JPS5888814A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS5888814A JPS5888814A JP56188672A JP18867281A JPS5888814A JP S5888814 A JPS5888814 A JP S5888814A JP 56188672 A JP56188672 A JP 56188672A JP 18867281 A JP18867281 A JP 18867281A JP S5888814 A JPS5888814 A JP S5888814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- soft magnetic
- magnetic head
- alloy film
- wear resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は優れた電磁変換特性と耐摩耗特性を兼ね備えた
、量産性の容易な磁気ヘッドに関するものである。
、量産性の容易な磁気ヘッドに関するものである。
従来より磁気ヘッド用コア材としては非晶質合金、セン
ダスト、フェライトなどが用いられているが、それぞれ
特徴を有しておシ、現在のところ耐摩耗と磁気特性の両
方に優れた材料が得られてい々い。すなわち、フェライ
トには耐摩耗特性に優れているが、飽和磁束密度Ｂｓ
が低いという欠点があり、センダストには磁気特性に優
れているが、加工性が悪く薄くできにぐいことや、耐摩
耗特性においてもフェライトの数倍摩耗するという欠点
があり、民生用ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）には使
用されていない。非晶質合金は薄く作、ることかできる
が、現在のところフェライトに比べて耐摩耗性に優れて
いるものが得られていないため、ＶＴＲ用のヘッドに使
用されるに至っていない。
ダスト、フェライトなどが用いられているが、それぞれ
特徴を有しておシ、現在のところ耐摩耗と磁気特性の両
方に優れた材料が得られてい々い。すなわち、フェライ
トには耐摩耗特性に優れているが、飽和磁束密度Ｂｓ
が低いという欠点があり、センダストには磁気特性に優
れているが、加工性が悪く薄くできにぐいことや、耐摩
耗特性においてもフェライトの数倍摩耗するという欠点
があり、民生用ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）には使
用されていない。非晶質合金は薄く作、ることかできる
が、現在のところフェライトに比べて耐摩耗性に優れて
いるものが得られていないため、ＶＴＲ用のヘッドに使
用されるに至っていない。
本発明はスパッタリング法を用いて耐摩耗性に優れたセ
ラミック基板上に軟磁性合金をスパッターすることによ
り、複合体を形成し、しかる後これをフェライトとセラ
ミックよりなるバソコアに貼り合わせて磁気ヘッドを構
成することによって、上述の問題点を解決し、電磁変換
特性と耐摩耗特性に優れた磁気ヘッドを実現したもので
ある。
ラミック基板上に軟磁性合金をスパッターすることによ
り、複合体を形成し、しかる後これをフェライトとセラ
ミックよりなるバソコアに貼り合わせて磁気ヘッドを構
成することによって、上述の問題点を解決し、電磁変換
特性と耐摩耗特性に優れた磁気ヘッドを実現したもので
ある。
発明者らは、スパッタリング法で磁気ヘッドを作製する
に際して、量産性のあるヘッド形状を検討した結果、第
１図、第２図および第３図に示したような磁気ヘッドの
製造法、ならびにそれによって得られる磁気ヘッドが適
していることを見出しだ。第１図＾において、１は耐摩
耗性のよい非磁性セラミック部で、フェライトコア２に
接着して一体化されている。これを適当な厚みにスライ
スすることにより、第２図＾に示すような磁気ヘッドの
バックコア１１が得られる。第１図（Ｂ）には、耐摩耗
性の優れた非磁性セラミックの基板４にトラック幅の厚
みになるよう軟磁性合金膜部３が所望の形状にマスクパ
ターンを用いてスパッタリング法により形成されている
状態が示されている。
に際して、量産性のあるヘッド形状を検討した結果、第
１図、第２図および第３図に示したような磁気ヘッドの
製造法、ならびにそれによって得られる磁気ヘッドが適
していることを見出しだ。第１図＾において、１は耐摩
耗性のよい非磁性セラミック部で、フェライトコア２に
接着して一体化されている。これを適当な厚みにスライ
スすることにより、第２図＾に示すような磁気ヘッドの
バックコア１１が得られる。第１図（Ｂ）には、耐摩耗
性の優れた非磁性セラミックの基板４にトラック幅の厚
みになるよう軟磁性合金膜部３が所望の形状にマスクパ
ターンを用いてスパッタリング法により形成されている
状態が示されている。
基板４にはあらかじめ接着用の溝６が設けられており、
磁気ギャップ部６の位置で切断したのち、この切断面に
磁気ギャップを形成するために８１０２などをスパッタ
ーし、第１図（Ｂ）に示したように突き合わせ、溝５に
