JPH10124811A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number
JPH10124811A
JPH10124811A JP27014796A JP27014796A JPH10124811A JP H10124811 A JPH10124811 A JP H10124811A JP 27014796 A JP27014796 A JP 27014796A JP 27014796 A JP27014796 A JP 27014796A JP H10124811 A JPH10124811 A JP H10124811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
block
magnetic core
forming
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27014796A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Sakata
勝美 坂田
Takashi Hirata
昂士 平田
Hiroshi Domon
大志 土門
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP27014796A priority Critical patent/JPH10124811A/ja
Publication of JPH10124811A publication Critical patent/JPH10124811A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容易に曲率研磨を行う際のマーカー部を形成
することができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 非磁性基板11の表面に金属磁性層12
を形成してなるコア基板13を複数枚重ね合わせ、接合
一体化してコア基板ブロック14を形成する工程と、コ
ア基板ブロック14を切断して、一対の磁気コア半体ブ
ロック15,16を形成する工程と、磁気コア半体ブロ
ック15,16に巻線溝6を形成し、磁気コア半体ブロ
ック16の磁気記録媒体との摺動面となる側に、磁気コ
ア半体ブロック16の長手方向に沿って溝21を形成す
る工程とを有して磁気ヘッド10を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばVTR(ビ
デオテープレコーダ)、デジタルデータレコーダ等の高
密度記録可能な磁気記録再生装置に搭載して有用な磁気
ヘッドに係わる。
【0002】
【従来の技術】例えばVTR(ビデオテープレコーダ)
などの磁気記録再生装置においては、高画質化などを目
的として情報信号の短波長記録化が進められており、こ
れに対応して磁性粉に強磁性粉末を用いたいわゆるメタ
ルテープや、ベースフィルム上に強磁性金属材料を直接
被着した蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用さ
れるようになってきている。
【0003】一方、これに対処するために磁気ヘッドの
分野においても研究が進められ、高抗磁力磁気記録媒体
を実現するために、コア材料に金属磁性材料を用いると
ともに、狭トラック化を図った磁気ヘッドが開発されて
いる。
【0004】このような磁気ヘッドとしては、非磁性材
料からなる基板により、高透磁率かつ高飽和磁束密度を
有する金属磁性層を挟み込んだ構造の、いわゆる積層型
(ラミネートタイプ)の磁気ヘッドが知られている。
【0005】図25にこの積層型の磁気ヘッドの例の斜
視図を示す。この磁気ヘッド60を構成する磁気コア
は、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体51及び52
が突き合わされて接合一体化され、磁気記録媒体との摺
動面53に臨んでコア半体51及び52の前方の突き合
わせ面間に磁気ギャップgを構成している。磁気コア半
体51及び52は、金属磁性層55がその両側を2つの
非磁性ガード材54によってそれぞれ挟み込まれてな
る。
【0006】そして、磁気コア半体51及び52同士の
突き合わせ端面においては、その金属磁性層55の端部
が突き合わされることによりその突き合わせ端面間に磁
気ギャップgが構成されている。従って、この磁気ギャ
ップgのトラック幅は、ガード材54が非磁性体である
ため、金属磁性層55の膜厚によって規制される。
【0007】また、磁気コア半体51及び52の突き合
わせ面には、磁気ギャップgのデプスDpを規制すると
ともにコイルを巻回させるための巻線溝56が形成さ
れ、巻線溝56の摺動面53側には補強ガラス57が充
填されている。
【0008】この磁気ヘッドにおいては、金属磁性層5
5の膜厚が磁気ギャップgのトラック幅となるものであ
るため、金属磁性層55の膜厚を制御することで簡単に
