JPS61194618A - 磁気ヘツド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体に接触してデータの書込み及び
読出しを行う磁気ヘッドに係り、特に複数のトラックを
有する多素子タイプの磁気ヘッド及びその製造方法に関
する。

〔発明の背景〕

この種の多素子タイプの磁気ヘッドにあっては、薄膜形
成技術を利用することによって、単純な工程でトラック
位置及びトラック幅を高精度にできるようにしたものが
提案されている。

第６図及び第７図は特開昭５７−１６９９１７号公報に
開示された磁気ヘッドの一構成例を示している。

即ち、この磁気ヘッドは、フェライトで形成された基板
ｌ上に絶縁膜２がスパッタ形成され、その絶縁膜２上に
コイル３が蒸着法によって積層されている。一方、セラ
ミック板５上に、フェライトで形成された基板４が積層
され、かつ該基板４が前記コイル３に結合されている。

この磁気ヘッドを形成するには、基板ｌに対し絶縁膜２
．コイル３を順次積層し、そのコイル３に対しセラミッ
ク５に積層された基板４を結合するので、単純な工程で
かつトラック位置及びトラック幅を高精度にできると共
に、歩留シを良好ならしめることができる。

ところで、近年、高記録密度化が進み、短波長で記録さ
れることに伴ない、磁気ギャップの狭小化が行われてい
る。

しかし、上記に示す従来の磁気ヘッドは、磁気ギャップ
長６がコイル３と絶縁膜２との厚さを加えた寸法である
ため、短波長用としての狭ギャップにすることができな
い問題がある。

その理由は、短波長として必要な記録密度２５０００Ｐ
ＣＩを実現するには、磁気ギャップ長６の寸法を少なく
とも１μｍ以下にしなければならない。そのため、例え
ば絶縁［２の厚さを０．５μｍにすると。

コイル３の厚さを０．５μｍ以下にする必要があるカー
そのようにした場合、コイル３の巻数が多くなるので、
磁路長が長くなって磁気効率の低下を招く。

また、コイルの寸法は、形成される領域の大きさは勿論
の他、発熱及び電流密度過大によるエレクトロマイグレ
ーションの発生に制限される。そのため、エレクトロマ
イグレーションに対して安全な最大電流密度を１０６Ｖ
−とした場合、通電電流を１５０ｍＡにとると、コイル
３の断面積を１５μ−以上にしなければならない。これ
は、コイル幅を５μｍにした場合、コイル厚さが３μｍ
以上になってしまうので、ギャップを狭小化させること
ができない。仮りに、コイル厚さを１μｍとしても、コ
イル幅が１５μｍ以上になるので、コイル巻数を考慮し
た場合、前述と同様に磁気効率の低下を招く。

さらに、一般の磁気ヘッドは、上部基板と下部基板との
後部をつき合せて、磁束漏洩を防ぐように構成している
。しかし、従来例は第７図に破線円７で示すように、後
部ギャップが磁気ギャップ長６と同様の寸法をなしてい
て、基板１と４とがつき合っていないので、特に記録波
長が短いと、その部分で磁気漏洩が起こシ、そのため、
磁気効率が著しく低下する。

従って、短波長用の狭ギャップ化には対応できない問題
か泌る。

また、特開昭５７−１６９９１７号公報のものは、セラ
ミック板に積層されたフェライト基板に、機械加工によ
ってトラック分離用溝が複数形成され、該夫々のトラッ
ク分離用溝にガラスが充填されている。この公知技術は
、磁気ヘッド全体として、単純で歩留の高い製造し易い
構造であるにもかかわらず、前記の機械加工、ガラス充
填工程を要し、しかもそれらが複雑であるから、歩留り
が低下するおそれがある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記事情に鑑みてなされたものであっ
て、磁気効率の低下を防ぐと共に、ギャップを狭小化さ
せることができ、以て高記録密度化に充分対応すること
ができる磁気ヘッド及びその製造方法を提供するにある
。

