JP2001126209A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来、磁気ヘッドを製造するさい、その磁気
ヘッドにトラックずれを発生させることがあった。 【解決手段】 両面にガラス溝２が複数形成されている
磁性体基板５を複数枚用意し、各基板５の各溝２にガラ
スを充填した後各基板５の片面に金属磁性層１を設け、
複数の基板５を積層した場合、金属磁性層１同士が隣り
合わないように、かつ隣り合う基板５のガラスの一部が
積層方向において重なるように、複数の基板５を積層
し、基板５に対して実質上垂直に、またガラスが重なっ
ている部分が切断されるように、溝２と実質上平行な面
で積層したものを切断して、２個の積層基板を作成し、
それら２個の積層基板の一方に巻線溝を形成し、切断面
にギャップ部材を形成して積層基板を突き合わせて接合
してギャップドプレートを作成し、それを切断してギャ
ップドバーを得、さらに切断してヘッドチップを作成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、酸化物磁性体と金
属磁性体の複合材料等からなる磁気ヘッドの製造方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＶＴＲの記録信号の高密度化が進展して
いるが、これに対応して、磁気ヘッドに対してもそのト
ラック幅が狭く、高精度なものが要求されるようになっ
てきた。しかし、これを歩留まり良く製造する点におい
て課題がある。以下に、従来の複合磁気ヘッドの製造プ
ロセスの概略について説明する。

【０００３】図５（ａ）に示す様に、Ｍｎ−Ｚｎフェラ
イト等の強磁性酸化物でできた半体コア３０のギャップ
形成面にガラス溝３１を形成する。次に図５（ｂ）に示
す様に、上記ガラス溝３１に高融点ガラス３２を溶融充
填した後研磨し、さらに、図５（ｃ）に示す様に、回転
砥石等を用いてトラック規制溝３３を形成する。

【０００４】次に、図５（ｄ）に示す様に、ギャップ形
成面にスパッタリング等の真空薄膜形成技術を用いて金
属磁性層３４を積層する。次に、図５（ｅ）に示す様
に、高融点ガラス３２より融点の低い低融点ガラス３５
を溶融充填後、ギャップ形成面を鏡面研磨し、さらに、
図５（ｆ）に示す様に、一方の半体コア３０ａに巻線溝
３６を加工する。

【０００５】次に、ギャップ面にギャップスペーサとな
る非磁性膜を付け、こうして得られた半体コア３０ａ、
３０ｂを図５（ｇ）に示す様に、ギャップ面を対向させ
て突き合わせると同時にトラック合わせを行い、低融点
ガラス３５で融着する。次に、図５（ｇ）中に示すＰ−
Ｐ線、Ｐ’−Ｐ’線で切断し、テープ摺動面から見て図
５（ｈ）に示す様なヘッドチップを得る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上の様にして、ヘッ
ドチップが製造されるが、この方法では、高精度なトラ
ック幅を持つヘッドを、歩留まり良く製造するのは困難
であった。

【０００７】図６に示す様に、ギャップ面をＲ１面から
Ｒ２面まで鏡面研磨する際、研磨量のばらつきがあると
トラック端位置のＳ１からＳ２への移動分Ｄｓがばらつ
き、トラックを突き合わせたときに合わず、図５（ｈ）
にａとして示した様なトラックずれを引き起こしてしま
うと言う問題がある。

【０００８】また、トラック規制溝３３の加工において
も、加工機の送りピッチＴｐの誤差、砥石高さＨの変動
があると、同様にトラック端位置Ｓ１が移動して、トラ
ックずれを引き起こす。このような問題のため、磁気ヘ
ッドを歩留まり高く生産するのは困難であった。

