JPH0325708A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH0325708A JPH0325708A JP16163989A JP16163989A JPH0325708A JP H0325708 A JPH0325708 A JP H0325708A JP 16163989 A JP16163989 A JP 16163989A JP 16163989 A JP16163989 A JP 16163989A JP H0325708 A JPH0325708 A JP H0325708A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲ等の高周波信号
を効率よく記録再生するのに適した磁気ヘッドの製造方
法に関するものであも 従来の技術 近年高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲなどの広帯域の信号
を取り扱うシステムの開発が盛んになってきており、磁
気記録媒体もこのような大量の情報を記録するために
酸化鉄系から合金粉末媒体や金属蒸着媒体等の高抗磁力
媒体へと変わりつつある。そこで磁気ヘッドとしてｋ
これらの高抗磁力媒体に対応するような高飽和磁束密度
を有し周波数特性の優れた磁気ヘッドの開発が望まれて
いも 現在、飽和磁束密度の高いセンダストやアモルフ
ァス合金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの開発が
行なわれているバ バルク状の金属磁性材料を用いたの
では渦電流損失が大きくとても上記システムには使えな
し〜 この八 上記損失をできるだけ抑えるために 金
属磁性材料を薄膜化して用いることが検討されており、
例えば金属磁性薄膜と絶縁膜との積層膜で主磁気回路を
構戒することによって高周波化を図っている。
を効率よく記録再生するのに適した磁気ヘッドの製造方
法に関するものであも 従来の技術 近年高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲなどの広帯域の信号
を取り扱うシステムの開発が盛んになってきており、磁
気記録媒体もこのような大量の情報を記録するために
酸化鉄系から合金粉末媒体や金属蒸着媒体等の高抗磁力
媒体へと変わりつつある。そこで磁気ヘッドとしてｋ
これらの高抗磁力媒体に対応するような高飽和磁束密度
を有し周波数特性の優れた磁気ヘッドの開発が望まれて
いも 現在、飽和磁束密度の高いセンダストやアモルフ
ァス合金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの開発が
行なわれているバ バルク状の金属磁性材料を用いたの
では渦電流損失が大きくとても上記システムには使えな
し〜 この八 上記損失をできるだけ抑えるために 金
属磁性材料を薄膜化して用いることが検討されており、
例えば金属磁性薄膜と絶縁膜との積層膜で主磁気回路を
構戒することによって高周波化を図っている。
発明が解決しようとする課題
高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲではその記録信号帯域は
３０ＭＨｚ〜６０ＭＨｚに達し 磁気ヘッド用コア材と
してはこのような高周波帯域で高い初透磁率を有するも
のが要求される。第９図Ｉｔ Ｃｏ系アモルファス磁
性膜とＳｉｄｅ膜との積層膜の初透磁率の周波数特性を
示したものであも アモルファス積層膜においては 一
層当たりの磁性膜の膜厚は渦電流損失を考慮して４μｍ
とし層間のＳｉ（ｈ膜厚は０．１μｍで５層積層したも
のであム 図において（１）は無配向のアモルファス積
層膜で、積層効果により渦電流損失は改善されているが
その高周波特性は強磁性共鳴によるスヌークの限界線で
制約されており、３０ＭＨｚ以上の高周波帯での初透磁
率は５００以下となん したがってこのような無配向の磁性膜をヘッドコアとし