狭トラック化が図れること、また構造的に疑似ギャップ
が発生しないことの利点があり、さらにこの金属磁性層
55を、複数の金属磁性薄膜とSiO2 、Al2 3
Si3 4 等の酸化物や窒化物のような電気絶縁膜とが
交互に積層された積層膜構造とすることで渦電流損失を
回避でき高周波帯域での高出力化が望めること等、様々
な利点を有するものである。
【0009】この磁気ヘッド60の製造は、例えば次の
ようにして行う。図13に示すような両主面が鏡面加工
された、非磁性ガード材からなる短冊状の非磁性基板6
1を用意する。
【0010】次に、図14に斜視図を示すように、この
非磁性基板61の一方の主面上にスパッタ法等の真空薄
膜形成法により、金属磁性層62を積層形成した、短冊
状のコア基板63を構成する。
【0011】この場合の金属磁性層62としては、例え
ば次のような材料を用いる。 (1)Fe−Al−Si,Fe−Ni−Al−Si,F
e−Ga−Si,Fe−Al−Ge等、及びそれらに8
原子%以下のCo,Ti,Cr,Nb,Mo,Ta,R
u,Au,Pd,N,C,O等を1種または数種添加し
た結晶質材料。 (2)Coに主としてZr,Ta,Ti,Hf,Mo,
Nb,Au,Pd,Ru等を1種または数種添加して構
成したアモルファス材料。 (3)Co,Feに主としてNi,Zr,Ta,Ti,
Hf,Mo,Nb,Si,Al,B,Ga,Ge,C
u,Sn,Ru,B等の1種または数種と、N,C,O
の1種または数種を添加して構成した微結晶材料。
【0012】尚、非磁性基板61に成膜する金属磁性層
62は、高周波帯域での渦電流損失を回避させるために
複数の金属磁性薄膜をSiO2 、Al2 3 、Si3
4 等の酸化物や窒化物のような電気絶縁膜と交互に積層
したいわゆる積層膜としてもよい。
【0013】次に、図15に示すように、複数のコア基
板63を重ね合わせて、これらを加圧固定し接合一体化
してコア基板ブロック64を構成する。
【0014】次に、このコア基板ブロック64を、図1
5中のP−P′,Q−Q′,R−R′で示す面に沿って
切断し、図16に示すように互いに略対称な一対の磁気
コア半体ブロック65及び66を作製する。
【0015】続いて、図17に示すように、一方の磁気
コア半体ブロック65の端部を図中S−S′及びT−
T′で示す面により切断して、図18に示すように他方
の磁気コア半体ブロック66より短くする。
【0016】次に、図19に示すように、この磁気コア
半体ブロック65及び66の対向面に、その長手方向に
沿って伸びる巻線溝56を略コ字状の断面形状となるよ
うに形成する。尚、図19以降は磁気コア半体ブロック
65,66の一部を省略して示す。この後、磁気コア半
体ブロック65,66の巻線溝56が形成された側の面
を鏡面研磨し、図示しないがギャップ材兼接合材となる
非磁性材を鏡面加工面にスパッタ法等の真空薄膜形成法
により成膜する。ここでの非磁性材としては、融着ガラ
ス膜、あるいは金,銀,白金,パラジウム等の貴金属膜
から選択することができる。
【0017】そして、図20に示すように、磁気コア半
体ブロック65,66を、それぞれの金属磁性層62同
士が相対向するように突き合わせて熱処理を行い接合一
体化させる。
【0018】尚、このときの熱処理工程において、図2
1に示すように、巻線溝56内にガラス棒68を挿入配
置し、磁気記録媒体との摺動面側を下になるように配置
して熱処理しこのガラス棒68を溶融させて、巻線溝5
6内の上部に充填させ補強ガラス57とする(図22参
照)。この補強ガラス57は、磁気コア半体ブロック6
5,66の接合補強及び磁気記録媒体との摺動により磁
気ヘッドが摩耗した際の強度低下を防止する役割を有す
る。この結果、各磁気コア半体ブロック65,66にそ
れぞれ形成された金属磁性層62の突き合わせ端面間
に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギャップgが
形成された磁気コアブロック67が形成される。
【0019】そして、図22に示すように、磁気コアブ
ロック67の外面にそれぞれ所要曲率をもった磁気記録
媒体との摺動面53を形成する。この際の研磨は、磁気
ギャップのデプスDpの値をある一定の値とするため
に、デプスDpの寸法をチェックしながら行う。即ち、
接合一体化された磁気コア半体ブロック65,66の内
の長い方の磁気コア半体ブロック66の端部の摺動面5
3側の部分が曲率を有する摺動面を加工する際のマーカ
ー部(デプスDpを測定する部分)Mとなる。さらに、
磁気コアブロック67の外面の巻線を回装する部分に巻
線ガイド溝58を形成する。
【0020】次に、図23に示すように、磁気記録媒体
との接触状態を良好なものとするために、摺動面53に
磁気記録媒体への当たり幅規制溝59を形成する。
【0021】その後、図24に示すように、点線で示す
V−V′,W−W′,X−X′,Y−Y′,Z−Z′の
各線に沿う面において磁気コアブロック67を切断し
て、図25に示すような非磁性ガード材54で金属磁性
