JPH0778863B2

JPH0778863B2 - 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法

Info

Publication number: JPH0778863B2
Application number: JP6890389A
Authority: JP
Inventors: 素一郎松沢; 正孝清水; 伸大寺田
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1989-03-20
Filing date: 1989-03-20
Publication date: 1995-08-23
Anticipated expiration: 2010-08-23
Also published as: JPH02247815A

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）本発明は、固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造
法に係り、特に、トラック幅精度の高いコアスライダを
良好な生産性をもって製造するための方法に関する。

（背景技術）固定磁気ディスク装置（RDD）に用いられる浮上型磁気
ヘッド用のコアスライダは、一般に、スライダ本体と、
該スライダ本体との間で閉磁路を形成すると共に、その
ディスク摺動面に臨む磁路形成部位において、スライダ
本体との間で所定間隙の磁気ギャップを形成する少なく
とも１つのヨーク部とからなっており、スライダ本体の
ディスク摺動面に、所定高さの左右一対の空気ベアリン
グ部が設けられると共に、磁気ギャップを挟んでスライ
ダ本体とヨーク部とに跨るように、ディスク摺動面高さ
（先端面高さ）がスライダ本体の空気ベアリング面高さ
と一致する状態で、所定幅のトラック部が形成された構
造とされている。

ところで、このようなコアスライダの一つとして、従来
から、左右の空気ベアリング部の間のスライダ本体の中
央部にセンタレールを備えると共に、かかるセンタレー
ルの延長部位において、スライダ本体と一体構造のヨー
ク部を備え、かかるヨーク部とスライダ本体との間に磁
気ギャップが形成されてなる構造のモノリシック型のコ
アスライダが知られているが、このようなモノリシック
型のコアスライダにおいては、ヨーク部を含むセンタレ
ールの両側にテーパ加工によってトラック部の幅が規定
されるようになっているため、高密度記録化のための狭
トラック化が困難であると共に、トラック幅精度を高め
ることが難しいといった問題があった。

また、狭トラック化が達成し易く、トラック幅精度を得
やすいコアスライダとしては、非磁性材料製のスライダ
本体にフェライトコアを埋め込んでなる構造の、所謂コ
ンポジット型のコアスライダが知られているが、かかる
コンポジット型コアスライダでは、スライダ本体とフェ
ライトコアとを個々に加工して、それらを精度良く接合
することが必要とされるため、その製造コストが高くな
るといった事情があった。

一方、かかるコンポジット型スライダと同様の性能を持
たせつつ、その製造コストの低減化を図り得るコアスラ
イダの製造手法として、近年、特開昭62−18615号公報
において、スライダ本体に対して、トラック幅規制溝を
形成したヨーク部をガラス溶着して一体化し、しかる
後、空気ベアリング部およびヨーク部の左右両側面を傾
斜面に切削形成して、目的とするコアスライダを得るよ
うにした手法が提案されている。しかし、かかる公報に
開示のコアスライダの製造手法は、空気ベアリング部や
トラック部の形状加工を始めとする各部の加工が、専
ら、時間を要するダイヤモンド砥石等による機械加工に
よって行なわれるようになっていることから、その生産
性が必ずしも良好とは言い難く、量産品の製造手法とし
ては未だ決して好ましいものとは言い難かった。

そこで、本願出願人は、このような従来の事情に鑑み
て、先に、特願昭63−80133号において、ディスク摺動
面に所定高さの左右一対の空気ベアリング部を備えたス
ライダ本体の少なくとも一方の空気ベアリング部の延長
部位において、該スライダ本体との間で磁気ギャップを
形成するヨーク部を設け、そのディスク摺動面に、スラ
イダ本体とヨーク部とにそれぞれ磁気ギャップを挟んで
跨る状態で、空気ベアリング部と同じ高さのトラック部
を形成すると共に、そのトラック部を挟んで空気ベアリ
ング部と対向する状態で、空気ベアリング部およびトラ
ック部と同じ高さの、空気ベアリング部よりは狭く、ト
ラック部よりは広い幅のトラック保護凸部を形成せしめ
てなるコアスライダ構造を提案すると共に、そのコアス
ライダの製造に際して、空気ベアリング部とトラック部
とトラック保護凸部とをエッチング手法にて同時に形成
せしめるようにしたコアスライダの製造手法を提案し
た。

コアスライダの構造としては上述のような構造を採用
し、その構造に際して、空気ベアリング部とトラック部
とトラック保護凸部とをエッチング手法にて同時に形成
する手法を採用すれば、狭トラック化およびトラック幅
精度の高精度化を有利に図りつつ、所期の機能を備えた
コアスライダを良好な生産性をもって製造できるのであ
り、コアスライダの製造コストを有利に低減化できるの
である。

