JPH04119510A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気記録再生装置の薄膜磁気へ・ソドにｆ系
り、ｉキに、高密度磁気記録用の薄膜磁気ヘッドに関す
る。

（従来の技術） 第１１図は従来の薄膜磁気ヘッド５０の斜視図である。

同図において、５１は基板、５２は多層磁性薄膜コア、
５３は磁気ギャップ、５４は巻線、５５は非磁性保護層
、５６はコア、５６ａ、５６ｂはコア半体、５６ｃは巻
線窓である。

従来の薄膜磁気ベント５０は、ガラスまたはセラミック
スなどからなる基板５１の一面上に、磁性薄膜と絶縁膜
とを交互にスパｙり法などにより成膜して多層磁性薄膜
コア５２を形成し、その多層磁性薄膜コア５２０面上に
、非磁性保護層５５を形成して後、所定の形状に切断し
、巻線窓５６ｃを加工研磨してコア半体５６ａ、５６ｂ
を作製する。

さらに、一対のコア半休５６ａ、５６ｂの接合面を接合
してコア５６を形成する。＠気ギヤＩブ５３は、コア半
体５６　ａ、５６ｂのキャップ面にキャップ材を介在さ
せて形成する。このコア５６の巻線部に、導線を巻線窓
５６ｃを貫通させて巻回しコイル５４を形成して従来の
薄膜磁気ヘッド５０は作られている。

（発明が解決しようとする課題） 上述した従来の薄膜磁気ヘッド５０は、トラック幅か広
いヘッドに使用され、十分な記録能力を有しており、磁
性体を通る磁束か多い場合は、磁束の一部が空間を通っ
ても影響は少ないか、相当大きな記ａｔ流をコイルに流
さなければならず、装置の電源が大きくなる傾向があり
、小形化のためには記録電流の低減が望まれる。

また、高密度磁気記録用の狭トラツク化に伴なって、薄
膜磁気ヘッド５０の磁気回路全体の厚みを減少していく
と磁気抵抗が増大して、コイルで作られた磁束の空間を
通る磁束量が相対的に増えて、コアの先端の磁束密度が
小さくなり記録、再生効率の低下を招くという問題があ
る。この記録、再生効率の低下の改善策として、ギャッ
プ形成部周辺以外の多層磁性薄膜の膜厚を厚くし電磁変
換効率を上げる方法かある。

第１２図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はギャップ形成部周辺
以外の多層磁性薄膜の膜厚を励磁部方向に厚くしたコア
半体５７ａ、５８ａ、５９ａの斜視図である。

第１２図（Ａ）は、多層薄膜磁気コア５２を形成した夫
々の磁性膜を、ギャップ形成部周辺から巻線部に向かっ
て徐々に厚くなるように成膜工程において膜厚を制御し
、積層したコア半体５７ａであるが、ギャップ形成部周
辺の多層磁性薄膜の膜厚を正確にコントロールして所定
のトラック幅Ｔを得るのは困難である。

第１２図（Ｂ）は、多層薄膜コアを形成した夫々の磁性
体膜を、多層薄膜コアのトラック幅Ｔを形成した磁性体
膜以外の磁性体膜の夫々のキャップ形成部周辺から段階
的に欠落させ積層したコア半＃５８ａであるが、その段
差部が垂直に近いことにより、コンタ−効果による疑似
信号が発生し易くなる欠点がある。

また、第１２図（Ｃ）は、多層薄膜コアを形成した夫々
の磁性膜を、交互に欠落させ積層したコア半体５９ａで
あるか、上面の磁性膜が下面の磁性膜を乗り越えるとこ
ろで導磁率か悪くなるという問題があった。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、 １）基板上の磁気回路を構成するコアが、絶縁膜を介し
て順次積層した多層磁性薄膜からなる薄膜磁気ヘッドに
おいて、 膜厚が均一なる複数の第１の磁性薄膜と、膜厚がギャッ
プ形成方向に向かい順次薄くなりギャップ形成部周辺に
臨まない複数の第２の磁性薄膜とを絶縁膜を介して交互
に積層して前記多層磁性薄膜を形成し、前記複数の第１
の磁性薄膜を積層した膜厚が所望のトラック幅を形成し
てなることを特徴とする薄膜磁気ヘッドと ２）前記多層磁性薄膜の膜厚が、巻線部周辺より磁気テ
ープとの活動面の端部に向かって、順次薄くなる多層磁
性薄膜からなることを特徴とする請求項１記載の薄膜磁
気ヘッドを提供しようとするものである。

（実施例） 本発明は、上記の点に鑑み、以下のような方法でこの課
題を解決しようとするものである。

第１図は本発明の薄膜磁気ヘッド１０の斜視図、第２図
は本発明の薄膜磁気ヘッド１０のコア半体２０ａの斜視
図、第３図は本発明の薄膜磁気ヘッド１０のコア半体２
０ａの要部拡大図である。同図において、従来の技術の
説明に用いた第１１図の構成要素と同一の構成要素には
同一符号を付し説明は省略する。２０はコア、２０ａは
コア半休、２０ｃは接合面、２０ｄはギャップ面、５２
は多層磁気薄膜、５２ａは所望のトラック幅を形成する
ための膜厚が均一なる複数の第１の磁性薄膜、５２ｂは
膜厚がギャップ形成方向に向かい順次薄くなりギャップ
形成部周辺に臨まない複数の第２の磁性薄膜である。

