JPS6374115A - 浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は外部記憶装置に用いられる浮動形磁気ヘッドに
係り、特に高密度記録再生に好適な浮動形磁気ヘッドに
関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスク装置に用いられる従来の浮動形磁気ヘッド
の１例を、第１３図（ａ）、（ｂ）および第１４図（ａ
）、（ｂ）に示す。（ａ）はそれぞれの浮動形磁気ヘッ
ドの斜視図であり、（ｂ）は磁気コア主要部拡大図であ
る。

第１３図（ａ）は現在実用化されている浮動形磁気ヘッ
ド（コンポジットヘッドと称している）１０である。こ
の浮動形磁気ヘッド１０は非磁性材料からなる浮動部材
１１とフェライトからなる磁気ヘッドコア１２とから構
成されている。磁気ヘッドコア１２において、１４はコ
イル、１５は磁気ギャップである。

この浮動形磁気ヘッドは浮動部材１１と磁気ヘッドコア
１２を別々に加工し、浮動部材１１の浮上滑面１３の端
部に切り欠き溝を設け、磁気ヘッドコア１２を切り欠き
溝内に装着して、樹脂あるいはガラスなどで固定しであ
る。

次に、第１４図（ａ）、　（ｂ）は特開昭６１−８０５
１９号に記載されている他の従来の浮動形磁気ヘッド１
５の斜視図である。

この浮動形磁気ヘッド↓ｌは、一対の磁気コア半体１６
．１７、磁気ギャップ１８．コイル１９等より構成され
ている。浮動形磁気ヘッド１５は一方の磁気コア半体１
６をもう一方の磁気コア半体１７に磁気ギャップ１８を
形成するための非磁性材を介して突き合せて接合してな
る。なお、磁気コア半体１７は浮動部材と共用される構
造となっている。磁気コア半体１６は磁性体部２０を一
対の幅狭の非磁性材料よりなる補強板２１ａ。

２１ｂにて挾持しである。この磁性体部２０はＦｅ−Ａ
ｎ−８ｔ合金、パーマロイまたはアモルファス等の軟磁
性材よりなり、一対の補強板２１ａ、２１ｂの少なくと
も一方に薄膜形成技術によって形成されている。なお、
磁気コア半体１６が磁性膜の形成された補強部材２１ａ
と他の補強部材２１ｂとの接合は低融点ガラスを用いて
行なわれる。

他の磁気コア半体１７は磁性体２０と同材質の軟磁性材
よりなり、浮動部材２２ａ、２２ｂによって挾持し、低
融点ガラスで接合しである。

このように、形成した磁気コア半体１６および１７は非
磁性ギャップ材を介して接合一体化して浮動形磁気ヘッ
ド１５を構成している。

なお、この浮動形磁気ヘッドは磁路を形成する磁性体が
フェライトより飽和磁束密度の高い、Ｆｅ−ＡＱ−Ｓｔ
金合金パーマロイまたはアモルファス磁性材料となって
いるため、高密度記録用の磁気ヘッドとして適している
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来の浮動形磁気ヘッドの問題点について第１３図
（ｂ）、第１４図（ｂ）によって説明する。

先ず、第１３図（ｂ）の従来例において、磁気ヘッドコ
ア１２は浮動部材１１の浮上滑部１３に切り欠き溝２３
を形成し、この溝２３に装着され、ガラスなどによって
固定した構造となっている。

そのため、 （１）磁気ヘッドコア１２は別に形成し、浮動部材１１
の切り欠き溝２３に装置固定する工程において、磁気ヘ
ッドコアの位置ずれが起り、製造歩留低減の原因となっ
ていた。

（２）磁気ヘッドコア１２のギャップ深さが浮動部材１
１の内部に位置するため、ギャップ深さ加工の時に別に
基準面を設ける必要があり、加工寸法精度が得られない
という問題があった。

