JPH04195710A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）　産業上の利用分野 本発明は、ビデオテーブレフーダ（ＶＴＲ）、ディジタ
ルオーディオテープレフーダ（ＤＡＴ）などの磁気記録
装置に使用される磁気ヘッドに関する。

（ロ）　従来の技術 近年、ＶＴＲ，ＤＡＴなどの磁気記録再生装置において
は記録信号の高密度化が進められており、この高密度記
録に対応して、磁性粉としてＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどの強
磁性金属粉末を用いた抗磁力の高いメタルテープが使用
されるようになっている。この高い抗磁力を有するメタ
ルテープの性能を十分に活用することができる磁気ヘッ
ドとしては、磁気コアの飽和磁束密度が大きいことが要
求される。

かかる磁気ヘッドは、つぎの３種に分類される。すなわ
ち、 ■　金属磁性体のみでヘッドチップを形成したもの。

■　フェライトなどの酸化物磁性材料と金属磁性体を複
合したもの。

■　非磁性基板と金属磁性体を複合したもの。

これらのうち、■に属するものは、高周波での損失が大
きいことや摩耗が激しいという欠点を有する。■のタイ
プのものは、摺動ノイズというフェライト特有の欠点を
持っている。摺動ノイズはテープ・ヘッド相対速度が高
速になるほど顕著となる。したがって、実使用において
は■のタイプのものが有利である。

上記■のタイプの磁気ヘッドとしては、第７図に示すよ
うに金属磁性膜（１）が非磁性基板（２）（２）間に形
成されている一対のコア半体（３ｇ）（３ｂ）から成り
、該一対のコア半体（３ａ）（３ｂ）の金属磁性膜（１
）（１）の側端面同士をギャップスペーサを介して衝き
合わせて磁気ギャップ（４）を形成した構造のものが提
案きれている。

しかし乍ら、上記構造の磁気ヘッドでは、金属磁性膜（
１）（１）を磁気ギャップ（４〉のトラック幅に相当す
る膜厚骨だけ被着する必要があり、更にはギャップ形成
面となる金属磁性膜（１）（１）の側端面を鏡面研磨す
る必要があや、コスト面及び量産面に適していない。

また、上記■のタイプの磁気ヘッドとしては、第８図に
示す構造のものも提案されている。この磁気ヘッドは、
非磁性基板（５）（５）のギャップ形成面にフロントギ
ャップ部から巻線溝（６）（６）、パックギャップ部に
亘って金属磁性膜（７）（７）が形成されている一対の
コア半体（８ａ）（８ｂ）から成り、該一対のコア半体
（８ａ）（８ｂ）の金属磁性膜（７）（７）の上面同士
をギャップスペーサを介して衝き合わせて磁気ギャップ
（９）を形成したものである。

しかし乍ら、この構造の磁気ヘッドにおいても、金属磁
性膜（７）（７）の膜厚は磁気ギャップ（９）のトラッ
ク幅に関係なく薄くすることが出来るが、巻線溝（６）
（６）に金属磁性膜（７）（７）が露出しているため、
巻線（図示せず）により前記金属磁性膜（７）（７）が
剥離、損傷する虞れがある。

また、この構造の磁気ヘッドでは、巻線溝（６）（６）
の斜面部分に被着している金属磁性膜（７）（７）の斜
面部分（７ａ）（７ａ）では、磁束が流れにくく透磁率
が低下する。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
非磁性基板と金属磁性体を複合した構造の磁気ヘッドに
おいて、金属磁性膜の膜厚を磁気ギャップのトラック幅
に関係なく薄くすることが出来、且つ巻線溝内に金属磁
性膜が被着することによる金属磁性膜の剥離及び透磁率
の低下を防止した構造の磁気ヘッドを提供することを目
的とするものである。

