構成によれば、磁気記録媒体摺動面3
の媒体当たり幅を変更することなく、チップ強度が維持
できる限界の厚さまで巻線窓10が形成される部分の厚
みT 1 を薄くすることができ、より一層の効果を得るこ
とができる。
の媒体当たり幅を変更することなく、チップ強度が維持
できる限界の厚さまで巻線窓10が形成される部分の厚
みT 1 を薄くすることができ、より一層の効果を得るこ
とができる。
【0046】次に、上記構成の磁気ヘッドの製造方法に
ついて説明するが、実施例1の磁気ヘッドと共通する部
分には同一の符号を付すると共にその説明を省略し、異
なる点のみ説明する。
ついて説明するが、実施例1の磁気ヘッドと共通する部
分には同一の符号を付すると共にその説明を省略し、異
なる点のみ説明する。
【0047】金属磁性積層膜12が形成されてなる複合
基板13の巻線溝が形成される部分に対応する位置に、
図10に示すような断面略コ字状をなす溝22を非磁性
基板11に形成する。上記溝22は、基板強度が許す限
り深く、また、溝側部22aは後工程で形成される巻線
窓のコイル巻回位置規制面10cと同位置となるよう形
成する。
基板13の巻線溝が形成される部分に対応する位置に、
図10に示すような断面略コ字状をなす溝22を非磁性
基板11に形成する。上記溝22は、基板強度が許す限
り深く、また、溝側部22aは後工程で形成される巻線
窓のコイル巻回位置規制面10cと同位置となるよう形
成する。
【0048】次に、上記溝22が形成された複合基板1
3と、上記溝22と相対向する位置に同一形状の溝23
を有した金属磁性積層膜が成膜されていない短冊状の非
磁性基板24とを交互に積層し、これらを接合一体化し
て磁気コア基板25を作製する。以下、実施例1と同様
に作製工程を進めることで、図9に示す磁気ヘッドが完
成する。
3と、上記溝22と相対向する位置に同一形状の溝23
を有した金属磁性積層膜が成膜されていない短冊状の非
磁性基板24とを交互に積層し、これらを接合一体化し
て磁気コア基板25を作製する。以下、実施例1と同様
に作製工程を進めることで、図9に示す磁気ヘッドが完
成する。
【0049】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の磁気ヘッドにおいては、巻線窓部のチップ厚をヘッ
ドチップ全体の厚みよりも薄くしているので、巻線窓部
における金属磁性膜とコイル間での漏れ磁束を大幅に減
少させることができ、インダクタンスの低減を達成でき
る。したがって、漏洩磁束が減少した分、コイルの巻数
を増やすことができ、それによって電磁変換特性並びに
ヘッド効率の向上が図れ、高周波数帯域での良好な記録
再生が実現される。
明の磁気ヘッドにおいては、巻線窓部のチップ厚をヘッ
ドチップ全体の厚みよりも薄くしているので、巻線窓部
における金属磁性膜とコイル間での漏れ磁束を大幅に減
少させることができ、インダクタンスの低減を達成でき
る。したがって、漏洩磁束が減少した分、コイルの巻数
を増やすことができ、それによって電磁変換特性並びに
ヘッド効率の向上が図れ、高周波数帯域での良好な記録
再生が実現される。
【図1】実施例1の磁気ヘッドの構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図2】実施例1の磁気ヘッドの製造方法を順次示すも
ので、非磁性基板に金属磁性積層膜を形成する工程を示
す斜視図である。
ので、非磁性基板に金属磁性積層膜を形成する工程を示
す斜視図である。
【図3】実施例1の磁気ヘッドの製造方法を順次示すも
ので、複合基板を接合する工程を示す斜視図である。
ので、複合基板を接合する工程を示す斜視図である。
【図4】実施例1の磁気ヘッドの製造方法を順次示すも
ので、磁気コア基板から磁気コア半体ブロックを切り出
す工程を示す斜視図である。
ので、磁気コア基板から磁気コア半体ブロックを切り出
す工程を示す斜視図である。
【図5】実施例1の磁気ヘッドの製造方法を順次示すも
ので、作製された一対の磁気コア半体ブロックを示す斜
視図である。
ので、作製された一対の磁気コア半体ブロックを示す斜
視図である。
【図6】実施例1の磁気ヘッドの製造方法を順次示すも
ので、一方の磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成する
工程を示す斜視図である。
ので、一方の磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成する
工程を示す斜視図である。
【図7】実施例1の磁気ヘッドの製造方法を順次示すも
ので、磁気コアブロックの媒体摺動部分に面取り溝を形
成する工程を示す斜視図である。
ので、磁気コアブロックの媒体摺動部分に面取り溝を形
成する工程を示す斜視図である。
【図8】実施例1において作製された磁気ヘッドのイン
ダクタンス及びQ値の周波数特性を測定した結果を示す
特性図である。
ダクタンス及びQ値の周波数特性を測定した結果を示す
特性図である。
【図9】実施例2の磁気ヘッドの構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図10】実施例2の磁気ヘッドの製造方法を順次示す
もので、複合基板に溝を形成する工程を示す斜視図であ
る。
もので、複合基板に溝を形成する工程を示す斜視図であ
る。
【図11】実施例2の磁気ヘッドの製造方法を順次示す
もので、複合基板と金属磁性積層膜が形成されていない
非磁性基板を交互に積層して磁気コア基板を形成する工
程を示す斜視図である。
もので、複合基板と金属磁性積層膜が形成されていない
非磁性基板を交互に積層して磁気コア基板を形成する工
程を示す斜視図である。
【図12】従来の積層型磁気ヘッドの斜視図である。
1,2 磁気コア半体 3 磁気記録媒体摺動面 4,5 金属磁性積層膜 6,7,8,9 非磁性基板 10 巻線窓 20,21 溝
Claims (3)
- 【請求項1】 一対の非磁性基板により金属磁性膜を挟
み込んでなる磁気コア半体同士が前記金属磁性膜の端面
同士を対向させて突き合わされ、これら金属磁性膜の突
き合わせ面間に磁気ギャップが形成されてなる磁気ヘッ
ドにおいて、 少なくともコイルが巻回される巻線窓部分のチップ厚
が、ヘッドチップ全体の厚みより薄くされていることを
特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項2】 巻線窓部分に溝部が形成されることによ
り、当該巻線窓部分のチップ厚が、ヘッドチップ全体の
厚みよりも薄くされていることを特徴とする請求項1記
載の磁気ヘッド。 - 【請求項3】 溝部は、金属磁性膜を挟んでその両側に
設けられる非磁性基板のいずれか一方に形成されている
ことを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP237994A JPH07210810A (ja) | 1994-01-14 | 1994-01-14 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP237994A JPH07210810A (ja) | 1994-01-14 | 1994-01-14 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07210810A true JPH07210810A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11527612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP237994A Withdrawn JPH07210810A (ja) | 1994-01-14 | 1994-01-14 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07210810A (ja) |
-
1994
- 1994-01-14 JP JP237994A patent/JPH07210810A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07210810A (ja) | 磁気ヘッド | |
JP3524421B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
JP2933638B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH1091912A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH09180115A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH06215315A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH09231512A (ja) | 磁気ヘッドの製法 | |
JPH11213318A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH06338020A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH07220215A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH05114111A (ja) | 磁気ヘツド | |
JPH0765316A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH01185811A (ja) | 磁気ヘッド | |
JP2000123314A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JPH07326015A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH05242422A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH05166124A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH11149613A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH07192216A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JPH0887713A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH09223302A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JP2000011314A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JPH07220221A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH05234029A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2000182208A (ja) | 磁気ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010403 |