JPH02247815A - 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造
法に係り、特に、トラック幅精度の高いコアスライダを
良好な生産性をもって製造するための方法に関するもの
である。

（背景技術） 固定磁気ディスク装置（ＲＤＤ）に用いられる浮上型磁
気ヘッド用のコアスライダは、−ａに、スライダ本体と
、該スライダ本体との間で閉磁路を形成すると共に、そ
のディスク摺動面に臨む磁路形成部位において、スライ
ダ本体との間で所定間隙の磁気ギャップを形成する少な
くとも１つのヨーク部とからなっており、スライダ本体
のディスク摺動面に、所定高さの左右一対の空気ベアリ
ング部が設けられると共に、磁気ギャップを挟んでスラ
イダ本体とヨーク部とに跨るように、ディスク摺動面高
さ（先端面高さ）がスライダ本体の空気ベアリング面高
さと一致する状態で、所定幅のトラック部が形成された
構造とされている。

ところで、このようなコアスライダの一つとして、従来
から、左右の空気ベアリング部の間のスライダ本体の中
央部にセンタレールを備えると共に、かかるセンタレー
ルの延長部位において、スライダ本体と一体構造のヨー
ク部を備え、かかるヨーク部とスライダ本体との間に磁
気ギャップが形成されてなる構造のモノリシック型のコ
アスライダが知られているが、このようなモノリシック
型のコアスライダにおいては、ヨーク部を含むセンタレ
ールの両側のテーバ加工によってトラック部の幅が規定
されるようになっているため、高密度記録化のための狭
トラツク化が困難であると共に、トラック幅精度を高め
ることが難しいといった問題があった。

また、狭トラツク化が達成し易く、トラック幅精度を得
やすいコアスライダとしては、非磁性材料製のスライダ
本体にフェライトコアを埋め込んでなる構造の、所謂コ
ンポジット型のコアスライダが知られているが、かかる
コンポジット型コアスライダでは、スライダ本体とフェ
ライトコアとを個々に加工して、それらを精度良く接合
することが必要とされるため、その製造コストが高くな
るといった事情があった。

一方、かかるコンポジット型スライダと同様の性能を持
たせつつ、その製造コストの低減化を図り得るコアスラ
イダの製造手法として、近年、特開昭６２−１８６２５
号公報において、スライダ本体に対して、トラック幅規
制溝を形成したヨーク部をガラス溶着し７て一体化し、
しかる後、空気ベアリング部およびヨーク部の左右両側
面を傾斜面に切削形成して、目的とするコアスライダを
得るようにした手法が提案されている。しかし、かかる
公報に開示のコアスライダの製造手法は、空気ベアリン
グ部やトラック部の形状加工を始めとする各部の加工が
、専ら、時間を要するダイヤモンド砥石等による機械加
工によって行なわれるようになっていることから、その
生産性が必ずしも良好とは言い難く、量産品の製造手法
としては未だ決して好ましいものとは言い難かった。

そこで、本願出願人は、このような従来の事情に鑑みて
、先に、特願昭６３−８０１３３号において、ディスク
摺動面に所定高さの左右一対の空気ベアリング部を備え
たスライダ本体の少なくとも一方の空気ベアリング部の
延長部位において、該スライダ本体との間で磁気ギャッ
プを形成するヨーク部を設け、そのディスク摺動面に、
スライダ本体とヨーク部とにそれぞれ磁気ギャップを挟
んで跨る状態で、空気ベアリング部と同じ高さのトラッ
ク部を形成すると共に、そのトラック部を挟んで空気ベ
アリング部と対向する状態で、空気ベアリング部および
トラック部と同じ高さの、空気ベアリング部よりは狭く
、トラック部よりは広い幅のトラック保護凸部を形成せ
しめてなるコアスライダ構造を提案すると共に、そのコ
アスライダの製造に際して、空気ベアリング部とトラッ
ク部とトラック保護凸部とをエツチング手法にて同時に
形成せしめるようにしたコアスライダの製造手法を提案
した。

コアスライダの構造として上述のような構造を採用し、
その製造に際して、空気ベアリング部とトラック部とト
ラック保護凸部とをエツチング手法にて同時に形成する
手法を採用すれば、狭トラツク化およびトラック幅精度
の高精度化を有利に図りつつ、所期の機能を備えたコア
スライダを良好な生産性をもって製造できるのであり、
コアスライダの製造コストを有利に低減化できるのであ
る。

なお、スライダ本体の左右の空気ベアリング部の中央部
においてヨーク部をスライダ本体に接合し、そのヨーク
部とスライダ本体とに跨るようにトラック部を設ける場
合には、トラック部を挟んで互いに対向するように一対
のトラック保護凸部を設ける構造を採用し、それらトラ
ック保護凸部とトラック部と左右の空気ベアリング部を
エツチング手法によって同時に形成するようにすること
により、同様の効果を期待できる。

