JPH0896316A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 巻線のバランス巻を可能にして誘導ノイズの
影響を軽減するとともに記録媒体の接触が安定化する面
構造を持つ磁気ヘッドを提供すること。 【構成】 非磁性基板１１上に非磁性膜と金属磁性膜１
２とを積層して形成される巻線窓４４を有する磁気ヘッ
ドチップ４２と巻線溝４１を有するセラミック基材とで
構成されるスライダ４０を一体構造とし、このスライダ
４０のスライド部４３と他の巻線溝５１を有するセラミ
ック基材５０のスライド部５２を、記録媒体との接触平
面内に形成し、前記巻線溝５１と前記巻線溝４１と前記
巻線窓４３で形成される巻線部６２と前記巻線窓４４と
前記巻線溝４１で形成される巻線部６１にバランス巻で
巻線７１を施すことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は記録媒体の記録・再生を
行う磁気ヘッド係り、特にハードディスクなどに使用さ
れるスライダ構造の磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、記録媒体への記録、記録媒体から
の再生を行う記憶装置では、記録媒体の記録密度などの
能力を最大限に引き出すことができる高速・高精度サー
ボ系、高密度記録方式、ヘッド機構、材料特性などを考
慮して開発が行われている。ヘッド機構では、シーク動
作あるいはトラッキング動作が円滑に行われる小型・軽
量精密ヘッド、媒体との接触機構、さらに記録媒体との
接触による耐摩耗性などが特に考慮され、各種開発がな
されている。ハードディスク等では、セラミックスライ
ダの端部に超小型ヘッドを形成する磁気ヘッドなどが実
用化されている。

【０００３】図５にハードディスクに使用される磁気ヘ
ッドを示す。磁気ヘッド７０は、スライドダ構造のセラ
ミック基材７７、積層コア１４a 、線材７１たとえばホ
ルマル線で施されている巻線とで構成されている。この
ような磁気ヘッド７０では、コイル等の誘導性部品を使
用する為、ＥＭＣ関係の考慮が必要となるが、スライド
部４３，５２を有する構造上、片側のコア１４a のみに
巻線され、外来雑音の影響を受け易い構成となってい
る。

【０００４】この対策として、ビデオヘッド等では、左
右のコアをそれぞれの断面積にそれぞれのコアに巻数を
かけた数字が左右でほぼ等しくなるようにバランス巻を
して、左右のコイルで拾った誘導ノイズをお互いキャン
セルするように構成することにより耐ノイズ性の向上を
図っている。

【０００５】図６に図５の磁気ヘッド７０にノイズ対策
のバランス巻を施した例を示す。図６に示すように、ス
ライダ構造のセラミック基材７７に磁気ヘッドチップ４
２を接着する構造にするとともに、セラミック基材７７
のヘッドチップ接着面７８側に巻線溝５１を設けている ところで、上記の磁気ヘッド７０には、磁気ヘッドチッ
プ４２がハードディスク接触面内の同一平面上に構成で
きず、スライド部４３，５２から突出する構造になるた
め、接着加工後の一体研磨加工をする際、面加工が困難
となるとともに、端面あるいは接触面のエッジの面取り
加工工程でＲ面７２の加工が困難となり、記録媒体との
接触が不安定になるという問題があり、さらに接着層７
９が記録媒体との接触面にあるため、接着層の面加工、
研磨工程あるいは接着工程に厳しい加工精度が要求さ
れ、工程数が増大し、製造効率が低下するという問題が
あった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の如く、誘導ノイ
ズに強いバランス巻ができない構造やバランス巻が可能
な場合でも、磁気ヘッドチップをスライダ構造のセラミ
ックに接着するため、スライド部を記録媒体接触面内の
同一平面上に構成できず、スライド部から突出して全体
の面形成が困難となるとともに磁気ヘッドと記録媒体の
接触が不安定になるという問題があった。