（ニ）　課題を解決するための手段 本発明の磁気ヘッドは、非磁性基板の平坦なギャップ衝
き合わせ面のみに媒体摺接面に露出する部分の幅が磁気
ギャップのトラック幅に等しい金属磁性膜を形成してな
る一組のコア半体から成り、前記−組のコア半体の金属
磁性膜のギャップ形成面である上面同士を前記磁気ギャ
ップとなるギャップスペーサを介して衝き合わせて接合
固定し、前記−組のコア半体のうち一方のコア半体の非
磁性基板のギャップ衝き合わせ面とは反対側の面から他
方のコア半体の非磁性基板のギャップ衝き合わせ面とは
反対側の面まで貫通する巻線孔を形成したことを特徴と
する。

（ホ）作　用 上記構成に依れば、磁気ギャップのトラック幅は金属磁
性膜の膜厚に関係なく媒体摺接面に露出する部分の幅に
より規定され、巻線孔には磁路となる金属磁性膜は被着
しない。

（へ）実施例 以下、図面を参照しつつ本発明り一実施例を詳細に説明
する。

第１図は本実施例の磁気ヘッドの外観を示す斜視図、第
２図は磁気ヘッドの媒体摺接面を示す図、第３図はコア
半体のギャップ形成面を示す図、第４図は磁気ヘッドの
磁束の流れを示す図である。

本実施例の磁気ヘッドでは、一対のコア半体（１０ａ）
（１０ｂ）は結晶化ガラス等よりなる非磁性基板（１１
）（１１）のギャップ衝き合わせ面上にセンダスト等の
金属磁性膜（１２）（１２）が被着形成されている。

前記金属磁性膜（１２）は媒体摺接面に露出している上
部（１２ａ）の幅が磁気ギャップのトラック幅Ｔｗに等
しいフロント部（１２１）と該フロント部（１２１）と
は分離しているバック部（１２２）とにより構成されて
いる。前記一対のコア半体（１０ａ）（１０ｂ）の非磁
性基板（１１０１１）のギャップ衝き合わせ面には媒体
摺接面において金属磁性膜（１２）（１２）の一方の側
部で露出している傾斜溝（１３）（１３）が夫々形成さ
れている。前記傾斜溝（１３）（１３）は夫々、バック
ギャップ側に向って斜めに延在形成されており、該傾斜
溝（１３）（１３）を介して前記一対ノファ半体（１０
ａ）（１０ｂ）の金属磁性膜（１２）（１２）のフロン
ト部（１２１）とバック部（１２２）とは分離している
。前記一対のコア半体（１０ｇ）（１０ｂ）の非磁性基
板（１１）のギャップ衝き合わせ面には、ギャップ衝き
合わせ時に両コア半体（１０ａ）（１０ｂ）の傾斜溝（
１３）（１３）が重なる位置に前記非磁性基板（１１）
（１１）のギャップ衝き合わせ面とは反対側の面まで貫
通する巻線孔（１４）（１４）が形成されている。前記
一対のコア半体（１０ａ）（１０ｂ）は、金属磁性膜（
１２）（１２）のフロント部（１２１）（１２１）同士
がＳｉｎ、等の非磁性材よりなるギャップスペーサ（１
５）を介して衝き合わされた状態で、前記傾斜溝（１３
）（１３）内及び前記コア半体間の金属磁性膜未形成部
分（１６）（１６）に充填されたガラス（１７）（１７
）により接合固定され、磁気ギャップ（１８）が形成さ
れている。尚、前記一対のコア半体（ＬＱａ）（１０ｂ
）の傾斜溝（１３）（１３）は夫々、媒体摺接面におい
て互いに対向しないように磁気ギャップ（１８）を中心
に反対側の位置に形成されている。