層55を挟み込んだ磁気コア半体51及び52が突き合
わされ、突き合わせ端面間に磁気ギャップgが形成され
た構造の磁気ヘッド60が形成される。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気ヘ
ッドの製造方法においては、曲率を有する摺動面を形成
する研磨を行う際のマーカー部を形成するために、図1
7に示したコア基板ブロック64から切り出した磁気コ
ア半体ブロック65,66の一方の磁気コア半体ブロッ
ク65の端部を切断し短くするための加工を必要として
いた。この加工は、一方の磁気コア半体ブロック65だ
けをワックス等により固定台に貼り付けて、両端部を切
断し、また固定台からワックスを加温溶解させて磁気半
体コアブロック65を取り外し洗浄するという多くの行
程を必要としていた。
【0023】上述した従来の製造方法の欠点を解消する
ために、本発明においては、容易に曲率研磨を行う際の
マーカー部を形成することができる磁気ヘッドの製造方
法を提供するものである。
【0024】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、一対の磁気コア半体ブロックを形成し、磁気
コア半体ブロックに巻線溝を形成し、磁気コア半体ブロ
ックの磁気記録媒体との摺動面となる側に、この磁気コ
ア半体ブロックの長手方向に沿って溝を形成するように
した工程を有するものである。
【0025】上述の本発明によれば、磁気コア半体ブロ
ックの磁気記録媒体との摺動面となる側に形成した溝に
より、摺動面を形成するための曲面研磨を行う際に、こ
の溝をマーカーとして、所定の磁気ギャップのデプスと
するように研磨を行うことができる。従って、従来製法
のように、一方の磁気コア半体ブロックの端部を切断す
る工程を必要としない。
【0026】
【発明の実施の形態】本発明は、非磁性基板の表面に金
属磁性層を形成してなるコア基板を複数枚重ね合わせ、
接合一体化してコア基板ブロックを形成する工程と、コ
ア基板ブロックを切断して、一対の磁気コア半体ブロッ
クを形成する工程と、磁気コア半体ブロックに巻線溝を
形成し、磁気コア半体ブロックの磁気記録媒体との摺動
面となる側に、磁気コア半体ブロックの長手方向に沿っ
て溝を形成する工程とを有する磁気ヘッドの製造方法で
ある。
【0027】本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法にお
いて、摺動面となる側に形成する溝が深さ方向に向かっ
て角度を有しているものである。
【0028】以下、図面を参照して本発明の磁気ヘッド
の製造方法の実施例を説明する。図1〜図12は、本発
明の磁気ヘッドの製造方法の一例を示すもので、両磁気
コア半体にそれぞれ巻線溝を有する積層型の磁気ヘッド
に適用したものである。
【0029】まず、図12を用いて本実施例で得られる
磁気ヘッドについて説明する。この磁気ヘッド10は、
閉磁路を構成する一対の磁気コア半体1及び2を突き合
わして接合一体化し、磁気記録媒体との摺動面3に臨む
磁気ギャップgを形成して構成される。磁気コア半体1
及び2は、例えばチタン酸カリウムやチタン酸カルシウ
ム(NiOを添加する場合もある)等からなる非磁性ガ
ード材4と、金属磁性層5とを有し、この金属磁性層5
は非磁性基板としての非磁性ガード材4によって挟み込
まれている。
【0030】この金属磁性層5は、前述の例と同様に、
例えば次のような材料により構成する。 (1)Fe−Al−Si,Fe−Ni−Al−Si,F
e−Ga−Si,Fe−Al−Ge等、及びそれらに8
原子%以下のCo,Ti,Cr,Nb,Mo,Ta,R
u,Au,Pd,N,C,O等を1種または数種添加し
た結晶質材料。 (2)Coに主としてZr,Ta,Ti,Hf,Mo,
Nb,Au,Pd,Ru等を1種または数種添加して構
成したアモルファス材料。 (3)Co,Feに主としてNi,Zr,Ta,Ti,
Hf,Mo,Nb,Si,Al,B,Ga,Ge,C
u,Sn,Ru,B等の1種または数種と、N,C,O
の1種または数種を添加して構成した微結晶材料。
【0031】尚、この金属磁性層5は、図12Bに磁気
記録媒体との摺動面の平面図を示すように、高周波帯域
での渦電流発生を回避させるために、金属磁性層5とS
iO2 ,Al2 3 ,Si3 4 等の酸化物や窒化物な
どの電気的絶縁膜5′とを交互に積層させたいわゆる積
層膜としてもよい。
【0032】また、磁気コア半体1及び2の突き合わせ
端面には、磁気ギャップgのデプスDpを規制するとと
もにコイルを巻装するための巻線溝6が断面略コ字状を
なす溝としてコアの厚み方向に貫通して形成されてい
る。そして、巻線溝6上部には補強ガラス7が充填され
ている。
【0033】一方、少なくとも一方の磁気コア半体、本
例では両磁気コア半体1,2の外側面に、上述の巻線溝
6に巻装されるコイルの巻装状態を確保するための例え
ば断面略コ字状の巻線ガイド溝8が設けられている。
【0034】そして、磁気コア半体1及び2の突き合わ
