JPH05250619A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 容易に、かつ、効率よく製造することがで
き、しかも、磁気ヘッドの小型化に適正に対応すること
のできる磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 非磁性材料からなる基板１の表面に環状の金
属磁性膜２および絶縁膜３を交互に積層してなる磁気コ
ア６を薄膜形成手段により形成するとともに、この磁気
コアに巻回されるコイルを薄膜形成手段により形成し、
前記基板１を各磁気コア６の外周部分で切断して個々の
磁気コア６に分割するとともに、前記基板１を前記磁気
コア６を分割するように切断した後、これら各基板１を
接合してギャップ７を形成することにより、磁気ヘッド
を形成するようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの製造方法に
係り、特にビデオテープデッキ等の記録、再生等に好適
な積層膜型の磁気ヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ビデオテープデッキにおいて
は、磁気テープへの記録、再生あるいは消去を行なうた
めの磁気ヘッドが搭載されている。

【０００３】図１７はこのような従来の一般的な磁気ヘ
ッドを示したもので、非磁性材料からなる一対の基板
１，１の間には、金属磁性膜２および絶縁膜３からなる
積層膜４がスパッタリング等の手段により交互に複数層
積層形成されており、このように形成された２つのコア
ブロック５の端面を前記金属磁性膜２および絶縁膜３が
互いに接続されるように接合することにより、磁気ヘッ
ドの磁気コア６を形成するようになされている。

【０００４】また、前記磁気コア６の磁気テープの摺動
面側であって前記各コアブロック５の境界部分には、ギ
ャップ７が形成されており、前記一方のコアブロック５
の接合面側には、前記磁気コア６にコイルを巻回するた
めの巻き線溝８が形成されている。

【０００５】このような従来の磁気ヘッドにおいては、
図示しない磁気テープを磁気ヘッドの磁気コア６のギャ
ップ７部分に所定速度で摺動させることにより、このギ
ャップ７部分を通過する磁気テープに磁界を付与して記
録を行なったり、磁気テープの通過により生じる磁界を
取出して再生を行なうようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の磁
気ヘッドにおいては、基板１の間に金属磁性膜２および
絶縁膜３を個々に積層形成してコアブロック５を形成
し、このコアブロック５をそれぞれ接合することによ
り、磁気ヘッドの磁気コア６を形成するようにしてお
り、さらに、別工程で前記磁気コア６の巻き線溝８にコ
イルを巻回する作業が必要であるため、製造に手間がか
かり、製造が極めて困難で、製造効率が極めて悪いとい
う問題を有している。しかも、前記コアブロック５の接
合作業やコイルの巻回作業を行なう必要があるため、磁
気コア６をあまり小さな寸法に形成することができず、
磁気ヘッドの小型化に対応することができないという問
題をも有している。

【０００７】本発明は前記した点に鑑みてなされたもの
で、容易に、かつ、効率よく製造することができ、しか
も、磁気ヘッドの小型化に適正に対応することのできる
磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とするもの
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、非磁性材料から
なる基板の表面にコイルの巻き数に応じた複数の下部コ
イルを薄膜形成手段により形成し、前記基板の下部コイ
ルの表面側に一部が前記下部コイルの表面側に位置する
環状の金属磁性膜および絶縁膜を交互に積層してなる磁
気コアを形成し、前記磁気コアの表面側に前記下部コイ
ルの両端部分に接続されこの下部コイルとにより前記磁
気コアに巻回されたコイルを形成する上部コイルを形成
し、前記基板を各磁気コアの外周部分で切断して個々の
磁気コアに分割するとともに、前記基板を前記磁気コア
を分割するように切断した後、これら各基板を接合して
ギャップを形成することにより、磁気ヘッドを形成する
ようにしたことを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】本発明によれば、基板に対して下部コイルと上
部コイルとからなるコイルおよび金属磁性膜と絶縁膜と
からなる磁気コアをそれぞれ薄膜形成手段により形成し
た後、磁気コア毎に基板を切断することにより磁気ヘッ
ドを形成するようにしているので、前記基板に対して磁
気コアおよびコイルを一体に形成することが可能とな
り、磁気コアの接合作業やコイルの巻回作業を行なう必
要がなく、微小寸法の磁気ヘッドを極めて容易に製造す
ることができ、製造効率を著しく向上させることができ
るものである。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図１７を
参照して説明する。