本発明の薄膜磁気ヘッド１０は、ガラスまたはセラミッ
クスなどからなる基板５１の一面上に、膜厚が均一なる
複数の第１の磁性薄膜５２ａと、膜厚かギャップ形成方
向に向かい順次薄くなりキャップ形成部周辺に臨まない
複数の第２の磁性薄ＷＡ５２ｂとを絶縁膜を介して交互
に８層して多層磁性薄膜５２を形成し、その多層磁性薄
膜コア５２の面上に、非磁性保護層５５を形成した後、
所定の形状に切断し、巻線窓５６ｃを加工研磨してコア
半休２０ａ、２０ｂを作製し、さらに、対のコア半体２
０ａ、２０ｂの接合面２０ｃを接合してコア２０を形成
する。磁気ギャップ５３は、コア半体２０ａ、２０ｂの
ギャップ面２０ｄにギャップ材を介在させて接合して一
体形成する。このコア２０の巻線部に、導線を巻線窓５
６ｃを貫通させて巻回しコイル５４を形成して、狭トラ
ツク幅の電磁変換効率の優れた本発明の薄膜磁気ヘッド
１０は作られている。

つづいて、上記した膜厚がギャップ形成方向に向かい順
次薄くなりギャップ形成部周辺に臨まない複数の第２の
磁性薄１！１５２ｂの成膜方法について説明する。

第４図（Ａ＞は本発明に用いられる、コア半休２０ａ、
２０ｂの多数個取り用マスク部材３０の平面図、第４図
（Ｂ）は第４図＜Ａ＞の切断線Ａ−Ａ４′ニー沿って切
断したマスク部材３０の断面拡大図で、その断面はＴ型
をした金属製の薄板がらなっている。

第５図はマスク部材３０を載置した基板５１上に、スパ
ッタ法により飛来する磁性体粒子Ｓか堆積する様子を説
明する拡大断面図である。

同図において、基板５１上方より飛来する磁性体粒子Ｓ
は、載置したＴ形マスク部材３０に遮られ、マスク部材
３０の中心部に近かすくに従い磁性体粒子Ｓの堆積量は
少なくなり、成膜した磁性体膜５２の膜厚を徐々に薄く
することができる。

第６図はＴ形マスク部材３０を載置した基板５１を上方
から見た一部拡大平面図で、基板５１の切断線３１とマ
スク部材３０との位置関係を示している。３１は基板の
切断線で、切断される全てのコア半休２０ａ、２０ｂの
四隅の一隅には、Ｔ形マスク部材３０で遮られて磁性体
膜５２の膜厚が徐々に薄くなった領域ができる。

以下、本発明の薄膜磁気ヘッドを得るための製造法を説
明する。

〈実施例１） 工程１、ガラスまたはセラミックスなどからなる基板５
１に第１の磁性薄膜５２ａとなる磁性体と絶縁体をスパ
ッタ法にて所定の厚みを順次成膜する。

工程２、上記絶縁体上にＴ形マスク部材３ｏを載置して
、工程１と同様に第２の磁性薄膜５２ｂとなる磁性体を
成膜する。

工程３、Ｔ形マスク部材３ｏを取り除き、工程１と同様
に成膜する。以下、所望するコア厚になるまで工程２と
工程３を交互に繰り返し成膜する。

工程４、第１の磁性薄膜５２ａによってトラック幅が形
成され、かつ、所望するコア厚に成膜された多層磁性体
薄膜５２の上に保護膜５５となる酸化物をスパッタ法に
て所定の厚みに成膜する。

工程５、第６図にて説明した基板の切断線３１に沿って
基板５１を切断する。

第７図は基板５１を切断し切り出されたコア半＃２０ａ
の斜視図である。

工程６、切り出されたコア半休２０ａ、２０ｂに巻線部
、巻線窓の加工を施す。

第８図は巻線部の加工を施したコア半休２０ａの斜視図
である。

工程７、一対のコア半＃　２０　ａ、２０ｂの接合面を
接合してコア２ｏを形成する。磁気キャップ５３は、：
’　７　半体２０　ａ、２０ｂのギャップ面にギャップ
材を介在させて形成する。このコア２ｏの励磁部となる
巻線部に導線を巻回してコイル５４を形成して薄膜磁気
ヘッド１ｏは完成する。

上述した製造方法を用いて製作された本発明の薄膜磁気
ベツド１０は、第２図に示すように磁気回路がギャップ
形成部周辺に向かい順次薄くなり、従来の単一厚みの薄
膜磁気ヘッドに比べて、記録再生効率が高く、高Ｈｃ記
録媒体に対してＭＩ（タイプの楕遣の磁気ヘッドと同等
以上の記録性内を得ることができる。