（３）浮動形磁気ヘッドを製造する工程において、ガラ
スなどで接合する部分が２個所ある０例えば。

磁気ギャップ１５を形成する時にガラス接合された磁気
ヘッドコア１２は、浮動部材１１に装着する時にガラス
で固定される。このように、２度のガラス接合部を有す
る場合、磁気ヘッドコアを浮動部材に装着するガラスは
磁気ヘッドコアの磁気ギャップを接合するガラスより軟
化温度の低いものを選ぶ必要がある。そうしないと、磁
気ヘッドコア１２を浮動部材１１に装着する時に、磁気
ヘッドコアを接合したガラスが軟化し、はく離の原因と
なる。少なくとも、磁気ヘッドコアを接合する時のガラ
スは、浮動部材に装着する時に加熱する温度で軟化しな
い程度の高温ガラスを選ぶ必要がある。

そのため、ガラスの選択範囲が限られ、許容範囲の狭い
温度条件で製造しなければならなくなっている。その結
果、ガラスの充填不良、ガラスに発生した気泡の残存と
いった問題が起る。

次に、第１４図の他の浮動形磁気ヘッド１５においては
、第１４図（ｂ）に主要部拡大斜視図を示すように、一
対の磁気コア半体１６．１７が磁気ギャップ１８で接合
一体化されている。そして磁気コア半体１６は磁気回路
を構成する磁性体部２０が浮動部材２２ａ、２２ｂによ
って挾持され、いずれか一方の面にガラス膜を介して接
合されている。例えば、第１４図（ｂ）においては浮動
部材２２ａに磁性体部２０が形成され、もう一方の浮動
部材２２ｂが接合面２４でガラス膜を介して接合され、
浮動部材１７を形成する。

さらに、もう一方の磁気コア半体１６は補強材２１ａに
磁性体部２０を形成して、他の補強材２１ｂをガラス膜
を介して接合する。その後、磁気コア半体１６．１７は
磁気ギャップ１８を介して接合することによって、浮動
形磁気ヘッドを形成する。

このような構造の浮動形磁気ヘッドには以下のような問
題点がある。

（１）この浮動形磁気ヘッドは、前記第１３図の従来例
と同様に、ガラスなどで接合する部分が複数個所ある。

すなわち、一方の磁気コア半体１７は浮動部材２２ａに
磁性体膜２０を形成した後。

浮動部材２２ｂを接合する。もう一方の磁気コア半体１
６は補強材２１ａに磁性体膜２０を形成した後、他の補
強材２１ｂを接合する。そして、さらに磁気コア半体１
７と１６は磁気ギャップ１８を介して接合し、浮動形磁
気ヘッドを形成する。

このように接合個所が多いことは、接合の時に位置ずれ
や１機械加工における破損の原因となり歩留りを低減す
る。

（２）磁性体と高飽和磁束密度の金属磁性材料を用いた
場合には、金属とガラスの接合強度が弱いために、加工
中に剥離を起してしまう。

本発明の目的は上記従来の問題点を解消し、磁気ヘッド
の製作が容易な浮動形磁気ヘッドおよびその製造方法を
提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の浮動形磁気ヘッドは、磁気ヘッドコアが浮動部
材の浮上滑面の側面に設けられた溝に埋込まれて構成さ
れており、望ましくは浮動部材に形成された磁気ヘッド
コアの端部が、記録媒体対向面から見た時に、磁気ギャ
ップと不平行となるようにし、高密度記録を目的とした
磁気ヘソ１として、磁気ヘッドコア部はフェライトより
飽和磁束密度の高い軟磁性材料とする。

本発明の磁気ヘッドコア材料としては、Ｆｅ−Ａｌ２−
８ｉ合金（センダストと称す）、Ｎ［−ＦＢ合金（パー
マロイと称す）等で代表される結晶質合金、またはＣｏ
−Ｎｂ−Ｚｒ、Ｃｏ−Ｔａ−Ｚｒで代表される非晶質合
金が用いられる。形成法としては、スパッタリング、蒸
着等の薄膜形成技術によって行なわれる。

浮動部材としては、記録媒体との耐層動特性が良好なア
ルミナチタンカーバイト、チタン酸カルシウム、ジルコ
ニヤ、チタン酸パリウ等のセラミック材料、あるいは結
晶化ガラス等が用いられる。