【０００７】そこで、本発明はこのような問題に鑑み、
巻線のバランス巻を可能にして誘導ノイズの影響を軽減
するとともに記録媒体の接触が安定化する面構造を持つ
磁気ヘッドを提供することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明に
よる磁気ヘッドは、少なくとも一方のコアに巻線溝を有
し、非磁性体によって形成される空隙部を介在させて互
いに接着された一対のコアでなる磁気ヘッドチップと、
側面に第１の巻線溝が形成された略直方体形状の第１の
基材と、第２の巻線溝を有し前記磁気ヘッドチップの一
方のコアの空隙部と対向する側面に接着され、当該磁気
ヘッドチップとともに前記第１の巻線溝が設けられた第
１の基材の側面に接着された第２の基材と、前記第１お
よび第２の巻線溝を介して前記一対のコアにそれぞれ巻
回された巻線とを具備したことを特徴とするものであ
る。

【０００９】請求項２記載の磁気ヘッドは、少なくとも
一方のコアに巻線溝を有し、非磁性体によって形成され
る空隙部を介在させて互いに接着された一対のコアでな
る磁気ヘッドチップと、記録媒体と対向する面の端部に
該面から突出するように設けられた第１のスライド部を
有し、前記第１のスライド部が設けられた端部とは反対
側の端部の側面に第１の巻線溝が形成された略直方体形
状の第１の基材と、第２の巻線溝を有し、前記磁気ヘッ
ドチップの一方のコアの空隙部と対向する側面に接着さ
れ、当該磁気ヘッドチップとともに前記第１の巻線溝が
設けられた第１の基材の側面に前記第１のスライド部と
同等に記録媒体と対向する面から突出するように接着さ
れて第２のスライド部を構成する第２の基材と、前記第
１および第２の巻線溝を介して前記一対のコアにそれぞ
れ巻回された巻線と、を具備したことを特徴とするもの
である。

【００１０】請求項３記載の磁気ヘッドは、請求項１ま
たは２に記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁気ヘッドチ
ップが非磁性基板上に金属磁性膜と非磁性膜を積層した
一対の積層コアと、前記一対の積層コアの少なくとも一
方にそれぞれに巻線溝を設け、非磁性体によって形成さ
れる空隙を介在させて互いに接着されて構成されている
ことを特徴とするものである。

【００１１】請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法は、
非磁性基板上に金属磁性膜と非磁性膜を積層して構成し
た一対のコアブロックにそれぞれ巻線溝を設けギャップ
スペーサを介して互いに貼り合わせて積層型磁気ヘッド
ブロックを得る第１の工程と、非磁性体でなる略直方体
の第１の基材の側面に第１の溝を形成してこの溝が設け
られた側面を前記積層型磁気ヘッドブロックの一方のコ
アブロックの空隙部の面と対向する側面に接着する第２
の工程と、第２の工程で接着された第１の基材と前記積
層型磁気ヘッドブロックを空隙部の面と略直交する面で
所定寸法に切断して第１の基材の接着された磁気ヘッド
チップを得る第３の工程と非磁性体でなる略直方体の第
２の基材の一面の端部に該面から所定量突出する突出部
を該端部に沿って、形成するとともに、この端部とは反
対側の端部に接する側面に第２の溝を形成する第４の工
程と、前記第３の工程で得られた第１の基材と磁気ヘッ
ドチップを前記第２の基材の前記第２の溝が形成された
側面に、前記突出部と同等に該面から突出するように接
着する第５の工程と、前記第１および第２の溝と前記巻
線溝を介して、磁気ヘッドチップのコアにそれぞれ巻線
をバランス巻きにて巻回する第６の工程と、前記第１の
基材と磁気ヘッドチップによる突出部の表面を研磨加工
して前記空隙部の高さ寸法を調整する第７の工程と、前
記第２の基材の突出部の表面の隈部と、前記第１の基材
と磁気ヘッドチップによる突出部の表面の隈部を曲面研
磨加工する第８の工程と、を有したことを特徴とするも
のである。

