JPH11120505A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工の際の不良の発生が少なく、かつ一度に
製造される磁気コア半体の個数を多くすることにより生
産性が高い磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 非磁性コア基板２１に予備溝２２を形成
する工程と、この非磁性コア基板２１を予備溝２２と交
差する方向に切断して複数の非磁性基板３１を形成する
工程と、非磁性基板３１の一方の主面に金属磁性層３２
を形成する工程と、この非磁性基板３１を複数枚重ね合
わせて接合し、接合基板３３を形成する工程と、予備溝
の位置において接合基板３３を切断して、磁気コア半体
ブロック４，５を形成する工程とを有して磁気ヘッド１
７を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＶＴＲ（ビ
デオテープレコーダ）、デジタルデータレコーダ、ＤＡ
Ｔ（デジタルオーディオテープレコーダー）等の磁気記
録再生装置に用いて有用な積層型の磁気ヘッドの製造方
法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気テープ等を磁気記録媒体とし
て用いているＶＴＲあるいはＤＡＴ等の磁気記録及び再
生装置は、磁気記録テープに記録された情報信号の読み
とりを行ったり、あるいは磁気記録テープに記録を行う
ため、磁気記録テープの信号記録面からの情報信号の読
みとり再生及び磁気記録テープの信号記録面への情報信
号の書き込み記録を行う磁気ヘッドを備えている。

【０００３】そして、磁気ヘッドは、磁気コアとこの磁
気コアに巻回されたコイルなどの部材により構成されて
おり、磁気コアには微小間隔である磁気ギャップが形成
されている。コイルは記録または再生のための情報信号
を磁気コアへ磁束として伝達する働きをする。また磁気
コアは、記録時にはコイルから磁気記録媒体へ、再生時
には磁気記録媒体からコイルへ、磁束を伝達するための
通路としての働きをする。磁気ギャップは、磁気記録媒
体に情報信号を記録するために磁界の広がりの範囲を絞
る働きと、再生時には磁気記録媒体からの磁束取り入れ
口としての働きをする。

【０００４】ところで、近年上述の磁気記録媒体として
磁気テープを用いた例えばＶＴＲ、ＤＡＴ等の磁気記録
及び再生装置においては、映像信号等の記録または再生
の高画質化や記録容量の大容量化などを目的として、よ
り多くの情報信号を記録・再生できるようにするため、
情報信号の短波長記録化が進められており、これに対応
して磁性粉に強磁性粉末を用いてこれをベースフィルム
上に塗布したいわゆるメタルテープや、ベースフィルム
上に強磁性金属材料を直接蒸着した蒸着テープ等の高抗
磁力磁気記録媒体が使用されるようになってきている。

【０００５】一方、これらの高抗磁力磁気記録媒体に記
録またはこれを再生することを可能とするために、磁気
ヘッドの磁気コア材料に高透磁率かつ高飽和磁束密度を
有する金属磁性層、例えば鉄系合金、鉄−ニッケル系合
金、鉄−コバルト系合金等の材料からなる層を用いた積
層型磁気ヘッド、あるいはＭＩＧ（メタルインギャッ
プ）型磁気ヘッドなどが提案されている。

【０００６】積層型磁気ヘッドは、金属磁性層を非磁性
材料からなるガード材により挟み込んで磁気コア半体を
構成し、この磁気コア半体をギャップ材を介して互いに
突き合わせて、ガラス融着等により接合一体化して構成
した磁気ヘッドである。

【０００７】上述の積層型磁気ヘッドとしては、非磁性
材料からなる基板（ガード材）に、高透磁率かつ高飽和
磁束密度を有する金属磁性層を挟み込んだ構造の、いわ
ゆるラミネートタイプの磁気ヘッドが知られている。

【０００８】従来の積層型磁気ヘッドの製造は、次のよ
うにして行われていた。

【０００９】まず、図１５に示すように、両主面が鏡面
加工された、非磁性ガード材となる短冊状の非磁性基板
５１を用意し、この非磁性基板５１の一方の主面上にス
パッタ法などの真空薄膜形成法により金属磁性層５２を
成膜してなるコア基板７０を形成する。