本発明の浮動形磁気ヘッドは以下方法によって製造され
る。

（１）ｉ）工程（イ）：浮動部材となる矩形の非磁性ブ
ロックを用意し、浮動形磁気ヘッドの側面となる部分に
磁気ヘッドコアのコア厚みが埋め込まれる溝を形成する
工程、 ｉｉ）工程（ロ）：工程（イ）で形成された溝に磁気ヘ
ッドコアとなる磁性材料をスパッタリングあるいは蒸着
等の薄膜形成形成技術によって堆積する工程、（堆積厚
みは磁気コアの厚みに相当する）。

１ｉｉ）工程（ハ）：工程（ロ）において形成した磁性
体膜の不要部分を除去する工程、 ｉｖ）工程（ニ）；工程（ハ）で得られたブロックを磁
性体膜の略中央部となる部分で膜厚方向に分割し、２個
のコア半体ブロックを形成する工程、一方は、浮動形と
共用となる。この時、切断分割面は磁気ギャップ形成面
となるため研磨を行なう。

■）工程（ホ）：工程（ニ）で得られた一対の磁気コア
半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル巻
線用の溝を形成する工程１次に、磁気ギャップを形成す
るための所要の非磁性膜形成する工程を含む。

ｖｉ）工程（へ）：前記一対の磁気コア半体のギャップ
突き合せ面を互いに磁気コアとする磁性体膜が合うよう
に突き合せて、加圧、加熱しながら接合一体化する工程
。

ｖｉｉ）工程（ト）：複数取りの磁気コアブロックを切
断して個々の磁気コアブロックに分割する工程、 ｖｉｉｉ）工程（チ）：前記磁気コアブロックの記録媒
体対向面に所定の浮上滑面を残して溝を形成する工程。

ｉｘ）工程（す）：工程（チ）の加工と共に、浮１し　
テ５　こ　ζ　β　査丈　人　：″　　匠　イ；　二　
１よ　ヨ〔＝【　　−・　−コヒ　）’、７対向する他
の磁気コア半体部に切り欠き溝を設けコイル巻線窓を露
呈する工程、 さらに、所定の浮上滑面に加工を施こし、浮動形磁気ヘ
ッドを得る。

〔作用〕

本発明の浮動形磁気ヘッドは、磁気ヘッドコア部が浮動
部材の側面に配置され、かつ溝に埋め込まれた構造とな
っているため、接合個所が磁気ギャップ形成部のみとな
り、接合ガラスの選択が容易である。特に、磁気ヘッド
コア部材が非晶質磁性材のように結晶化温度以下で磁気
ヘッドを製造しなければならないものについて有効であ
る。また、磁気ヘッドコア部が、浮動部材の溝に埋め込
まれているため、剥離の問題なく製造歩りの高い構造と
なっている。

磁気コアが浮動部材の側面に設けられているため、磁気
ギャップ深さを直接観察測定することができ１寸法精度
の高い加工ができる。

磁気コアの端部が磁気ギャップと不平行となる二″：、
看肴、上゛考青二をｍ−；ｔハ　：、７−効果（磁気コ
ア＠部での再生作用）の２尋を受：τない。

磁気コア部が飽和磁束密度の高い軟磁性材料となって゛
いるため高密度記録用に適している。また磁気ヘッドコ
ア部がコンパクトに形成することができるため、インダ
クタンスが小さく、かつ効果の高い磁気ヘッドとなる。

〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図〜第１２図により説明
する。

第１図は本発明の浮動形磁気ヘッドの第１の実施例を示
す。図中、３０は浮動形磁気ヘッドの傾斜図である。３
１は磁気ディスク上を浮上させるための浮動部材である
。３２は浮上滑面で、この形状は浮動高さに作用する。

３３．３３’は磁気ヘッドコアである。この磁気ヘッド
コアは浮動部材３１の側面に磁気ヘッドコア３３．３３
’　が埋め込まれるような溝を形成し、薄膜形成技術に
よって軟磁性材料を形成する。３５．３５’はコイル巻
線用の急である。このコイル巻線窓は浮動部材３１に磁
気ヘッドコアとなる軟磁性材料を形成した後、浮動部材
３１から切り離して浮動部材に形成された磁気コア半体
３７ａ、３８ａともう一方の磁気コア半体３７ｂ、３８
ｂを形成する。詳細については後で述べる。３４．３４
’は磁気ギャップである。この磁気ギャップは切り離し
たそれぞれの磁気コア半体の対向面を研磨仕上げした後
、非磁性ギャップ材を介して、ガラスなどで接合一体化
する。３６．３６’はコイルである。