【００１２】請求項５記載の磁気ヘッドの製造方法は、
非磁性基板上に金属磁性膜と非磁性膜を積層して構成し
た一対のコアブロックにそれぞれ巻線溝を設けギャップ
スペーサを介して互いに貼り合わせて積層型磁気ヘッド
ブロックを得る第１の工程と、非磁性体でなる略直方体
の第１の基材の側面に第１の溝を形成してこの溝が設け
られた側面を前記積層型磁気ヘッドブロックの一方のコ
アブロックの空隙部の面と対向する側面に接着する第２
の工程と、第２の工程で接着された第１の基材と前記積
層型磁気ヘッドブロックを空隙部の面と略直交する面で
所定寸法に切断して第１の基材の接着された磁気ヘッド
チップを得る第３の工程と非磁性体でなる略直方体の第
２の基材の記録媒体と対向する面に接する側面に第２の
溝を形成する第４の工程と、前記第３の工程で得られた
第１の基材と磁気ヘッドチップを前記第２の基材の前記
第２の溝が形成された側面に、接着する第５の工程と、
前記第５の工程で構成された第１の基材と磁気ヘッドチ
ップおよび第２の基材の接着体の少なくとも第２の基材
の前記記録媒体と対向する面の中間部を所定幅に溝加工
して端部に前記第１の基材と磁気ヘッドチップによる突
出部と同等の突出部を形成する第６の工程と、前記第１
および第２の溝と前記巻線溝を介して磁気ヘッドチップ
のコアにそれぞれ巻線をバランス巻きにて巻回する第７
の工程と、前記第１の基材と磁気ヘッドチップによる突
出部の表面を研磨加工して前記空隙部の高さ寸法を調整
する第８の工程と、前記第２の基材の突出部の表面の隈
部と、前記第１の基材と磁気ヘッドチップによる突出部
の表面の隈部を曲面研磨加工する第９工程と、を有した
ことを特徴とするものである。

【００１３】請求項６記載の磁気ヘッドの製造方法は、
請求項４または５に記載の磁気ヘッドの製造方法におい
て、前記第３の工程は、前記空隙部の面と直交しない面
で切断され、前記磁気ヘッドチップがアジマス角度を有
することを特徴とするものである。

【００１４】請求項７記載の磁気ヘッドの製造方法は、
請求項５記載の 磁気ヘッドの製造方法において前記第
６の工程は、第２の基材の面の中間部と一緒に前記第１
の基材と磁気ヘッドチップを削りとることを特徴とする
ものである。

【００１５】

【作用】本発明においては、磁気ヘッドはバランス巻が
可能となり、磁気ヘッドチップをセラミック等の基材と
一体形成して構成できるため、形状がシンプルとなり、
面加工あるいは端面、エッジ部の面取り加工、ブレンド
Ｒ加工等が容易となるとともに、セラミック基材と一体
化形成されたヘッドチップとから構成されるスライダを
別のセラミック基材に接着するため、接着部分が記録媒
体との接触面内に形成されず、接着精度が軽減され、工
程数の削減、製造性の向上が図れる。

【００１６】

【実施例】図１に本発明による磁気ヘッドの一実施例を
示す組立図である。図１において、(a) は磁気ヘッドチ
ップブロックの構成斜視図、(b) はセラミック基材の構
成斜視図、(c) は磁気ヘッドチップブロックとセラミッ
ク基材の接着組立図、(d) はスライダの構成斜視図、
(e) は別のセラミック基材の構成斜視図、(f) は磁気ヘ
ッドブロックの組立図、(g) は磁気ヘッドの構成斜視図
である。

【００１７】図１(a) に示すように、磁気ヘッドチップ
ブロック１０は、非磁性基板１１上に積層された金属磁
性膜と非磁性膜と１２で構成される積層コア１４a ，１
４bと巻線窓で構成されている。積層コア１４a ，１４b
には各々巻線溝が形成されており、この積層コア１４a
，１４b の２個の巻線溝１５a ，１５b で巻線窓を形
成するように接着して磁気ヘッドチップブロック１０を
構成している。積層コア１４a ，１４b 間の接着の際、
空隙用のスペーサ１３を挟んで、貼り合わせが行われて
いる。

【００１８】一方、図１(b) に示すようにセラミック基
材２０には、セラミック基材２０の長手方向端面に巻線
溝２１が設けられており、この端面は前記磁気ヘッドチ
ップブロックとの接着面２２を形成している。前記セラ
ミック基材の接着面２２は、鏡面仕上げが施され、前記
磁気ヘッドチップブロック１０と接着されている。

