JPS632109A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高品位ＶＴＲやディジタルＶＴＲのように高周
波信号を扱うシステムに好適な、高周波信号を効率良く
記録再生する磁気ヘッドに関するものである。

従来の技術 従来、ＶＴＲ等の高周波信号を記録再生する装置におい
ては、ビデオヘッド用磁性材料として一般に高周波損失
の少ないフェライト材料が用いられている。しかし、近
年になって高品位ＶＴＲやディジタルＶＴＲのように更
に広帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになっ
てきており、記録媒体もこのような大量の情報を記録す
る為の高密度化の流れの中で酸化鉄系から合金粉末媒体
や金属蒸着媒体等の高抗磁力媒体へ移行しつつある。こ
れに対してフェライトヘッドではその最大磁束密度が高
々５ｏｏｏガウス程度であり、又短波長信号を効率良く
再生する為には狭ギャップにする必要があり、上述のよ
うなＨｃが１０ｏｏ工ルステツド以上の高抗磁力媒体で
はギャップ先端部のフェライトコアが飽和し、十分な記
録が出来ない。そこで最大磁束密度の高いセンダストや
アモルファス磁性合金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘ
ッドの開発が行なわれているが、バルク状の金属磁性材
料を用いたのではうず電流による高周波損失が大きくと
ても上記システムには使えない。

そこで上記損失をできるだけ押える為に金属磁性材料を
薄膜化して用いることが検討されており、第８図に示す
ようにギャップ近傍を金属磁性薄膜で構成するものが提
案されている。ａはフェライトコア１５のギャップ面に
金属磁性薄膜１３を形成したもので、記録時は金属磁性
材料による強磁界を実現し、再生時はその高周波損失の
影響をできるだけ小さくするというものである。又すも
同様の効果を有するもので、更に金属磁性薄膜１３とフ
ェライトコア１５との境界部が擬似ギャップとして動作
しないように構成したものである。−方、Ｃは主磁気回
路を金属磁性薄膜１３と絶縁薄膜１７との積層体で構成
する事により、前記課題に対応しようというものである
。

発明が解決しようとする問題点 高品位’／ＴＲやディジタル”／ＴＲではその信号帯域
は１０〜数１０ＭＨｚに達する。これに対して例えばセ
ンダストの比抵抗は約８ＱμΩ・αであるからそのスキ
ンデプスはμ１＝１００００とする。と２０　ＭＨｚ　
ｆは約１７２ｍになる。−方Ｃｏ　−Ｎｂ　−Ｚｒ系ア
モルファスでは比抵抗が約１２０μΩ・口でμ１＝２０
００とすると２０　Ｍ）−Ｌｚでのスキンデプスは約２
．５μｍとなる。従って効率の良い磁路を構成する為に
は膜厚を数μｍ〜５μｍにする必要があり、現状で必要
なＳ／Ｎを得る為のトラック幅を構成するには前記膜厚
の金属磁性薄膜と電気的な絶縁薄膜との積層構造が不可
欠となる。第８図ａ。

ｂに示すヘッドの場合、量産性に優れた構造ではあるが
上記積層構造を導入しようとする場合、ａでは磁路と平
行な面での積層はヘッド構造からみて極めて困難であり
、磁路と直交する面で積層すると層間絶縁膜が擬似ギャ
ップとして動作し、本来のギャップで書き込んだ信号の
上をオーバーライドする形になりＳ／Ｎを低下させてし
まう。又すに示す構造でもａより影響の度合は小さいが
基本的に同様の問題点を有する。又、両者共テープ摺動
面にフェライト、金属磁性薄膜、補強ガラスが露出する
形になる為にテープ摺動による偏摩耗現象が大きく、特
にフェライトと金属磁性薄膜との間には数１００人〜０
．１μｍの段差が発生し、短波長信号を記録・再生する
際にスペース損失として大きな出力低下を招く。−方、
Ｃの場合は磁路面と平行な積層構造を有する為に、ａ、
ｂで指摘したような問題点は発生せず高周波・短波長信
号の記録再生に適しているが、その製造方法としてはヘ
ッド側面と平行な面で積層する為に、これまで確立され
てきたブロックでギャップを形成し、これをスライスレ
マヘッドチップを製造するという量産技術を導入するに
は種々の問題点を有している。

そこで本発明は上記のような高周波・高密度の信号の記
録再生に適し、且つ、量産性に優れた磁気ヘッドを提供
することを目的とする。

問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決する為に１・（ツクコア部に
バルク状の強磁性体酸化物を用い、少くともフロントギ
ャップ近傍は金属磁性薄膜と絶縁薄膜との積層体で構成
し、この積層体の積層面がテープ摺動面に対してトラン
ク幅方向に傾斜している構造を有するものである。

作用 本発明は上述したように、ギャップ部を構成する磁気コ
アとして高飽和磁束密度を有する金属磁性材料を用いる
ことにより高抗磁力媒体でも十分に記録できる能力を有
し、再生時においてはギャップ近傍の磁路が金属磁性薄
膜と電気的な絶縁薄膜との積層体で構成され、他の磁路
は高周波損失の少ない強磁性体酸化物で構成される為に
高周波でも高効率で信−号を再生することができ、更に
従来の量産技術を容易に導入できる構造を有している為
、量産に適した高周波対応磁気ヘッドが得られる。