なお、スライダ本体の左右の空気ベアリング部の中央部
においてヨーク部をスライダ本体に接合し、そのヨーク
部とスライダ本体とに跨るようにトラック部を設ける場
合には、トラック部を挟んで互いに対向するように一対
のトラック保護凸部を設ける構造を採用し、それらトラ
ック保護凸部とトラック部と左右の空気ベアリング部を
エッチング手法によって同時に形成するようにすること
により、同様の効果を期待できる。

ところが、このようなエッチング手法を採用するコアス
ライダの製造手法では、上述のように、狭トラック化お
よびトラック幅精度の高精度化を有利に図りつつ、コア
スライダの生産性を有利に向上させることができるもの
の、トラック部がエッチングによるフェライトブロック
の侵食作用によって形成されるものであることから、高
いトラック幅精度を安定して確保しようとすると、エッ
チングの際のトラック幅の寸法管理が難しくなるといっ
た事情があり、トラック幅精度を高めることに限界があ
った。

（解決課題）ここにおいて、本発明は、以上のような事情を背景とし
て為されたものであり、その解決すべき課題とするとこ
ろは、良好な生産性をもって製造でき、しかもトラック
部の幅寸法を所望の寸法に高い精度をもって安定して設
定することのできる固定磁気ディスク装置用コアスライ
ダの製造法を提供することにある。

（解決手段）そして、かかる課題を解決するために、本発明にあって
は、固定磁気ディスク装置用のコアスライダの構造とし
て、ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空気ベアリ
ング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本体との間
で閉磁路を形成すると共に、前記ディスク摺動面に臨む
磁路形成部位において該スライラ本体との間で所定間隙
の磁気ギャップを形成する状態で、該スライダ本体に一
体的に接合された少なくとも一つのヨーク部とを備え、
そのディスク摺動面に、前記スライダ本体とヨーク部と
に前記磁気ギャップを挟んで跨る状態で、前記空気ベア
リング部と同じ高さのトラック部が形成されると共に、
該トラック部を挟んで前記空気ベアリング部と対向する
状態で、若しくは該トラック部を挟んで互いに対向する
状態で、それら空気ベアリング部およびトラック部と同
じ高さの、該空気ベアリング部よりは狭く、該トラック
部よりは広い幅のトラック保護凸部が形成されてなる構
造を採用し、かかる構造のコアスライダの製造に際し
て、（ａ）前記スライダ本体を与える第一のフェライト
ブロックと、前記ヨーク部を与える第二のフェライトブ
ロックとを突き合わせて一体的に接合し、前記閉磁路お
よび磁気ギャップを備えたギャップバーを作製する工程
と、（ｂ）該ギャップバーの前記ディスク摺動面側の前
記空気ベアリング部、トラック部およびトラック保護凸
部の各形成部位に対して、それらの形状に対応したマス
クを付与し、そのマスクの付与状態下で、該ギャップバ
ーのディスク摺動面側部位にエッチングを施して、該マ
スクの付与部分を非付与部分から突出せしめ、該ギャッ
プバーのディスク摺動面に、周囲から所定高さ突出した
前記空気ベアリング部、トラック部およびトラック保護
凸部を形成する工程と、（ｃ）該エッチング操作によっ
て形成されたトラック部の幅方向両側に、前記スライダ
本体およびヨーク部に跨る状態で互いに平行な溝を切削
加工して、該トラック部を最終寸法幅に仕上げる工程
と、（ｄ）該トラック部の幅が最終寸法幅に仕上げられ
たギャップバーから、前記コアスライダ本体とヨーク部
からなる最終形状のコアスライダを切り出す工程とを、
含むようにしたのである。

なお、トラック部の磁気ギャップを所謂メタルインギャ
ップ構造となす場合には、前記第一のフェライトブロッ
クと第二のフェライトブロックとの突き合わせに先立っ
て、それらフェライトブロックの少なくとも一方の突合
せ面の磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの金属磁性材
層を形成するようにすればよい。

（実施例）以下、本発明をより一層具体的に明らかにするために、
この実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

先ず、本発明に従って固定磁気ディスク装置用のコアス
ライダを得るために、それぞれ、第１図の（ａ）および
（ｂ）に示されている如き、後述のスライダ本体および
ヨーク部を与える長手矩形ブロック状の第一のフェライ
トブロック10と第二のフェライトブロック12が準備され
る。

なお、これらフェライトブロック10,12のフェライト材
としては、従来からの高透磁率フェライト材、例えばMn
−Znフェライト、Ni−Znフェライト等の単結晶体や多結
晶体、或いはそれらの複合体が好適に作用されることと
なるが、フェライト材として単結晶体が用いられる場合
には、後述の空気ベアリング面（ディスク摺動面）の結
晶面と空気ベアリング部の長手稜部（エッジ部）の結晶
方位の組合せとして（100）と〈100〉，（100）と〈11
0〉，（110）と〈100〉，（110）と〈110〉，（311）と
〈332〉，（332）と〈311〉，（611）と〈331〉，（33
1）と〈611〉，（211）と〈111〉の組合せが好適に選択
されることとなる。