ところが、このようなエツチング手法を採用するコアス
ライダの製造手法では、上述のように、狭トラツク化お
よびトラック幅精度の高精度化を有利に図りつつ、コア
スライダの生産性を有利に向上させることができるもの
の、トラック部がエツチングによるフェライトブロック
の侵食作用によって形成されるものであるところから、
高いトラック幅精度を安定して確保しようとすると、エ
ツチングの際のトラック幅の寸法管理が難しくなるとい
った事情があり、トラック幅精度を高めることに限界が
あった。

（解決課題） ここにおいて、本発明は、以上のような事情を背景とし
て為されたものであり、その解−決すべき課題とすると
ころは、良好な生産性をもって製造でき、しかもトラッ
ク部の幅寸法を所望の寸法に高い精度をもって安定して
設定することのできる固定磁気ディスク装置用コアスラ
イダの製造法を提供することにある。

（解決手段） そして、かかる課題を解決するために、本発明にあって
は、固定磁気ディスク装置用のコアスライダの構造とし
て、ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空気ベアリ
ング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本体との間
で閉磁路を形成すると共に、前記ディスク摺動面に臨む
磁路形成部位において該スライダ本体との間で所定間隙
の磁気ギャップを形成する状態で、該スライダ本体に一
体的に接合された少なくとも一つのヨーク部とを備え、
そのディスク摺動面に、前記スライダ本体とヨーク部と
に前記磁気ギャップを挟んで跨る状態で、前記空気ベア
リング部と同じ高さのトラック部が形成されると共に、
該トラック部を挟んで前記空気ベアリング部と対向する
状態で、若しくは該トラック部を挟んで互いに対向する
状態で、それら空気ベアリング部およびトラック部と同
じ高さの、該空気ベアリング部よりは狭く、該トラック
部よりは広い幅のトラック保護凸部が形成されてなる構
造を採用し、かかる構造のコアスライダの製造に際して
、（ａ）前記スライダ本体を与える第一のフェライトブ
ロックと、前記ヨーク部を与える第二のフェライトブロ
ックとを突き合わせて一体的に接合し、前記閉磁路およ
び磁気ギャップを備えたギャップバーを作製する工程と
、（ｂ）該ギャップバーの前記ディスク摺動面側の前記
空気ベアリング部、トラック部およびトラック保護凸部
の各形成部位に対して、それらの形状に対応したマスク
を付与し、そのマスクの付与状態下で、該ギャップバー
のディスク摺動面側部位にエツチングを施して、該マス
クの付与部分を非付与部分から突出せしめ、該ギャップ
バーのディスク摺動面に、周囲から所定高さ突出した前
記空気ベアリング部、トラック部およびトラ・ンク保護
凸部を形成する工程と、（Ｃ）該エツチング操作によっ
て形成されたトラック部の幅方向両側に、前記スライダ
本体およびヨーク部に跨る状態で互いに平行な溝を切削
加工して、該トラック部を最終寸法幅に仕上げる工程と
、（ｄ）該）ラック部の幅が最終寸法幅に仕上げられた
ギャップバーから、前記コアスライダ本体とヨーク部か
らなる最終形状のコアスライダを切り出す工程とを、含
むようにしたのである。

なお、トラック部の磁気ギャップを所謂メタルインギャ
ップ構造となす場合には、前記第一のフェライトブロッ
クと第二のフェライトブロックとの突き合わせに先立っ
て、それらフェライトブロックの少なくとも一方の突合
せ面の磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの金属磁性材
層を形成するようにすればよい。

（実施例） 以下、本発明をより一層具体的に明らかにするために、
その実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

先ず、本発明に従って固定磁気ディスク装置用のコアス
ライダを得るために、それぞれ、第１図の（ａ）および
（ｂ）に示されている如き、後述のスライダ本体および
ヨーク部を与える長手矩形ブロック状の第一のフェライ
トブロック１０と第二のフェライトブロック１２が準備
される。

なお、これらフェライトブロック１０．１２のフェライ
ト材としては、従来からの高透磁率フェライト材、例え
ばＭｎ−Ｚｎフェライト、ＮｔＺｎフェライト等の単結
晶体や多結晶体、或いはそれらの複合体が好適に採用さ
れることとなるが、フェライト材として単結晶体が用い
られる場合には、後述の空気ベアリング面（ディスク摺
動面）の結晶面と空気ベアリング部の長手稜部（エツジ
部）の結晶方位の組合せとして、（１００）と＜１００
＞　、（１００）と＜１１０＞、（１１０）とＮ　００
＞　、（１１０）と＜１１０＞、（３１１）と＜３３２
＞　、（３３２）と＜３１１＞　、（６１１）と＜３３
１＞、（３３１）と＜６１１＞　、（２１１）とＮ　Ｉ
　Ｈの組合せが好適に選択されることとなる。

また、ここでは、後述の説明から明らかになるように、
目的とするコアスライダを各々複数個（ここでは各２個
）切り出し得る後述のギャップバーを２個取りできるよ
うに、各フェライトブロック１０．１２の大きさが設定
されている。