て用いたのでは前記のような高周波システムに対応する
高性能ヘッドを実現するのは困難であも 一方、一軸異方性を有するアモルファス磁性膜をその容
易軸方向を揃えて積層した多層膜の初透磁率特性（戴
容易軸方向に測定すると（２）のように全周波数帯で極
めて低い初透磁率特性を示すのに対し 困難軸方向に測
定した場合は（３）のように高周波まで高い透磁率を維
持Ｌ．６０ＭＨｚでも１０００以上の値を有すも した
がって、困難軸方向だけで磁路を形戒すれば 高周波ま
で高い再生効率のヘッドが実現できも そして、ビデオ
ヘッド等のリングタイプのヘッドにおいて（友 困難軸
方向だけで磁路を構或するにはヘッドのトラック幅方向
が容易軸となるように異方性を付ける力＼あるいは 巻
線窓を中心として、放射状に容易軸を付ければ良へ しかし トラック幅方向に容易軸を付けるの１よヘッド
の形状による反磁界の効果のた歇 現状では非常に困難
であり、また放射状に容易軸を付けるのＥＬ ヘッド
製造上極めて難しいのが現状であ課題を解決するための
手段 本発明の磁気ヘッドの製造方法１上 金属磁性膜の両側
を非磁性基板で挟持したブロックの両側に高保持力材料
をその同一極面が向い合わうように配して積層体を形成
する工程と、前記積層体から一対のコア半体を切り出し
少なくとも一方のコア半体の磁気ギャップ面に巻線窓
を形成する工程と、一対のコア半体を磁気ギャップ面で
突合せ熱処理する工程を有することを特徴とすも作用 第５図（友 巻線窓５を有するヘッドコア形状の高保磁
力材料から発生する磁界６を示した図であん 高保磁力
材料｛友 ヘッドコア形状の厚み方向に着磁されており
、上面がＮ！ 下面がＳ極となっている。磁界はＮ極
からＳ極へと流れるので、Ｎ極から発生した磁界６（上
巻線窓５方向と、ヘッドの外周方向へと分かれ 最短
経路を通りＳ極へ達する。すなわち磁界は 巻線窓５を
中心に放射状の方向へ流れることになん 第６図（友
金属磁性膜４の両側に高保磁力材料１をＮ極を向かい合
わせるように 若干の間隔をおいて配した時の磁界６の
流れを側面から見た図であ＆Ｎ極から発生した磁界６は
Ｓ極へ向かおうとするので、磁界の流れは図のようにな
も したがって金属磁性膜４にζよ 膜面内で巻線窓５
を中心に放射状の方向に磁界が加わることになん すな
わ仮 本発明の方法で、磁気ヘッドを作製すると、熱処
理時に金属磁性膜の膜面内で巻線窓を中心に放射状に磁
界が加わるので、第４図に示すよう類 巻線窓５を中心
として放射状に容易軸をもつリングタイプヘッドの作製
が可能となん そして、このヘッドは磁路のほとんど力
文 困難軸方向から構戊されるので、金属磁性膜の困難
軸方向の特性を有効に利用でき、３０ＭＨｚ以上の高周
波でも十分に高い効率で信号を記録再生できも 実施例 第１図〜第４図（よ 本発明の第１の実施例における磁
気ヘッドの製造工程の斜視図を示す。
３０ＭＨｚ〜６０ＭＨｚに達し 磁気ヘッド用コア材と
してはこのような高周波帯域で高い初透磁率を有するも
のが要求される。第９図Ｉｔ Ｃｏ系アモルファス磁
性膜とＳｉｄｅ膜との積層膜の初透磁率の周波数特性を
示したものであも アモルファス積層膜においては 一
層当たりの磁性膜の膜厚は渦電流損失を考慮して４μｍ
とし層間のＳｉ（ｈ膜厚は０．１μｍで５層積層したも
のであム 図において（１）は無配向のアモルファス積
層膜で、積層効果により渦電流損失は改善されているが
その高周波特性は強磁性共鳴によるスヌークの限界線で
制約されており、３０ＭＨｚ以上の高周波帯での初透磁
率は５００以下となん したがってこのような無配向の磁性膜をヘッドコアとし
て用いたのでは前記のような高周波システムに対応する
高性能ヘッドを実現するのは困難であも 一方、一軸異方性を有するアモルファス磁性膜をその容
易軸方向を揃えて積層した多層膜の初透磁率特性（戴
容易軸方向に測定すると（２）のように全周波数帯で極
めて低い初透磁率特性を示すのに対し 困難軸方向に測