せ端面においては、金属磁性層5の端部同士が突き合わ
されることにより前述の磁気ギャップgが構成されてい
る。磁気ギャップgのトラック幅は、非磁性ガード材4
が非磁性体であることから、金属磁性層5の膜厚によっ
て設定される。
【0035】次に、この磁気ヘッド10の製造方法を説
明する。まず、図1に示すように、両主面が鏡面加工さ
れた、短冊状の非磁性基板11を用意する。
【0036】次に、図2に示すように、この非磁性基板
11の一方の主面上にスパッタ法などの真空薄膜形成法
により、金属磁性層12を形成した、短冊状のコア基板
13を構成する。そして、図示しないが短冊状のコア基
板13の両主面に融着ガラスあるいは金、銀、パラジウ
ム、白金等の貴金属薄膜からなる接合層をスパッタ法な
どにより形成する。この接合層としては、貴金属薄膜を
用いるのが好ましい。
【0037】接合層に融着ガラスを用いる場合には、後
の工程における熱処理により接合層が溶融することがな
いように、高融点のガラスを用いる必要がある。このと
き、次の接合一体化工程において、高融点のガラスを溶
融するために高温で接合一体化させなければならず、金
属磁性膜12の材料をガラスの融点以上の熱処理に耐え
うる材料とする必要があり、金属磁性膜12の材料選択
が限定される。
【0038】接合層に上述の貴金属薄膜を用いることに
より、接合層を高温で溶融させなくともコア基板13を
接合一体化することができ、金属磁性膜12の材料選択
が限定されない。また、このように貴金属薄膜を用いて
接合一体化したことにより、この後の工程における熱処
理によっても溶融することはない。
【0039】その後、図3に示すように、複数枚の短冊
状のコア基板13を整列させ、重ね合わせて加圧固定し
接合一体化してコア基板ブロック14を構成する。
【0040】次に、このコア基板ブロック14を、図3
中のA−A′,B−B′,C−C′で示す面に沿って切
断し、図4に示すように、一対の磁気コア半体ブロック
15,16を得る。
【0041】次に、図5に示すように、磁気コア半体ブ
ロック15及び16の対向面に、その長手方向に沿って
伸びる巻線溝6を略コ字状の断面形状となるように形成
し、さらに一方の磁気コア半体ブロック16の、後に磁
気記録媒体との摺動面が形成される側、即ち図中巻線溝
6の上方に、長手方向に沿って伸び深さ方向に向かって
角度を有したマーカー溝21を形成する。図5の状態を
側面から見た図を図6に示す。図5及び図6に示すよう
に、このマーカー溝21の端点21aと巻線溝6の頂点
6aにより、磁気ギャップのデプスDpが規定される。
このデプスDpの量は、好ましくは15μm〜40μm
程度とする。
【0042】この後、磁気コア半体ブロック15,16
の巻線溝6が形成された側の面を鏡面研磨し、図示しな
いがギャップ材兼接合材となる非磁性材を鏡面加工面に
スパッタ法等の真空薄膜形成法により成膜する。ここで
の非磁性材としては、融着ガラス膜、あるいは金,銀,
パラジウム等の貴金属膜から選択することができる。
【0043】次に、図7に示すように、2つの磁気コア
半体ブロック15,16を接合一体化し、各磁気コア半
体ブロック4及び5にそれぞれ形成された金属磁性層1
2の突き合わせ端面間に、記録再生ギャップとして動作
する磁気ギャップgが形成された磁気コアブロック17
を形成する。このとき、図示しないが巻線溝6内にガラ
ス棒18を挿入配置し、このガラス棒18を溶融させ
て、巻線溝6内の下部に充填させ補強ガラス7とする。
尚、図7以降は磁気コア半体ブロック15,16の一部
を省略して示す。
【0044】そして、磁気コアブロック17の外面にそ
れぞれ所要曲率をもった磁気記録媒体との摺動面3をラ
ッピング等により形成する。このとき、図8に示すよう
に、曲率加工がR1まで進んだときのマーカー溝21の
幅W1が、曲率加工がさらにR2まで進むと、それに従
って小さくなる。即ち、マーカー溝21の幅W1が曲率
を有する摺動面3を形成する研磨を行う際のマーカーと
なる。最終的には、マーカー溝21が消失する(W1=
0)まで加工を行うことにより、図6の時点で規定した
所定のデプスDpを有するように摺動面3を形成するこ
とができる。従って、従来製法において、図17に示し
た、一方の磁気コア半体ブロック65の端部を切断する
工程を必要としない。
【0045】また、図9に示すように、磁気コアブロッ
ク17の外面の巻線を施す部分に巻線ガイド溝8を形成
する。さらに、図10に示すように、摺動面3に磁気記
録媒体への当たり幅規制溝9を形成する。
【0046】その後、図11に示すように、図中点線で
示すF−F′,G−G′,H−H′,I−I′,J−
J′の各線に沿う面において磁気コアブロック17を切
断して、図12Aに示すような非磁性ガード材4で金属
磁性層5を挟み込んだ磁気コア半体1,2が突き合わさ
れ、突き合わせ端面間に磁気ギャップgが形成された目
的の積層型の磁気ヘッド10を得る。
【0047】上述した実施例によれば、前述の図17に
示した磁気コア半体ブロック65の端部の切断工程を省