準備されたフェライトブロック１０．１２には、第２図
の（ａ）および（ｂ）に示されているように、それらの
突合せ面（ギャップ対向面；接合面）１４の対応する位
置に、後述の磁気ギャップ３０のギャップデプス位置を
規定する状態で、コイル巻線用の溝２４が形成される。

なお、ここでは、前述のように、目的とするコアスライ
ダを切り出すためのギャップバーが２個取りであるため
、各フェライトブロック１０．１２の突合セ面１４，１
４に各２条のコイル巻線用溝２４が形成されている。

また、ここでは、フェライトブロック１０．１２の双方
にコイル巻線用溝２４が形成されるが、かかるコイル巻
線用溝２４は、フェライトブロック１０．１２の突合せ
面１４．１４の一方だけに形成するようにしてもよい。

突合せ面１４にコイル巻線用溝２４が形成されたフェラ
イトブロック１０．１２には、次いで、フェライトブロ
ック１０．１２の突合せ面１４゜１４の少なくとも一方
のギャップ形成部位１８（第２図の（ａ）、　（ｂ）参
照）に対して、エツチング処理等によって、ギャップ長
に相当する所定深さのギャップ加工が施される。そして
、かかるギャップ加工が施されたフェライトブロック１
０．１２が、第３図に示されているように、それぞれの
突合せ面１４．１４において、ギャップ形成部位１８が
一致する状態、すなわちコイル巻線用溝２４が互いに一
致する状態で突き合わされ、ガラス溶着手法或いはフェ
ライトブロック１０．１２同士の固相反応手法等により
、非磁気ギャップ形成部位２０において、互いに一体的
に接合せしめられる。

そして、この接合により、各突き合わされた一対のコイ
ル巻線用溝２４．２４をそれぞれ取り囲む状態で、２組
の環状の閉磁路が形成され、またフェライトブロック１
０．１２の各磁気ギャップ形成部位１８において、所定
間隙の磁気ギャップ３０が形成せしめられる。

なお、この磁気ギャップ３０には、通常、第３図に示さ
れているように、コイル巻線用溝２４内において溶融さ
れた補強ガラス２８の一部が侵入、充填せしめられ、そ
の保護が図られることとなる。

また、磁気ギャップ３０は、上述のように、ギャップ形
成部位１８にギャップ加工を施す他、それら磁気ギャッ
プ形成部位１８の少なくとも一方に、５ｉＣｈ、ガラス
等の非磁性材からなる非磁性層（ギャップ形成層）を所
定厚さで設けることによっても形成することができる。

このように接合された二つのフェライトブロック１０．
１２からなる接合体２６は、第４図に示されている如き
、コアスライダを切り出すためのブロック組合せ体、所
謂ギャップパー３２を得るために、第３図に示される如
き切断線３４に沿って切断されて二分割される。そして
、このようにして得られたギャップパー３２に対して、
磁気ギャップ３０の深さ（デプス長）が所望の寸法とな
るように、磁気ディスクに臨むディスク摺動面３６側に
研磨が施され、更にその後、次工程のエツチング処理の
ために、そのギャップパー３２のディスク摺動面３６に
対して、レジスト等のマスクの密着性および均一なサイ
ドエッチ量を得るための表面処理が適宜節される。

エツチング処理のための表面処理が施されたギャップパ
ー３２のディスク摺動面３６には、第５図に示されてい
るように、目的とするコアスライダに形成すべき後述の
空気ベアリング部３８、トラック部４０およびトラック
保護凸部４２に対応した形状のマスク２２が、それら空
気ベアリング部３８、トラック部４０およびトラック保
護凸部４２の形成部位を覆うように付与される。

すなわち、かかるマスク２２は、ここでは、第５図に示
されているように、後述の空気ベアリング部３８の形状
に対応した長手矩形状部２２ａと、トラック部４０の形
状に対応した狭幅部２２ｂと、それら長手矩形状部２２
ａと狭幅部２２ｂとの中間の幅を有するランド部２２ｃ
と含み、長手短形状部２２ａの長手方向の一端部におい
て、ランド部２２ｃが狭幅部２２ｂを介して長手矩形状
部２２ａに連結された形状として与えられる。そして、
ここでは、このような形状のマスク２２が、１個のコア
スライダについて２個ずつ、長手短Ｊ［ｌｄ［２２ａと
ランド部２２ｃがそれぞれ第一および第二のフェライト
ブロック１０．１２上に位置して、狭幅部２２ｂにおい
て磁気ギャップ３０を横切るように、互いに平行に配設
されるのである。

なお、このようなマスク２２の形成には、スクリーン印
刷等の公知の手法が必要精度と経済性の点から適宜選択
されることとなるが、中でも、パターン精度と工程の簡
便さから、フォトレジストを用いた露光による方法が好
適に採用されることとなる。また、かかるマスク２２に
は、ポジ型或いはネガ型のフォトレジストや、真空蒸着
、スパッタリング若しくはＣＶＤ法等によって形成され
るＣｒ等の金属やＳｉＯ若しくは５ｉｎ２等の各種のマ
スクを採用することが可能である。

