KR100206058B1 - 자기헤드 제조방법 - Google Patents

자기헤드 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100206058B1
KR100206058B1 KR1019960055254A KR19960055254A KR100206058B1 KR 100206058 B1 KR100206058 B1 KR 100206058B1 KR 1019960055254 A KR1019960055254 A KR 1019960055254A KR 19960055254 A KR19960055254 A KR 19960055254A KR 100206058 B1 KR100206058 B1 KR 100206058B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
semi
gap
coke
film
soft magnetic
Prior art date
Application number
KR1019960055254A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19980036667A (ko
Inventor
박노택
Original Assignee
이형도
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이형도, 삼성전기주식회사 filed Critical 이형도
Priority to KR1019960055254A priority Critical patent/KR100206058B1/ko
Publication of KR19980036667A publication Critical patent/KR19980036667A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100206058B1 publication Critical patent/KR100206058B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

[목적]
본 발명은 자기헤드의 갭간격이 정확히 형성되도록 함으로써 자기헤드의 고주파 기록 및 고정밀도의 기록 등이 개선되도록 한 것이다.
[구성]
본 발명은 제2반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제2반체코어의 페라이트 코어에 권선구가 형성되는 권선구공정과, 상기 권선구가 형성된 제2반체코어에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어에 제1연질자성막, 절연막, 제2연질자성막, 저융점 글래스부 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는 증착공정과, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성되는 뎁스공정과, I 코어인 제1반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제1반체코어의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면에 마주보도록 글래스로 접합되는 용착공정과, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어와 제2반체코어가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 것이다.