【００１０】次に、図１６に示すように、複数枚のコア
基板７０を重ね合わせて、これらを加圧固定し、熱処理
を施し接合一体化して接合基板５３を形成する。

【００１１】この接合基板５３を、図１６中のＡ−
Ａ′，Ｂ−Ｂ′，Ｃ−Ｃ′の各線に沿う面で切断し、図
１７に示すように互いに略対称な一対の磁気コア半体ブ
ロック５４および５５を作製する。

【００１２】次に、図１８に示すように、この磁気コア
半体ブロック５４および５５に対し、それぞれ磁気コア
半体ブロック５４，５５の長手方向に沿って伸びる巻線
溝５６および５７を略コ字状の断面形状となるように形
成する。同時に、磁気コア半体ブロック５４，５５の、
後に磁気ギャップｇを形成する側と反対側の端面（すな
わち図１２中の底面）にそれぞれガラス挿入溝５８およ
び５９を形成する。

【００１３】次に、図１９に示すように、一方の磁気コ
ア半体ブロック５５に対して、その両端のコア基板７０
の１枚分に相当する磁気コア半体５５ａを図中Ｄ−Ｄ′
およびＥ−Ｅ′の各線に沿う面で切断して、磁気コア半
体ブロック５５から両端の磁気コア半体５５ａを除去す
る。

【００１４】次に、図２０に示すように、２つの磁気コ
ア半体ブロック５４および５５を、それぞれの金属磁性
層５２同士がギャップ材を介して相対向するように突き
合わせ、巻線溝５６，５７およびガラス挿入溝５８，５
９内にそれぞれガラス棒６０および６１を挿入配置し、
このガラス棒６０，６１を溶融させて、図中巻線溝５
６，５７内の下部およびガラス挿入溝５８，５９に充填
させ補強ガラス６８とし、２つの磁気コア半体ブロック
５４，５５を接合一体化する。

【００１５】この結果、各磁気コア半体ブロック５４お
よび５５にそれぞれ形成された金属磁性層５２の突き合
わせ端面間に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギ
ャップｇが形成された磁気コアブロック６３が形成され
る。また、巻線溝５６，５７により巻線窓６２が形成さ
れる。

【００１６】このとき、図１９で切断を行わない磁気コ
ア半体ブロック５４の両端の磁気コア半体５４ａは、接
合される相手の磁気コア半体がなく、この磁気コア半体
５４ａの部分が両端にはみ出した形で形成される。

【００１７】そして、図２１に示すように、磁気コアブ
ロック６３の外面にそれぞれ所要曲率をもった磁気記録
媒体との摺動面６６をラッピング等により形成する。こ
のとき、両端のはみ出した磁気コア半体５４ａを利用し
てデプスＤｐを確認しながら、所定のデプスＤｐを有す
るように摺動面６６を形成する。

【００１８】さらに図２２に示すように、磁気コアブロ
ック６３の外面の巻線を施す部分に巻線ガイド溝６５を
形成する。また摺動面６６に、磁気記録媒体への当たり
幅規制溝６４を形成する。

【００１９】その後、図中点線で示すＦ−Ｆ′，Ｇ−
Ｇ′の各線に沿う面において磁気コアブロック６３を切
断して、図２３に示すような非磁性基板（非磁性ガード
材）５１で金属磁性層５２を挟み込んだ磁気コア半体６
９ａ，６９ｂが突き合わされ、突き合わせ端面間に磁気
ギャップｇが形成された構造の磁気ヘッド６７が形成さ
れる。

【００２０】この磁気ヘッド６７においては、金属磁性
層５２の膜厚が磁気ギャップｇのトラック幅Ｔｗとなる
ものであるため、金属磁性層５２の膜厚を制御すること
で簡単に狭トラック化が図れること、また構造的に疑似
ギャップが発生しないこと等の利点を有している。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、積層型
磁気ヘッドは、映像信号等の記録または再生の高画質化
等を目的として、あるいは記憶容量の大容量化を目的と
して、より多くの情報信号を記録または再生するため
に、より短波長の信号により記録や再生を行う方法が採
られている。これに対応して、この大容量の磁気記録再
生装置の需要も増えつつあり、積層型磁気ヘッドの需要
も増えてきている。

【００２２】これらの要求に対応するために、磁気ヘッ
ドの生産数を増やしていく段階において、逆に生産性を
下げて生産コストを増大させてしまう不良が発生するこ
とがあった。