〔発明の概要〕

本発明の磁気ヘッドは、対向配置された一対の磁性基板
の間に後部用磁性膜を挾着し、前記一対の磁性基板のう
ち、一方の磁性基板の内面には、後部用磁性膜を除く位
置に絶縁膜を積層すると共に、該絶縁膜の後部用磁性膜
を取り囲む位置にコイルを積層し、かつ前記絶縁膜と他
方の磁性基板との間には磁気記録媒体と接触し得る前端
部に前部用磁性膜を挾着したことに特徴を有する。

また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、磁性基板上に
後部用磁性膜を積層し、次いでその磁性基板上の後部用
磁性膜を除く位置に絶縁膜を積層した後、該絶縁膜上の
前記後部用磁性膜を取り囲む位置に該後部用磁性膜の高
さより低い厚さを有するコイルを積層し、かつ絶縁膜上
の磁気記録媒体と接触し得る前端部に、前記後部用磁性
膜と同じ高さを有する前部用磁性膜を積層し、その後、
絶縁膜上において後部用磁性膜と前部用磁性膜とを除く
位置にその後部用磁性膜と同じ高さを有する絶縁材を積
層して平板状積層体を形成し、該平板状積層体に前記磁
性基板と異なる磁性基板を接合することに特徴を有する
。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図乃至第５図について説明
する。第１図乃至第３図は本発明の磁気ヘッドを具体化
した第１の実施例を示している。

実施例の磁気ヘッドは、第１図及び第２図に示すように
、対向配置された一対の磁性基板１１．１２の間に後部
用磁性膜１３が挾着されている。

前記一対の磁性基板１１．１２は、互いに磁気記録媒体
と接触し得る前端が一致するように対向配置されておシ
、夫々が７エライ）（Ｍｎ−ＺｎまたはＮ　ｉ　−Ｚ　
ｎ等）によって形成されている。前記後部用磁性膜１３
は、磁性基板１１，１２の間の中央部に挾着されており
、例えばパーマロイまたはアモルファス等の高透磁率材
で厚さ１０μｍに形成されている。

そして、前記一対の磁性基板１１．１２のうち、一方の
磁性基板１１の内面には、後部用磁性膜１３を除く位置
に、絶縁膜１４と該絶縁膜１４上に配置されるコイル１
５とが積層されている。前記絶縁膜１４は、磁性基板１
１の内面の後部用磁性膜工３を除く位置にスパッタリン
グや蒸着法等によって積層され、例えば酸化アルミニウ
ム（ｈｘ２０．　）　＊二酸化ケイ素（８１０ｚ　）等
の無機絶縁材によｊ５０．５〜１μｍ程度の厚さで構成
されている。前記コイル部は、絶縁膜１４上において後
部用磁性膜１３の周シを取り囲む位置に積層されておシ
、例えば導電性の良好な鋼材等によシ、適度の幅と前記
後部用磁性膜１３の高さより低い厚みをもって構成され
ている。実施例ではコイル１５の厚みを３μｍで、幅を
５μｍで夫々形成している。前記コイル１５の両端は絶
縁膜１４上の後部に積層されたリード端子１６に接続さ
れている。

該リード端子１６の高さは後部用磁性膜１３と同一平面
上に位置している。

また、前記絶縁膜１４と他方の磁性基板νとの間には磁
気記録媒体と接触し得る前端部に前部用磁性膜１７が積
層されている。該前部用磁性膜１７は、フロントコアを
なすものであって、その−側面が第１の絶縁膜１４に接
合されると共に、他側面が他方の磁性基板１２の内面に
接合されていて、その前端が一対の磁性基板１１．１２
のそれに一致している。

この磁性膜１７は、前記後部用磁性膜１３と同様の材質
によシ、これと同じ高さをなす厚みをなしている。

さらに、絶縁［１４と他方の磁性基板ルとの間における
コイル部には絶縁材１８が充填されている。

該絶縁材１８は、絶縁膜１４と磁性基板球との間におい
て後部用磁性膜１３及び前部用磁性膜１７を除いた位置
の空間部に充填されている。この絶縁材１８は絶縁膜１
４と同様に無機質の絶縁材からなっているが、コイル１
５と他方の磁性基板ルを電気的に絶縁できるものであれ
ば、有機質のものでも良い。