略することができ、そして、マーカー溝21の加工は、
磁気ヘッドの巻線溝6の加工と同一の工程において行う
ことができるので、従来製法と比較して工程数を削減す
ることができ、積層型磁気ヘッドの製造コストの低減が
図られる。
【0048】各工程における接合方法には、例えば金、
銀、パラジウム、白金等の貴金属層同士の熱拡散による
低温熱拡散接合やガラス融着等を用いることができる。
【0049】本発明の磁気ヘッドは、上述の例に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でそ
の他様々な構成が取り得る。
【0050】
【発明の効果】上述の本発明による磁気ヘッドの製造方
法によれば、所定の曲率を有する摺動面を、所定のデプ
スまでラッピングする際に、デプスを測定できるように
両端の磁気コア半体ブロックの端部を切断する前工程を
設けなくとも、一方の磁気コア半体ブロックの磁気記録
媒体との摺動面となる側に形成した溝を利用してデプス
を規定することができることにより、作業性を向上し、
工程数の削減及び製造コストの低減を図って磁気ヘッド
を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図2】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図3】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図4】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図5】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図6】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図7】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図8】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図9】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
【図10】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工
程を示す工程図である。
【図11】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工
程を示す工程図である。
【図12】A 本発明製法を適用する積層型磁気ヘッド
の一例の斜視図である。 B 図12Aの磁気ヘッドの磁気記録媒体との摺動面の
拡大正面図である。
【図13】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図14】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図15】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図16】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図17】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図18】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図19】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図20】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図21】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図22】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図23】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図24】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
【図25】積層型磁気ヘッドの一例の斜視図である。
【符号の説明】
1,2,51,52 磁気コア半体、3,53 摺動
面、4,54 非磁性ガード材、5,12,55,62
金属磁性層、5′ 電気絶縁膜、6,56 巻線溝、
7,57 補強ガラス、8,58 巻線ガイド溝、9,
59 当たり幅規制溝、10,60 磁気ヘッド、1
1,61 非磁性基板、13,63 コア基板、14,
64 コア基板ブロック、15,16,65,66 磁
気コア半体ブロック、17,67 磁気コアブロック、
18,68 ガラス棒、21 マーカー溝、g 磁気ギ
ャップ、Dp デプス

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性基板の表面に金属磁性層を形成し