【００２３】例えば、上述の積層型磁気ヘッド６７にお
いて、磁気コア半体ブロック５４，５５を長くして一度
に製造される磁気コア半体６９ａ，６９ｂの数を多くし
ようとすると、前述の図１６に示した切断工程におい
て、磁気コア半体ブロック５４，５５が加工の応力のた
めに折れてしまうことがあった。

【００２４】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、加工の際の不良の発生が少なく、かつ一度に製
造される磁気コア半体の個数を多くすることにより生産
性が高い磁気ヘッドの製造方法を提供するものである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、非磁性コア基板に予備溝を形成する工程と、
この非磁性コア基板を予備溝と交差する方向に切断して
複数の非磁性基板を形成する工程と、非磁性基板の一方
の主面に金属磁性層を形成する工程と、この非磁性基板
を複数枚重ね合わせて接合し、接合基板を形成する工程
と、予備溝の位置において接合基板を切断して、磁気コ
ア半体ブロックを形成する工程とを有するものである。

【００２６】上述の本発明の製法によれば、非磁性コア
基板のその後切断される位置に予め予備溝を形成してお
くことにより、切断により得られる磁気コア半体ブロッ
クが切断の際の応力により破損することを防止すること
ができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明は、非磁性コア基板に予備
溝を形成する工程と、この非磁性コア基板を予備溝と交
差する方向に切断して複数の非磁性基板を形成する工程
と、非磁性基板の一方の主面に金属磁性層を形成する工
程と、この非磁性基板を複数枚重ね合わせて接合し、接
合基板を形成する工程と、予備溝の位置において接合基
板を切断して、磁気コア半体ブロックを形成する工程と
を有する磁気ヘッドの製造方法である。

【００２８】また本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法
において、非磁性コア基板の主面が平行四辺形状に形成
され、この平行四辺形の一方の対辺に平行に予備溝を形
成する。

【００２９】また本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法
において、非磁性コア基板の主面が長方形状（正方形
状、長四角形状を含む）に形成され、この長方形の辺に
対して所定の角度を有して予備溝を形成する。

【００３０】また本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法
において、予備溝の深さが非磁性コア基板の厚さの半分
以上であり、かつ予備溝に補強材を充填する。

【００３１】以下、図面を参照して本発明に係る磁気ヘ
ッドの製造方法の実施の形態について説明する。

【００３２】図１２に、本発明製法を適用するラミネー
トタイプ積層型の磁気ヘッドを示す。

【００３３】この積層型磁気ヘッド１７は、図１２に示
すように、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体１９ａ
および１９ｂを突き合わして接合一体化し、磁気記録媒
体との摺動面１６に臨んで磁気ギャップｇを形成して構
成される。

【００３４】磁気コア半体１９ａおよび１９ｂは、金属
磁性層２がその両側を非磁性基板（非磁性ガード材）１
によってそれぞれ挟み込まれてなる。

【００３５】そして、磁気コア半体１９ａおよび１９ｂ
同士の突き合わせ端面においては、その金属磁性層２の
端部が突き合わされることによりその突き合わせ端面間
に磁気ギャップｇが構成されている。この磁気ギャップ
ｇのトラック幅Ｔｗは、非磁性基板１が非磁性であるた
め、金属磁性層２の膜厚によって設定される。

【００３６】磁気記録媒体と接する磁気ヘッド摺動面１
６は、磁気記録媒体との摺動の際の当たり幅を規制する
当たり幅規制溝１４により規制される。この当たり幅規
制溝１４は、磁気ヘッド摺動面１６となる部分の金属磁
性層２と平行に形成される。

【００３７】また、磁気コア半体１９ａおよび１９ｂの
突き合わせ面には、磁気ギャップｇのデプスＤｐを規制
するとともにコイルを巻装するための巻線窓１２が形成
され、巻線窓１２の摺動面１６側のいわゆる頂部及び磁
気ギャップｇとは反対側の後部には補強ガラス１８が充
填されている。この補強ガラス１８は、磁気記録媒体と
の摺動の際の当たり幅を規制する当たり幅規制溝１４の
側面に臨んで形成されている。

【００３８】一方、磁気コア半体１９ａ，１９ｂの外側
面に、上述の巻線窓１２に巻装されるコイルの巻装状態
を確保するための例えば断面略コ字状の巻線ガイド溝１
５が設けられている。