【０００９】本発明は、上記課題を考慮し、高トラック
幅精度を実現する、つまりトラックずれのない磁気ヘッ
ドを製造するための、磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】第１の本発明（請求項１
に対応）は、両面に、所定の溝が実質上平行となるよう
に、かつ所定の間隔で配置されるように複数形成されて
いる基板を複数枚用意し、前記各基板の前記各溝に所定
のガラスを充填し、前記ガラスが充填された前記各基板
の一方もしくは双方の表面に金属磁性層を設けまたは設
けず、前記複数の基板を積層した場合、前記金属磁性層
同士が隣り合わないように、かつ隣り合う前記基板の前
記溝に充填されている前記ガラスの少なくとも一部が積
層方向において重なるように、前記複数の基板を積層
し、前記基板に対して実質上垂直に、また前記ガラスの
少なくとも一部が重なっている部分が切断されるよう
に、前記溝と実質上平行な面で、前記積層したものを切
断して、少なくとも２個の積層基板を作成し、前記２個
の積層基板の少なくとも一方の切断面に巻線溝を形成
し、前記２個の積層基板の少なくとも一方の切断面にギ
ャップ部材を形成し、前記２個の積層基板を、前記切断
面が対向するように突き合わせて接合してギャップドプ
レートを作成し、前記ギャップドプレートを前記巻線溝
ごとに切断してギャップドバーを得、前記ギャップドバ
ーを、所定のアジマス角傾けて切断してヘッドチップを
作成することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法であ
る。

【００１１】第２の本発明（請求項２に対応）は、前記
複数の基板を積層するさい、その積層を行う前記各基板
には一方の表面のみ前記金属磁性層を設け、その一方の
表面のみ前記金属磁性層を設けた基板複数枚を積層する
ことを特徴とする第１の本発明に記載の磁気ヘッドの製
造方法である。

【００１２】第３の本発明（請求項３に対応）は、複数
の基板を、非磁性部材を介して積層して複合ブロックを
作成し、前記複合ブロックを、前記基板に対して所定の
角度を形成する面で切断して、複合基板を複数枚作成
し、前記各複合基板の一方もしくは双方の表面に金属磁
性層を設けまたは設けず、前記複数の複合基板を積層し
た場合、前記金属磁性層同士が隣り合わないように、か
つ隣り合う前記複合基板の前記非磁性部材の少なくとも
一部が積層方向において重なるように、前記複数の複合
基板を積層し、前記複合基板に対して実質上垂直に、ま
た前記非磁性部材の少なくとも一部が重なっている部分
が切断されるように、前記各非磁性部材と実質上平行な
面で、前記積層したものを切断して、少なくとも２個の
積層基板を作成し、前記２個の積層基板の少なくとも一
方の切断面に巻線溝を形成し、前記２個の積層基板の少
なくとも一方の切断面にギャップ部材を形成し、前記２
個の積層基板を、前記切断面が対向するように突き合わ
せて接合してギャップドプレートを作成し、前記ギャッ
プドプレートを前記巻線溝ごとに切断してギャップドバ
ーを得、前記ギャップドバーを、所定のアジマス角傾け
て切断してヘッドチップを作成することを特徴とする磁
気ヘッドの製造方法である。

【００１３】第４の本発明（請求項４に対応）は、前記
非磁性部材が、ガラス層、または片側もしくは両側にガ
ラスが形成されている非磁性基板であることを特徴とす
る第３の本発明に記載の磁気ヘッドの製造方法である。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明は上記トラックずれを解消
するものであり、その構造、製造方法について以下に説
明する。

【００１５】（実施の形態１）図１（ａ）の中央に示す
様に、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の酸化物でできた磁性体
基板５の両面にガラス溝２を複数形成する。そのガラス
溝２を形成するさい、各ガラス溝２が実質上平行となる
ように、かつ所定の間隔で配置されるようにする。そし
て、各ガラス溝２にモールドガラス４を溶融充填し、さ
らに磁性体基板５の両面を研磨する。次に、磁性体基板
５の片面に金属磁性層１を付着し、もう片面には接着層
３を付着して第１基板６を作成する。同様にして、片面
のみモールドガラス４を溶融充填した後研磨し、この上
に接着層３を付着した第２基板６’と、片面のみモール
ドガラス４を溶融充填した後研磨し、この上に金属磁性
層１を付着した第３基板６’’を作成する。

【００１６】次に、図１（ｂ）に示す様に、複数積み重
ねた第１基板６の両端に第２基板６’と第３基板６’’
を重ねて、接着層３の接合および／またはモールドガラ
ス４の溶融接合によって一体化した積層ブロック７を作
成する。このとき、金属磁性層１を挟んで対向するモー
ルドガラス４同士はずらして配置する。つまり、複数の
第１基板６と、第２基板６’と、第３基板６’’とを積
層した場合、金属磁性層１同士が隣り合わないように、
かつ隣り合う第１基板６同士の、もしくは隣り合う第１
基板６と第２基板６’の、もしくは隣り合う第１基板６
と第３基板６’’の、モールドガラス４の少なくとも一
部が積層方向において重なるように、複数の第１基板６
と、第２基板６’と、第３基板６’’とを積層する。