そして、上記の磁気ヘッドを第３図に示す如く一体的に
形成することによシ、多素子タイプの磁気ヘッドが構成
される。

実施例の磁気ヘッドは上記の如き構成よシなるので、リ
ード端子１６に電流を印加すると、後部用磁性膜１３．
一対の磁性基板１１，１２．前部用磁性膜１７によって
磁気回路が形成されるので、第２図に太い実線で示す如
く磁束加が生じる。その際、磁気ギャップ長は一方の磁
性基板１１と前部用磁性膜１７との間、即ち絶縁膜１４
だけの厚さ寸法となるので、極めて小さい寸法にするこ
とができる。従って、絶縁膜２とコイル３との厚さ寸法
が磁気ギャップ長６となる従来例に比較すると、コイル
の厚さ及び巻数に左右されないので、ギャップを確実に
狭小化することができる。

また、一対の磁性基板１１．１２が後部用磁性膜１３を
介して相互に接合されているので、その間で磁気短絡さ
せることができる。従って、磁気漏洩を抑えることがで
きるので、記録波長が短いものであるにも拘わらず、磁
気効率が低下するのを確実に防止することができる。

第５図は本発明の磁気ヘッドの第２の実施例を示す。こ
の場合は、一対の磁性基板１１．１２のうち、一方の磁
性基板１１の内面に予め別の磁性膜１９が積層されてい
る。この磁性膜１９は、予め磁性基板１１上に全面に亘
って積層されておシ、例えば前部用磁性［１７と同様に
アモルファスやパーマロイ等の高透磁率の材質のものか
らなっている。

この実施例は、前部用磁性膜１７と磁性基板１１との磁
気特性の差違に起因することによって磁束加に生じるギ
ャップ磁界が非対象になるので、磁気ヘッドの記録再成
信号が乱れるおそれがあるが、前述の如く前部用磁性膜
１７と同様の材質の磁性膜１９を設けることによシ、前
記ギャップ磁界を対象にさせることができるようになっ
ている。従って、磁気ヘッドの記録・再威信号が乱れる
おそれがない。

次に、磁気ヘッドの製造方法を工程順に述べる。

まず、一方の磁性基板１１を予め形成しておき、その磁
性基板１１上の中央部に後部用磁性膜１３をスパッタリ
ングや蒸着等によって積層する。次いで、その磁性基板
１１上の後部用磁性膜１３を除く位置に絶縁膜１４を積
層する。その場合、絶縁膜１４を積場するには、図示し
ないが、例えば後部用磁性膜１３にこれとほぼ同じ大き
さの遮蔽マスクをマスキングして、磁性基板１１にメッ
キ、蒸着、スパッタ＋７ング等によって絶縁膜１４を一
様の厚さで積層した後、後部用磁性膜１３上に積層され
た絶縁膜を選択エツチングによって除去することにより
、絶縁膜１４が形成される。

その後、前記絶縁膜１４上にエツチング加工等によって
磁性膜１３を取り囲むようにコイル１５を積層する。こ
のとき、コイル１５の厚さは、後部用磁性、１１ｇ１３
の高さより低くなっている。

また、前記絶縁膜１４上には磁気記録媒体と接触し得る
前端部に前部用磁性膜１７を積層する。この前部用磁性
膜１７は後部用磁性膜１３と同じ高さとなるような厚さ
をもっている。

さらに、前記絶縁膜１４上において後部用磁性膜と前部
用磁性膜１７とを除く位置に、両者と同じ高さを有する
絶縁材１８を積層して、平板状積層体Ａが形成される。

その場合、前記絶縁材１８は、後部用磁性膜１３及び前
部用磁性膜１７の高さより高く積層された後、機械加工
等によって両磁性膜１３．１７と同じ高さになるよう平
らに研磨される。

しかる後、上記平板状積層体Ａに、予め形成された他方
の磁性基板ルを接着剤によって接合しく第４図参照）、
これによって多素子タイプの磁気ヘッドを製造する。

その結果、一方の磁性基板１１に対し、後部用磁性膜１
３．絶縁膜１４．コイル１５．前部用磁性膜１７を積層
するだけでなく、コイル部分に絶縁材１８を積層して凹
みをなくすようにしたので、磁気回路構造を平坦化させ
ることができる。従ってそれだけ製造工程を単純かつ容
易に行うことができる。しかも平板状積層体Ａと磁性基
板球とを全面接合するので、磁性基板１１．１２相互を
強固に組付けることができる。また、前部用磁性膜１７
によってトラック位置及び幅が定まるので、従来のよう
なトラック分離用溝の形成加工やガラス充填加工を行な
わくとも、トラック位置及び幅を高精度に形成すること
ができ、それだけ歩留シを向上させることができる。