上記本実施例の磁気ヘッドにおいて、金属磁性膜中を流
れる磁束は、第４図の矢印イで示すように一方のコア半
体（１０ａ）のフロント部（１２１）からギャップスペ
ーサを介して他方のコア半体（１０ｂ）のフロント部（
１２１）に流れ、更に、該フロント部（１２１）から一
方のコア半体（１０ａ）のバック部（１２２）、他方の
コア半体（１０ｂ）のバック部（１２２）を通っ−ｃ一
方のコア半体（１０ａ）のフロント部（１２１）に戻る
。尚、第４図において斜線部分（１９）（１９）は巻線
孔形成部分である。

次に、上記磁気ヘッドの製造方法について説明する。

先ず、第５図（ａ）に示すように非磁性基板（１１）の
ギャップ衝き合わせ面となる上面に鏡面研磨を施した後
、スパッタリングにより金属磁性膜（１２）を形成し、
更にその上にギャップスペーサ（図示せず）を被着形成
する。

次に、第５図（ｂ）に示すように前記金属磁性膜（１２
）の上面にフォトリソグラフィ技術によりレジストパタ
ーン（２０）を形成する。前記レジストパターン（２０
）は幅が磁気ギャップの所望のトラック幅Ｔｗに等しい
上部（２０ａ）と該上部（２０ａ）よりも面積が大きい
下部（２０ｂ）とにより構成される。また、前記レジス
トパターン（２ｏ）の未形成部分のうち、（２１）ハト
ラック幅方向に延在するガラス充填溝形成予定領域であ
り、（２２）は前記ガラス充填溝形成予定領域と斜めに
交差する傾斜溝形成予定領域である。

次に、第５図（ｃ）に示すようにイオンビームエツチン
グにより前記金属磁性膜の不要部分を除去して前記レジ
ストパターン（１２）と同形状である上部（１２ａ）と
下部（１２ｂ）とで構成される金属磁性膜（１２）を残
す。

次に、第５図（ｄ）に示すように前記非磁性基板（１１
）の上面が露出しているガラス充填溝形成予定領域（２
１）及び傾斜溝形成予定領域（２２）に回転砥石により
ガラス充填溝（２３）及び傾斜溝（１３）を形成する。

次に、第５図（ｄ）に示す基板（２！）を−組用意し、
第５図（ｅ）に示すように前記−組の基板（２４）（Ｕ
′）の上面同士を衝き合わせ、前記ガラス充填溝（２３
）、傾斜溝（１３）及び基板間の隙間においてガラス（
１７）を溶融固化することにより前記−組の基板（２４
）（２４’）を接合固定してブロック（亜）を形成する
。前記基板（２４）（２４’）の上面の衝き合わせ状態
を第６図に示す、実線は基板（２４）の部分、破線は基
板（聾゛）の部分である。この第６図に示されているよ
うに、前記−組の基板（２４）（２４’）は金属磁性膜
（１２）（１２）の上部（１２ａ　）　（１２ａ　）同
士、及びガラス充填溝（２３）（２３）同士が対向して
おり、傾斜溝（１３）（１３）が互いに交差するように
衝き合わされている０図中、（２６）の部分が傾斜溝（
１３）（１３）の交差部分である。

次に、第５図（ｆ）に示すように前記ブロック（２５）
に一方の非磁性基板（１１）のギャップ衝き合わせ面と
は反対側の面である下面から前記傾斜溝（１３）（１３
）が交差する部分（２６〉を通って他方の非磁性基板（
１１）のギャップ衝き合わせ面とは反対側の面である上
面に貫通する巻線孔（１４）を超音波加工等により形成
する。尚、前記傾斜溝（１３）（Ｉｓ）が交差している
部分（２６）は非磁性基板（１１）（１１）の厚みが薄
いので前述の加工が容易である。

次に第５図（ｇ）に示すように前記ブロック（亜）をガ
ラス充填溝（１３）に対向する部分に沿って切断するこ
とによりコアブロック（２７）を形成する。

次に、第５図（ｇ）に示す前記コアブロック（２７）の
うち金属磁性膜（１２）の上部（１２ａ）側の端面（２
７ａ）に研磨、Ｒ付加工を施して媒体摺接面を形成する
。、この加工により前記コアブロック（２７）の媒体摺
接面（２８）には、第５図（ｈ）に示すように金属磁性
膜（１２）の上部（１２ａ）及び傾斜溝（１３）が露出
する。

