JPH06314411A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドおよびその製造方法

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JPH06314411A
JPH06314411A JP10562593A JP10562593A JPH06314411A JP H06314411 A JPH06314411 A JP H06314411A JP 10562593 A JP10562593 A JP 10562593A JP 10562593 A JP10562593 A JP 10562593A JP H06314411 A JPH06314411 A JP H06314411A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 データ記録の高密度化、それに伴う狭トラッ
ク幅化に対処するため、MIG型磁気ヘッドのトラック
幅を高い精度で規制する。 【構成】 1対の凸状磁性体コア11、12が、磁気ギ
ャップ1を介して対向配置される。両磁性体コア11、
12は凸状コア本体17、18と、高飽和磁束密度の磁
性体膜19、20とからなる。磁気ギャップ1の長手方
向両端部に設けられた2個の穴13、14が、トラック
幅規制手段を形成する。穴13、14は両磁性体コア1
1、12の磁性体膜のエッジ部に側面から食い込み該部
をトラック幅方向に直交した方向に切り揃えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気テープにデータを
書き込み、または書き込まれたデータを読み込む記録・
再生用の磁気ヘッド、とくに磁気ギャップ内に高飽和磁
束密度の磁性体膜を設けたMIG(Metal In Gap)
型の磁気ヘッドおよびその製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】データを高密度で磁気的に記録し、また
は再生するためには、記録媒体は大きい保磁力を有し、
磁気ヘッドは高い飽和磁束密度(以下Bsという)を有
していることが重要である。従来の磁気ヘッドは主とし
てフェライトからなる磁性体コアを備え、そのBsは
0.5T程度である。このため、80kA/m以上の高
保磁力を示すメタルテ−プを使用すると磁気飽和が起こ
り、満足すべき記録処理ができない。そこで、Bsがフ
ェライト材よりも大きいセンダスト合金膜(Bsは約
1.0T)、Co系アモルファス膜(Bsは約0.8〜
1.1T)、さらにはBsが1.3T以上のCo系超構
造窒化合金膜、Fe系超構造窒化膜、Fe系窒化膜等の
新材料をコアに用いた磁気ヘッド、とくにMIG型磁気
ヘッドの研究・開発がすすめられている。
【0003】図14にMIG型磁気ヘッドの構成例を示
す。磁気ギャップ1を介して対向配置された1対の凸状
磁性体コア2、3はそれぞれ、フェライトからなる凸状
のコア本体4、5と、その突出端面およびこれに続く両
サイド面を覆う高飽和磁束密度の磁性体膜6、7とから
なり、両磁性体コア2、3はその両サイドに設けられた
1対のガラス質ブロック8、9によって相互に結合され
ている。10はコイル挿通用の窓穴を示す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の磁
気ヘッドにおいては図15に示すように、1対のコア本
体4、5のトラック溝4a、5aの加工精度や、組み立
て精度等の製造上誤差により、トラックずれd1、d2
を生じやすい。そのうえ、両磁性体コア2、3の突出端
面と両サイド面とが交わるエッジ部2a、2b、3a、
3bでの磁性体膜部分に丸みを帯びることから、トラッ
ク幅TWにばらつきを生じやすいという課題があった。
【0005】一方、データ記録の高密度化がすすむのに
伴い、とくにトラック幅とその精度に対する要求がきび
しくなり、トラック幅10μm 以下、精度±0.3μm
という要求もあって、このような要求に従来技術を踏襲
して応えることは至難となってきた。
【0006】したがって本発明は、データの高密度化、
磁気ヘッドの狭トラック幅化に対応できるMIG型磁気
ヘッドおよびその製造方法の提供を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上述した目的を
達成するために、突出端面同士が磁気ギャップを介して
向き合うように対向配置された1対の凸状磁性体コア
と、両磁性体コアを相互に結合するために両磁性体コア
の両サイドに設けられた1対のガラス質ブロックと、両
磁性体コアの磁気テープスライド面におけるトラック幅
を規制するトラック幅規制手段とからなり、各磁性体コ
アはフェライトからなる凸状のコア本体と、少なくとも
その突出端面を覆う高飽和磁束密度の磁性体膜とからな
り、トラック幅規制手段は磁気テープスライド面からみ
た磁気ギャップの長手方向両端部に位置し、両磁性体コ
アの磁性体膜のエッジ部に側面から食い込んで該部をト
ラック幅方向に直交した方向に切り揃える切欠部からな