【００１９】図１（c)に示すように前記磁気ヘッドチッ
プブロック１０と前記セラミック基材２０でスライダブ
ロック３０が構成され、巻線溝２１と磁気ヘッドチップ
の接着面３１で巻線窓が形成される。接着後、スライド
部４３を形成するスライド幅にスライス加工され、スラ
イダ４０が形成される。

【００２０】さらに、図１(d) に示すように、前記スラ
イダ４０は別のセラミック基材５０と接着され磁気ヘッ
ドブロック６３を形成する。前記セラミック基材５０の
一端５３には、前記スライダ４０との接着面５３に巻線
溝５１が設けられており、他端にはスライド部５２が形
成されている。

【００２１】前記セラミック基材５０の巻線溝５１と前
記スライダ５２の巻線窓４１，４４で磁気ヘッドチップ
４２の巻線部６１，６２が形成されている。ホルマル線
などの線材７２を用いてバランス巻線を施し、磁気ヘッ
ド７０を構成している。

【００２２】次に、図１の作用を説明する。磁気ヘッド
チップ４２とセラミック基材４３とで形成される巻線窓
がバランス巻を可能にする巻線窓４１，４４を形成して
いる。鏡面仕上げされたセラミック基材の接着面２２と
磁気ヘッドチップブロック１０を低融点ガラスなどを用
いて接着し一体構造のスライダブロック３０を作製して
いる。ブロック構造からスライス加工（図１(c) 中、３
３の一点鎖線をスライス加工面とする）でスライダ３０
を形成するため、各磁気ヘッドチップ１０の機械寸法の
ばらつきが抑えられる。

【００２３】また、この一体構造のスライダブロック３
０は、磁気ヘッドチップブロック１０とセラミック基材
２０、さらに積層コア１５a ，１５b 間の接着を同時に
一工程で処理することも可能となる。

【００２４】また、もう一方のスライド部５２を有する
セラミック基材５０には、スライダ接着面５３に巻線溝
５１が設けられており、このセラミック基材５０と先に
一体加工しておいたスライダ４０を記録媒体接触面を同
一平面に形成するように接着してバランス巻を可能にす
る巻線部６１，６２を形成する。この接着工程では、接
着層が記録媒体接触面に形成されないため、鏡面仕上げ
を行う必要がなく、接着精度も必要としない。

【００２５】磁気ヘッドブロック６０の仕上げ工程で
は、磁気ヘッドチップ４２のスロートハイト７３を微調
整するとともに、記録媒体接触面の面加工、ブレンドＲ
加工が行われる。スライダ４０が一体形成されているた
め、突出部分がなく、研磨加工が容易となる。

【００２６】最後に、ホルマル線などの線材７１を用い
てバランス巻を施しているが、セラミック基材５０の巻
線溝５１を斜めに形成し、巻線作業の簡易化を図ってい
る。この磁気ヘッド７０をジンバルなどの機構系に組み
込み、記録装置の磁気ヘッドとして使用する。

【００２７】磁気ヘッドチップ４２で形成されている磁
気回路は、左右積層コア１４a ，１４b と空隙４５で形
成され、左右のコアの磁路断面を通過する磁束を同一に
する巻線７１を施し、外来ノイズで誘導される磁束が左
右双方で相殺するようにしている。磁束は、磁気回路内
の断面積と磁束密度の積で表されることからも確認され
る。

【００２８】コイル印加電流による磁界は、左右の積層
コア１４a ，１４b のトータルの巻数に応じて磁界が発
生するよう巻線し、記録媒体への記録は、記録データに
対応する磁界を記録波長に応じた空隙から自由空間を介
して記録媒体を磁化することにより行われている。

【００２９】なお、本実施例では、磁気ヘッドブロック
６０の形成をスライド部５２を持つセラミック基材５０
との接着で得ているが、図２に示すように、スライダブ
ロックをスライド部の幅より厚めにスライスしたものを
巻線溝だけ形成されているスライド部を持たないセラミ
ック基材５０に接着した後、スライド部を溝加工７４し
て磁気ヘッドブロック７０を構成し、接着層、巻線部を
構成しても良い。この構成でも接着層６３が記録媒体接
触面になく、安定した記録媒体との接触が得られる。