さらに図示しないが、平板状積層体Ａを形成する際、磁
性基板ｌｌ上の後部用磁性膜１３と、絶縁膜１４上の前
部用磁性膜１７及び絶縁材１８とを望所高さより高く積
層させ、その後、両磁性膜１３．１７及び絶縁材１８を
機械加工によって望所高さまでかつ一括的に研磨して、
平板状積層体Ａを形成することもできる。これによって
、両磁性膜１３．１７及び絶縁材１８の積層工程で、各
々の高さをその都度コントロールすることが不要になる
と共に、各々の高さを一括的に形成できるので、よシい
っそう容易に製造することができる。

〔発明の効果〕

以上の実施例よシ明らかなように、本発明によれば、磁
気効率が低下するのを防ぐことができ、かつギャップを
確実に狭小化させることができる。

従って、本発明の磁気ヘッドによれば、高記録密度化の
短波長用として充分に対応できる効果がある。また本発
明の磁気ヘッドの製造方法によれば、上記の効果を奏す
ることができる他、簡単かつ容易に形成でき、しかも歩
留シを向上させることができるので、安価で量産性に優
れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す平面図、第２図は
第１図のＩ−１線断面図、第３図は本発明を適用した多
素子タイプの磁気ヘッドの要部を示す平面図、第４図は
多素子タイプの磁気ヘッドの組付は状態を示す説明用斜
視図、第５図は本発明の第２実施例を示す第１図の厘−
１線に相当する断面図、第６図は従来の磁気ヘッドの一
構成例を示す平面図、第７図は第６図の■−■線断面図
である。 １１．１２・・・磁性基板、１３・・・後部用磁性膜、
１４・・・絶縁膜、１５・・・コイル、１７・・・前部
用磁性膜、１８・・・絶縁材、Ａ・・・平板状積層体。 代理人　弁理士　秋　本　正　実 第３図 第４図 第　６図 第７図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、対向配置された一対の磁性基板の間に後部用磁性膜
   を挾着し、前記一対の磁性基板のうち、一方の磁性基板
   の内面には、後部用磁性膜を除く位置に絶縁膜を積層す
   ると共に、該絶縁膜の後部用磁性膜を取り囲む位置にコ
   イルを積層し、かつ前記絶縁膜と他方の磁性基板との間
   には磁気記録媒体と接触し得る前端部に前部用磁性膜を
   挾着したことを特徴とする磁気ヘッド。 ２、磁性基板上に後部用磁性膜を積層し、次いでその磁
   性基板上の後部用磁性膜を除く位置に絶縁膜を積層した
   後、該絶縁膜上の前記後部用磁性膜を取り囲む位置に該
   後部用磁性膜の高さより低い厚さを有するコイルを積層
   し、かつ絶縁膜上の磁気記録媒体と接触し得る前端部に
   、前記後部用磁性膜と同じ高さを有する前部用磁性膜を
   積層し、その後、絶縁膜上において後部用磁性膜と前部
   用磁性膜とを除く位置にその後部用磁性膜と同じ高さを
   有する絶縁材を積層して平板積層体を形成し、該平板積
   層体に前記磁性基板と異なる磁性基板を接合することを
   特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ３、特許請求の範囲第２項において、前記絶縁材は、絶
   縁膜上における後部用磁性膜と前部用磁性膜とを除く位
   置にその後部用磁性膜の高さより高く積層され、その後
   、後部用磁性膜と同じ高さに研磨されることを特徴とす
   る磁気ヘッドの製造方法。 ４、特許請求範囲第２項において、前記後部用磁性膜及
   び前部用磁性膜、絶縁材は、各々が磁性基板及び絶縁膜
   に対し所望高さより高く積層され、その後、機械加工に
   よつて所望高さにかつ一括的に研磨されることを特徴と
   する磁気ヘッドの製造方法。