かかるマスク２２が付与されたギャップパー３２には、
ディスク摺動面３６のフェライト露出部分を介して、所
定深さのエツチング処理が施され、これによって、第６
図の（ａ）および（ｂ）に示されているように、マスク
２２で覆われた部分が所定高さの凸部として残されて、
目的とするコアスライダにおけるそれとほぼ等しい形状
の空気ベアリング部３８．トラック部４０およびトラッ
ク保護凸部４２が形成される。そして、それら空気ベア
リング部３８．トラック部４０およびトラック保護凸部
４２の形成と同時に、それらの周囲に、所定角度の傾斜
面４４が形成される。

なお、かかるエツチング処理は、通常の電解エツチング
或いは化学エツチングで行なわれることとなるが、本願
出願人が特願昭６０−２２２３８８号において明らかに
した、リン酸主体水溶液を用いた化学エツチング処理に
て特に有利に実施されることとなる。

また、かかるエツチング処理によって形成される上記１
頃斜面４４は、ディスクとの摺接によるチッピング（稜
部の欠け）を防止する上で、ディスク摺動面３６との間
で為す角度：β（第６図の（ｂ）参照）が、通常、４５
゛〜８０°、好ましくは６０°〜７５°となるように形
成されることとなる。

エツチング処理が完了すると、ギャップパー３２には、
コアスライダの長さを決めるべく、その幅方向の両端部
を切断する加工が施される。第６図の（ａ）における４
６．４８は、この時の切断線を示している。

コアスライダの長さを決めるための切断加工が完了する
と、第７図に示されているように、エツチング操作によ
って形成された空気ベアリング部３８の長手方向のリー
ディング側端部に対して、空気ベアリング面（ディスク
摺動面）３６に対する傾斜角度が緩やかなテーバ部（リ
ーディングランプ）５０が形成される。

かかるテーパ部５０の加工が完了すると、次に、第８図
に示されているように、各空気ベアリング部３８の延長
部位にヨーク部６０をそれぞれ与えるように、フェライ
トブロック１０．１２の不要部分が第二のフェライトブ
ロック１２側から切削除去され、その後、第８図に示さ
れる如き切削線５２．５２および５４．５４に沿って、
第９図に示されている如く、各トラック部４０の幅方向
の両端を規定するように、トラック保護凸部４２の幅に
比して充分狭い幅をもって、且つ空気ベアリング部３８
やトラック部４０、或いはトラック保護凸部４２の突出
高さ寸法とほぼ同等の深さ寸法、例えば２０〜４０μｍ
程度の深さ寸法をもって、空気ベアリング部３８の長手
方向と平行に２条のトラック幅規定溝５６．５６が砥石
を用いて切削加工される。そして、かかるトラック幅規
定溝５６．５６の切削形成後、第８図に示す如き切断線
５７に沿ってギャップパー３２が切断されて、第１０図
に示されている如き、目的とする固定磁気ディスク装置
用のコアスライダが切り出される。

すなわち、ディスク摺動面３６に所定高さの左右の一対
の空気ベアリング部３８．３８が形成されたスライダ本
体５８と、それら空気ベアリング部３８．３８のそれぞ
れの延長部位において、スライダ本体５８との間で閉磁
路を形成すると共に、ディスク摺動面３６に臨む磁路形
成部位においてスライダ本体５８との間で磁気ギャップ
３０を形成する状態で、スライダ本体５８に一体的に接
合された一対のヨーク部６０とを備え、そのディスク摺
動面３６に、スライダ本体５８とヨーク部６０とにそれ
ぞれ磁気ギャップ３０を挟んで跨る状態で、空気ベアリ
ング部３８と同じ高さのトラック部４０が形成されると
共に、そのトラック部４０を挟んで空気ベアリング部３
８と対向する状態で、それら空気ベアリング部３８およ
びトラック部４０と同じ高さの、空気ベアリング部３８
よりは狭く、トラック部４０よりは広い幅のトラック保
護凸部４２が形成された構造のコアスライダが切り出さ
れるのである。

なお、第１０図から明らかなように、かかるコアスライ
ダは、通常、空気ベアリング部３８、トラック部４０お
よびトラック保護凸部４２の周囲に、それぞれ、所定幅
の段差部６２が残るように、ギャップパー３２から切り
出されることとなる。

また、前述の説明から明らかなように、前記エツチング
操作によって形成されるトラック部４０の幅は、トラッ
ク部４０の最終寸法幅よりも、若干大きな幅をもって形
成されることとなる。