【００３０】また、本実施例では、最後に巻線を行って
いるが、図３に示すように巻線工程後、有機接着等の低
温接着手段７５により、セラミック基材との接着を行っ
て良い。

【００３１】さらに、本実施例ではスライダブロック３
０を長手方向を軸とするスライス加工を行い、スライダ
４０を形成しているが、図４に示すようにスライダブロ
ック３０のエッジ部に、スライダブロック長手方向に対
してアジマス角３５だけ傾いた軸３６に直交するスライ
ダ幅の溝３７を形成し、スライス加工でアジマスヘッド
のスライダ４０で磁気ヘッド７０を構成してもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、バラ
ンス巻が可能となり、耐ノイズ性が向上するとともに磁
気ヘッドチップをセラミック等の基材と一体形成して構
成できるため、形状がシンプルとなり、面加工あるいは
端面、エッジ部の面取り加工、ブレンドＲ加工等が容易
となるとともに、セラミック基材と一体化形成されたヘ
ッドチップブロックとから構成されるスライダブロック
と別のセラミック基材との接着をブロック単位で行える
ばかりでなく、スライダの接着部分が記録媒体との接触
面内に形成されず、接着精度が軽減され、工程数の削
減、製造性、量産性の向上が図れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す組立
図である。

【図２】本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す他の
組立図である。

【図３】本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す他の
組立図である。

【図４】本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す他の
組立図である。

【図５】従来の磁気ヘッドの構成斜視図である。

【図６】従来のバランス巻の磁気ヘッドの構成斜視図で
ある。

【符号の説明】

１０…磁気ヘッドチップブロック １４a，１４b…積層コア １５a，１５b…積層コア窓磁溝 ２０…セラミック基材 ２１…巻線溝 ２２…接着面 ３０…スライダブロック ４０…スライダ ４１…巻線溝 ４２…磁気ヘッドチップ ４４…巻線窓 ５０…セラミック基材 ５１…巻線溝 ５２…スライド部 ５３…接着面 ６０…磁気ヘッドブロック ６１…巻線部 ６２…巻線部 ６３…接着層 ７０…磁気ヘッド ７１…線材 ７２…Ｒ加工 ７３…スロートハイト