また、ここでは、後述の説明から明らかになるように、
目的とするコアスライダを各々複数個（ここでは各２
個）切り出し得る後述のギャップバーを２個取りできる
ように、各フェライトブロック10,12の大きさが設定さ
れている。

準備されたフェライトブロック10,12には、第２図の
（ａ）および（ｂ）に示されているように、それらの突
合せ面（ギャップ対向面；接合面）14の対応する位置
に、後述の磁気ギャップ30のギャップデプス位置を規定
する状態で、コイル巻線用の溝24が形成される。なお、
ここでは、前述のように、目的とするコアスライダを切
り出すためのギャップバーが２個取りであるため、各フ
ェライトブロック10,12の突合せ面14,14に各２条のコイ
ル巻線用溝24が形成されている。また、ここでは、フェ
ライトブロック10,12の双方にコイル巻線用溝24が形成
されるが、かかるコイル巻線用溝24は、フェライトブロ
ック10,12の突合せ面14,14の一方だけに形成するように
してもよい。

突合せ面14にコイル巻線用溝24が形成されたフェライト
ブロック10,12には、次いで、フェライトブロック10,12
の突合せ面14,14の少なくとも一方のギャップ形成部位1
8（第２図の（ａ），（ｂ）参照）に対して、エッチン
グ処理等によって、ギャップ長に相当する所定深さのギ
ャップ加工が施される。そして、かかるギャップ加工が
施されたフェライトブロック10,12が、第３図に示され
ているように、それぞれの突合せ面14,14において、ギ
ャップ形成部位18が一致する状態、すなわちコイル巻線
用溝24が互いに一致する状態で突き合わされ、ガラス溶
着手段或いはフェライトブロック10,12同士の固相反応
手法等により、非磁気ギャップ形成部位20において、互
いに一体的に接合せしめられる。そして、この接合によ
り、各突き合わされた一対のコイル巻線用溝24,24をそ
れぞれ取り囲む状態で、２組の環状の閉磁路が形成さ
れ、またフェライトブロック10,12の各磁気ギャップ形
成部位18において、所定間隙の磁気ギャップ30が形成せ
しめられる。

なお、この磁気ギャップ30には、通常、第３図に示され
ているように、コイル巻線用溝24内において溶融された
補強ガラス28の一部が侵入、充填せしめられ、その保護
が図られることとなる。また、磁気ギャップ30は、上述
のように、ギャップ形成部位18にギャップ加工を施す
他、それら磁気ギャップ形成部位18の少なくとも一方
に、SiO₂,ガラス等の非磁性材からなる非磁性層（ギャ
ップ形成層）を所定厚さで設けることによっても形成す
ることができる。

このように接合された二つのフェライトブロック10,12
からなる接合体26は、第４図に示されている、コアスラ
イダを切り出すためのブロック組合せ体、所謂ギャップ
バー32を得るために、第３図に示される如き切断線34に
沿って切断されて二分割される。そして、このようにし
て得られたギャップバー32に対して、磁気ギャップ30の
深さ（デプス長）が所望の寸法となるように、磁気ディ
スクに臨むディスク摺動面36側に研磨が施され、更にそ
の後、次工程のエッチング処理のために、そのギャップ
バー32のディスク摺動面36に対して、レジスト等のマス
クの密着性および均一なサイドエッチ量を得るための表
面処理が適宜施される。

エッチング処理のための表面処理が施されたギャップバ
ー32のディスク摺動面36には、第５図に示されているよ
うに、目的とするコアスライダに形成すべき後述の空気
ベアリング部38、トラック部40およびトラック保護凸部
42に対応した形状のマスク22が、それら空気ベアリング
部38、トラック部40およびトラック保護凸部42の形成部
位を覆うように付与される。

すなわち、かかるマスク22は、ここでは、第５図に示さ
れているように、後述の空気ベアリング部38の形状に対
応した長手矩形形状22aと、トラック部40の形状に対応
した狭幅部22bと、それら長手矩形形状部22aと狭幅部22
bとの中間の幅を有するランド部22cと含み、長手矩形形
状部22aの長手方向の一端部において、ランド部22cが狭
幅部22bを介して長手矩形形状部22aに連結された形状と
して与えられる。そして、ここでは、このような形状の
マスク22が、１個のコアスライダについて２個ずつ、長
手矩形形状部22aとランド部22cがそれぞれ第一および第
二のフェライトブロック10,12上に位置して、狭幅部22b
において磁気ギャップ30を横切るように、互いに平行に
配設されるのである。