このようにして製造される固定磁気ディスク装置用コア
スライダは、前述のように、空気ベアリング部３８、ト
ラック部４０およびトラック保護凸部４２がエツチング
操作によって同時に形成され、しかもその形成と同時に
、それら空気ベアリング部３８、トラック部４０および
トラック保護凸部４２を取り囲むように、チッピングを
防止するための傾斜面４４が形成されるため、傾斜面（
４４）で囲まれた空気ベアリング部３８およびトラック
保護凸部４２を形成するために、時間を要する砥石加工
等の如き機械加工を施す必要がないのであ、す、それ故
、前記公報（特開昭６２−１８６１５号公報）に開示の
コアスライダの製造手法に比べて、その生産性が大幅に
優れているのである。

そして、本実施例手法に従って製造されるコアスライダ
においては、前述のように、砥石を用いて切削形成され
るトラック幅規定溝５６．５６によってトラック部４０
の幅が実質的に規定されることから、エツチング処理に
よってトラック部４０の幅を直接設定する場合に比べて
、トラック部４０の幅寸法を所望の寸法により高い精度
でより安定して設定することができるのである。

なお、かかる手法に従って製造されるコアスライダでは
、第１０図に示されているように、トラック部４０が幅
の狭い凸部として与えられるが、かかるトラック部４０
のリーディング側には、同じ高さの空気ベアリング部３
８が設けられ、またトレーリング側には、同じ高さのト
ラック保護凸部４２が設けられているため、トラック部
４０の機械的強度は、それら空気ベアリング部３８およ
びトラック保護凸部４２の存在によって充分良好に保証
されることとなる。

また、かかる手法に従って製造されるコアスライダにあ
っては、各空気ベアリング部３８がトラック幅規定溝５
６．５６で左右に分断されることとなるが、かかる分断
された空気ベアリング部３日においても、実用上充分な
空気ベアリング作用、即ちディスク浮上効果を得ること
ができる。

ところで、上記実施例では、ギャップパー３２のディス
ク摺動面３６に対するエツチング処理に際して、空気ベ
アリング部３８の形成部位を覆う長手矩形状部２２ａ、
トラック部４０の形成部位を覆う狭幅部２２ｂおよびト
ラック保護凸部４２の形成部位を覆うランド部２２ｃが
、連続した形状のマスク２２としてギャップパー３２の
ディスク摺動面３６に付与されるようになっていたが、
それら長手矩形状部２２ａ、狭幅部２２ｂおよびランド
部２２ｃのマスクを互いに分離したマスクとしてギャッ
プパー３２のディスク摺動面３６に付与するようにする
ことも可能である。

第１１図は、そのようなマスクの付与形態の一例を示す
ものであり、ここでは、各空気ベアリング部３８および
トラック保護凸部４２が後に形成されるトラック幅規定
溝５６．５６で左右に分断されることを見越して、長手
矩形状部２２ａおよびランド部２２ｃのマスクが更に左
右に２分された状態でディスク摺動面３６に付与せしめ
られている。

なお、エツチング処理に際して、空気ベアリング部３８
．トラック部４０およびトラック保護凸部４２を形成す
るためのマスクがこのような形態で付与される場合にあ
っても、以下の操作は、前記実施例と同様にして行なわ
れる。

すなわち、第１１図に示されているように、ギャップパ
ー３２のディスク摺動面３６にマスクが付与されると、
ディスク摺動面３６のフェライト露出部を介して、前記
実施例と同様にしてエツチング処理が施され、そのエツ
チング操作によって、第１２図に示されているように、
マスク付与部分が非マスク付与部分から所定高さ突出さ
せられて、高さが等しい空気ベアリング部３８、トラッ
ク部４０およびトラック保護凸部４２が形成される。

ただし、ここでは、第１２図から明らかなように、空気
ベアリング部３８、トラック部４０およびトラック保護
凸部４２は、前記実施例とは異なって、互いに独立した
状態で形成され、また空気ベアリング部３８およびトラ
ック保護凸部４２は、更に左右に２分された状態で形成
される。そして、空気ベアリング部３８、トラック部４
０およびトラック保護凸部４２の互いに独立した凸部を
それぞれ取り囲む状態で、傾斜面４４が形成される。

なお、トラック部４０の形成幅（先端の平坦面幅）は、
ここでも、前記実施例と同様に、トラック部４０の最終
寸法幅よりも若干太き（設定される。

エツチング処理が完了すると、前記実施例と同様に、第
１２図に示されている如き切断線４６゜４８に沿って、
コアスライダの長さを決定するための切断加工が行なわ
れ、その切断加工後、第１３図に示されているように、
空気ベアリング部３８のリーディング側の端部に対して
、テーパ部（リーディングランプ）５Ｇが形成される。

そして、その後、前記実施例と同様に、第１４図に示さ
れている如く、フェライトブロック１０．１２のギャッ
プパー３２の幅方向の不要部分が切除されて、ヨーク部
６０が形成され、更にその後、第１４図に示されている
如き切削線５２．５２および５４゜５４に沿って、前記
実施例と同様に、トラック幅規定溝５６．５６が切削加
工され（第１５図参照）、トラック部４０が最終形状に
仕上げられる。ただし、ここでは、第１５図および第１
６図から明らかなように、空気ベアリング部３８および
トラック保護凸部４２に砥石が触れないように、トラッ
ク幅規定溝５６．５６が切削形成される。つまり、空気
ベアリング部３８およびトラック保護凸部４２の各独立
した凸部が、回りを傾斜面４４で囲まれた状態で残され
るように、トラック保護凸部５６．５６が切削形成され
るのである。