第２図は本発明の第２の実施例である浮動形磁気ヘッド
の傾斜図である。以下の第４図までの説明における符号
は同一部材料、同−機能部については第１図に用いた符
号と同一とする。

第２図の実施例と第１図の実施例と異なるところはコイ
ル巻線窓である。第２図において、コイル巻線窓３５．
３５’は浮動部材側と形成されている。

磁気コア半体３７ｂ、３８ｂ側にコイル巻線窓を形成し
たときに、基板のそりが問題となる場合がある。このよ
うな時には基板の厚さが充分ある浮動部材側にコイル巻
線窓を形成することができる。

次に、本発明の詳細説明および他の実施例を第３図（ａ
）、　（ｂ）　、第４図（ａ）、　（ｂ）によって説明
する。第３図、第４図において（ａ）は記録媒体面から
みた浮動形磁気ヘッドの平面図、（ｂ）は側面図である
。

第３図（ａ）、（ｂ）において浮動部材３１には浮上滑
面３２を残して、空気流の浮力を受ける溝が形成される
。３９は空気の流入部となる傾斜面である。

また、磁気コア側の傾斜面４０は磁気コアの磁気ギャッ
プ３４が磁気ディスクに最も近づけることができるよう
にするためのものである。浮動部材上部の切り欠き溝４
１はへラドアームを取り付けるためのものである。

磁気ヘッドコアのトラック幅ＴＷは浮上滑面３２の幅Ｔ
を加工する際に同時に加工することができる。なお、磁
気ギャップ部３４の接合はコイル巻線窓３５の内部４２
で行なう、また　場合によっては４２′に補強用として
ガラスあるいは樹゛脂を充填することができる。

ギャップ深さｇｄは磁気ヘッドコアが浮動部材の側面に
配置されているので、側面からＲ察しながら加工するこ
とができる。

第４図（ａ）、（ｂ）は磁気ヘッドコア部の他の実施例
を示す。本実施例は、浮動部材の溝にトラック幅Ｔｗの
厚みの軟磁性材を埋め込み、残りの溝には非磁性材４３
を充填する。このようにすれば、トラック幅は磁性材の
厚みで制御することができる。また、浮上滑面３２内に
１−ラック幅があるので、トラック幅以外での不要の漏
洩磁束の影響を受けない。

以下、本発明の前記浮動形磁気ヘッドの種々の製造方法
を実施例によって詳細に説明する。

本発明の第１の製造方法の各工程の説明図を第５図（イ
）〜（す）に示す。

ｉ）第５図（イ）は浮動部材となる非磁性ブロック５０
において浮動形磁気ヘッドとなる側面５０こ磁哀へ・？
トコ７と形成するためｆ）溝５２を設ける工程である。

ここで、非磁性ブロック５０はジルコニヤを用いた。溝
の深さｄを５０μｍ。

幅℃を３ｍｍ、角度θを４５″とした。

（以下、第５図（イ）、第５図（ロ）等に対応する工程
を工程（イ）、工程（ロ）等とする）。

ｉｉ）工程（ロ）は第５図（イ）で示す工程で加工され
た溝５２の拡大側面を示す。溝５２にはフェライトより
飽和磁束密度の高い磁性体膜５３をスパッタリングによ
って堆積させる工程である。

磁性体は飽和磁束密度１０ｋＧのＧ　ｏ　−Ｎ　ｂ　−
Ｚｒ系の非晶質合金を用いた。

磁性体膜の堆積法は他の真空蒸着、イオンプレ−ティン
グ、化学蒸着あるいはメッキ法等でも可能である。磁性
体膜としては、Ｆｅ−ＡＱ−８Ｌ合金（センダストメン
トと称す）、Ｎｉ−Ｆｅ合金（パーマロイ）、あるいは
Ｆｅ系を高飽和磁束密度の材料が用いられる。また、非
晶質合金であるＣｏ−Ｔａ−Ｚｒ、Ｃｏ−Ｗ−Ｚｒ、Ｇ
ｏ−Ｍ　ｏ　−Ｚ　ｒ系のＧｏ系材料が用いられる。