ることを特徴とする磁気ヘッドを提供するものである。
【0008】また本発明は、フェライトからなる凸状の
コア本体の少なくとも突出端面を高飽和磁束密度の磁性
体膜で覆い、凸状の磁性体コアを得る工程と、1対の磁
性体コアを、それぞれの突出端面同士が磁気ギャップを
介して向き合うように対向配置し、両磁性体コアを相互
に結合するための1対のガラス質ブロックを両磁性体コ
アの両サイドに設ける工程と、両磁性体コアの磁気テー
プスライド面側からの穴あけにより、両磁性体コアの磁
性体膜のエッジ部をトラック幅方向に直交した方向に切
り揃え、磁気テープスライド面におけるトラック幅を規
制する工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製
造方法を提供するものである。
【0009】さらに本発明は、フェライトからなる凸状
のコア本体の少なくとも突出端面を高飽和磁束密度の磁
性体膜で覆い、凸状の磁性体コアを得る工程と、1対の
磁性体コアの突出端面同士を直接または磁気ギャップを
介して突き合わせ、両磁性体コアの磁性体膜のエッジ部
をトラック幅方向に直交した方向に切り揃える工程と、
両磁性体コアを、それぞれの突出端面が磁気ギャップを
介して向き合うように対向配置し、両磁性体コアを相互
に結合するための1対のガラス質ブロックを両磁性体コ
アの両サイドに設ける工程とを備えたことを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法を提供するものである。
【0010】
【作用】本発明によると、1対の凸状磁性体コアの突出
端面における磁性体膜が、磁気ギャップの長手方向両端
部に対応したエッジ部でトラック幅方向に直交した方向
に切り揃えられるので、エッジ部に生じた位置ずれや丸
みによるトラック幅のばらつきをなくすことができ、常
に所定のトラック幅を有する磁気ヘッドを精度よく得る
ことができる。
【0011】とくに、MIG型磁気ヘッドの磁気特性は
高飽和磁束密度の磁性体膜に依存するところ大であり、
そのエッジ部での不規則的なはみ出しが切り揃えられる
ので、切り落とし量がたとえ微少であってもトラック幅
の規制に大きく役立ち、MIG型磁気ヘッド本来の長所
を生かしつつトラック幅の狭小化に対応できる磁気ヘッ
ドを得ることができる。
【0012】
【実施例】つぎに、本発明の実施例を図面を参照して説
明する。
【0013】図1および図2に示す磁気ヘッドが、図1
4および図15に示した従来の磁気ヘッドと基本的に異
なるところは、1対の凸状磁性体コア11、12が、そ
の磁気テープスライド面に2個の穴13、14を有して
いる点と、この穴13、14によってトラック幅TWが
規制されている点とである。
【0014】磁気ギャップ1を介して対向配置された1
対の凸状磁性体コア11、12は、その両サイドに設け
られた1対のガラス質ブロック15、16によって相互
に結合されており、両磁性体コア11、12の磁気テー
プスライド面には2個の穴13、14が設けられてい
る。この穴13、14は後述するようにトラック幅を規
制する。なお、両磁性体コア11、12は、フェライト
からなる凸状のコア本体17、18と、その突出端面お
よびこれに続く両サイド面を覆う高飽和磁束密度の磁性
体膜19、20とからなる。17a、18aはトラック
溝を示す。
【0015】2個の穴13、14の各内側部分は、磁気
テープスライド面からみた磁気ギャップ1の長手方向両
端部に位置し、両磁性体コア11、12の磁性体膜1
9、20のエッジ部に側面から食い込んで該部をトラッ
ク幅方向に直交した方向に切り揃える湾入した切欠部1
3a、14aを形成している。このため、両磁性体膜1
9、20のうち、少なくとも磁気テープスライド面近傍
のエッジ部の位置ずれや丸みによるトラック幅への影響
がなくなる。そして、2個の穴13、14の相互間距離
によってトラック幅TWが決まり、穴13、14は高い
精度で形成できるので、トラック幅を高い精度で規制す
ることが可能となる。
【0016】2個の穴13、14は、コイル挿通用の窓
穴21に達している必要はなく、磁気テープのスライド
による磨耗で消失しない程度の深さ、つまり、15μm
の深さがあれば十分である。また、穴13、14内にガ
ラス材を充填しておくと、耐磨耗性を向上させることが
できる。
【0017】両磁性体膜19、20の素材としては、セ
ンダスト合金膜、Co系アモルファス膜、Co系超構造
窒化膜、Fe系超構造窒化膜またはFe系窒化膜等を使
用することができる。これらは蒸着、イオンプレーティ
ング、スパッタリング等の方法によってコア本体17、
18に付設される。
【0018】両磁性体コア11、12は、少なくともそ
の一方の突出端面に付設された膜状のギャップスペーサ
(図示せず)を介して相互に突き合わされている。この
ギャップスペーサの素材としては、SiO2 、Zr
2 、Ta2 5 およびガラスから選ばれた少なくとも
一つを用いることができ、Cr等が複合されていてもよ
い。
【0019】図3に示す実施例のものでは、1対のガラ
ス質ブロック15、16のモールド成形時に、これと同