そして、トラック幅規定溝５６．５６が切削加工されで
、トラック部４０が最終形状に仕上げられると、ギャッ
プパー３２が第１４図に示されている如き切断線５７に
沿って切断されて、ギャップパー３２から目的とするコ
アスライダが切り出される（第１６図参照）。

このようにして製造されるコアスライダにあっても、空
気ベアリング部３８、トラック部４０およびトラック保
護凸部４２がエツチング操作によって同時に形成され、
しかもその形成と同時に、それら空気ベアリング部３日
、トラック部４０およびトラック保護凸部４２を取り囲
むように、傾斜面４４が形成されるため、前記実施例の
製造手法と同様に、優れた生産性をもって所期の機能を
有するコアスライダを製造できるのである。

また、本実施例手法に従って製造されるコアスライダに
おいても、砥石を用いて切削形成されるトラック幅規定
溝５６−．５６によってトラック部４０の幅が実質的に
規定されることから、前記実施例と同様に、トラック部
４０の幅寸法を高い精度で安定して設定することができ
るのである。

しかも、本実施例手法に従って製造されるコアスライダ
においては、空気ベアリング部３８およびトラック保護
凸部４２の各独立した凸部が、それぞれの周りを傾斜面
４４で囲まれた構造をもって残されるため、それら空気
ベアリング部３８およびトラック保護凸部４２の各独立
した凸部の稜部の欠けが、前記実施例手法で製造される
コアスライダよりも一層良好に防止されるといった利点
があるのである。

なお、以上の実施例では、何れも、スライダ本体５８の
一対の空気ベアリング部３８．３８の延長部位のそれぞ
れにヨーク部６０が設けられていたが、スライダ本体５
８の一方の空気ベアリング部３８の延長部位に１個のヨ
ーク部６０だけを設けるようにすることもできる。この
場合には、コアスライダの２つの空気ベアリング部３８
．３８の一方の延長部位においてのみトラック部４０お
よびトラック保護凸部４２を形成すればよいため、ギャ
ップパー３２のディスク摺動面３６に付与されるマスク
は、ギャップパー３２の長手方向における一つおきのも
のが、空気ベアリング部３８に対応した長手短形状部２
２ａだけからなるものとして付与されることとなる。

次に、ヨーク部がスライダ本体の中央部に接合された構
造のコアスライダを製造する場合について、本発明の更
に別の実施例を説明する。なお、このような構造のコア
スライダの製造に際しても、フェライトブロック１０．
１２からギャップパー３２を作製するまでの手順はこれ
までの実施例と同じであるため、ここでは、ギャップパ
ー３２からコアスライダを切り出すまでの工程について
のみ、その製造手順を詳述することとする。

すなわち、前記実施例と同様の手順に従ってギャップパ
ー３２が得られると、そのギャップパー３２のディスク
摺動面３６に対して、第１７図に示されているように、
目的とするコアスライダの空気ベアリング部３８に対応
した長手矩形状のマスク６４が、各空気ベアリング部３
８の形成部位を覆うように付与されると共に、コアスラ
イダの左右一対の空気ベアリング部形成部位間の中央部
において、前記実施例のランド部２２ｂと同様の形状の
一対のランド部６６ｃ、６６ｃが前記実施例の狭幅部２
２ｂと同様の形状の狭幅部６６ｂで連結された構造のマ
スク６６が、狭幅部６６ｂにおいて磁気ギャップ３０を
横切るように、マスク６４と平行な状態で付与される。

そして、それらマスク６４．６６の付与状態下で前記実
施例と同様のエツチング処理が行なわれ、第１８図に示
されているように、マスク６４で覆われた部位に、それ
ぞれ、傾斜面４４で取り囲まれた状態で、空気ベアリン
グ部３８が周りから突出形成されると共に、マスク６６
で覆われた部位に、それぞれ、傾斜面４４で取り囲まれ
た状態で、トラック部４０の両端に一対のトラック保護
凸部４２．４２が連続して形成された構造の凸部が、空
気ベアリング部３８と同じ高さで周りから突出して形成
される。

このようにして空気ベアリング部３８．トラック部４０
およびトラック保護凸部４２がエツチング形成されると
、次いで、ギャップパー３２には、前記実施例と同様に
、第１８図に示す如き切断線４６．４８に沿って、コア
スライダの長さを決めるための幅方向両端の切断加工が
行なわれる。そして、かかる切断加工が完了すると、第
１９図に示されているように、各空気ベアリング部３８
のリーディング側端部に対して、テーパ部５０を形成す
るためのリーディングランプ加工が施されると共に、フ
ェライトブロック１０．１２のトレーリング側における
不要部分が切除されて、それぞれ、前記エツチング形成
されたトラック部４０およびトラック保護凸部４２を含
むように、ヨーク部６０が切り出し形成される。