定した場合は（３）のように高周波まで高い透磁率を維
持Ｌ．６０ＭＨｚでも１０００以上の値を有すも した
がって、困難軸方向だけで磁路を形戒すれば 高周波ま
で高い再生効率のヘッドが実現できも そして、ビデオ
ヘッド等のリングタイプのヘッドにおいて（友 困難軸
方向だけで磁路を構或するにはヘッドのトラック幅方向
が容易軸となるように異方性を付ける力＼あるいは 巻
線窓を中心として、放射状に容易軸を付ければ良へ しかし トラック幅方向に容易軸を付けるの１よヘッド
の形状による反磁界の効果のた歇 現状では非常に困難
であり、また放射状に容易軸を付けるのＥＬ ヘッド
製造上極めて難しいのが現状であ課題を解決するための
手段 本発明の磁気ヘッドの製造方法１上 金属磁性膜の両側
を非磁性基板で挟持したブロックの両側に高保持力材料
をその同一極面が向い合わうように配して積層体を形成
する工程と、前記積層体から一対のコア半体を切り出し
少なくとも一方のコア半体の磁気ギャップ面に巻線窓
を形成する工程と、一対のコア半体を磁気ギャップ面で
突合せ熱処理する工程を有することを特徴とすも作用 第５図（友 巻線窓５を有するヘッドコア形状の高保磁
力材料から発生する磁界６を示した図であん 高保磁力
材料｛友 ヘッドコア形状の厚み方向に着磁されており
、上面がＮ！ 下面がＳ極となっている。磁界はＮ極
からＳ極へと流れるので、Ｎ極から発生した磁界６（上
巻線窓５方向と、ヘッドの外周方向へと分かれ 最短
経路を通りＳ極へ達する。すなわち磁界は 巻線窓５を
中心に放射状の方向へ流れることになん 第６図（友
金属磁性膜４の両側に高保磁力材料１をＮ極を向かい合
わせるように 若干の間隔をおいて配した時の磁界６の
流れを側面から見た図であ＆Ｎ極から発生した磁界６は
Ｓ極へ向かおうとするので、磁界の流れは図のようにな
も したがって金属磁性膜４にζよ 膜面内で巻線窓５
を中心に放射状の方向に磁界が加わることになん すな
わ仮 本発明の方法で、磁気ヘッドを作製すると、熱処
理時に金属磁性膜の膜面内で巻線窓を中心に放射状に磁
界が加わるので、第４図に示すよう類 巻線窓５を中心
として放射状に容易軸をもつリングタイプヘッドの作製
が可能となん そして、このヘッドは磁路のほとんど力
文 困難軸方向から構戊されるので、金属磁性膜の困難
軸方向の特性を有効に利用でき、３０ＭＨｚ以上の高周
波でも十分に高い効率で信号を記録再生できも 実施例 第１図〜第４図（よ 本発明の第１の実施例における磁
気ヘッドの製造工程の斜視図を示す。
まずチタン酸マグネシウム系の非磁性基板３ａの片面上
に金属磁性膜と絶縁膜とをスパッタリングで交互に積層
し 積層膜４を形威すん 本実施例で（友 金属磁性膜
はＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ−Ｔａの組戒のアモルファス合金を
用いており、飽和磁束密度Ｂｓ〜８０００Ｇ，キュリー
温度Ｔｃ〜４９０℃である。また 一層当りの膜厚１よ
使用周波数帯における渦電流損失を考慮した厚さ以下
になっていも また絶縁膜ＳｉＯａを用い厚みは０．１
μｍとした 次に この積層膜４が形成された基板３ａと、もうひと
つの非磁性基板３ｂを積層膜４を挟むように重株 さら
にその基板３ａ， ３ｂの両側をＳｍ−Ｃｏの高保磁力
材料からなる基板１ａ，ｌｂで、その同一極面を向かい
合わせるように挟ヘ 各基板間を結晶化ガラス等の接着
ガラス２で接着することにより、第２図に示すような積
層体２０をつくも この積層体２０＜＆ 金属磁性膜
とＳ ｉＯ２からなる積層膜４の両側を非磁性基板３ａ
， ３ｂで挟ヘ さらにその両側を高保磁力材料１ａ，
ｌｂで、その同一極面を向い合わせるように挟んだ構
戊になっていも 次にこの積層体２０を切断し 一対のコア半体２０ａ，
２０ｂをつくも そして一方のコア半体２０ａの磁気ギ
ャップ面に巻線窓５を形成し 両コア半体２０ａ，２０
ｂのギャップ面を平滑に研磨ｕ ＳｉＯ２や高融点ガ
ラス等のギャップ材８を介して一対のコア半体２０ａ，