なお、このようマスク22の形成には、スクリーン印刷等
の公知の手法が必要精度と経済性の点から適宜選択され
ることとなるが、中でも、パターン精度と工程の簡便さ
から、フォトレジストを用いた露光による方法が好適に
採用されることとなる。また、かかるマスク22には、ポ
ジ型或いはネガ型のフォトレジストや、真空蒸着、スパ
ッタリング若しくはCVD法等によって形成されるCr等の
金属やSiO若しくはSiO₂等の各種のマスクを採用すると
が可能である。

かかるマスク22が付与されたギャップバー32には、ディ
スク摺動面36フェライト露出部分を介して、所定深さの
エッチング処理が施され、これによって、第６図（ａ）
および（ｂ）に示されているように、マスク22で覆われ
た部分が所定高さの凸部として残されて、目的とするコ
アスライダにおけるそれとほぼ等しい形状の空気ベアリ
ング部38,トラック部40およびトラック保護凸部42が形
成される。そして、それら空気ベアリング部38,トラッ
ク部40およびトラック保護凸部42の形成と同時に、それ
らの周囲に、所定角度の傾斜面44が形成される。

なお、かかるエッチング処理は、通常の電解エッチング
或いは化学エッチングで行なわれることとなるが、本願
出願人が特願昭60−222388号において明らかにした、リ
ン酸主体水溶液を用いた化学エッチング処理にて特に有
利に実施されることとなる。

また、かかるエッチング処理によって形成される上記傾
斜面44は、ディスクとの摺接によるチッピング（稜部の
欠け）を防止する上で、ディスク摺動面36との間で為す
角度：β（第６図の（ｂ）参照）が、通常、45゜〜80
゜、好ましくは60゜〜75゜となるように形成されること
となる。

エッチング処理が完了すると、ギャップバー32には、コ
アスライダの長さを決めるべく、その幅方向の両端部を
切断する加工が施される。第６図の（ａ）における46,4
8は、この時の切断線を示している。

コアスライダの長さを決めるための切断加工が完了する
と、第７図に示されているように、エッチング操作によ
って形成された空気ベアリング部38の長手方向のリーデ
ィング側端部に対して、空気ベアリング部（ディスク摺
動面）36に対する傾斜角度が緩やかなテーパ部（リーデ
ィングランプ）50が形成される。

かかるテーパ部50の加工が完了すると、次に、第８図に
示されているように、各空気ベアリング部38の延長部位
にヨーク部60をそれぞれ与えるように、フェライトブロ
ック10,12の不要部分が第二のフェライトブロック12側
から切削除去され、その後、第８図に示される如き切削
線52,52および54,54に沿って、第９図に示されている如
く、各トラック部40の幅方向の両端を規定するように、
トラック保護凸部42の幅に比して充分狭い幅をもって、
且つ空気ベアリング部38やトラック部40、或いはトラッ
ク保護凸部42の突出高さ寸法とほぼ同等の深さ寸法、例
えば20〜40μｍ程度の深さ寸法をもって、空気ベアリン
グ部38の長手方向と平行に２条のトラック幅規定溝56,5
6が砥石を用いて切削加工される。そして、かかるトラ
ック幅規定溝56,56の切削形成後、第８図に示す如き切
断線57に沿ってギャップバー32が切断されて、第10図に
示されている如き、目的とする固定磁気ディスク装置用
のコアスライダが切り出される。

すなわち、ディスク摺動面36に所定高さの左右の一対の
空気ベアリング部38,38が形成されたスライダ本体58
と、それら空気ベアリング部38,38のそれぞれの延長部
位において、スライダ本体58との間で閉磁路を形成する
と共に、ディスク摺動面36に臨む磁路形成部位において
スライダ本体58との間で磁気ギャップ30を形成する状態
で、スライダ本体58に一体的に接合された一対のヨーク
部60とを備え、そのディスク摺動面38に、スライダ本体
58とヨーク部60とにそれぞれ磁気ギャップ30を挟んで跨
る状態で、空気ベアリング部38と同じ高さのトラック部
40が形成されると共に、そのトラック部40を挟んで空気
ベアリング部38と対向する状態で、それら空気ベアリン
グ部38およびトラック部40と同じ高さの、空気ベアリン
グ部38よりは狭く、トラック部40よりは広い幅のトラッ
ク保護凸部42が形成された構造のコアスライダが切り出
さされるのである。

なお、第10図から明らかなように、かかるコアスライダ
は、通常、空気ベアリング部38、トラック部40およびト
ラック保護凸部42の周囲に、それぞれ、所定幅の段差部
62が残るように、ギャップバー32から切り出されること
となる。

また、前述の説明から明らかなように、前記エッチング
操作によって形成されるトラック部40の幅は、トラック
部40の最終寸法幅よりも、若干大きな幅をもって形成さ
れることとなる。