ガラスもしくは接着剤を入れて接合する。このようにし
て作製されたいわゆるギャップドパ−はスライスされ、
第２図（Ｂ）に示す磁気ヘッド先端部となる。なお、図
の６′は接着部である。以上のようにして作製された第
２図（Ｂ）に示すフロントコア１２と、巻線７をほどこ
された同図（８）に示すバックコア１１とが、軟磁性合
金に設けられた磁気ギャップ部６がバックコア１１の対
向面を鏡面仕上された非磁性セラミック部１に、また磁
気ギ５、ヤップから一定距離はなれた軟磁性合金膜部３
が対向面が鋳面仕上されたフェライトコア２にそれぞれ
相対するよう、貼り合わされ、フロントコア１２の軟磁
性合金部３とバックコア１１のフェライト２とで構成さ
れる磁気回路を有する第３図に示したような磁気ヘッド
となる。テープ摺動面となる前面を曲面状に仕上げるこ
とにより磁気ヘッドが完成する。
磁気ギャップ部６の位置で切断したのち、この切断面に
磁気ギャップを形成するために８１０２などをスパッタ
ーし、第１図（Ｂ）に示したように突き合わせ、溝５に
ガラスもしくは接着剤を入れて接合する。このようにし
て作製されたいわゆるギャップドパ−はスライスされ、
第２図（Ｂ）に示す磁気ヘッド先端部となる。なお、図
の６′は接着部である。以上のようにして作製された第
２図（Ｂ）に示すフロントコア１２と、巻線７をほどこ
された同図（８）に示すバックコア１１とが、軟磁性合
金に設けられた磁気ギャップ部６がバックコア１１の対
向面を鏡面仕上された非磁性セラミック部１に、また磁
気ギ５、ヤップから一定距離はなれた軟磁性合金膜部３
が対向面が鋳面仕上されたフェライトコア２にそれぞれ
相対するよう、貼り合わされ、フロントコア１２の軟磁
性合金部３とバックコア１１のフェライト２とで構成さ
れる磁気回路を有する第３図に示したような磁気ヘッド
となる。テープ摺動面となる前面を曲面状に仕上げるこ
とにより磁気ヘッドが完成する。
このようにして得られた磁気ヘッドの特徴をあげると以
下のとおりである。
下のとおりである。
（１）テープ摺動面が耐摩耗性に優れたセラミックで保
護されるため、フェライトと同等もしくはそれ以上の耐
摩耗性が得られる。
護されるため、フェライトと同等もしくはそれ以上の耐
摩耗性が得られる。
（２）従来金属系磁気ギャップをガラス接合するのは接
着性の点で困難であったが、セラミック上に軟磁性合金
をスパッターし、セラミックと一体化し、このセラミッ
クをガラス接着し、磁気ギャップを作製するので接合が
容易である。
着性の点で困難であったが、セラミック上に軟磁性合金
をスパッターし、セラミックと一体化し、このセラミッ
クをガラス接着し、磁気ギャップを作製するので接合が
容易である。
また、このギャップドパ−作りも、すでにマスクスパッ
タリング法により第１図（Ｂ）に示したようにギャップ
デプスがあらかじめできあがっているので、従来のよう
に多くの加工工程を必要とせず、ギャップドパ−からス
ライスしてフロントコアを得た後、巻線を施したバック
コアに貼り合わすだけでよいので、製造工程がきわめて
単純化される。
タリング法により第１図（Ｂ）に示したようにギャップ
デプスがあらかじめできあがっているので、従来のよう
に多くの加工工程を必要とせず、ギャップドパ−からス
ライスしてフロントコアを得た後、巻線を施したバック
コアに貼り合わすだけでよいので、製造工程がきわめて
単純化される。
（３）バックコアに使用されるフェライトは現在−ＶＴ
Ｒに使用されているような単結晶である必要がなく、焼
結フェライトであってもよい。その加工も、第１図（８
）、第２図（〜に示したように、簡単であるため、磁気
ヘッドの価格低減が可能となる。
Ｒに使用されているような単結晶である必要がなく、焼
結フェライトであってもよい。その加工も、第１図（８
）、第２図（〜に示したように、簡単であるため、磁気
ヘッドの価格低減が可能となる。
（４）フロントコア部も、軟磁性合金膜がたかだか２
ｍ Ｘ ２ ｔｍ＋程度の面積もあれば十分であるので
、スパンターリング法でも十分量産することができる。
ｍ Ｘ ２ ｔｍ＋程度の面積もあれば十分であるので
、スパンターリング法でも十分量産することができる。
（６） このようなヘッド形状にすることにより、飽
和磁束密度が高く耐摩耗性、高周次磁気特性に優れた軟
磁性合金薄膜を用いることができ、メタルテープに対応
した磁気特性を得ることができる。また、１０ＭＨｚ
付近もしくはそれ以上の周波数域での電磁変換特性が
要求される場合には、軟磁性合金間に絶縁のためのセラ
ミックスバッタ一層を介在させればよく、非常に高い周
波数域でも適用することができる。
和磁束密度が高く耐摩耗性、高周次磁気特性に優れた軟
磁性合金薄膜を用いることができ、メタルテープに対応
した磁気特性を得ることができる。また、１０ＭＨｚ
付近もしくはそれ以上の周波数域での電磁変換特性が
要求される場合には、軟磁性合金間に絶縁のためのセラ
ミックスバッタ一層を介在させればよく、非常に高い周
波数域でも適用することができる。
以下具体的な実施例をあげて、本発明の詳細について説