【００１７】次に、図１（ｂ）に示す２点鎖線の位置で
積層ブロック７を短冊状に、金属磁性層１の層面に対し
て実質上直角に切断して、図２（ｃ）に示す様な１対の
積層基板８，８’を作成する。次に、積層基板８’に巻
線溝９を形成した後、積層基板８および積層基板８’の
磁気ギャップ面１０を平滑に研磨し、その磁気ギャップ
面１０にギャップ材を付着する。

【００１８】そして、図２（ｄ）に示す様に、金属磁性
層１同士を突き合わせ、モールドガラス４の融着によっ
て一体化したギャップドプレート１１を作成する。次
に、このギャップドプレート１１を図２（ｄ）の２点鎖
線で示す位置で切断して、図２（ｅ）に示す様なギャッ
プドバー１２を得、このギャップドバー１２を図２
（ｅ）中の２点鎖線で示す位置でアジマス角分傾けて切
断する。最後に、テープ摺動面を研磨して図２（ｆ）に
示す様な磁気ヘッド１３を得る。テープ摺動面から見る
と、図２（ｇ）の様である。

【００１９】こうして作成された実施の形態１の磁気ヘ
ッドは、図１（ｂ）に示す様に、積層ブロック７を金属
磁性層１の層面に対して実質上直角に切断する工程を経
て製造されるために、磁気ギャップ面１０の研磨の研磨
量のばらつきがあっても、従来の様なトラック端位置の
移動は起こらず、したがって、トラックずれが発生しな
い。さらに、トラック幅は高精度に制御可能な金属磁性
層１の膜厚で決まるため、従来多く用いられていた機械
加工に比べてばらつきを小さくすることができる。した
がって、トラックずれのない、幅ばらつきの少ない磁気
ヘッドの量産が可能となる。

【００２０】なお、上述した実施の形態１では、図１
（ａ）の中央に示す様に、磁性体基板５の片面に金属磁
性層１を付着し、もう片面に接着層３を付着した第１基
板６複数枚を、金属磁性層１同士が隣り合わないように
積層するとしたが、磁性体基板５の両面に金属磁性層１
を付着した基板Ａと、磁性体基板５の両面のいずれにも
金属磁性層１が付着されていない基板Ｂとを、金属磁性
層１同士が隣り合わないように、積層してもよい。その
場合、基板Ａと基板Ｂとの界面にはガラス層等の接着層
を配置することになる。要するに、積層ブロック７を作
成するさい、金属磁性層１同士が隣り合わないように、
かつ隣り合う磁性体基板５のガラス溝２に充填されてい
るモールドガラス４の少なくとも一部が積層方向におい
て重なるように、積層しさえすればよい。

【００２１】また、上述した実施の形態１では、請求項
１の磁気ヘッドの製造方法における基板として、磁性体
基板５を用いたが、請求項１の基板として、非磁性基板
を用いてもよい。つまり、非磁性基板を用いてもトラッ
クずれのない磁気ヘッドを製造することができるという
ことである。

【００２２】（実施の形態２）実施の形態１の磁気ヘッ
ドでは、図２（ｇ）に示すように、トラック側面１４
と、ガラス、磁性体の境界面１５との成す角度θは実質
上９０゜である。９０゜であると、境界面１５もギャッ
プとしての作用をもつ、いわゆる疑似ギャップとしての
影響が大きくなるため、実際は９０゜にしない方が望ま
しい。この境界面１５とトラック側面１４との角度θの
設定自由度は大きい方が望ましいが、実施の形態１では
９０゜以上の可変範囲を取ることができない。

【００２３】これは、ガラス溝２の加工において、図２
（ｈ）にｃと示す先細の形の溝加工ができても、ｂに示
す先太の形の溝加工ができないためである。これに対し
て、実施の形態２では、上述したθを任意の角度に設定
することができる。以下に説明する。