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも一方のコアに巻線溝を有し、非
   磁性体によって形成される空隙部を介在させて互いに接
   着された一対のコアでなる磁気ヘッドチップと、 側面に第１の巻線溝が形成された略直方体形状の第１の
   基材と、 第２の巻線溝を有し前記磁気ヘッドチップの一方のコア
   の空隙部と対向する側面に接着され、当該磁気ヘッドチ
   ップとともに前記第１の巻線溝が設けられた第１の基材
   の側面に接着された第２の基材と、 前記第１および第２の巻線溝を介して前記一対のコアに
   それぞれ巻回された巻線とを具備したことを特徴とする
   磁気ヘッド。
2. 【請求項２】少なくとも一方のコアに巻線溝を有し、非
   磁性体によって形成される空隙部を介在させて互いに接
   着された一対のコアでなる磁気ヘッドチップと、 記録媒体と対向する面の端部に該面から突出するように
   設けられた第１のスライド部を有し、前記第１のスライ
   ド部が設けられた端部とは反対側の端部の側面に第１の
   巻線溝が形成された略直方体形状の第１の基材と、 第２の巻線溝を有し、前記磁気ヘッドチップの一方のコ
   アの空隙部と対向する側面に接着され、当該磁気ヘッド
   チップとともに前記第１の巻線溝が設けられた第１の基
   材の側面に前記第１のスライド部と同等に記録媒体と対
   向する面から突出するように接着されて第２のスライド
   部を構成する第２の基材と、 前記第１および第２の巻線溝を介して前記一対のコアに
   それぞれ巻回された巻線と、 を具備したことを特徴とする磁気ヘッド。
3. 【請求項３】前記磁気ヘッドチップが非磁性基板上に金
   属磁性膜と非磁性膜を積層した一対の積層コアと前記一
   対の積層コアの少なくとも一方にそれぞれに巻線溝を設
   け、非磁性体によって形成される空隙を介在させて互い
   に接着されて構成されていることを特徴とする請求項１
   または２に記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】非磁性基板上に金属磁性膜と非磁性膜を積
   層して構成した一対のコアブロックにそれぞれ巻線溝を
   設けギャップスペーサを介して互いに貼り合わせて積層
   型磁気ヘッドブロックを得る第１の工程と、 非磁性体でなる略直方体の第１の基材の側面に第１の溝
   を形成してこの溝が設けられた側面を前記積層型磁気ヘ
   ッドブロックの一方のコアブロックの空隙部の面と対向
   する側面に接着する第２の工程と、 第２の工程で接着された第１の基材と前記積層型磁気ヘ
   ッドブロックを空隙部の面と略直交する面で所定寸法に
   切断して第１の基材の接着された磁気ヘッドチップを得
   る第３の工程と 非磁性体でなる略直方体の第２の基材の一面の端部に該
   面から所定量突出する突出部を該端部に沿って、形成す
   るとともに、この端部とは反対側の端部に接する側面に
   第２の溝を形成する第４の工程と、 前記第３の工程で得られた第１の基材と磁気ヘッドチッ
   プを前記第２の基材の前記第２の溝が形成された側面
   に、前記突出部と同等に該面から突出するように接着す
   る第５の工程と、 前記第１および第２の溝と前記巻線溝を介して、磁気ヘ
   ッドチップのコアにそれぞれ巻線をバランス巻きにて巻
   回する第６の工程と、 前記第１の基材と磁気ヘッドチップによる突出部の表面
   を研磨加工して前記空隙部の高さ寸法を調整する第７の
   工程と、 前記第２の基材の突出部の表面の隈部と、前記第１の基
   材と磁気ヘッドチップによる突出部の表面の隈部を曲面
   研磨加工する第８の工程と、 を有した磁気ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】非磁性基板上に金属磁性膜と非磁性膜を積
   層して構成した一対のコアブロックにそれぞれ巻線溝を
   設けギャップスペーサを介して互いに貼り合わせて積層
   型磁気ヘッドブロックを得る第１の工程と、 非磁性体でなる略直方体の第１の基材の側面に第１の溝
   を形成してこの溝が設けられた側面を前記積層型磁気ヘ
   ッドブロックの一方のコアブロックの空隙部の面と対向
   する側面に接着する第２の工程と、 第２の工程で接着された第１の基材と前記積層型磁気ヘ
   ッドブロックを空隙部の面と略直交する面で所定寸法に
   切断して第１の基材の接着された磁気ヘッドチップを得
   る第３の工程と 非磁性体でなる略直方体の第２の基材の記録媒体と対向
   する面に接する側面に第２の溝を形成する第４の工程
   と、 前記第３の工程で得られた第１の基材と磁気ヘッドチッ
   プを前記第２の基材の前記第２の溝が形成された側面
   に、接着する第５の工程と、 前記第５の工程で構成された第１の基材と磁気ヘッドチ
   ップおよび第２の基材の接着体の少なくとも第２の基材
   の前記記録媒体と対向する面の中間部を所定幅に溝加工
   して端部に前記第１の基材と磁気ヘッドチップによる突
   出部と同等の突出部を形成する第６の工程と、 前記第１および第２の溝と前記巻線溝を介して磁気ヘッ
   ドチップのコアにそれぞれ巻線をバランス巻きにて巻回
   する第７の工程と、 前記第１の基材と磁気ヘッドチップによる突出部の表面
   を研磨加工して前記空隙部の高さ寸法を調整する第８の
   工程と、 前記第２の基材の突出部の表面の隈部と、前記第１の基
   材と磁気ヘッドチップによる突出部の表面の隈部を曲面
   研磨加工する第９工程と、 を有した磁気ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】前記第３の工程は、前記空隙部の面と直交
   しない面で切断され、前記磁気ヘッドチップがアジマス
   角度を有することを特徴とする請求項４または５に記載
   の磁気ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】前記第６の工程は、第２の基材の面の中間
   部と一緒に前記第１の基材と磁気ヘッドチップを削りと
   るものである請求項５記載の磁気ヘッドの製造方法。