そして、その後、第１９図に示されている如き切削線７
０．７０および７２．７２に沿って、各トラック部４０
の幅方向の両端を規定するように、トラック保護凸部４
２に比して充分狭い幅をもって、前記実施例と同様の一
対のトラック幅規定溝７４．７４が砥石にて切削加工さ
れ、しかる後、ギャップパー３２が前記実施例と同様の
切断線５７に沿って切断されて、第２０図に示されてい
る如き、スライダ本体７６の左右の空気ベアリング部３
８．３８間の中央部に位置して、１つのヨーク部６０が
一体的に接合されてなる構造の、目的とするコアスライ
ダが切り出される。

このようにして製造されるコアスライダにおいても、左
右一対の空気ベアリング部３８．３８、トラック部４０
、および一対のトラック保護凸部４２．４２がエツチン
グ操作によって同時に形成され、しかもそれらの周りに
傾斜面４４が同時に形成されるため、その生産性が著し
く優れているのであり、またトラック部４０の幅が砥石
にて切削形成されるトラック幅規定溝７４．７４で規定
されることから、そのトラック幅が高い精度で安定して
設定され得るのである。

なお、このような構造のコアスライダでは、トラック部
４０を挟んでディスク摺動方向で対向するように設けら
れた一対のトラック保護凸部４２゜４２によって、トラ
ック部４０の機械的強度が保証されることとなる。

ところで、上記実施例においては、トラック部４０と該
トラック部４０を保護するための一対のトラック保護凸
部４２．４２が連続した凸部としてエツチング形成され
るようになっているが、かかる空気ベアリング部３８の
非延長部位にトラック部４０が設けられる構造のコアス
ライダにおいても、前記空気ベアリング部３８の延長部
位にヨーク部６０が設けられる構造のコアスライダと同
様に、トラック部４０およびトラック保護凸部４２．４
２の形成部位に互いに独立したマスク６４゜６６を付与
すると共に、マスク６６を更に部分した状態で付与して
、各トラック保護凸部４２，４２の互いに独立した凸部
が、それぞれの周りを傾斜面４４で囲まれた形状として
残されるようにすることも可能である。

第２１図は、そのようなマスクの付与形態の一例を示し
ており、第２２図は、第２１図に示すマスクの付与形態
下で、空気ベアリング部３８、トラック部４０およびト
ラック保護凸部４２がエツチング形成された状態のギャ
ップパー３２を示している。

なお、空気ベアリング部３８、トラック部４０およびト
ラック保護凸部４２がこのようにして工ッチング形成さ
れたギャップバー３２には、次いで、上記実施例と同様
に、コアスライダの長さを決めるための幅切断加工、リ
ーディングランプ加工、ヨーク部６８の切出加工、およ
びトラック部４０の幅方向両端部を規定するためのトラ
ック幅規定溝７４．７４の切削加工が順次節される（第
２３図参照）、そして、トラック幅規定溝７４゜７４の
切削形成後において、前記実施例と同様の切断線５７に
沿って、スライダ本体７６とヨーク部６８からなる目的
のコアスライダが切り出される。第２４図は、このよう
にして得られたコアスライダを示している。

以上、本発明の幾つかの実施例を詳細に説明したが、こ
れらは文字通りの例示であり、本発明が、それらの具体
例に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内
において、種々なる変更、修正、改良等を施した態様で
実施できることは、言うまでもないところである。