このようにして製造される固定磁気ディスク装置用コア
スライダは、前述のように、空気ベアリング部38、トラ
ック部40およびトラック保護凸部42がエッチング操作に
よって同時に形成され、しかもその形成と同時に、それ
ら空気ベアリング部38トラック部40およびトラック保護
凸部42を取り囲むように、チッピングを防止するための
傾斜面44が形成されるため、傾斜面（44）で囲まれた空
気ベアリング部38およびトラック保護凸部42を形成する
ために、時間を要する砥石加工等の如き機械加工を施す
必要がないのであり、それ故、前記公報（特開昭62−18
615号公報）に開示のコアスライダの製造手法に比べ
て、その生産性が大幅に優れているのである。

そして、本実施例手法に従って製造されるコアスライダ
においては、前述のように、砥石を用いて切削形成され
るトラック幅規定溝56,56によってトラック部40の幅が
実質的に規定されることから、エッチング処理によって
トラック部40の幅を直接設定する場合に比べて、トラッ
ク部40の幅寸法を所望の寸法により高い精度でより安定
して設定することができるのである。

なお、かかる手法に従って製造されるコアスライダで
は、第10図に示されているように、トラック部40が幅の
狭い凸部として与えられるが、かかるトラック部40のリ
ーディング側には、同じ高さの空気ベアリング部38が設
けられ、またトレーリング側には、同じ高さのトラック
保護凸部42が設けられているため、トラック部40の機械
的強度は、それら空気ベアリング部38およびトラック保
護凸部42の存在によって充分良好に保証されることとな
る。

また、かかる手法に従って製造されるコアスライダにあ
っては、各空気ベアリング部38がトラック幅規定溝56,5
6で左右に分断されることとなるが、かかる分断された
空気ベアリング部39においても、実用上充分な空気ベア
リング作用、即ちディスク浮上効果を得ることができ
る。

ところで、上記実施例では、ギャップバー32のディスク
摺動面36に対するエッチング処理に際して、空気ベアリ
ング部38の形成部位を覆う長手矩形状部22a、トラック
部40の形成部位を覆う狭幅部22bおよびトラック保護凸
部42の形成部位を覆うランド部22cが、連続した形状の
マスク22としてギャップバー32のディスク摺動面36に付
与されるようになっていたが、それら長手矩形状部22
a、狭幅部22bおよびランド部22cのマスクを互いに分離
したマスクとしてギャップバー32のディスク摺動面36に
付与するようにすることも可能である。

第11図は、そのようなマスクの付与形態の一例を示すも
のであり、ここでは、各空気ベアリング部38およびトラ
ック保護凸部42が後に形成されるトラック幅規定溝56,5
6で左右に分断されることを見越して、長手矩形状部22a
およびランド部22cのマスクが更に左右に２分された状
態でディスク摺動面36に付与せしめられている。

なお、エッチング処理に際して、空気ベアリング部38,
トラック部40およびトラック保護凸部42を形成するため
のマスクがこのような形態で付与される場合にあって
も、以下の操作は、前記実施例と同様にして行なわれ
る。

すなわち、第11図に示されているように、ギャップバー
32のディスク摺動面36にマスクが付与されると、ディス
ク摺動面36のフェライト露出部を介して、前記実施例と
同様にしてエッチング処理が施され、そのエッチング操
作によって、第12図に示されているように、マスク付与
部分が非マスク付与部分から所定高さ突出させられて、
高さが等しい空気ベアリング部38、トラック部40および
トラック保護凸部42が形成される。ただし、ここでは、
第12図から明らかなように、空気ベアリング部38、トラ
ック部40およびトラック保護凸部42は、前記実施例とは
異なって、互いに独立した状態で形成され、また空気ベ
アリング部38およびトラック保護凸部42は、更に左右に
２分された状態で形成される。そして、空気ベアリング
部38、トラック部40およびトラック保護凸部42の互いに
独立した凸部をそれぞれ取り囲む状態で、傾斜面44が形
成される。

なお、トラック部40の形成幅（先端の平坦面幅）は、こ
こでも、前記実施例と同様に、トラック部40の最終寸法
幅よりも若干大きく設定される。

エッチング処理が完了すると、前記実施例と同様に、第
12図に示されている如き切断線46,48に沿って、コアス
ライダの長さを決定するための切断加工が行なわれ、そ
の切断加工後、第13図に示されているように、空気ベア
リング部38のリーディング側の端部に対して、テーパ部
（リーディングランプ）50が形成される。そして、その
後、前記実施例と同様に、第14図に示されている如く、
フェライトブロック10,12のギャップバー32の幅方向の
不要部分が切除されて、ヨーク部60が形成され、更にそ
の後、第14図に示されている如き切削線52,52および54,
54に沿って、前記実施例と同様に、トラック幅規定溝5
6,56が切削加工され（第15図参照）、トラック部40が最
終形状に仕上げられる。ただし、ここでは、第15図およ
び第16図から明らかなように、空気ベアリング部38およ
びトラック保護凸部42に砥石が触れないように、トラッ
ク幅規定溝56,56が切削形成される。つまり、空気ベア
リング部38およびトラック保護凸部42の各独立した凸部
が、回りを傾斜面44で囲まれた状態で残されるように、
トラック保護凸部56,56が切削形成されるのである。