【００２４】図３（ａ）に示す様に、Ｍｎ−Ｚｎフェラ
イト等の酸化物でできた磁性体基板５をスペーサ１６を
挟んで積み重ね、両端を蓋１７で囲んで、隙間にモール
ドガラス４を流し込み、複合ブロック１８を作成する。
次に、複合ブロック１８を図３（ａ）中に示す２点鎖線
で斜めに切断して、図３（ｂ）に示す様な、モールドガ
ラス４と磁性体基板５が交互に配置され、モールドガラ
ス４と磁性体基板５の境界が表面に対して斜めになった
板を作成し、板面上に金属磁性層１を付着させて複合基
板１９を得る。

【００２５】次に、複数の複合基板１９を、金属磁性層
１同士が隣り合わないように積み重ね、モールドガラス
４の溶融接合によって固着された積層ブロック７を作成
する。その後、図３（ｃ）の２点鎖線で積層ブロック７
を切断して図４（ｄ）に示す積層基板８、８’を得る。
なお、積層ブロック７を切断するさい、図３（ｃ）の２
点鎖線に示すように、複合基板１９に対して実質上垂直
に、またモールドガラス４の一部が重なっている部分が
切断されるように、各モールドガラス４と実質上平行な
面で切断する。

【００２６】そして、図４（ｄ）に示すように、積層基
板８’に巻線溝９を形成した後、積層基板８および積層
基板８’の磁気ギャップ面１０を平滑に研磨し、その磁
気ギャップ面１０にギャップ材を付着する。次に、図４
（ｅ）に示す様に、金属磁性層１同士を突き合わせ、モ
ールドガラス４の融着によって一体化したギャップドプ
レート１１を作成する。その後、このギャップドプレー
ト１１を図４（ｅ）の２点鎖線で示す位置で切断して、
図４（ｆ）に示す様なギャップドバー１２を得、このギ
ャップドバー１２を図４（ｆ）中の２点鎖線で示す位置
でアジマス角分傾けて切断する。最後に、テープ摺動面
を研磨して磁気ヘッド１３を得る。こうして、テープ摺
動面から見て図４（ｇ）の様な構成の磁気ヘッド１３が
できる。

【００２７】実施の形態２においては、ガラスと磁性体
の境界面１５とトラック側面１４との成す角度θは複合
ブロック１８から複合基板１９を切り出すときの切り出
し角度によって自由に変えることが可能となる。なお、
上記説明では、基板２５には接着層を設けなかったが、
接着層を設けた方が接着強度の点でより好ましい。

【００２８】ところで、複合ブロックの作成法について
は、他の方法によっても可能であり、その他の方法を図
７を用いて説明する。図７（ａ）の方法は、磁性体基板
５とガラス平板２２を積層した後ガラスの溶融接合によ
り、図７（ｃ）の様な複合ブロック１８を作成するとい
う方法である。図７（ｂ）の方法は、磁性体基板５と非
磁性平板２０に接合層２１を付着し、この接合層２１で
積層固着して複合ブロック１８を作成するという方法で
ある。

【００２９】なお、上述した実施の形態２においても、
複合基板１９の両面に金属磁性層１を付着した基板Ｃ
と、複合基板１９の両面のいずれにも金属磁性層１が付
着されていない基板Ｄとを、金属磁性層１同士が隣り合
わないように、積層してもよい。その場合、基板Ｃと基
板Ｄとの界面にはガラス層等の接着層を配置することに
なる。要するに、実施の形態２においても、積層ブロッ
ク７を作成するさい、金属磁性層１同士が隣り合わない
ように、かつ隣り合う複合基板１９のモールドガラス４
の少なくとも一部が積層方向において重なるように、積
層しさえすればよい。

【００３０】また、上述した実施の形態２では、請求項
３の磁気ヘッドの製造方法における基板として、磁性体
基板５を用いたが、非磁性基板を用いてもよい。つま
り、非磁性基板を用いてもトラックずれのない磁気ヘッ
ドを製造することができるということである。

【００３１】上記した実施の形態の製造方法を用いて磁
気ヘッドを製造すると、トラックずれの発生を防止する
ことができ、高精度なトラック幅の磁気ヘッドを高歩留
まりで生産することが可能となる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したところから明らかなよう
に、本発明は、トラックずれのない磁気ヘッドを製造す
るための、磁気ヘッドの製造方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の磁気ヘッドの製造方法
の前半を示す製造工程図