明する。
明する。
実施例１
真空容器内を３Ｘ１０ Ｔｏｒｒに排気した後、Ａｒ
ガスを導入してＩ Ｘ １０ Ｔｏｒｒの圧力とし、
鏡面研摩した各種の゛セラミック基板上にセンダストと
非晶質磁性合金Ｃｏ８６Ｎｂ１４ をスパッタリング
法で６μｍの厚さに付着させ、以下前述した方法で磁気
ヘッドを作製した。作製したヘッド前面の形状は３００
μｍＸ２＋ｏ＋である。これと同様な形状のトラック幅
３００μｍ２１幅２ｍ＋ｗの単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェラ
イトヘッドを作製し、本発明にかかる磁気ヘッドとの耐
摩耗比較実験を、市販ＶＴＲデツキを用いＣｏ ドー
プのγ−Ｆｅ２０３テープをａＯＯ時間走行させて行な
った。なお実験に用いた単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェライト
ヘッドのテープ走行面は（２，１，１）面を使用した。
ガスを導入してＩ Ｘ １０ Ｔｏｒｒの圧力とし、
鏡面研摩した各種の゛セラミック基板上にセンダストと
非晶質磁性合金Ｃｏ８６Ｎｂ１４ をスパッタリング
法で６μｍの厚さに付着させ、以下前述した方法で磁気
ヘッドを作製した。作製したヘッド前面の形状は３００
μｍＸ２＋ｏ＋である。これと同様な形状のトラック幅
３００μｍ２１幅２ｍ＋ｗの単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェラ
イトヘッドを作製し、本発明にかかる磁気ヘッドとの耐
摩耗比較実験を、市販ＶＴＲデツキを用いＣｏ ドー
プのγ−Ｆｅ２０３テープをａＯＯ時間走行させて行な
った。なお実験に用いた単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェライト
ヘッドのテープ走行面は（２，１，１）面を使用した。
実験結果を下表に示す。
上表に示した実験結果より、本発明にかかる磁気ヘッド
は耐摩耗性においてフェライトを上回っていることがわ
かる。
は耐摩耗性においてフェライトを上回っていることがわ
かる。
実施例２
真空容器内を３ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒに排気した後Ａ
ｒ・爾スを導入してＩ Ｘ １０”−２Ｔｏｒｘの圧力
かｉんｉ今、鏡面研摩したフォルステライト基板上にセ
ンダストを厚さ６μｍの厚さにまでスパッタし、そ層を
スパッタリング法で形成するという手順を繰返して、最
終的にトラック幅３０．４μｍの第１図中）に示すよう
なフロントコア部を作製した。センダストの代わりに非
晶質合金Ｃ０５ｅ Ｎｂ１４を用いて上述と同様にして
フロントコア部を作製した。これらに第１図（８）に示
したようなフェライトとフォルステライトとの一複合体
よりなるバックコアを貼シ合わせて、第３図に示したよ
うな形状のＶＴＲヘッドを作製した。
ｒ・爾スを導入してＩ Ｘ １０”−２Ｔｏｒｘの圧力
かｉんｉ今、鏡面研摩したフォルステライト基板上にセ
ンダストを厚さ６μｍの厚さにまでスパッタし、そ層を
スパッタリング法で形成するという手順を繰返して、最
終的にトラック幅３０．４μｍの第１図中）に示すよう
なフロントコア部を作製した。センダストの代わりに非
晶質合金Ｃ０５ｅ Ｎｂ１４を用いて上述と同様にして
フロントコア部を作製した。これらに第１図（８）に示
したようなフェライトとフォルステライトとの一複合体
よりなるバックコアを貼シ合わせて、第３図に示したよ
うな形状のＶＴＲヘッドを作製した。
このようにして得られた本発明の磁気ヘッドとほぼ同じ
トラ゛ツク幅を有し、テープ摺動面に（２゜１．１）面
を用いた単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェライトとの特性比較を
行なった。特性評価用テープとしては抗磁力Ｈａが１１
０００ｅ のメタルテープを使用し、ＢＭＨｚにおける
基準信号自己録再感度の相対比をＭｎ −Ｚｎ単結晶フ
ェライトヘッドをＯｄＢとして示した。
トラ゛ツク幅を有し、テープ摺動面に（２゜１．１）面
を用いた単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェライトとの特性比較を
行なった。特性評価用テープとしては抗磁力Ｈａが１１
０００ｅ のメタルテープを使用し、ＢＭＨｚにおける
基準信号自己録再感度の相対比をＭｎ −Ｚｎ単結晶フ
ェライトヘッドをＯｄＢとして示した。
特性測定゛結果と使用した磁気ヘッドフロントコア材の
緒特性を対比して下表に示した。
緒特性を対比して下表に示した。
１ 以上、本発明にかかる磁気ヘッドの特徴をまと゛
めると以下のようになる。
めると以下のようになる。
（１） フェライトヘッドに比べてＢ８ の高いヘッ
ド構成を可能にする。
ド構成を可能にする。
（２）耐摩特性においてフェライトを上回ることが可能
になった。
になった。
（３）録再感度７周波数特性においてフェライトヘッド
を上回ることができる。
を上回ることができる。