２０ｂをギャップ面でつき合わせて、熱処理をほどこ
し ギャップ面で接着されたギヤップドバーを作製ずも
そしてギャップドバーを所定の厚み９で切断し ヘッ
ドチップを得る（第３図）。以上の方法により作製した
ヘッド１よ 作用の項で説明したような磁界が熱処理中
に印加されることにより、第４図に示すように 磁化容
易軸７が巻線窓５を中心に放射状に形戒されも 第４図
において、４はアモルファス合金とＳｉＯｅからなる積
層膜玄磁化容易軸７が巻線窓５を中心に放射状に形戒さ
れていも また３は非磁性基板であん このヘッドは磁
路のほとんどが磁化困難軸方向となるので高周波帯域で
の初透磁率が高くなり、再生効率が高くなん 第７図は
本発明の第２の実施例により作製されたヘッドの斜視
図であも 第１の実施例と異なるところは基板として、
Ｍｎ−ＺｎフエライＩ・の強磁性酸化物ｌＯを用いてお
り、そのた△ トラック幅をガラス１１で規制している
点であん このような基板を用いても本実施例の製造法
によれば磁化容易軸７が巻線窓５を中心に放射状に形成
され 高周波領域での再生効率が高いヘッドが実現でき
九 本実施例で（友 高保磁力材料としてＳｍ−ＣＯを
用いた択 その材料のキュリー温度力文 ギャップ形成
温度以上の高保磁力材料であれば どれを用いても良Ｌ
１ 第８図は従来の無配向の積層金属磁性膜を用いた
磁気ヘッド（ｂ）、および本発明の製造方法による磁化
容易軸が巻線窓を中心に放射状に形成された磁気ヘッド
（ａ）の相対出力の周波数特性を示す。３０ＭＨｚ以上
の高周波において、本発明の磁気ヘッド｛友 従来の磁
気ヘッドを大きく上回る高周波特性を示していることが
わかん 発明の効果 本発明の製造方法によれζ１ ３０ＭＨｚ以上の高周
波帯でも十分高い効率で記録再生できる高周波用磁気ヘ
ッドが容易に得られも
に金属磁性膜と絶縁膜とをスパッタリングで交互に積層
し 積層膜４を形威すん 本実施例で（友 金属磁性膜
はＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ−Ｔａの組戒のアモルファス合金を
用いており、飽和磁束密度Ｂｓ〜８０００Ｇ，キュリー
温度Ｔｃ〜４９０℃である。また 一層当りの膜厚１よ
使用周波数帯における渦電流損失を考慮した厚さ以下
になっていも また絶縁膜ＳｉＯａを用い厚みは０．１
μｍとした 次に この積層膜４が形成された基板３ａと、もうひと
つの非磁性基板３ｂを積層膜４を挟むように重株 さら
にその基板３ａ， ３ｂの両側をＳｍ−Ｃｏの高保磁力
材料からなる基板１ａ，ｌｂで、その同一極面を向かい
合わせるように挟ヘ 各基板間を結晶化ガラス等の接着
ガラス２で接着することにより、第２図に示すような積
層体２０をつくも この積層体２０＜＆ 金属磁性膜
とＳ ｉＯ２からなる積層膜４の両側を非磁性基板３ａ
， ３ｂで挟ヘ さらにその両側を高保磁力材料１ａ，
ｌｂで、その同一極面を向い合わせるように挟んだ構
戊になっていも 次にこの積層体２０を切断し 一対のコア半体２０ａ，
２０ｂをつくも そして一方のコア半体２０ａの磁気ギ
ャップ面に巻線窓５を形成し 両コア半体２０ａ，２０
ｂのギャップ面を平滑に研磨ｕ ＳｉＯ２や高融点ガ
ラス等のギャップ材８を介して一対のコア半体２０ａ，
２０ｂをギャップ面でつき合わせて、熱処理をほどこ
し ギャップ面で接着されたギヤップドバーを作製ずも
そしてギャップドバーを所定の厚み９で切断し ヘッ
ドチップを得る（第３図）。以上の方法により作製した
ヘッド１よ 作用の項で説明したような磁界が熱処理中
に印加されることにより、第４図に示すように 磁化容
易軸７が巻線窓５を中心に放射状に形戒されも 第４図
において、４はアモルファス合金とＳｉＯｅからなる積
層膜玄磁化容易軸７が巻線窓５を中心に放射状に形戒さ
れていも また３は非磁性基板であん このヘッドは磁
路のほとんどが磁化困難軸方向となるので高周波帯域で
の初透磁率が高くなり、再生効率が高くなん 第７図は