一のガラス質材で2個の穴13、14を埋める構成をと
っている。また、図4に示す実施例のものでは、1対の
凸状コア本体17、18の各突出端面にのみ磁性体膜1
9、20を設ける構成をとっている。
【0020】上述した磁気ヘッドの製造方法を図5ない
し図8を参照して説明すると以下のとおりである。
【0021】まず、表面をラップ処理等によって平行度
よく、かつ平滑に加工処理された例えばMn−Znフェ
ライトからなる1対の基板を用意する。それぞれには図
5に示すように、互いに並行な複数条のトラック溝17
a、18aが、回転砥石等によって形成され、これによ
って1対の凸状コア本体17、18ができあがる。な
お、両コア本体17、18の少なくとも一方には、コイ
ル挿通用の窓穴21が設けられる。
【0022】つぎに図6に示すように、両コア本体1
7、18の一側面に高飽和磁束密度の磁性体膜19、2
0が、真空薄膜形成技術によってそれぞれに被着形成さ
れ、これによって1対の磁性体コア11、12が完成す
る。
【0023】つぎに、1対の磁性体コア11、12の少
なくとも一方に、磁気ギャップを形成するための膜状の
ギャップスペーサ(図示せず)が付設される。そして、
このギャップスペーサを介して両磁性体コア11、12
が図7に示すように対向配置される。ギャップスペーサ
の素材としては、SiO2 、ZrO2 、Ta2 5 およ
びガラスから選ばれた少なくとも一つを用いることがで
きる。複合物としてCr等が混入していてもよい。
【0024】つぎに図8に示すように、1対の磁性体コ
ア11、12が、1対のガラス質ブロック15、16に
よって相互に結合される。このガラス質ブロック15、
16はモールドガラスとして注入固化され、両磁性体コ
ア11、12の両サイドに溶着されるものである。
【0025】つぎに、図9に示すようにトラック幅を規
制するための2個の穴13、14が形成されたのち、一
点鎖線で示す位置でチップ単位にスライスされる。そし
て、コイル挿通用の窓穴21にコイルが装着される。な
お、トラック幅規制用の穴13、14はレーザー加工、
ドライエッチングまたは放電加工等によって形成され
る。
【0026】トラック幅規制用の穴13、14の形成位
置は、図2に示すようにガラス質ブロック15(または
16)と磁性体膜19(または20)とにまたがる場合
と、さらに中央部寄りに拡大させてコア本体17、18
にも若干食い込ませる場合(図12参照)とがある。前
者では、加工対象物が磁性体膜19、20とガラス質ブ
ロック15、16との2種となるので、後者に比べて加
工速度および加工面精度の点で有利である。
【0027】また、前者では磁性体膜19、20が凸状
のコア本体17、18の突出端面だけでなく、これに続
く両サイド面にも存在するので、データ記録時における
磁気ギャップ面での磁束密度飽和がほとんどなく、記録
能力に優れるというMIG型磁気ヘッド本来の特長を十
分に生かすことができる。後者の場合、ガラス質ブロッ
ク15、16の溶着時におけるトラック位置ずれが大き
くても、トラック幅規制用の穴13、14によって補正
できるので、いずれを選択しても、トラック位置にずれ
のない高精度の磁気ヘッドを得ることができる。
【0028】上述した製造方法では、最終的な形状とし
てトラック幅規制用の穴13、14が開いたままにな
る。この穴13、14をガラス等で埋めてもよいが、そ
うすると加工工程が増える。
【0029】以下に述べる製造方法によると、1回のガ
ラスボンディング加工によって穴が残留しない磁気テー
プスライド面を得ることができる。
【0030】この場合、図5ないし図7を参照して説明
した工程を経て、突き合わされた状態にある1対の磁性
体コアに対し、図10に示すようにトラック幅規制用の
切欠部22が形成される。この切欠部22はレーザー加
工、ドライエッチングまたは放電加工等によって得るこ
とができ、その深さは15μmもあれば十分である。
【0031】つぎに図11に示すように、ガラス質ブロ
ック15、16を形成するためのモールドガラスが注入
され、その固化後に一点鎖線で示す位置でチップ単位に
スライスされる。そして、コイルが装着される。
【0032】切欠部22の形成位置としては、図3に示
すように磁性体膜19、20にのみ側方から食い込ませ
てトラック幅Twを規制する場合と、図13に示すよう
にコア本体17、18にも食い込ませる場合との2通り
がある。
【0033】前者では、加工対象物が磁性体膜だけとな
るので、加工速度および加工面精度の点で有利である。
また、磁性体膜が凸状コア本体の突出端面のみならずこ
れに続く両サイドにも存在するので、データ記録時の磁
気テープスライド面での磁気飽和をより一層抑制するこ
とができる。
【0034】本発明は上述した実施例に限定されるもの
でなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を
加え得るのはいうまでもない。
【0035】
【発明の効果】上述のように本発明によると、データ記
録の高密度化に伴う狭トラック幅化に対応できるトラッ
クずれのない磁気ヘッド、特にMIG型磁気ヘッドを、