次に、前記コアブロック（２７）を破線Ａ−Ａ’に沿っ
て切断することにより第１図に示す本実施例の磁気ヘッ
ドが完成する。尚、この切断加工により金属磁性膜（１
２）は下部（１２ｂ）を中心に上部（１２ａ）を有する
フロント部（１２１）とバック部（１２２）とに分断き
れる。即ち、この切断加工により形成きれる磁気ヘッド
のコア半体（１０ａ）（ｆｏｂ）の金属磁性膜（１２）
は、上記コアブロック（２７）において隣接する一組の
金属磁性膜のうち一方の金属磁性膜のフロント部（１２
１）と他方の金属磁性膜のバック部（１２２）とにより
構成される。

上述のような本実施例の磁気ヘッドでは、磁気ギャップ
（１８）のトラック幅Ｔｗは金属磁性膜（１２）の上部
（１２ａ）の幅により規定されるため、トラック幅Ｔｗ
の大きさに関係なく前記金属磁性膜（１２）を薄くする
ことが出来、コスト面及び量産面に優れている。また、
上記金属磁性膜（１２）は巻線孔（１４）には被着して
おらず、巻線により前記金属磁性膜（１２）が剥離、損
傷することはない、また、前記金属磁性膜（１２）は全
て非磁性基板（１１）のギャップ衝き合わせ面上に形成
されているため、磁束が第４５！Ｊの矢印イのように流
れ、斜め方向に流れることはなく、透磁率は低下しない
、しかも一対のコア半体の金属磁性膜（１２）（１２）
のバック部（１２２）（１２２）同士の対向面積が大き
いので、バックギャップ側での磁気抵抗がノＪ＼きくな
り再生効率が向上する。また、上記構造の磁気ヘッドで
は、金属磁性膜（１２）の上面が直接ギャップ形成面と
なるので、ギヤ・／ブスペーサ（１５）成膜前にギャッ
プ形成面を鏡面研磨する必要はない。

（ト）発明の効果 本発明に依れば、金属磁性膜の膜厚を磁気ギャップのト
ラック幅に関係なく薄くすることが出来、且つ金属磁性
膜の剥離及び透磁率の低下を防止した磁気ヘッドを提供
し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明に係り、第１図は磁気ヘッド
の外観を示す斜視図、第２図は磁気ヘッドの媒体摺接面
を示す図、第３図はコア半体のギャップ形成面を示す図
、第４図は磁気ヘッドの磁束の流れを示す図、第５図は
磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図、第６ＦＸＪはブロ
ックを構成する基板の衝き合わせ状態を示す図である。 第７図及び第８図は夫々従来の磁気ヘッドの外観を示す
斜視図である。 （１０ａ）（１０ｂ）−−−）ア半体、（１１）−・・
非磁性基板、（１２）・・・金属磁性膜、（１４）・・
・巻線孔、（１５）・・・ギャップスペーサ、（１８）
・・・磁気ギャップ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板の平坦なギャップ衝き合わせ面のみに
   媒体摺接面に露出する部分の幅が磁気ギャップのトラッ
   ク幅に等しい金属磁性膜を形成してなる１組のコア半体
   から成り、前記１組のコア半体の金属磁性膜のギャップ
   形成面である上面同士を前記磁気ギャップとなるギャッ
   プスペーサを介して衝き合わせて接合固定し、前記１組
   のコア半体のうち一方のコア半体の非磁性基板のギャッ
   プ衝き合わせ面とは反対側の面から他方のコア半体の非
   磁性基板のギャップ衝き合わせ面とは反対側の面まで貫
   通する巻線孔を形成したことを特徴とする磁気ヘッド。