Description

자기헤드 제조방법
제1a도는 종래 기술에 따른 자기헤드 평면도.
b도는 종래 기술에 따른 자기헤드 갭부위 확대도.
제2도는 본 발명에 따른 자기헤드의 평면도.
제3도는 본 발명에 따른 제2도의 갭부위 평면 확대도.
제4도는 본 발명에 따른 제2도의 A-A' 절단 단면도.
제5도는 본 발명에 따른 제4도의 갭부위 측면 확대도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10, 21 : 절연막 12 : 에어갭
16, 23 : 가공변질층 28 : 저융점 글래스부
29a : 제1연질자성막 29b : 제2연질자성막
101 : 제1반체코어 102 : 제2반체코어
본 발명은 자기헤드와 그의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 자기헤드의 출력이 향상되고 노이즈가 억제되도록 자기헤드의 갭이 정확하게 형성되는 자기헤드의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 자기 기록장치는 고포화가 가속화되면서 매체 단위 면적당 기록정보 증대, 즉, 고밀도화가 핵심적인 개선 과제로 되고 있으며, 이 고밀화의 발전은 자성 테이프나 디스크의 매체 성능 개선에 커다란 영향을 미치게 되고, 자성체의 보자력 증대 등의 매체 기술의 진보와 함께 기록, 재생의 주도적 역할을 하는 자기헤드의 자기 기록과 재생 감도의 향상 및 출력개선이 고밀도화를 실현시키는데 가장 중요한 과제로 되고 있다.
제1a도는 종래 기술에 따른 자기헤드 평면도이고, b도는 종래 기술에 따른 자기헤드 갭부위 확대도이다.
제1도에서의 종래 기술에 따른 자기헤드는 한 쌍의 페라이트 코어로 되는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)의 갭 대향면 위에 금속자성막이 증착된 후, 산화규소막이 증착되는 자기헤드의 갭막(10)이 형성되고, 자기헤드의 갭막(10)이 형성된 상기 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 서로 맞대어져서 결합된다.
상기와 같이 맞대어져서 결합되는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)는 접합되는 경계면에 일정한 규격의 갭간격을 유지하기 위하여 통상 스퍼터링 박막제조 방법으로 절연막을 제1반체코어(101) 또는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)에 코팅한 후 접합한다. 이때의 실질적인 갭간격(18)은 절연막인 갭막(1)과 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 접합됨으로써 자연적으로 형성되는 에어(Air)갭(12) 그리고 접합면 기계가공인 래핑공정 중에서 응력의 영향으로 만들어진 특성 열화층인 가공변질층(16) 등이 형성된다.
상기와 같이 되는 자기헤드는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)로 되는 각각의 블럭에 일정간격으로 트랙 가공을 한 후, 갭막(10)이 이루어지도록 절연체인 산화규소막으로 스퍼터링된다. 상기와 같이 스퍼터링된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)는 트랙이 서로 마주보도록 위치시키고 적절한 장치와 현미경을 이용하여 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)의 트랙점이 일치되도록 되고, 이후 일정 압력을 가하면서 저융점 봉합용 글라스로 용착하여 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 접합된다.
그러나, 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)의 접합면 가공이 발생되는 가공변질층(16)과, 가공변질층(16)의 래핑조건에 따라 층두께의 불균일과, 기계접합에 따서 에어갭(12)이 생성되거나, 상기 에어갭(12)의 접합압력 블록자세에 따라 변화되는 불균일 등의 문제점이 있기 때문에 고주파 기록 및 고정밀도의 기록을 위한 정확한 갭의 접합 등이 어려운 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 발명의 주된 목적은 자기헤드의 갭간격이 정확히 형성되도록 함으로써 자기헤드의 고주파 기록 및 고정밀도의 기록 등이 개선되도록 한 자기헤드 제조방법에 있는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은 제2반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제2반체코어의 페라이트 코어에 권선구가 형성되는 권선구공정과, 상기 권선구가 형성된 제2반체코어에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어에 제1연질자성막, 절연막, 제2연질자성막, 저융점 글래스부 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는 증착공정과, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성되는 뎁스공정과, I 코어인 제1반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제1반체코어의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 용착공정과, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어와 제2반체코어가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 자기헤드 제조방법에 있는 것이다.
이하 첨부도면에 의하여 본 발명에 따른 자기헤드 제조방법의 바람직한 일실시예에 대하여 상세하게 설명한다.
제2도는 본 발명에 다른 자기헤드의 평면도이고, 제3도는 본 발명에 따른 제2도의 갭부위 평면 확대도이고, 제4도는 본 발명에 따른 제2도의 A-A' 절단 단면도이고, 제5도는 본 발명에 따른 제4도의 갭부위 측면 확대도이다.
본 발명에 따른 자기헤드 제조방법은 C 코어인 제2반체코어(102)가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제2반체코어(102)의 페라이트 코어에 권선구가 형성되는 권선구공정과, 상기 권선구가 형성된 제2반체코어(102)에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어(102)에 제1연질자성막(29a), 절연막(21), 제2연질자성막(29b), 저융점 글래스부(28) 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는 증착공정과, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어(102)에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성되는 뎁스공정과, I 코어인 제1반체코어(101)가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제1반체코어(101)의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어(102)와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어(101)가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면에 마주보도록 글래스로 접합되는 용착공정과, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 것이다.
다음은 상기와 같이 구성된 본 발명의 작동상태에 대해서 설명한다.
C 코어인 제2반체코어(102)가 접합면인 갭 대향면이 I 코어인 제1반체코어(101)와 접합되도록 접합면이 래핑되고, 상기 래핑된 제2반체코어(102)의 페라이트 코어에 코일이 감기는 권선구가 형성된다. 그리고, 권선구가 형성된 제2반체코어(102)에 자기헤드가 자기테이프에서 정보를 읽고 쓰기 위한 물리적인 폭으로 되는 트랙이 형성되기 위하여 트랙규제홈이 형성된다. 그리고, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어(102)에 제1연질자성막(29a), 절연막(21), 제2연질자성막(29b), 저융점 글래스부(28) 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는데, 상기 제1연질자성막(29a)은 래핑에 의한 제2반체코어(102)의 가공변질층(23)과 절연막(21)이 인접하는 것이 방지되도록 된다. 그리고 상기 절연막(21)이 증착된 후에 연속하여 제2연질자성막(29b)이 증착됨으로써, 상기 제2반체코어에 I 코어인 제1반체코어(101) 및 C 코어인 제2반체코어(102)가 결합될 때, 가공변질층(23)위에 기계적인 접합에 의하여 발생되는 에어갭(22)이 발생되는 것이 방지되게 된다. 그리고, 상기 저융점 글래스부(28)는 제1반체코어(101) 및 제2반체코어(102)가 결합이 양호하게 되도록 되는 것이다. 그리고, 절연막(21) 두께는 실질적인 자기헤드의 갭으로 되고, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어(102)에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성된다.
한편, 가공변질층(23)은 절연막(21)보다 상대적으로 얇은 약 1/5 정도의 두께로 되고, 자기헤드 갭으로 되는 절연막(21)과 제1연질자성막(29a) 및 제2연질자성막(29b) 사이의 거리는 서로 약 3㎛의 일정거리 이상 떨어져 있도록 형성되고, 바람직하게는 상기 제1연질자성막(29a) 또는 제2연질자성막(29b)은 3㎛-10㎛의 두께로 증착되어 형성되는 것이며, 상기 제1, 2연질자성막(29a)(29b)은 망간아연 페라이트 또는 센더스트 또는 Fe 계열 연질자성 재질로 되는 것이다.
또는, I 코어인 제1반체코어(101)가 접합면인 갭 대향면이 래핑되고, 트랙규제홈이 형성된다. 따라서 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어(102)와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어(101)가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 용착되는데, 바람직하게는 상기 용착은 온도 500℃-750℃와 Ar 가스 분위기 또는 N2가스 분위기의 불활성 분위기에서 글래스로 용착되는 것이다.
그리고, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 슬라이싱 되어서 자기헤드가 제조된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 자기헤드 제조방법은 절연막이 실질적인 자기헤드 갭이 되도록 함으로써 정확한 자기헤드 갭의 제조가 되어 자기헤드의 주파수 특성이 개선되고, 균질한 특성을 갖는 자기헤드의 제조가 되며, 자기헤드의 잡음이 개선되는 특징을 지닌 것이다.