【００１１】図１は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
により製造された磁気ヘッドの一実施例を示したもの
で、非磁性材料からなる基板１の一面側には、金属磁性
膜２と絶縁膜３とが薄膜形成手段により交互に積層して
形成されており、この金属磁性膜２および絶縁膜３は、
環状に形成されて磁気ヘッドの磁気コア６を形成するよ
うになされている。また、前記基板１および磁気コア６
の磁気テープ摺動面は、弧状に形成されており、この磁
気コア６の前記磁気テープ摺動面側には、ギャップ７が
形成されている。さらに、前記磁気コア６には、下部コ
イル９ａおよび上部コイル９ｂからなるコイル９が薄膜
形成手段により巻回されており、このコイル９の両端部
には、図示しない外部の電気回路等に接続される電極１
０が前記基板の一側面に露出するように形成されてい
る。また、前記基板１の磁気コア６およびコイル９の形
成側面には、モールドによるガラス１１が被覆されてい
る。

【００１２】次に、本発明の磁気ヘッドの製造方法の一
実施例を図２乃至図１７を参照して説明する。

【００１３】まず、図２に示すように、ガラスあるいは
シリコン等の非磁性材料からなる円板状のウェハ等の基
板１の表面に、磁気ヘッドの下部コイル９ａを形成する
Ｃｕ、Ａｌ等からなる導体膜１２ａを成膜した後、パタ
ーニングを行ない、図３に示すように、この導体膜１２
ａをコイル９の巻き数に応じた複数の平行な直線状に形
成する。そして、図４に示すように、前記導体膜１２ａ
の表面に絶縁材料からなる被覆膜１３を成膜した後、図
５に示すように、前記基板１の表面および前記導体膜１
２ａの両端部分の被覆膜１３を除去し、前記導体膜１２
ａの両端部分以外の部分のみが残るようにパターニング
を行なう。前記作業により基板１の表面に下部コイル９
ａが形成される。

【００１４】次に、図６に示すように、前記基板１の下
部コイル９ａの表面側に金属磁性膜２を成膜し、図７に
示すように、この金属磁性膜２をパターニングすること
により、その一部が前記下部コイル９ａの被覆膜１３の
上面部分に位置するように環状に形成する。そして、図
８に示すように、前記金属磁性膜２の表面側に絶縁膜３
を形成し、図９に示すように、この絶縁膜３をパターニ
ングにより前記金属磁性膜２と同様の形状に形成する。
このような金属磁性膜２と絶縁膜３との成膜作業および
パターニング作業を必要回数繰り返すことにより、前記
基板１の表面に金属磁性膜２と絶縁膜３とを所望の積層
数に積層してなる磁気コア６を形成するようになされて
いる。

【００１５】続いて、図１０に示すように、前記磁気コ
ア６の表面側に上部コイル９ｂを構成する導体膜１２ｂ
を成膜し、図１１に示すように、この導体膜１２ｂをそ
の両端部が前記下部コイル９ａの一端部および隣接する
下部コイル９ａの他端部にそれぞれ接続されるようにパ
ターニングすることにより、上部コイル９ｂが形成され
るようになされている。そして、前記下部コイル９ａと
上部コイル９ｂとにより、前記磁気コア６に巻回された
コイル９が形成されるようになされている。

【００１６】その後、図１２に示すように、前記基板１
の表面全体にスピンコート等の手段によりガラス１１を
モールドし、このガラス１１の表面をラップ加工した
後、図１３に示すように、この基板１を各磁気コア６の
外周部分で切断して個々の磁気コア６に分割する。そし
て、図１４に示すように、前記切断された複数の基板１
をその基板１の裏面側にガラス１１が当接されるように
互いに接合し、図１５に示すように、この接合した基板
１のコイル９形成側側面を研摩し、前記コイル９の両端
部を基板１の側面に露出させ、この露出したコイル９の
端面が電極１０とされるようになっている。