さらに、高周波特性を良好にするために、非磁性中間層
と交互に積層した多層膜とすることができる。

１ｉｉ）工程（ハ）は工程（ロ）で得られたブロックの
不要の磁性体膜５３を除去する工程である。

除去法は研削、研磨等によって行なわれる。

ｉν）工程（ニ）は工程（ハ）で得られたブロック５０
の磁性体膜５３の略中央部Ａ−Ａで分割し。

分割面を鏡面研磨する工程である。このようにして一対
の磁気コア半体５４．５５を形成する。

なお、磁気コア半体５４は浮動部材となり、５５は磁気
ギャップと対向するもう一度の磁気コア半体、５６は媒
体との対向面となる。

Ｖ）工程（ホ）は工程（ニ）で得られた一対の磁気コア
半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル巻
線用の溝５７を複数個形成する工程である。本実施例で
は磁気コア半体５５側に形成した９次にギャップ形成面
５６にＳｉＯ２、ガラス（高融点もしくは低融点）等非
磁性材を所要の厚さにスパッタリングして磁気ギャップ
形成膜とする。

ｖｉ）工程（へ）は前記一対の磁気コア半体５４゜５５
のギャップ突き合せ面を互いに磁性体膜が合うように突
き合せて、加圧、加熱しながら接合一体化して磁気ギャ
ップ５８を形成する工程である。

この場合、接合は磁気ギャップ対向面に低融点のガラス
膜を形成して熱圧着する方法、コイル巻線窓の一部にガ
ラス５９を充填する方法、別に接合溝を設けガラス接合
する方法（図示せず）、等によって行なわれる。

本実施例においては、磁気ヘッドが３個とれるブロック
となっており、さらに多数個取りのブロックとすること
ができる。

ｖｉｉ）工程（ト）は前記接合ブロックをＢ−Ｂで切断
した一個の浮動形磁気ヘッド部材６０である。

このようにして磁気ヘッドコア６１は浮動部材の側面に
埋め込まれた構造となる。

ｖｉｉｉ）工程（チ）は工程（ト）で得られた浮動形磁
気ヘッド部材の浮動部を形成する工程である。

浮動部は所定の浮上滑面６２を残して溝空気浮上６３を
形成する。

ｉｘ）工程（す）は工程（チ）の加工と共に、浮動部と
なる磁気コア半体５４と対向する磁気コア半体５５側に
切り欠き溝６４を設けコイル巻線窓５７を露呈させコイ
ル巻線が可能になるようにする。

このように加工した後、浮上滑面に所定の加工を行ない
、第１図に示すような浮動形磁気ヘッドを得る。

次に第６図は浮動形磁気ヘッドにおいて、浮動滑面の両
側面に磁気ヘッドコアを有する構造を提供するための浮
動部材となる非磁性ブロック１立を示す、この非磁性ブ
ロック５Ｑには両側面の溝に磁性体膜５３を堆積する。

このようにして形成した磁気コアブロックは第５図に示
す製造工程によって、浮動滑面の両側面に磁気ヘッドコ
アを有する浮動形磁気ヘッドが得られる。

第７図は他の実施例の磁気ヘッドコアブロックを示す、
非磁性ブロック５０に形成した溝に、先ず磁性体膜５３
を磁気ヘッドコアのトラック幅Ｔｗとなる厚みに堆積し
、残りの溝にセラミックやガラス等からなる非磁性材６
５を堆積もしくは充填して磁気ヘッドコアブロックを形
成する。

このようにすれば、磁性体膜５３の厚みでトラック幅Ｔ
ｗが制御でき加工の段階でトラック幅を規定する高精度
の加工が不要となる。非磁性材６５は磁性体膜５３の補
強となっている。

第８図はさらに他の実施例の磁気ヘッドコアブロックを
示す。この実施例においては、非磁性ブロック５０に形
成した溝に、非磁性材６５′、磁性体膜５３．非磁性材
６５の順に形成される。磁性体膜５３の厚みはトラック
幅Ｔｗとし、非磁性材６５と６５′ではさまれた状態に
なっている。