【００３９】この金属磁性層２の材料は、各種強磁性材
料の他に、例えば高飽和磁束密度を有し、かつ軟磁気特
性に優れた強磁性合金材料が使用されるが、このような
強磁性合金材料としては、合金が結晶質であるか非晶質
であるかを問わず、公知のものを使用することができ
る。

【００４０】例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ，Ｆｅ−Ｓｉ−
Ｃｏ，Ｆｅ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ，Ｆｅ−Ｇａ−Ｓ
ｉ，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ，Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ等の系の合金、およびそれらに耐蝕
性や耐摩耗性の向上を図るために、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，
Ｚｒ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒ
ｅ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈｆ，Ｖ等を１種または数種添
加した材料であってもよい。

【００４１】また、強磁性非晶質合金、いわゆるアモル
ファス合金、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏの内の１種以上の
元素とＰ，Ｃ，Ｂ，Ｓｉの内の１種以上の元素とからな
る合金、またはこれらを主成分としてＡｌ，Ｇｅ，Ｂ
ｅ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｎｂ等を含んだ合金などのメタル−メタロイド系
アモルファス合金、あるいはＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移
元素や希土類元素などを主成分とするメタル−メタル系
アモルファス合金等が挙げられる。

【００４２】これら金属磁性層２の成膜方法としては、
膜厚の制御性に優れるスパッタ装置によるスパッタリン
グ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビ
ーム法などに代表される真空薄膜形成技術を用いること
ができる。

【００４３】なお、この金属磁性層２は、高周波帯域で
の渦電流発生を回避させ、またヘッドの効率を向上させ
るために、金属磁性層２とＳｉＯ₂ ，Ａｌ₂ Ｏ₃ ，Ｓｉ
₃ Ｎ₄ 等の酸化物や窒化物などの電気的絶縁膜とを交互
に積層させた金属磁性積層膜とすることが好ましい。

【００４４】また、非磁性基板１には、加工性、耐摩耗
性、金属磁性材料との熱膨張係数などを考慮した材料で
かつ高強度を有するセラミックス系材料が望ましい。

【００４５】次に、本発明の一実施の形態として、この
磁気ヘッド１７の製造方法を説明する。

【００４６】本実施の形態においては、まず図１に平面
図を示すように、その主面が平行四辺形状に形成された
非磁性コア基板２１を用意する。この非磁性コア基板２
１の主面の平行四辺形は、一方の平行な対辺２１ａに対
して、他方の平行な対辺２１ｂが垂直から所定のアジマ
ス角α変化させた角度をなしている。

【００４７】次に、図２に示すように、非磁性コア基板
２１の主面に垂直な予備溝２２を、一方の対辺２１ａに
平行な方向に形成する。

【００４８】具体的には、図３Ａ〜図３Ｃに斜視図を示
すように、非磁性コア基板２１に予備溝２２を形成す
る。例えば非磁性コア基板２１の厚さＸに対して、図３
Ａに示すように、予備溝２２の深さＤをＸ／２以上とす
る場合には、図３Ｂに示すように予備溝２２内に補強の
ための充填材として例えばガラス２３を充填する。一
方、図３Ｃに示すように、予備溝２２の深さＤをＸ／２
以下とする場合には、特に充填材を用いない。

【００４９】尚、予備溝２２の幅ｗは、後の切断工程で
用いる加工砥石の幅Ｚを１とするとき、好ましくは、２
／３≦ｗ≦３／４とする。２／３未満では、予備溝２２
を形成する効果が小さく、３／４を越える場合には切断
の際のマージンが少なくなり、また切断の際に予備溝２
２が段差として残ることがあるので好ましくない。この
ような予備溝２２は、後の切断工程で用いる加工砥石の
幅Ｚより幅の狭い、例えば幅Ｚ／２程度の加工砥石を用
いることにより形成することができる。

【００５０】次に図４に示すように、他方の対辺２１ｂ
に平行に、予備溝２２とは交差する方向の切断線２４に
おいて、非磁性コア基板２１を切断し、図５Ａに示すよ
うな短冊基板３１を得る。そして、短冊基板３１の主面
及びその裏面を平滑研磨した後、図５Ｂに示すように、
短冊基板３１の主面上に例えばスパッタ法などの真空薄
膜形成法により例えば積層膜からなる金属磁性層３２を
成膜する。尚、図５Ａ及び図５Ｂは、図３Ｂに示したよ
うに予備溝２２にガラス２３を充填した場合の図を示し
ている。