Claims (5)

  1. 제2반체코어가 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정; 상기 래핑된 제2반체코어에 권선구가 형성되는 권선구공정; 상기 권선구가 형성된 제2반체코어에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정; 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어에 다층의 갭막이 증착되는 증착공정; 상기 갭막이 증착된 제2반체코어에 뎁스가 형성되는 뎁스공정; 제1반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정; 상기 래핑된 제1반체코어의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정; 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 용착공정; 상기 용착된 제1반체코어와 제2반체코어가 습동면이 연마되는 연마공정; 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 증착공정에서의 다층의 갭막은 제1연질자성막, 절연막, 제2연질자성막, 저융점 글래스부 순서로 스퍼터링에 의하여 증착되는 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 연질자성막은 3㎛-10㎛의 두께로 증착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 연질자성막은 망간아연 페라이트 또는 센더스트 또는 Fe 계열 연질자성인 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 용착공정은 온도 500℃-750℃와 Ar 가스 분위기 또는 N2가스 분위기의 불활성 분위기로 되는 글래스 용착인 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
KR1019960055254A 1996-11-19 1996-11-19 자기헤드 제조방법 KR100206058B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960055254A KR100206058B1 (ko) 1996-11-19 1996-11-19 자기헤드 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960055254A KR100206058B1 (ko) 1996-11-19 1996-11-19 자기헤드 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980036667A KR19980036667A (ko) 1998-08-05
KR100206058B1 true KR100206058B1 (ko) 1999-07-01

Family

ID=19482457

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960055254A KR100206058B1 (ko) 1996-11-19 1996-11-19 자기헤드 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100206058B1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980036667A (ko) 1998-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0328104B1 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
KR100206058B1 (ko) 자기헤드 제조방법
JPS63257904A (ja) 磁気ヘツドの製造方法
KR100189880B1 (ko) 자기헤드 및 그 제조방법
KR100200809B1 (ko) 자기헤드 및 그 제조방법
JPH053646B2 (ko)
JPS61117708A (ja) 磁気ヘツド
JP2526114Y2 (ja) 磁気ヘッド
JP2887204B2 (ja) 狭トラック磁気ヘッドの製造方法
KR100193623B1 (ko) 자기헤드와 그의 제조방법
JPH103605A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPS59203210A (ja) 磁気コアおよびその製造方法
JPH103606A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH05307711A (ja) 磁気ヘッドおよびその製造方法
JPH02162509A (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPS6249652B2 (ko)
JPH0654528B2 (ja) 磁気ヘツド
JPH05290327A (ja) 磁気ヘッド製造方法
JPH04241205A (ja) 磁気ヘッド
JPH04248104A (ja) 磁気ヘッド
JPS626415A (ja) 複合磁気ヘツドの製造方法
JPH05314422A (ja) 積層型磁気ヘッド
JPH06124407A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH04255904A (ja) 磁気ヘッド
JPH04241204A (ja) 磁気ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20050331

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee