JPH02137104A - 磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高周波信号の記録再生に適した積層型磁気ヘッ
ドとその製造法に関するものである。

従来の技術 近年ＶＴＲ等の高周波信号を記録再生する装置において
高密度化が進みメタル記録媒体などの高抗磁力媒体が使
用され、これに対して磁気ヘッドもアモルファスやセン
ダストなどの高磁束密度の合金磁性材が使用されている
が、バルク状の金属磁性材を用いた場合は、高周波にお
ける渦電流損失が大きく、このため従来から金属磁性材
を薄膜化してトラック幅の厚さまで重ね合わせ、渦電流
損失を防止できる積層構造が多く用いられている。

従来の積層型磁気ヘッドを第３図により説明すると、同
図ムに示すごとくは同じ厚みの磁性合金薄膜１６を絶縁
薄膜１６を介して補助基板２１間に積層し、その積層幅
をトラック幅１７と同じ厚みだけ積層した積層コア２２
で磁気ギャップ１８を形成することによって磁気ヘッド
を形成する。

又、同図Ｂは耐摩耗構造やトラック幅ずれ防止のため磁
性合金薄膜１６を所望のトラック幅１７より厚目に積層
し磁気ギャップ１８端から切欠溝１９で正規のトラック
幅１７を規制している。更に、第３図Ｃはトラック幅１
７規制の切欠溝１９に融着ガラス２ｏを設けたものであ
る。２３は積層層間剥離部分である。

発明が解決しようとする課題 このように、従来の積層型磁気ヘッドは、渦電流損失を
防止し高周波帯域特性を得る為にヘッドの磁路を構成す
る磁性合金１６を電気的絶縁膜１６との積層構造とした
ものであり、第３図ムの如く、数μ墓前後の磁性合金薄
膜を数１０００人の絶縁膜１６を介し、積層した積層コ
ア２２を用いたヘッドは、記録媒体摺動により応力集中
する積層端の積層強度が低下し積層間剥＠２３が生じ易
い欠点があまた。更にＷｃａ図Ｂの如く複数間例えば第
１層目と第２層目の磁性合金薄膜に渡ってトラック規制
の切欠溝１９を加工することにより。

両層間と絶縁膜の積層強度が弱まる欠点や磁気ギャップ
１８端を通る切欠溝１９は絶縁膜１６を介した磁性合金
薄膜１６を極端に幅狭となし、トラック端崩れを発生す
る欠点があった。更に第３図Ｇの如く、複数の磁性合金
膜１６を通り磁気ギャップ１８端に加工した切欠溝１９
にガラス融着２ｏし製造する磁気ヘッドは、その融着ガ
ラス２ｏが、高温融着時に磁性合金膜１６の層間に浸入
し絶縁膜１６を破壊し、積層量剥離２３を生じせしめる
欠点と共に高周波特性を劣化させる欠点がある。これら
はすべてヘッド特性や品質の低下をまねき、ヘッドの製
造歩留りを低下させる問題があった。

本発明は、このような問題点を解決した磁気ヘッド及び
その製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 上記の目的を達成するため台本発明・祷噌噸−は補助基
板間に磁性合金膜を絶縁膜を介して多層化した積層コア
半体一対をその磁気ギャップ面で重ね合わせ、その重ね
合わせ幅をヘッドトラック幅とする磁気ヘッドにおいて
、前記トラック幅を成す積層コア中の磁性合金膜を薄膜
層と厚膜層で間に絶縁膜を介し積層する磁性合金膜とし
て内側に磁性合金薄膜を、外側に磁性合金厚膜を重ね所
望のトラック幅よりも厚いコア幅の積層コア半体対を成
す第１工程と、前記積層コア半体対の少なくとも一方に
ついて、その積層コア半体ギャップ面長さがトラック幅
にほり等しくなるよう積層端に設けた合金厚膜層の一部
を切欠せしめてギャップ形成面を平滑研摩する第２工程
と、前記ギャップ形成面にガラス等の酸化物を介し両積
層コア半体をギャップ形成面で重ね合わせ、所望のヘッ
ドトラック幅を形成すると共に前記合金厚膜層端切欠部
からガラス融着せしめ両積層コア半体を一体に結合せし
める第３工程から成ることを特徴とする特 許 本発明の磁気ヘッドは、積層コア両端に配した磁性合金
の膜厚を厚くし、積層強度を高める作用があり、更に、
積層コア幅を幅広とし、その積層端を磁性合金の厚膜層
内で切欠溝を設はトラック幅規制やガラス融着を行う事
ができ、切欠溝は絶縁層を通らず、従って積層コアの層
間剥離の防止やトラック幅規制を高める作用がある。

実施例 本発明の実施例を記録媒体摺動面からみた斜視図を第１
図ムに示す。

図において、アモルファスやセンダスト等の磁性合金膜
１を８１０２等の電気的な絶縁膜２を介し。

積み重ねた積層体３で磁気ギヤ・・ノブ４を形成した磁
気ヘッド６である。前記磁気ヘッド６の積層体３はセラ
ミックスやガラス等の非磁性材からなる補助基板６で挾
持されている。前記第１図ムはその積層体ａをその積層
厚みが所望のトラック幅７とは望等しい厚みとし、高周
波特性の優れた薄膜層１ｂを両側から機械的強度を高め
る厚膜層１＆で重ね積層した構成である。又、第１図Ｂ
は前記同様その薄膜層１ｂを厚膜層１ａで重ねた積層体
３の厚みを所望のトラック幅７よりも厚くし、磁気ギャ
ップ４端から前記積層体の厚膜層１ａの一部に切欠溝８
を設け、所望のトラック幅７を得る。又前記切欠溝８に
はガラス９を充填せしめた構造としている。１ｏは巻線
溝である。補助基板６はフェライト等の強磁性体でも構
成できるが、高周波域での摺動ノイズが大きくなる。

本発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施例を第２図に基
づいて説明する。先づ第２図ムは補助基板６上にアモル
ファスやセンダスト等の高飽和磁束密度を有する磁性合
金膜１と８１０２やフェライト等の電気的な絶縁膜２を
スパッタリング等の薄膜形成法で交互に付着し、これら
の総厚を所望のトラック幅と同等もしくは厚目に形成し
た積層体３を構成したものであって、本発明において、
前記積層体３を形成する磁性合金薄膜は１層当りの膜厚
を使用周波数における渦電流損失の影響が小さくなるよ
うに設計し、磁性合金膜１を構成する薄膜層１ａを挾み
その両側に切欠溝等の加工に耐えるよう前記薄膜層１ａ
より厚い厚膜層１ｂを重ねた積層体３を構成したもので
ある。

更に、前記積層体３をガラス等の接合材１１で補助基板
６′を接合する。この補助基板６′は前記補助基板ｅと
同質のものを使用し、接合ガラスは磁性合金膜１がアモ
ルファス合金の場合はアモルファス合金の結晶化温度よ
りも低い融点の低融点ガラスを使用する。この他の接合
ガラスとしては結晶化ガラスが適している。結晶化ガラ
スは接合時に結晶化させることにより、次工程以降の同
条件での熱処理ではガラス接合部のゆるみは殆んど発生
しない。次に第２１Ｂ　Ｋ示すように、前記補助基板６
．６′と積層した積層体３を結晶化ガラス接合層１１に
より複数個、合体することによって積層体ブロック１２
とする。

次に、第２図Ｃはギャップ面１３から記録媒体摺動面１
４にかけて磁性合金膜１と絶縁層２で形成する積層体３
の前記磁性合金膜１を構成する両側の厚膜層１ｂの１部
を含めてトラック幅規制のための切欠溝８を加工形成す
る。その後、切欠溝８にガラス等の非磁性体を充填しギ
ャップ面を平滑に仕上げた後、第２図りに示すように同
様に加工し積層方向に巻線用溝１ｏを形成した対向積り
ブロック１２と所定厚のギャップ材を介して重ね合わせ
加熱することによりガラス９を再熔融して両種層ブロッ
クを接合してのち、磁気ギャップ４を形成する。又、前
記第２図Ｃにおいて、切欠溝中８中に充填したガラスは
第２図りの両種層ブロックを重ね合わせてから接合時と
同時に巻線溝１ｏあるいは記録媒体摺動面１４から充填
することもできる。その後、第２図りに示した切断線Ｃ
１とＣ２で切り出し、その後、記録媒体摺動面１４を所
定形状に研摩し第１図に示すような磁気ヘッド６を完成
する。

発明の効果 本発明によれば、磁性合金薄膜と絶縁薄膜で主磁路を構
成することにより高抗磁力媒体でも十分記録ができ、更
に、高周波信号を高効率で再生できる高周波磁気ヘッド
が得られる。又、積層コアは磁性合金の薄膜層の両側に
絶縁層を介し磁性合金の厚膜層を積層した構成であるた
め、ヘッドトラック端の積層強度を高める効果がある。

更に、トラック規制溝を前記積層コア端の厚膜層内に形
成し、その切欠溝でガラス融着する事により積層量剥離
が生じることなく高精度なトラック幅及び磁気ギャップ
幅精度を有する極めて量産性に優れた磁気ヘッドを製造
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図五〜Ｂは本発明の実施例における磁気ヘッドの斜
視図、第２図ム〜Ｄは本発明の磁気ヘッドの製造手順を
示す斜視図、第３図ム〜Ｃはいずれも従来の磁気ヘッド
例を示す平面図である。 １・・・・・・磁性合金膜、２・・・・・・絶縁膜、３
・・・・・・積層体、４・・・・・・磁気ギャップ、６
・・・・・・磁気ヘッド、６・・・・・・補助基板、８
・・・・・・切欠溝、９・・・・・・ガラス、１３・・
・・・・ギャップ面。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名簿　
２　図 第　３　図 鎗） １　・−磁性　含　鼠楓 １α・−砒恒　名　主情　震 Ｔｏ−・・磁１１厚庸 ２−−一　絶ｗ＆　順 ５−・−＠気へ９に ６・・−横肋蟇仮 （ＡＪ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）補助基板間に磁性合金膜を絶縁膜を介して多層化
   した積層コア半体一対をその磁気ギャップ面で重ね合わ
   せ、その重ね合わせ幅をヘッドトラック幅とする磁気ヘ
   ッドにおいて、前記トラック幅を成す積層コア中の磁性
   合金膜を磁性合金薄膜層と磁性合金厚膜層で構成し、少
   なくともトラック幅端が前記磁性合金厚膜層で構成され
   たことを特徴とする磁気ヘッド。 （２）磁性合金薄膜層と磁性合金厚膜層を絶縁膜を介し
   一体化して幅広の積層コアを形成後、前記磁性厚膜層の
   一部を切欠規制して所望の磁気ヘッドトラック幅を成す
   ことを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッド。 （３）補助基板がセラミックスやガラスの非磁性材であ
   り、磁性合金膜がアモルファス合金やセンダスト合金で
   あることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 （４）補助基板間に絶縁膜を介し積層する磁性合金膜と
   して内側に磁性合金薄膜を、外側に磁性合金厚膜を重ね
   、所望のトラック幅よりも厚いコア幅の積層コア半体対
   を成す第１工程と、前記積層コア半体対の少なくとも１
   方について、その積層コア半体ギャップ面長さがトラッ
   ク幅にほゞ等しくなるよう積層端に設けた合金厚膜層の
   一部を切欠せしめてギャップ形成面を平滑研摩する第２
   工程と前記ギャップ形成面にガラス等の酸化物を介し両
   積層コア半体をギャップ形成面で重ね合わせ、所望のヘ
   ッドトラック幅を形成すると共に、前記合金厚膜層端切
   欠部からガラス融着せしめ両積層コア半体を１体に結合
   せしめる第３工程から成ることを特徴とする磁気ヘッド
   の製造方法。 （６）トラック幅規制の切欠溝が補助基板から磁性層の
   積層端厚膜層内に設け、少なくとも該切欠溝からガラス
   融着によって積層コア半体対を一体結合せしめて成るこ
   とを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。