本発明の第２の実施例により作製されたヘッドの斜視
図であも 第１の実施例と異なるところは基板として、
Ｍｎ−ＺｎフエライＩ・の強磁性酸化物ｌＯを用いてお
り、そのた△ トラック幅をガラス１１で規制している
点であん このような基板を用いても本実施例の製造法
によれば磁化容易軸７が巻線窓５を中心に放射状に形成
され 高周波領域での再生効率が高いヘッドが実現でき
九 本実施例で（友 高保磁力材料としてＳｍ−ＣＯを
用いた択 その材料のキュリー温度力文 ギャップ形成
温度以上の高保磁力材料であれば どれを用いても良Ｌ
１ 第８図は従来の無配向の積層金属磁性膜を用いた
磁気ヘッド（ｂ）、および本発明の製造方法による磁化
容易軸が巻線窓を中心に放射状に形成された磁気ヘッド
（ａ）の相対出力の周波数特性を示す。３０ＭＨｚ以上
の高周波において、本発明の磁気ヘッド｛友 従来の磁
気ヘッドを大きく上回る高周波特性を示していることが
わかん 発明の効果 本発明の製造方法によれζ１ ３０ＭＨｚ以上の高周
波帯でも十分高い効率で記録再生できる高周波用磁気ヘ
ッドが容易に得られも
第１は 第２＠ 第３図及び第４図は本発明の第１の実
施例における磁気ヘッドの製造工程の斜視は 第５＠
第６図は同実施例の作用を示す原理は 第７図は本発明
の第２の実施例により得られた磁気ヘッドの斜視は 第
８図は従来の磁気ヘッドおよび本発明による磁気ヘッド
の相対出力の周波数特性を示す鳳 第９図は異方性の方
向による金属磁性膜の初透磁率の周波数特性の測定結果
を示す図であも
施例における磁気ヘッドの製造工程の斜視は 第５＠
第６図は同実施例の作用を示す原理は 第７図は本発明
の第２の実施例により得られた磁気ヘッドの斜視は 第
８図は従来の磁気ヘッドおよび本発明による磁気ヘッド
の相対出力の周波数特性を示す鳳 第９図は異方性の方
向による金属磁性膜の初透磁率の周波数特性の測定結果
を示す図であも
Claims (3)
- （１）金属磁性膜の両側を非磁性基板で挟持したブロッ
クの両側に、高保持力材料をその同一極面が向い合わう
ように配して積層体を形成する工程と、前記積層体から
一対のコア半体を切り出し、少なくとも一方のコア半体
の磁気ギャップ面に巻線窓を形成する工程と、一対のコ
ア半体を磁気ギャップ面で突合せ熱処理する工程を有す
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造法法。 - （２）金属磁性膜がアモルファス磁性膜であることを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。 - （３）金属磁性膜が金属磁性膜と絶縁膜との積層膜であ
ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16163989A JPH0325708A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16163989A JPH0325708A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325708A true JPH0325708A (ja) | 1991-02-04 |
Family
ID=15739013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16163989A Pending JPH0325708A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325708A (ja) |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP16163989A patent/JPH0325708A/ja active Pending
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