【００５１】次に、図６に示すように、複数枚の短冊基
板３１を接合材を介して重ね合わせて、元の非磁性コア
基板２１と同じ形状にして、これら短冊基板３１を加圧
固定し、熱処理を施し接合一体化して接合基板３３を形
成する。そして、この接合基板３３を、図６中Ｈ−
Ｈ′、Ｉ−Ｉ′、Ｊ−Ｊ′で示すように予備溝２２に沿
った面で切断することにより、図７に示すように、２つ
の磁気コア半体ブロック４および５を得る。

【００５２】次に、図７に示すように、一方の磁気コア
半体ブロック５の両端の磁気コア半体５ａを切断して除
去する。

【００５３】次に、図８に示すように、磁気コア半体ブ
ロック４および５に対し、それぞれ磁気コア半体ブロッ
ク４，５の長手方向に沿って伸びる巻線溝６および７を
略コ字状の断面形状となるように形成する。同時に、磁
気コア半体ブロック４，５の、後に磁気ギャップｇを形
成する側と反対側の端面（すなわち図７中の底面）にそ
れぞれガラス挿入溝８および９を形成する。

【００５４】そして、各溝６，７，８，９の形成面を平
滑研磨し、この研磨面に例えば金等の貴金属等からなる
ギャップ材を、スパッタ等の真空薄膜形成法により形成
する。

【００５５】次に、図９に示すように、２つの磁気コア
半体ブロック４および５を、それぞれの金属磁性層３２
同士がギャップ材を介して相対向するように突き合わせ
る。そして、巻線溝６，７およびガラス挿入溝８，９内
にそれぞれガラス棒１０および１１を挿入配置し、この
ガラス棒１０，１１を溶融させて、巻線溝６，７内の下
部およびガラス挿入溝８，９に充填させ補強ガラス１８
とし、２つの磁気コア半体ブロック４，５を接合一体化
する。このとき、一方の磁気コア半体ブロック４の両端
の磁気コア半体４ａは、接合される相手の磁気コア半体
がなく、この磁気コア半体４ａの部分が両端にはみ出し
た形で形成される。

【００５６】この結果、各磁気コア半体ブロック４およ
び５にそれぞれ形成された金属磁性層３２の突き合わせ
端面間に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギャッ
プｇが形成された磁気コアブロック１３が形成される。
また、巻線溝６，７により巻線窓１２が形成される。

【００５７】そして、図１０に示すように、磁気コアブ
ロック１３の外面にそれぞれ所要曲率をもった磁気記録
媒体との摺動面１６をラッピング等により形成する。こ
のとき、両端のはみ出した磁気コア半体４ａを利用し
て、デプスＤｐを測定しながら、所定のデプスＤｐを有
するように摺動面１６を形成する。

【００５８】さらに図１１に示すように、磁気コアブロ
ック１３の外面の巻線を施す部分に巻線ガイド溝１５を
形成する。次に、摺動面１６に、磁気記録媒体への当た
り幅を規制する当たり幅規制溝１４を形成する。

【００５９】その後、図１１中点線で示すＫ−Ｋ′，Ｌ
−Ｌ′の各線に沿う面において磁気コアブロック１３を
切断して、図１２に示すような非磁性基板１で金属磁性
層２を挟み込んだ磁気コア半体１９ａ，１９ｂが突き合
わされ、突き合わせ端面間に磁気ギャップｇが形成さ
れ、補強ガラス１８が磁気記録媒体との当たり幅規制溝
１４の側面に臨んだ目的の積層型磁気ヘッド１７を得
る。

【００６０】上述した実施の形態によれば、切断を行う
位置に予め予備溝２２を形成しておくことにより、溝が
ない従来の短冊基板を用いた接合基板を加工する場合と
比較して、接合基板３３の切断時の加工抵抗が低減され
るため、応力などによる破損を生じにくくすることがで
きる。従って、磁気コア半体ブロック４，５を長くして
も切断時の破損が生じにくく、磁気コア半体ブロック
４，５を長くして一度に製造できる磁気コア半体１９
ａ，１９ｂの数を多くして生産性を上げることができる
ようになる。

【００６１】上述の実施の形態では、非磁性コア基板２
１の主面が平行四辺形であったが、非磁性コア基板２１
の主面を長方形としても同様に製造ができる。その場合
を次に示す。図１３Ａに示すように、主面が長方形（例
えば正方形）の非磁性コア基板２１を用意する。そし
て、図１３Ｂに示すように、この長方形の一方の対辺２
１ａに対して所定のアジマス角度βをなすように予備溝
２２を形成する。