そして、トラック幅規定溝56,56が切削加工されて、ト
ラック部40が最終形状に仕上げられると、ギャップバー
32が第14図に示されている如き切断線57に沿って切断さ
れて、ギャップバー32から目的とするコアスライダが切
り出される（第16図参照）。

このようにして製造されるコアスライダにあっても、空
気ベアリング部38、トラック部40およびトラック保護凸
部42がエッチング操作によって同時に形成され、しかも
その形状と同時に、それら空気ベアリング部38、トラッ
ク部40およびトラック保護凸部42を取り囲むように、傾
斜面44が形成されるため、前記実施例の製造手法と同様
に、優れた生産性をもって所期の機能を有するコアスラ
イダを製造できるのである。

また、本実施例手法に従って製造されるコアスライダに
おいても、砥石を用いて切削形成されるトラック幅規定
溝56,56によってトラック部40の幅が実質的に規定され
ることから、前記実施例と同様に、トラック部40の幅寸
法を高い精度で安定して設定することができるのであ
る。

しかも、本実施例手法に従って製造されるコアスライダ
においては、空気ベアリング部38およびトラック保護凸
部42の各独立した凸部が、それぞれの周りを傾斜面44で
囲まれた構造をもって残されるため、それら空気ベアリ
ング部38およびトラック保護凸部42の各独立した凸部の
稜部の欠けが、前記実施例手法で製造されるコアスライ
ダよりも一層良好に防止されるといった利点があるので
ある。

なお、以上の実施例では、何れも、スライダ本体58の一
対の空気ベアリング部38,38の延長部位のそれぞれにヨ
ーク部60が設けられていたが、スライダ本体58の一方の
空気ベアリング部38の延長部位に１個のヨーク部60だけ
を設けるようにすることもできる。この場合には、コア
スライダの２つの空気ベアリング部38,38の一方の延長
部位においてのみトラック部40およびトラック保護凸部
42を形成すればよいため、ギャップバー32のディスク摺
動面36に付与されるマスクは、ギャップバー32の長手方
向における一つおきのものが、空気ベアリング部38に対
応した長手矩形状部22aだけからなるものとして付与さ
れることとなる。

次に、ヨーク部がスライダ本体の中央部に接合された構
造のコアスライダを製造する場合について、本発明の更
に別の実施例を説明する。なお、このような構造のコア
スライダの製造に際しも、フェライトブロック10,12か
らギャップバー32を作製するまでの手順はこれまでの実
施例と同じであるため、ここでは、ギャップバー32から
コアスライダを切り出すまでの工程についてのみ、その
製造手順を詳述することとする。

すなわち、前記実施例と同様の手順に従ってギャップバ
ー32が得られると、そのギャップバー32のディスク摺動
面36に対して、第17図に示されているように、目的とす
るコアスライダの空気ベアリング部38に対応した長手矩
形状のマスク64が、各空気ベアリング部38の形成部位を
覆うように付与されると共に、コアスライダの左右一対
の空気ベアリング部形成部位間の中央部において、前記
実施例のランド部22bと同様の形状の一対のランド部66
c,66cが前記実施例の狭幅部22bと同様の形状の狭幅部66
bで連結された構造のマスク66が、狭幅部66bにおいて磁
気ギャップ30を横切るように、マスク64と平行な状態で
付与される。そして、それらマスク64,66の付与状態下
で前記実施例と同様のエッチング処理が行なわれ、第18
図に示されているように、マスク64で覆われた部位に、
それぞれ、傾斜面44で取り囲まれた状態で、空気ベアリ
ング部38が周りから突出形成されると共に、マスク66で
覆われた部位に、それぞれ、傾斜面44で取り囲まれた状
態で、トラック部40の両端に一対のトラック保護凸部4
2,42が連続して形成された構造の凸部が、空気ベアリン
グ部38と同じ高さで周りから突出して形成される。

このようにして空気ベアリング部38,トラック部40およ
びトラック保護凸部42がエッチング形成されると、次い
で、ギャップバー32には、前記実施例と同様に、第18図
に示す如き切断線46,48に沿って、コアスライダの長さ
を決めるための幅方向両端の切断加工が行われる。そし
て、かかる切断加工が完了すると、第19図に示されてい
るように、各空気ベアリング部38のリーディング側端部
に対して、テーパ部50を形成するためのリーディングラ
ンプ加工が施されると共に、フェライトブロック10,12
のトレーリング側における不要部分が切除されて、それ
ぞれ、前記エッチング形成されたトラック部40およびト
ラック保護凸部42を含むように、ヨーク部60が切り出し
形成される。