【図２】本発明の実施の形態１の、磁気ヘッドの製造方
法の後半を示す製造工程図、および磁気ヘッドを示す図

【図３】本発明の実施の形態２の磁気ヘッドの製造方法
の前半を示す製造工程図

【図４】本発明の実施の形態２の、磁気ヘッドの製造方
法の後半を示す製造工程図、および磁気ヘッドを示す図

【図５】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図

【図６】トラックずれ発生説明図

【図７】複合ブロック作成説明図

【符号の説明】

１ 金属磁性層 ２ ガラス溝 ３ 接着層 ４ モールドガラス ５ 磁性体基板 ６ 第１基板 ６’ 第２基板 ６’’ 第３基板 ７ 積層ブロック ８ 積層基板 １３ 磁気ヘッド １８ 複合ブロック １９ 複合基板

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 両面に、所定の溝が実質上平行となるよ
   うに、かつ所定の間隔で配置されるように複数形成され
   ている基板を複数枚用意し、 前記各基板の前記各溝に所定のガラスを充填し、 前記ガラスが充填された前記各基板の一方もしくは双方
   の表面に金属磁性層を設けまたは設けず、前記複数の基
   板を積層した場合、前記金属磁性層同士が隣り合わない
   ように、かつ隣り合う前記基板の前記溝に充填されてい
   る前記ガラスの少なくとも一部が積層方向において重な
   るように、前記複数の基板を積層し、 前記基板に対して実質上垂直に、また前記ガラスの少な
   くとも一部が重なっている部分が切断されるように、前
   記溝と実質上平行な面で、前記積層したものを切断し
   て、少なくとも２個の積層基板を作成し、 前記２個の積層基板の少なくとも一方の切断面に巻線溝
   を形成し、 前記２個の積層基板の少なくとも一方の切断面にギャッ
   プ部材を形成し、 前記２個の積層基板を、前記切断面が対向するように突
   き合わせて接合してギャップドプレートを作成し、 前記ギャップドプレートを前記巻線溝ごとに切断してギ
   ャップドバーを得、 前記ギャップドバーを、所定のアジマス角傾けて切断し
   てヘッドチップを作成することを特徴とする磁気ヘッド
   の製造方法。
2. 【請求項２】 前記複数の基板を積層するさい、その積
   層を行う前記各基板には一方の表面のみ前記金属磁性層
   を設け、その一方の表面のみ前記金属磁性層を設けた基
   板複数枚を積層することを特徴とする請求項１記載の磁
   気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 複数の基板を、非磁性部材を介して積層
   して複合ブロックを作成し、 前記複合ブロックを、前記基板に対して所定の角度を形
   成する面で切断して、複合基板を複数枚作成し、 前記各複合基板の一方もしくは双方の表面に金属磁性層
   を設けまたは設けず、前記複数の複合基板を積層した場
   合、前記金属磁性層同士が隣り合わないように、かつ隣
   り合う前記複合基板の前記非磁性部材の少なくとも一部
   が積層方向において重なるように、前記複数の複合基板
   を積層し、 前記複合基板に対して実質上垂直に、また前記非磁性部
   材の少なくとも一部が重なっている部分が切断されるよ
   うに、前記各非磁性部材と実質上平行な面で、前記積層
   したものを切断して、少なくとも２個の積層基板を作成
   し、 前記２個の積層基板の少なくとも一方の切断面に巻線溝
   を形成し、 前記２個の積層基板の少なくとも一方の切断面にギャッ
   プ部材を形成し、 前記２個の積層基板を、前記切断面が対向するように突
   き合わせて接合してギャップドプレートを作成し、 前記ギャップドプレートを前記巻線溝ごとに切断してギ
   ャップドバーを得、 前記ギャップドバーを、所定のアジマス角傾けて切断し
   てヘッドチップを作成することを特徴とする磁気ヘッド
   の製造方法。
4. 【請求項４】 前記非磁性部材は、ガラス層、または片
   側もしくは両側にガラスが形成されている非磁性基板で
   あることを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドの製造
   方法。