さらに、上述した本発明の薄膜磁気ヘッド１（の、記録
再生におけるコンタ−効果を減少させ、効率性能を高め
ることも可能である。

以下、その具体的実施例２について説明する。

実施例２は、上述した実施例１の工程１〜工君４の磁性
体膜の成膜工程において、実施例１で耳いた第１のマス
ク部材３ｏに、さらに、第２の１スフ部材３３を併用す
ることによって得られる。

第９図は第１のマスク部材３ｏと第２のマスク部材３３
を重ね合わせ上方より見た平面図であるが、第２のマス
ク部材３３は終始成膜工程中、その位置は固定したまま
である。従って、積層した多層磁性薄膜ｌｌ５２は第２
のマスク部材３０によって励磁部より磁気テープとの摺
動面の端部に向かって、コア厚を３次元的に徐々に薄く
することができると共に、第１のマスク部材によってギ
ャップ形成部周辺に向かい３次元的に薄くなる構造の多
層磁性体薄膜層５２が得られる。

第１０図は上記製造方法により作られコア半休２２　ａ
の斜視図で、このコア半休２２ａの一対を接合し、導線
を巻回した薄膜磁気へラド１１は記録再生におけるコン
タ−効果を減少させ効率性能を高めることかできる。

〈発明の効果） 上述したように、基板上の磁気回路を構成するコアが、
絶縁膜を介して順次積層した多層磁性薄膜からなるＮ膜
磁気ヘッドにおいて、膜厚か均一なる複数の第１の磁性
薄膜と、膜厚がギャップ形成方向に向かい順次薄くなり
ギャップ形成部周辺に臨まない複数の第２の磁性薄膜と
を絶縁膜を介して交互に積層して前記多層磁性薄膜を形
成し、前記複数の第１の磁性薄膜を積層しな膜厚か所望
のトラック幅を形成してなる薄膜磁気ヘッドと、さらに
、前記多層磁性薄膜の膜厚が、巻線部周辺より磁気テー
プとの摺動面の端部に向がって、順次薄くなる多層磁性
薄膜からなる薄膜磁気ヘッドは、高Ｈｃ記録媒体に適し
た狭トラツク幅の、記録再生効率が優れた薄膜磁気ヘッ
ドの提供を可能とするものであり、がっ、その製造工程
が単純で生産性に優れたものとなるなどの特徴がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの斜視図、第２図は本
発明の薄膜磁気ヘッドのコア半休の斜視図、第３図は本
発明の薄膜磁気ヘッド１ｏのコア半体２０ａの要部拡大
図、第４図（Ａ）は本発明の薄膜ヘッドを得るために用
いられる、コア半休の多数個取り用マスク部材の平面図
、第４図（Ｂは第４図（Ａ）の切断１１Ａ−Ａに沿って
切断したマスク部材の断面拡大図、第５図はマスク部材
を載！した基板上に、スパッタ法により飛来する磁性体
粒子が堆積する様子を説明する拡大断面図、第６図はＴ
形マスク部材を載置した基板を上方がら見た一部拡大平
面図、第７図は基板を切断し切り出されたコア半休の斜
視図、第８図は巻線部の加工を施したコア半休の斜視図
、第９図は第１のマスク部材と第２のマスク部材を重ね
合わせ上方より見た平面図、第１０図は第９図の製造方
法により作られコア半体の斜視図、第１１図は従来の薄
膜磁気ヘッドの斜視図、第１２図（Ａ＞、（Ｂ）、（Ｃ
）は夫々従来の多層薄膜コアを形成したコア半休の斜視
図である。 ２０ａ・・・コア半体、３０・・・マスク部材、３１・
・・切断線、５１・・・基板、５２・・・多層薄膜コア
、５２ａ・・・第１の磁性薄膜、５２ｂ・・・第２の磁
性薄膜、５３・・・磁気ギャップ、５４・・・コイル、
５５・・・非磁性保護層。 特許出願人　　　　　日本ビクター株式会社第 図 第 図 第 図 （Ａ） （Ｂ） 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板上の磁気回路を構成するコアが、絶縁膜を介し
   て順次積層した多層磁性薄膜からなる薄膜磁気ヘッドに
   おいて、 膜厚が均一なる複数の第１の磁性薄膜と、膜厚がギャッ
   プ形成部方向に向かい順次薄くなりギャップ形成部周辺
   に臨まない複数の第２の磁性薄膜とを、絶縁膜を介して
   交互に積層して前記多層磁性薄膜を形成し、前記複数の
   第１の磁性薄膜を積層した膜厚が所望のトラック幅を形
   成してなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 ２）前記多層磁性薄膜の膜厚が、巻線部周辺より磁気テ
   ープとの摺動面の端部に向かって、順次薄くなる多層磁
   性薄膜からなることを特徴とする請求項１記載の薄膜磁
   気ヘッド。