この時、非磁性材６５．６５’　を全屈材料で形成すれ
ば、磁気遮蔽効果が働き、磁気ギャップ以外における磁
束の漏洩を防止できるため効果のより磁気ヘッドとなる
。

なお、第９図は第７図の磁気ヘッドコアブロックから製
造した、磁気コアの一部拡大図を示す６第１０図は第８
図の磁気ヘッドコアブロックから製造した。磁気コアの
一部拡大図を示す。

次に、本発明における狭トラック形磁気ヘッドの一例を
第１１図および第１２図によって説明する。

第１１図および第１２図は浮動形磁気ヘッドの主要部で
ある磁気コア部の拡大斜視図を示す。

第１１図において、磁気コア半体５４．５５には磁気ギ
ャップ５８の近傍が凸になる溝が形成され、これに磁気
コアとなる磁性体膜５３を形成し。

磁気ギャップ５８の近傍部が絞られた構造とする。

このようにすれば、トラック幅Ｔｗを１０μｍ以下とし
ても、磁気コアの磁気抵抗が高くならずに済み、効率の
高い狭トラツクの浮動形磁気ヘッドが得られる。なお、
６５は非磁性材ｔトであり、磁気コアの浮上滑面の面取
り加工を施こした場合、トラック幅Ｔｗが変化しないで
済む、また、磁性体膜５３の保護の役目となる。

第１２図は狭トラツクの浮動形磁気ヘッドの他の実施例
を示す、基本的な構造は第１１図に倶するものである。

第１２図は磁性体膜として２種の材料が用いられる。す
なわち、トラック幅ＴＶに対応する部分の磁性体膜５３
′を他の磁性体膜５３よりも飽和磁束密度の高い磁性体
で構成する。

例えば、磁性体膜５３は飽和磁束密度が８ｋＧから１０
ｋＧ程度の非晶質磁性膜とし、磁性体膜５３′は飽和磁
束密度１５ｋＧ以上の多結晶質磁性膜とする。このよう
にすれば、高密度記録用の高保磁力媒体に対しても、磁
気ギャップ近傍における磁気飽和を回避することができ
る。また、磁性体膜５３が補助磁路となるため効率の高
い浮動形磁気ヘッドが得られる。

このような構造の磁気ヘッドは厚膜形成が容易いで、磁
気特性が安定な磁性体膜を５３とし、磁気ギャップ近傍
部を高飽和磁束密度の磁性体膜５３′で精度良く形成す
ることによって高性能の磁性ヘッドを得ることができる
。

〔発明の効果〕

以上説明したごとく本発明によれば、浮動形磁気ヘッド
において、（１）磁気コア部が高飽和磁束密度の磁性材
料で磁路が形成されているため高密度磁気記録に適して
いる。（２）Ｂｉ気コア部が浮動部材の側面の溝に埋め
込まれた構造となっているため、機械的強度が強い。　
（３）磁気コア部が浮動部材の溝に埋め込まれているの
で、ガラスなどで接合する工程が一回で済むため製造方
法が筒！ｐ、で旦産性に適している。（４）磁気コアが
薄膜形成技術によって形成されるので、高周波特性を良
好にするための多層膜形成、狭いトラック幅を高精度に
形成できる。等の効果がある。