そして、その後、第19図に示されている如き切削線70,7
0および72,72に沿って、各トラック部40の幅方向の両端
を規定するように、トラック保護凸部42に比して充分狭
い幅をもって、前記実施例と同様の一対のトラック幅規
定溝74,74が砥石にて切削加工され、しかる後、ギャッ
プバー32が前記実施例と同様の切断線57に沿って切断さ
れて、第20図に示されている如き、スライダ本体76の左
右の空気ベアリング部38,38間の中央部に位置して、１
つのヨーク部60が一体的に接合されてなる構造の、目的
とするコアスライダが切り出される。

このようにして製造されるコアスライダにおいても、左
右一対の空気ベアリング部38,38、トラック部40、およ
び一対のトラック保護凸部42,42がエッチング操作によ
って同時に形成され、しかもそれらの周りに傾斜面44が
同時に形成されるため、その生産性が著しく優れている
のであり、またトラック部40の幅が砥石にて切削形成さ
れるトラック幅規定溝74,74で規定されることから、そ
のトラック幅が高い精度で安定して設定され得るのであ
る。

なお、このような構造のコアスライダでは、トラック部
40を挟んでディスク摺動方向で対向するように設けられ
た一対のトラック保護凸部42,42によって、トラック部4
0の機械的強度が保証されることとなる。

ところで、上記実施例においては、トラック部40と該ト
ラック部40を保護するための一対のトラック保護凸部4
2,42が連続した凸部としてエッチング形成されるように
なっているが、かかる空気ベアリング部38の非延長部位
にトラック部40が設けられる構造のコアスライダにおい
ても、前記空気ベアリング部38の延長部位にヨーク部60
が設けられる構造のコアスライダと同様に、トラック部
40およびトラック保護凸部42,42の形成部位に互いに独
立したマスク64,66を付与すると共に、マスク66を更に
二分した状態で付与して、各トラック保護凸部42,42の
互いに独立した凸部が、それぞれの周りを傾斜面44で囲
まれた形状として残されるようにすることも可能であ
る。

第21図は、そのようなマスクの付与形態の一例を示して
おり、第22図は、第21図に示すマスクの付与形態下で、
空気ベアリング部38、トラック部40およびトラック保護
凸部42がエッチング形成された状態のギャップバー32を
示している。

なお、空気ベアリング部38、トラック部40およびトラッ
ク保護凸部42がこのようにしてエッチング形成されたギ
ャップバー32には、次いで、上記実施例と同様に、コア
スライダの長さを決めるための幅切断加工、リーディン
グランプ加工、ヨーク部68の切出加工、およびトラック
部40の幅方向両端部を規定するためのトラック幅規定溝
74,74の切削加工が順次施される（第23図参照）。そし
て、トラック幅規定溝74,74の切削形成後において、前
記実施例と同様の切断線57に沿って、スライダ本体76と
ヨーク部68からなる目的のコアスライダが切り出され
る。第24図は、このようにして得られたコアスライダを
示している。

以上、本発明の幾つかの実施例を詳細に説明したが、こ
れは文字通りの例示であり、本発明が、それらの具体例
に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内に
おいて、種々なる変更、修正、改良等を施した態様で実
施できることは、言うまでもないところである。

例えば、前記実施例においては、何れも、フェライトブ
ロック10,12に相対向するフェライト面（突合せ面14）
間において磁気ギャップ30が直接形成されるようになっ
ているが、そのようなフェライト面の少なくとも何れか
一方の所定厚さの金属磁性材層を形成して、磁気ギャッ
プ30を所謂メタルインギャップ構造となすことも可能で
ある。なお、磁気ギャップ30をメタルインギャップ構造
となす場合には、フェライトブロック10,12の接合前
の、磁気ギャップ30のギャップ長を規定するためのギャ
ップ加工後において、それらフェライトブロック10,12
の少なくとも一方の突合せ面14の磁気ギャップ形成部位
に対して、公知の手法に従って金属磁性材層を形成する
ようにすればよい。