例えば、前記実施例においては、何れも、フェライトブ
ロック１０．１２の相対向するフェライト面（突合せ面
１４）間において磁気ギャップ３０が直接形成されるよ
うになっているが、そのようなフェライト面の少なくと
も何れか一方に所定厚さの金属磁性材層を形成して、磁
気ギャップ３０を所謂メタルインギャップ構造となすこ
とも可能である。なお、磁気ギャップ３０をメタルイン
ギャップ構造となす場合には、フェライトブロック１０
．１２の接合前の、磁気ギャップ３０のギャップ長を規
定するためのギャップ加工後において、それらフェライ
トブロック１０．１２の少なくとも一方の突合せ面１４
の磁気ギャップ形成部位に対して、公知の手法に従って
金属磁性材層を形成するようにすればよい。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、固定
磁気ディスク装置用のコアディスクの製造に際して、そ
のディスク摺動面の空気ベアリング部、トラック部およ
びトラック保護凸部をエツチング手法にて同時に形成で
きることから、コアスライダを優れた生産性をもって安
価に製造できるのであり、またトラック部の幅が、機械
的に切削されて形成される２条の溝によって規定される
ことから、その幅寸法精度を良好に高め得て、トラック
幅寸法精度の高いコアスライダを安定して得ることがで
きるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１０図は、本発明の一実施例を説明するた
めの各工程の説明図であって、第１図の（ａ）および（
ロ）は、それぞれ、組み合わされるフェライトブロック
を示す斜視図であり、第２図の（ａ）および（ｂ）は、
それぞれ、コイル巻線用の溝加工が施された状態のフェ
ライトブロックを示す斜視図であり、第３図は、二つの
フェライトブロックが一体的に接合された状態を示す斜
視図であり、第４図は、第３図のフェライトブロック接
合体を二分割して得られるギャップバーを示す斜視図で
あり、第５図は、ディスク摺動面にエツチングのための
マスクが付与された状態を示すギャップバーの要部を示
す平面図であり、第６図の（ａ）および（ｂ）は、それ
ぞれ、エツチング処理が施されたギャップバーの要部を
示す平面図および正面図であり、第７図は、空気ベアリ
ング部の長手方向のリーディング側端部にリーディング
ランプが形成された状態のギャップバーの要部を示す平
面図であり、第８図は、不要部分の切除加工にてヨーク
部が形成された状態のギャップバーの要部を示す平面図
であり、第９図は、トラック部の幅を規定するためのト
ラック幅規定溝が形成されたギャップバーの要部を拡大
して示す斜視図であり、第１０図は、ギャップバーから
切り出された最終形状のコアスライダを示す平面図であ
る。 第１１図乃至第１６図は、本発明の別の実施例を説明す
るための各工程の説明図であって、第１１図は第５図に
、第１２図は第６図の（ａ）に、第１３図は第７図に、
第１４図は第８図に、第１５図は第９図に、第１６図は
第１０図に、それぞれ対応する図である。 第１７図乃至第２０図および第２１図乃至第２４図は、
それぞれ、本発明の更に別の実施例を説明するための各
工程の説明図であって、第１７図および第２１図は第５
図に、第１８図および第２２図は第６図の（ａ）に、第
１９図および第２３図は第８図に、第２０図および第２
４図は第１０図に、それぞれ対応する図である。 １０：第一のフェライトブロック １２：第二のフェライトブロック ２２．６４，６６：マスク ２４：コイル巻線用溝　３０；磁気ギャップ３２：ギャ
ップパー　　３６：デイスク摺動面３８：空気ベアリン
グ部　　４０ニドラック部４２ニドラック保護凸部　　
４４：傾斜面５０：テーパ部 ５６．７４：）ラック幅規定溝 ５Ｂ、７６：スライダ本体 ６０．６８：ヨーク部 第１図 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空気ベア
   リング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本体との
   間で閉磁路を形成すると共に、前記ディスク摺動面に臨
   む磁路形成部位において該スライダ本体との間で所定間
   隙の磁気ギャップを形成する状態で、該スライダ本体に
   一体的に接合された少なくとも一つのヨーク部とを備え
   、そのディスク摺動面に、前記スライダ本体とヨーク部
   とに前記磁気ギャップを挟んで跨る状態で、前記空気ベ
   アリング部と同じ高さのトラック部が形成されると共に
   、該トラック部を挟んで前記空気ベアリング部と対向す
   る状態で、若しくは該トラック部を挟んで互いに対向す
   る状態で、それら空気ベアリング部およびトラック部と
   同じ高さの、該空気ベアリング部よりは狭く、該トラッ
   ク部よりは広い幅のトラック保護凸部が形成されてなる
   構造の固定磁気ディスク装置用のコアスライダを製造す
   る方法であって、 前記スライダ本体を与える第一のフェライトブロックと
   、前記ヨーク部を与える第二のフェライトブロックとを
   突き合わせて一体的に接合し、前記閉磁路および磁気ギ
   ャップを備えたギャップバーを作製する工程と、 該ギャップバーの前記ディスク摺動面側の前記空気ベア
   リング部、トラック部およびトラック保護凸部の各形成
   部位に対して、それらの形状に対応したマスクを付与し
   、そのマスクの付与状態下で、該ギャップバーのディス
   ク摺動面側部位にエッチングを施して、該マスクの付与
   部分を非付与部分から突出せしめ、該ギャップバーのデ
   ィスク摺動面に、周囲から所定高さ突出した前記空気ベ
   アリング部、トラック部およびトラック保護凸部を形成
   する工程と、 該エッチング操作によって形成されたトラック部の幅方
   向両側に、前記スライダ本体およびヨーク部に跨る状態
   で互いに平行な溝を切削加工して、該トラック部を最終
   寸法幅に仕上げる工程と、 該トラック部の幅が最終寸法幅に仕上げられたギャップ
   バーから、前記コアスライダ本体とヨーク部からなる最
   終形状のコアスライダを切り出す工程とを、 含むことを特徴とする固定磁気ディスク装置用コアスラ
   イダの製造法。
2. （２）前記第一のフェライトブロックと第二のフェライ
   トブロックとの突き合わせに先立って、それらフェライ
   トブロックの少なくとも一方の突合せ面の磁気ギャップ
   形成部位に、所定厚さの金属磁性材層を形成せしめるこ
   とを特徴とする請求項（１）記載の製造法。