（４）トラック幅が狭い磁気ヘッドも容易に作製でき、
フェライトヘッドのような加工時のチッピングの問題が
生じない。
フェライトヘッドのような加工時のチッピングの問題が
生じない。
（５）スパッター膜の特質を生かしたヘッドの構成法に
より生産性のよい磁気ヘッドとなる。
より生産性のよい磁気ヘッドとなる。
以上本発明は耐摩耗特性においてフェライトヘッドと同
等もしくはそれ以上、電磁変換特性におラドを得ること
ができるものである。
等もしくはそれ以上、電磁変換特性におラドを得ること
ができるものである。
第１図、第２図および第３図は本発明にかかる磁気ヘッ
ドの一実施例の製造過程を説明するだめの図である。 １・・・・・・非磁性セラミック部、２・・・・・・フ
ェライトコア、３・・・・・・軟磁性合金膜部、４・・
・・・・基板、６・・・・・・接着用溝、６・・・・・
・磁気ギャップ部、７・・・・・・巻線、第１図
１ 第２図 １丁 第３図 ５′
ドの一実施例の製造過程を説明するだめの図である。 １・・・・・・非磁性セラミック部、２・・・・・・フ
ェライトコア、３・・・・・・軟磁性合金膜部、４・・
・・・・基板、６・・・・・・接着用溝、６・・・・・
・磁気ギャップ部、７・・・・・・巻線、第１図
１ 第２図 １丁 第３図 ５′
Claims (3)
- （１）耐摩耗特性に優れ、少なくとも使用温度において
非磁性を示す基板と軟磁性合金膜部とで構成された複合
体に、前記軟磁性合金膜部が対向するように磁気ギャッ
プを設け、この磁気ギャップを有する複合体ブロックと
、耐摩耗特性に優れ、少なくとも使用温度において非磁
性を示すセラミノギャップ近傍が前記バックコアのセラ
ミック部分に、また前記軟磁性合金膜のギャップ近傍で
ない部分の少なくとも一部が前記バックコアのフェライ
ト部分にそれぞれ面接触するように、接合し、磁気テー
プが接する磁気ギャップ部に前記基板と前記セラミック
部とによってはさまれた前記軟磁性合金膜部が位置し、
前記バックコアの前記フニライト部と前記軟磁性合金膜
部とが面接触することにより閉磁路を構成していること
を特徴とする磁気ヘッド。 - （２）軟磁性合金膜部がセンダストまたは非晶質合金で
構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の磁気ヘッド。 - （３）軟磁性合金膜部が複数の軟磁性合金層とそれより
も薄い膜厚の耐摩耗特性の良好なセラミック絶縁膜とが
積層されて構成されていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56188672A JPS5888814A (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 磁気ヘツド |
| US06/444,455 US4590530A (en) | 1981-11-24 | 1982-11-24 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56188672A JPS5888814A (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888814A true JPS5888814A (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=16227826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56188672A Pending JPS5888814A (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 磁気ヘツド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4590530A (ja) |
| JP (1) | JPS5888814A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2606920A1 (fr) * | 1986-11-18 | 1988-05-20 | Europ Composants Electron | Tete magnetique pour pistes magnetiques a fort champ coercitif et procede de fabrication |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60224109A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-08 | Hitachi Ltd | 複合型磁気ヘツドを用いた磁気記録再生装置 |
| JPS6142713A (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-01 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気ヘツド及びその製造方法 |