実施例 本発明の実施例の斜視図を第１図に、記録媒体対接面か
らみた平面図を第２図に示す。図において１はアモルフ
ァス磁性合金やセンダスト等の金属磁性薄膜であり、層
間絶縁膜としてのＳｉＯ２やＳｉ、５Ｎ４等の電気的な
絶縁薄膜２と交互に積み重ねて積層体３を構成し、磁気
ギャップ４を介してフロントコア部を構成している。５
はＭｎ−Ｚｎフェライト等の高周波損失の少ない強磁性
体酸化物のバルク材料からなりパックコア部を構成して
いる。

フェライト５と積層体３の接合面６はテープ摺動面に対
してトラック幅方向に傾斜した構造になっておシ、従っ
て積層体３の積層面（図では絶縁薄膜２で表示）も同様
に傾斜した構造になっている。

了は積層体３を挾持している補強ガラス、８は磁気ギャ
ップ４を形成する為にコアを接合するポンディングガラ
ス、９は巻線溝である。

この様な構成においては、記録時は磁気ギャップ４を構
成する積層体３が高い飽和磁束密度を有する金属磁性薄
膜１で構成されている為に大きな記録磁界を発生させる
ことができると共に、再生時においてはフロントコア部
は周波数に応じて設計された厚さの金属磁性薄膜１を積
層することにより高周波損失を防ぎ、パックコア部はバ
ルク状のフェライト材料で構成する事により低しラクタ
ンス磁路を形成し、磁気ヘッドとして高周波での高い再
生効率が実現できるものである。

又、テープ摺動面は第２図に示すように層間絶縁薄膜２
が磁路を構成する面と平行で磁気ギャップ４に対しほぼ
直交する為に擬似ギャップとして動作することもなく、
又、補強ガラス７を最適化する事によシ偏摩耗のほとん
ど無い良好なテープ・ヘッドインターフェイスを実現で
きる。

本発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施例を説明すると
、先づ第３図に示したようにＭｎ−Ｚｎフェライト等の
強磁性体酸化物からなる直方体のコアプレート１０にそ
の一端面に平行にＶ溝１１を形成する。次に第４図に示
すようにＶ溝１１の上にアモルファス磁性合金やセンダ
スト等の高飽和磁束密度を有する金属磁性薄膜１と約１
Ｑ○０人の５ｉ０２やＳｉ３Ｎ４等の電気的な絶縁薄膜
２を、スパッタリング等の薄膜形成法で交互に形成して
積層体３を構する。この際、金属磁性薄膜１の１層当た
りの膜厚は使用周波数におけるうず電流損失の影響がで
きるだけ小さくなるように設計する。

次に第５図に示すようにＶ溝の傾斜面にトラック部が残
る様にＶ溝と平行に溝１１を所定の深さで形成する。そ
の後−点鎖線で示すように溝１１にほぼ直角に切断して
第６図のようなブロックを形成する。次に上記ブロック
のギャップ面１２を鏡面に仕上げた後、第７図に示した
ように、同様に加工して巻線溝９を形成した対向ブロッ
クと所定厚のギャップスペーサ（図示せず）を介して突
き合わせ、溝１１にガラスを充填すると同時に両ブロッ
クをボンディングガラス８で接合して磁気ギャップ４を
形成する。この際、溝１１のガラスは　・両コアを接合
する以前の段階で比較的高融点のガラスを充填しておい
て、接合時はそれより低融点のボンディングガラス８で
接合することもできる。

その後、第７図に示した一点鎖線に沿って切断し、テー
プ摺動面を所定の形状にラッピングテープ等で仕上げる
ことにより第１図に示すような高周波対応磁気ヘッドが
完成する。尚、ヘッド走行方向に対してギャップの角度
を傾斜させる場合は、第５図に示したプレートからブロ
ックを切断する際に、溝１１に対して上記傾斜角度分傾
けて切断し、その切断面をギャップ面とすることにより
、テープ摺動面において積層体はヘッド側面に平行でギ
ャップが所定角度傾斜した磁気ヘッドが得られる。

発明の効果 本発明によれば、高抗磁力媒体でも十分に記録でき、更
に高周波信号でも十分高い効率で再生できるという優れ
た性能と、従来確立してきた量産技術を容易に導入でき
る優れた量産性とを兼ね備えた高周波用磁気ヘッドが得
られるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における磁気ヘッドの斜視図、
第２図は同ヘッドをテープ摺動面からみた平面図、第３
図〜第７図は本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図、第８図は従来の磁黴ヘッドの例を示す平面図である
。 １・・・・・・金属磁性薄膜、２・・・・・・絶縁薄膜
、３・・・・・・積層体、４・・・・・・磁気ギャップ
、５・・・・・・フェライト。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名４１
図 第２図 ４１ス片ヤツブ 第３図 第　４　図　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｌ
　、ゴ（ｂ≧；罵１曙１慮）ｌ在ｌ二薄ノ１！嘗１゜第
６図 簗７図。 ９　巻諜溝 第８図 １６ガ′ラス　　　１５フエライト （６Ｌ） （ｂン （Ｃ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. バックコアがバルク状の強磁性体酸化物よりなり、少く
   ともフロントギャップ近傍が金属磁性薄膜と絶縁薄膜と
   の積層体で構成されており、この積層体の積層面がテー
   プ摺動面に対してトラック幅方向に傾斜していることを
   特徴とする磁気ヘッド。