（発明の効果）以上の説明から明らかなように、本発明によれば、固定
磁気ディスク装置用のコアディスクの製造に際して、そ
のディスク摺動面の空気ベアリング部、トラック部およ
びトラック保護凸部をエッチング手法にて同時に形成で
きることから、コアスライダを優れた生産性をもって安
価に製造できるのであり、またトラック部の幅が、機械
的に切削されて形成される２条の溝によって規定される
ことから、その幅寸法精度を良好に高め得て、トラック
幅寸法精度の高いコアスライダを安定して得ることがで
きるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第10図は、本発明の一実施例を説明するため
の各工程の説明図であって、第１図の（ａ）および
（ｂ）は、それぞれ、組み合わされるフェライトブロッ
クを示す斜視図であり、第２図の（ａ）および（ｂ）
は、それぞれ、コイル巻線用の溝加工が施された状態の
フェライトブロックを示す斜視図であり、第３図は、二
つのフェライトブロックが一体的に接合された状態を示
す斜視図であり、第４図は、第３図のフェライトブロッ
ク接合体を二分割して得られるギャップバーを示す斜視
図であり、第５図は、ディスク摺動面にエッチングのた
めのマスクが付与された状態を示すギャップバーの要部
を示す平面図であり、第６図の（ａ）および（ｂ）は、
それぞれ、エッチング処理が施されたギャップバーの要
部を示す平面図および正面図であり、第７図は、空気ベ
アリング部の長手方向のリーディング側端部にリーディ
ングランプが形成された状態のギャッブバーの要部を示
す平面図であり、第８図は、不要部分の切除加工にてヨ
ーク部が形成された状態のギャップバーの要部を示す平
面図であり、第９図は、トラック部の幅を規定するため
のトラック幅規定溝が形成されたギャップバーの要部を
拡大して示す斜視図であり、第10図は、ギャップバーカ
ラ切り出された最終形状のコアスライダを示す平面図で
ある。第11図乃至第16図は、本発明の別の実施例を説明するた
めの各工程の説明図であって、第11図は第５図に、第12
図は第６図の（ａ）に、第13図は第７図に、第14図は第
８図に、第15図は第９図に、第16図は第10図に、それぞ
れ対応する図である。第17図乃至第20図および第21図乃至第24図は、それぞ
れ、本発明の更に別の実施例を説明するための各工程の
説明図であって、第17図および第21図は第５図に、第18
図および第22図は第６図の（ａ）に、第19図および第23
図は第８図に、第20図および第24図は第10図に、それぞ
れ対応する図である。 10:第一のフェライトブロック 12:第二のフェライトブロック 22,64,66:マスク 24:コイル巻線用溝、30:磁気ギャップ 32:ギャップバー、36:ディスク摺動面 38:空気ベアリング部、40:トラック部 42:トラック保護凸部、44:傾斜面 50:テーパ部 56,74:トラック幅規定溝 58,76:スライダ本体 60,68:ヨーク部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空
気ベアリング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本
体との間で閉磁路を形成すると共に、前記ディスク摺動
面に臨む磁路形成部位において該スライラ本体との間で
所定間隙の磁気ギャップを形成する状態で、該スライダ
本体に一体的に接合された少なくとも一つのヨーク部と
を備え、そのディスク摺動面に、前記スライダ本体とヨ
ーク部とに前記磁気ギャップを挟んで跨る状態で、前記
空気ベアリング部と同じ高さのトラック部が形成される
と共に、該トラック部を挟んで前記空気ベアリング部と
対向する状態で、若しくは該トラック部を挟んで互いに
対向する状態で、それら空気ベアリング部およびトラッ
ク部と同じ高さの、該空気ベアリング部よりは狭く、該
トラック部よりは広い幅のトラック保護凸部が形成され
てなる構造の固定磁気ディスク装置用のコアスライダを
製造する方法であって、前記スライダ本体を与える第一のフェライトブロック
と、前記ヨーク部を与える第二のフェライトブロックと
を突き合わせて一体的に接合し、前記閉磁路および磁気
ギャップを備えたギャップバーを作製する工程と、該ギャップバーの前記ディスク摺動面側の前記空気ベア
リング部、トラック部およびトラック保護凸部の各形成
部位に対して、それらの形状に対応したマスクを付与
し、そのマスクの付与状態下で、該ギャップバーのディ
スク摺動面側部位にエッチングを施して、該マスクの付
与部分を非付与部分から突出せしめ、該ギャップバーの
ディスク摺動面に、周囲から所定高さ突出した前記空気
ベアリング部、トラック部およびトラック保護凸部を形
成する工程と、該エッチング操作によって形成されたトラック部の幅方
向両側に、前記スライダ本体およびヨーク部に跨る状態
で互いに平行な溝を切削加工して、該トラック部を最終
寸法幅に仕上げる工程と、該トラック部の幅が最終寸法幅に仕上げられたギャップ
バーから、前記コアスライダ本体とヨーク部からなる最
終形状のコアスライダを切り出す工程とを、含むことを特徴とする固定磁気ディスク装置用コアスラ
イダの製造法。
【請求項２】前記第一のフェライトブロックと第二のフ
ェライトブロックとの突き合わせに先立って、それらフ
ェライトブロックの少なくとも一方の突合せ面の磁気ギ
ャップ形成部位に、所定厚さの金属磁性材層を形成せし
めることを特徴とする請求項（１）記載の製造法。