さらに、本発明によれば１０μｍ以下の狭トラツクヘッ
ドも効率よく製造することができる。

これらの効果によって、２種以上の構成材料からなる浮
動形磁気ヘッドが歩留り良く、安価に製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の一実施例の浮動形磁気ヘッド
の斜視図、第３図（ａ）、（ｂ）および第４図（ａＬ　
（ｂ）は本発明の実施例の詳細を説明するための平面図
および側面図である。第５図（イ）〜（す）は本発明の
一実施例の浮動形磁気ヘッド製造工程図、第６図は他の
実施例を説明するための磁気コアブロックの斜視図、第
７図および第８図は他の実施例を説明するための磁気コ
アブロックの斜視図、第９図および第１０図は第７図お
よび第８図の磁気コアブロックから形成された浮動形磁
気ヘッドの磁気コア主要部を示す拡大斜視図、第１１図
および第１２図は本発明法による狭トラツク磁気ヘッド
の磁気コア主要部を示す拡大斜視図、第１３図（ａ）、
（ｂ）および第１４図（ａ）、（ｂ）は従来の浮動形磁
気ヘッドの斜視図および主要部拡大図である。 シ〒浄号舎論噌 ３０　　・・−・−浮動形磁気ヘッド。 ３１．６０　・・・・・浮動部材。 ３２，６２　・・・・・浮上滑面、 ３３．３３’　、６１　　・・・・・磁気ヘッドコア。 ３４．３４’　、５８　　・・・・・磁気ギャップ。 ３５．３５’　５７　・・・・・コイル巻線窓。 ３６．３６’　　・・・・・コイル、 ３７ａ、３７ｂ、３８ａ、３８ｂ　・・・・・磁気コア
半体。 ５４．５５　・・・・・磁気コア半体。 ＴＷ・・・・・　トラック幅。 Ｔ・・・・・浮上滑面幅、 ｇｄ　・・・・・ギャップ深さ・ ＋７１１￥３ 葦２コ 才Ｊ面 才Ｚ芭 才？目　　　　　オフ０図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、空気流によって磁気ディスク上を浮上する浮動部材
   の一部に磁気ヘッドコアを有する浮動形磁気ヘッドにお
   いて、該磁気ヘッドコアが浮動部材の浮上滑面の側面に
   設けられた溝に埋め込まれてなることを特徴とする浮動
   形磁気ヘッド。 ２、浮動部材の側面に略磁気コア厚みに相当する溝を設
   け、該溝に金属磁性薄膜を形成して磁気コアブロックと
   なし、該磁気コアブロックを磁気コア厚み方向に２分割
   して、少なくとも一方にコイル巻線用の溝を有し、非磁
   性ギャップ材を介して、磁気コア部の端面突き合せて接
   合してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の浮動形磁気ヘッド。 ３、磁気コア部が浮動部材の浮上滑面内に配置してなる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の浮動形磁
   気ヘッド。 ４、磁気コアの端部が磁気ギャップと不平行となってい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の浮動形
   磁気ヘッド ５、浮動部材に埋め込まれた磁気コアの少なくとも一方
   の側面に非磁性材が介在されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の浮動形磁気ヘッド。 ６、磁気コアの磁気ギャップ近傍部がトラック幅に相当
   する絞り構造となっていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の浮動形磁気ヘッド。 ７、ｉ）工程（イ）：浮動部材となる矩形の非磁性ブロ
   ックからなり、該非磁性ブロックにおいて、浮動形磁気
   ヘッドの側面となる部に磁気ヘッドコアのコア厚みが埋
   め込まれる溝を形成する工程、 ｉｉ）工程（ロ）：工程（イ）で形成された溝に磁気ヘ
   ッドコアとなる磁性材料を薄膜形成技術によって堆積す
   る工程、 ｉｉｉ）工程（ハ）：工程（ロ）において形成した磁性
   体膜のうち不要部分を除去する工程、 ｉｖ）工程（ニ）：工程（ハ）で得られたブロックを磁
   性体膜の略中央部となる部分で膜厚方向に分割し、２個
   のコア半体ブロックを形成する工程、 ｖ）工程（ホ）：工程（ニ）で得られた一対の磁気コア
   半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル巻
   線用の溝を形成する工程、磁気ギャップを形成するため
   の所要の非磁性膜を形成する工程、 ｖｉ）工程（ヘ）：前記一対の磁気コア半体のギャップ
   突き合せ面を互いに磁気コアとする磁性体膜が合うよう
   に突き合せて、加圧、加熱しながら接合一体化する工程
   、 ｖｉｉ）工程（ト）：複数個取りの磁気コアブロックを
   切断して個々の磁気コアブロックに分割する工程、 ｖｉｉｉ）工程（チ）：前記磁気コアブロックの記録媒
   体対向面に所定の浮上滑面を残して空気取り入れ用の溝
   を形成する工程、 ｉｘ）工程（リ）：工程（チ）の加工と共に、浮動部と
   なる磁気コア半体と磁気ギャップを介して対向するもう
   一方の磁気コア半体部に切り欠き溝を設けコイル巻線窓
   を露呈する工程、 を含むことを特徴とする浮動形磁気ヘッドおよびその製
   造方法。