【００６２】この予備溝２２を形成した非磁性コア基板
２１に対して、一方の対辺２１ａに垂直、即ち他方の対
辺２１ｂと平行な断面２４により非磁性コア基板２１を
切断して、図５Ａと同様の短冊基板３１を得る。その後
は、図５〜図１１と同様の工程を経て、前述の実施の形
態と同様に図１２に示す磁気ヘッド１７を製造すること
ができる。

【００６３】各工程における接合方法には、従来公知の
接合方法、例えば貴金属層同士の熱拡散による低温熱拡
散接合やガラス融着等を用いることができる。

【００６４】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、上述の
実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を
逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。

【００６５】

【発明の効果】上述の本発明による磁気ヘッドの製造方
法によれば、切断する位置に予め予備溝を設けることに
より、切断時の加工抵抗が低減されるため、加工時の付
加状態で起こりうる磁気コア半体ブロックの折れを低減
することができ、磁気コア半体ブロックの長さを大きく
する、即ち１つの磁気コア半体ブロックから形成される
磁気コア半体の数を大きくすることができる。

【００６６】従って本発明により、磁気ヘッドの生産数
を増加することができ、時間当たりの生産性を上げると
共に、生産コストの低減も図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図２】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図３】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。 Ａ、Ｂ 充填材を用いる場合の図である。 Ｃ 充填材を用いない場合の図である。

【図４】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図５】Ａ、Ｂ 本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法
の一実施の形態の製造工程図である。

【図６】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図７】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図８】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図９】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実施
の形態の製造工程図である。

【図１０】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実
施の形態の製造工程図である。

【図１１】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の一実
施の形態の製造工程図である。

【図１２】本発明製法を適用する積層型磁気ヘッドの斜
視図である。

【図１３】Ａ、Ｂ 本発明の積層型磁気ヘッドの製造方
法の他の実施の形態の製造工程図である。

【図１４】本発明の積層型磁気ヘッドの製造方法の他の
実施の形態の製造工程図である。

【図１５】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図１６】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図１７】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図１８】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図１９】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図２０】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図２１】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図２２】積層型磁気ヘッドの従来製法の製造工程図で
ある。

【図２３】積層型磁気ヘッドの斜視図である。

【符号の説明】

１…非磁性基板（非磁性ガード材）、２，３２…金属磁
性層、４，５…磁気コア半体ブロック、４ａ，５ａ…磁
気コア半体、６，７…巻線溝、８，９…ガラス挿入溝、
１０，１１…ガラス棒、１２…巻線窓、１３…磁気コア
ブロック、１４…当たり幅規制溝、１５…巻線ガイド
溝、１６…摺動面、１７…磁気ヘッド、１８…補強ガラ
ス、１９ａ，１９ｂ…磁気コア半体、２１…非磁性コア
基板、２２…予備溝、２３…ガラス、２４…切断面、３
１…短冊基板、３３…接合基板、Ｔｗ…トラック幅、ｇ
…磁気ギャップ、Ｄｐ…デプス、Ｘ…非磁性コア基板の
厚さ、Ｄ…予備溝の深さ、ｗ…予備溝の幅

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性コア基板に予備溝を形成する工程
   と、 上記非磁性コア基板を予備溝と交差する方向に切断して
   複数の非磁性基板を形成する工程と、 上記非磁性基板の一方の主面に金属磁性層を形成する工
   程と、 上記非磁性基板を複数枚重ね合わせて接合し、接合基板
   を形成する工程と、 上記予備溝の位置において上記接合基板を切断して、磁
   気コア半体ブロックを形成する工程とを有することを特
   徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 上記非磁性コア基板の主面が平行四辺形
   状に形成され、該平行四辺形の一方の対辺に平行に上記
   予備溝を形成することを特徴とする請求項１に記載の磁
   気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 上記非磁性コア基板の主面が長方形状に
   形成され、該長方形の辺に対して所定の角度を有して上
   記予備溝を形成することを特徴とする請求項１に記載の
   磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 上記予備溝の深さが、上記非磁性コア基
   板の厚さの半分以上であり、かつ上記予備溝に補強材を
   充填することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド
   の製造方法。