歩留まりよく低コストで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における磁気ヘッド用チップ
の斜視図。
【図2】本発明の一実施例における磁気ヘッド用チップ
の一部分の平面図。
【図3】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チッ
プの一部分の平面図。
【図4】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チッ
プの一部分の平面図。
【図5】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。
【図6】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。
【図7】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。
【図8】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。
【図9】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。
【図10】本発明の他の実施例における製造工程を説明
するための斜視図。
【図11】本発明の他の実施例における製造工程を説明
するための斜視図。
【図12】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チ
ップの一部分の平面図。
【図13】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チ
ップの一部分の平面図。
【図14】従来の磁気ヘッド用チップの斜視図。
【図15】従来の磁気ヘッド用チップの一部分の平面
図。
【符号の説明】
1 磁気ギャップ 11、12 磁性体コア 13、14 穴 13a、14a 切欠部 15、16 ガラス質ブロック 17、18 コア本体 19、20 磁性体膜 22 切欠部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 突出端面同士が磁気ギャップを介して向
    き合うように対向配置された1対の凸状磁性体コアと、 両磁性体コアを相互に結合するために両磁性体コアの両
    サイドに設けられた1対のガラス質ブロックと、 両磁性体コアの磁気テープスライド面におけるトラック
    幅を規制するトラック幅規制手段とからなり、 各磁性体コアはフェライトからなる凸状のコア本体と、
    少なくともその突出端面を覆う高飽和磁束密度の磁性体
    膜とからなり、トラック幅規制手段は磁気テープスライ
    ド面からみた磁気ギャップの長手方向両端部に位置し、
    両磁性体コアの磁性体膜のエッジ部に側面から食い込ん
    で該部をトラック幅方向に直交した方向に切り揃える切
    欠部からなることを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 フェライトからなる凸状のコア本体の少
    なくとも突出端面を高飽和磁束密度の磁性体膜で覆い、
    凸状の磁性体コアを得る工程と、 1対の磁性体コアを、それぞれの突出端面同士が磁気ギ
    ャップを介して向き合うように対向配置し、両磁性体コ
    アを相互に結合するための1対のガラス質ブロックを両
    磁性体コアの両サイドに設ける工程と、 両磁性体コアの磁気テープスライド面側からの穴あけに
    より、両磁性体コアの磁性体膜のエッジ部をトラック幅
    方向に直交した方向に切り揃え、磁気テープスライド面
    におけるトラック幅を規制する工程とを備えたことを特
    徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項3】 フェライトからなる凸状のコア本体の少
    なくとも突出端面を高飽和磁束密度の磁性体膜で覆い、
    凸状の磁性体コアを得る工程と、 1対の磁性体コアの突出端面同士を直接または磁気ギャ
    ップを介して突き合わせ、両磁性体コアの磁性体膜のエ
    ッジ部をトラック幅方向に直交した方向に切り揃える工
    程と、 両磁性体コアを、それぞれの突出端面が磁気ギャップを
    介して向き合うように対向配置し、両磁性体コアを相互
    に結合するための1対のガラス質ブロックを両磁性体コ
    アの両サイドに設ける工程とを備えたことを特徴とする
    磁気ヘッドの製造方法。
  4. 【請求項4】 磁性体膜のエッジ部をレーザ加工によっ
    て切り揃えることを特徴とする請求項2または3に記載
    の磁気ヘッドの製造方法。
  5. 【請求項5】 磁気テープスライド面側からの穴あけ
    を、磁性体膜とガラス質ブロックとにまたがる部分で施
    すことを特徴とする請求項2に記載の磁気ヘッドの製造
    方法。
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