【００１７】次に、図１６に示すように、前記接合した
基板１を各磁気コア６を分割するように切断し、この切
断面をラップ研摩する。その後、前記各基板１をガラス
ボンディングにより再度接合し、前記磁気コア６の磁気
テープ摺動面側にギャップ７を形成する。そして、図１
７に示すように、前記ギャップ７が形成された磁気コア
６の磁気テープ摺動面を基板１およびガラス１１ととも
に研摩して、所定のギャップ７深さ寸法に形成した後、
各基板１毎に切断することにより磁気ヘッドが形成され
る。

【００１８】本実施例においては、基板１に対して下部
コイル９ａと上部コイル９ｂとからなるコイル９および
金属磁性膜２と絶縁膜３とからなる磁気コア６をそれぞ
れ薄膜形成手段により形成するようにしているので、前
記基板１に対して磁気コア６およびコイル９を一体に形
成することが可能となり、磁気コア６の接合作業やコイ
ル９の巻回作業が不要となる。

【００１９】したがって、本実施例においては、磁気コ
ア６の接合作業およびコイル９の巻回作業が不要となる
ので、極めて容易に製造することができ、製造効率を著
しく向上させることができ、さらに、磁気コア６および
コイル９を薄膜形成技術により形成するようにしている
ので、磁気コア６を微小寸法に形成することができ、磁
気ヘッドの小型化に適正に対応することができる。

【００２０】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて種々変更することができるも
のである。

【００２１】

【発明の効果】以上述べたように本発明に係る磁気ヘッ
ドの製造方法は、磁気コアの接合作業およびコイルの巻
回作業が不要となるので、極めて容易に製造することが
でき、製造効率を著しく向上させることができる。さら
に、磁気コアおよびコイルを薄膜形成技術により形成す
るようにしているので、磁気コアを微小寸法に形成する
ことができ、磁気ヘッドの小型化に適正に対応すること
ができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法により製造
された磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図

【図２】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法による導体
膜形成工程を示す断面図

【図３】図３（ａ）は本発明による導体膜のパターニン
グ工程を示す平面図、図３（ｂ）は同断面図

【図４】本発明による被覆膜形成工程を示す断面図

【図５】図５（ａ）は本発明による被覆膜のパターニン
グ工程を示す平面図、図５（ｂ）は同断面図

【図６】本発明による金属磁性膜形成工程を示す断面図

【図７】図７（ａ）は本発明による金属磁性膜のパター
ニング工程を示す平面図、図７（ｂ）は同断面図

【図８】本発明による絶縁膜形成工程を示す断面図

【図９】本発明による絶縁膜のパターニング工程を示す
断面図

【図１０】本発明による導体膜形成工程を示す断面図

【図１１】本発明による導体膜のパターニング工程を示
す断面図

【図１２】本発明によるガラス形成工程を示す斜視図

【図１３】本発明による基板の切断工程を示す斜視図

【図１４】本発明による基板の接合工程示す斜視図

【図１５】本発明による電極の形成工程を示す斜視図

【図１６】本発明による基板切断およびギャップ形成工
程を示す平面図

【図１７】本発明によるテープ摺動面の研摩工程を示す
平面図

【図１８】従来の磁気ヘッドを示す斜視図

【符号の説明】

１ 基板 ２ 金属磁性膜 ３ 絶縁膜 ６ 磁気コア ７ ギャップ ９ コイル １０ 電極 １１ ガラス １２ 導体膜 １３ 被覆膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性材料からなる基板の表面にコイル
   の巻き数に応じた複数の下部コイルを薄膜形成手段によ
   り形成し、前記基板の下部コイルの表面側に一部が前記
   下部コイルの表面側に位置する環状の金属磁性膜および
   絶縁膜を交互に積層してなる磁気コアを形成し、前記磁
   気コアの表面側に前記下部コイルの両端部分に接続され
   この下部コイルとにより前記磁気コアに巻回されたコイ
   ルを形成する上部コイルを形成し、前記基板を各磁気コ
   アの外周部分で切断して個々の磁気コアに分割するとと
   もに、前記基板を前記磁気コアを分割するように切断し
   た後、これら各基板を接合してギャップを形成すること
   により、磁気ヘッドを形成するようにしたことを特徴と
   する磁気ヘッドの製造方法。