    てなるコア基板を複数枚重ね合わせ、接合一体化してコ
    ア基板ブロックを形成する工程と、 上記コア基板ブロックを切断して、一対の磁気コア半体
    ブロックを形成する工程と、 上記磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成し、上記磁気
    コア半体ブロックの磁気記録媒体との摺動面となる側
    に、該磁気コア半体ブロックの長手方向に沿って溝を形
    成する工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製
    造方法。
  2. 【請求項2】 上記摺動面となる側に形成する溝が深さ
    方向に向かって角度を有していることを特徴とする請求
    項1記載の磁気ヘッドの製造方法。
JP27014796A 1996-10-11 1996-10-11 磁気ヘッドの製造方法 Pending JPH10124811A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27014796A JPH10124811A (ja) 1996-10-11 1996-10-11 磁気ヘッドの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27014796A JPH10124811A (ja) 1996-10-11 1996-10-11 磁気ヘッドの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10124811A true JPH10124811A (ja) 1998-05-15

Family

ID=17482205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27014796A Pending JPH10124811A (ja) 1996-10-11 1996-10-11 磁気ヘッドの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10124811A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10124811A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH10124812A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPS60231903A (ja) 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法
JP2933638B2 (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH09231512A (ja) 磁気ヘッドの製法
JP2618860B2 (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPH0354704A (ja) 磁気ヘッドとその製造方法
JPH08129708A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH0981907A (ja) 磁気ヘッド
KR100200855B1 (ko) 자기기록 재생용 자기헤드의 제조방법
JPH11149613A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH09180118A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH09180117A (ja) 磁気ヘッド
JPH09180115A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH04117606A (ja) 磁気ヘッド装置
JP2000123314A (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPH09219008A (ja) 磁気ヘッド装置及びその製造方法
JPH11120505A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH07210810A (ja) 磁気ヘッド
JPS63288407A (ja) 磁気ヘツドの製造方法
JP2004152407A (ja) 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法
JPH08273115A (ja) 磁気ヘッド
JP2000011314A (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPH05234029A (ja) 磁気ヘッドおよびその製造方法
JPH0721512A (ja) 磁気ヘッドの製造方法