| US5001589A (en) * | 1989-05-31 | 1991-03-19 | Seagate Technology, Inc. | Tungsten and tantalum diffusion barriers for Metal-In-Gap magnetic heads |
| US5285340A (en) * | 1992-02-28 | 1994-02-08 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic head with conformable pole tips |
| US6288870B1 (en) | 1998-01-13 | 2001-09-11 | Quantum Corporation | Self-aligned metal film core multi-channel recording head for tape drives |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP56188672A patent/JPS5888814A/ja active Pending
-
1982
- 1982-11-24 US US06/444,455 patent/US4590530A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2606920A1 (fr) * | 1986-11-18 | 1988-05-20 | Europ Composants Electron | Tete magnetique pour pistes magnetiques a fort champ coercitif et procede de fabrication |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4590530A (en) | 1986-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH036564B2 (ja) | ||
| JPS5888814A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS5870418A (ja) | 磁気ヘツドの製法 | |
| JPS6220607B2 (ja) | ||
| US4731299A (en) | Composite magnetic material | |
| JPS60231903A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| KR0152601B1 (ko) | 복합형 자기헤드 코아 및 그 제조방법 | |
| JP2933638B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| KR0155468B1 (ko) | 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| JPS59203210A (ja) | 磁気コアおよびその製造方法 | |
| KR950000949B1 (ko) | 적층 자기헤드구조 | |
| JPS6015807A (ja) | 磁気ヘツド | |
| KR100232141B1 (ko) | 자기헤드의 제조 방법 | |
| JPH0253212A (ja) | 接合フェライト磁気ヘッド | |
| JPH0386905A (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS58161127A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPS62162208A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6398806A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JPH0589414A (ja) | 磁気ヘツドとその製造方法 | |
| JPS62279510A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH06215316A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS59101021A (ja) | 磁気ヘツドの生産方法 | |
| JPH04168614A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0869609A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0673165B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |