JPS61236197A - 厚膜基板の両面間の連結として用いる孔をめつきスル−し同時にシルク−スクリ−ン印刷操作を行なう方法 - Google Patents

厚膜基板の両面間の連結として用いる孔をめつきスル−し同時にシルク−スクリ−ン印刷操作を行なう方法

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JPS61236197A
JPS61236197A JP7757486A JP7757486A JPS61236197A JP S61236197 A JPS61236197 A JP S61236197A JP 7757486 A JP7757486 A JP 7757486A JP 7757486 A JP7757486 A JP 7757486A JP S61236197 A JPS61236197 A JP S61236197A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚膜、シルク−スクリーン印刷技術の一部とし
て基板における孔又はキャビティの多くのめっきスルー
（ｐｌａｔｉｎｇ−ｔｈｒｏｕｇｈ）又は壁面めっ、き
操作を実施する方法に関するもので、上記基板はスクリ
−ン−印刷装置の気密、基板−支持チャンバ内を部分減
圧にすることにより所定位置に保持され、導電性ペース
トの粘度を適切な値とし、予備穿孔された孔及び／又は
キャビティへの上記ペーストの吸収を低い部分減圧で強
力な空気流を生じる能力がある装置により実施する。
厚膜技術を用いるあらゆる基板上の電気回路の概念は、
全て、確実な多層及び及び／又はインターフェース接結
部（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ　ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ）の形
成方法の認識に依る。
レーザーの導入による孔の機械加工により得られる進歩
は、極めて大規模に単位面積当りの孔の数を増加するこ
とを可能にし、１〜３孔／−から４〜１０孔／ｄ又はそ
れ以上に上昇させた。
インターフェース接結部の堆積には孔の１又はそれ以上
の連続金属化が含まれる。概して、本方法は片側当り１
回の金属化に限定する。
最も簡易な金属化法は、シルク−スクリーン印刷ペース
トの粘度を低下させてスキージ−の移動により該ペース
トを回路の表面上に拡げると同時に孔中への該ペースト
の流入を容易にすることにあるが、該方法は表面被覆困
難性により極めて速く終結する。
最も一般的に使用されている方法においては、スクリー
ン印刷操作の間、孔を有する基板の下の気密チャンバ内
の真空ポンプを用いて部分減圧を起こす。このようにし
てかかるペーストは基板を定位置に保持することにも用
いられる強力な部分減圧の結果として低速で孔に侵入す
る。該ペーストの侵入はシルク−スクリーン印刷パラメ
ータ及び孔の数と分布に依存する。かかる分圧の使用は
単位面積当りの多くの孔を金属化するには不十分である
ことを見い出した。
序文に記載したような他の、より信顛し得る方法は強力
な空気流によりペーストを吸引することにある。かかる
方法は、例えば西独国特許第３２４５４５８号から知ら
れており、この方法では、回路のスクリーン印刷及び孔
への吸引を２種の異なる装置を用いて２回別に実施する
。
２種の別個の操作、即ち回路のスクリーン印刷及びめっ
きスルーホールによるインターフェース接続部における
製造の欠点を除去するために、本発明の方法は基板上へ
のペーストローリングを行なうと同時に実際のスクリ−
ン−印刷機上にめっきスルーを行う可能性を提供する。
本方法は、上記装置により供給される強力な空気流をス
クリーン印刷操作と同時に基板を支える空気チャンバへ
注いで上記ペーストをスクリーン印刷スクリーン上から
上記基板上へ移し、その基板上への堆積および上記孔及
び／又はキャビティ壁の最適被覆を行ない、これにより
スクリ−ン−印刷装置のスキージ−の作動を補強すると
いうことで優れる。
強力な流れ及び低い部分減圧を用いて空気を循環するの
に使用される上記装置は、変速駆動装置を有する空気タ
ービンで、空気流の物理的パラメータ（速度及び／又は
量）は永久測定及び制御装置により得られ、該装置は特
にタービンより上流の空気循環路上に指示器を有する適
切なセンサーを含む。
上記物理的パラメータの測定は基板の厚みへのペースト
の適用を点検しさらに上記基板の孔及び／又はキャビテ
ィの大きさ、密度、スクリーン印刷の他のパラメータ値
によりその粘度を改変することを可能にする。
このように、スクリ−ン−印刷ペーストを高速の空気を
用いて孔内へ吸引することにある従来方法は高い信軌度
で多くの数の細孔（Ｃ１１！当り１５）をめっきするこ
とを可能にする。
本発明において、基板上にペーストを用いるスクリーン
印刷及び少ない部分減圧で多量の流れを供給するガスタ
ービンによる孔へのペーストの吸引という同時達成はペ
ーストを孔へ移動するのに有効な大量のエネルギーの移
転を確実にし、且つ最適被覆を確実にする。スクリーン
上から回路へ移動した量のインクはこのようにして移動
するガスの作用とスキージ−の通常作用の連合効果によ
り増加する。この結果、細かいメツシュ（２００メツシ
ユ代りに３２５メツシユ）のスクリーンを選択しそれ由
に鮮明度、即ち細条及び接点パッドの分解能を増加する
ことができる。
空気流の物理的パラメータを制御する装置−標準指示器
（マノメーターカラム又は圧力ゲージ）と組合せた吸引
装置に適する速度（風速計）及び／又は流量（流量計）
の局部測定用素子−の設置及び包括は、かかるパラメー
タの細かい調節を、孔の数により、さらにスクリーン印
刷パラメーター（装置のパラメーター及びインクのパラ
メーター）で調節できる漏洩系を用いて常に可能とする
。
速度及び／又は空気流量の正確な制御はめっきスルーす
べき孔の敗及びその直径の関数として調節を規定するノ
モグラムの作成を可能にする。
結局、本方法の操作は極めて安価に実施でき、簡単にあ
らゆる厚膜スクリ−ン−印刷機に適用でき、特に減圧回
路網と連結する基板支持チャンバを既に設置する場合は
そうである。
本発明を図面を参照して次の実施例により説明する。
第１図に断面を示すスクリーン印刷機はスクリーン印刷
すべき回路の画像を有し、基板を支持するチャンバー３
の上方に位置するスクリーン１を備える。該スクリーン
１はスキージ−５により基板上に拡げられるスクリーン
印刷ペースト４を携える。基板支持チャンバ３の上側は
受は板６上に載置されている有孔基板２により形成され
、該受は板６は該有孔基板と整合する。受は板６は真空
ポンプ（図示せず）に通じる出口とその端で連結される
。本発明において真空チャンバー３は高速で空気を吸引
するガスタービン（図示せず）に連結する出口８を備え
る。スクリーン印刷操作の過程において、スクリーン１
を基板と接触するまで垂直に降ろし、その際スキージ−
５を水平に移動して基板２上にペースト４を拡げ、事前
に基板に形成した孔に該ペーストを浸透させる。
本発明の方法を実施する装置全体の概略を示す図には次
のもの（第２図）ニ ー可変速度ガスタービン１０で直径３０＋ｗｍの管で空
気を４　Ｘｌ０−”ｍ’　−３−’の流量及び２Ｘ１０
’Ｐａの圧力で排気する； 一永久一定漏洩系１１で流れを上流へ少量送る間、ター
ビンモーターを保護する（タービンモーターが冷却回路
に取付けられる場合、かかる系は随意である）； 一三方バルプ１２で基板を介する空気吸引のオン−オフ
制御を行う。かかるパルプの操作はスクリーン印刷機を
近傍に設置すべき時には手動でもよい。次いで基板支持
チャンバのレベルで通常吸引を止める。該操作はかかる
系が技術室内に収容できる場合は電動でもよい。かかる
場合にはスクリーン印刷機から制御される； −調製可能な漏洩系１３で基板に形成された孔の数の関
数として空気の速度（又は流量）の調製を行なう； 一圧力または速度を測定するための部材１４；−圧力又
は速度指示計１５で、測定部材１４に適切なマノメータ
ーカラム、圧力計又は指示計であるニー圧力測定部材の
ゼロアダプターを形成する手動調製可能三方バルブ１６
； 一気密基板支持チャンバ１７で吸引バイブ１８に連結す
る。その上側はめっきスルーすべき基板１９により被わ
れ、該基板は前もって孔あけがされていて支持用チャン
バ１７中のハウジング内に設置される； 一スクリーン印刷機のスキージ−及びスクリーンから成
るグループ２０； が含まれる。゛ 連続線から成る矢印は空気流の方向を示す。
破線から成る矢印はスキージ−の移動方向を示す。
流体の移動によりもたらされたノイズは特定チャンバ内
にかかる系を含む装置の一部を設置することを必要にす
る。バルブ１３が手動で操作されるか又は電気的に作動
されるかにより決まるが、かかる特定チャンバ中に設置
された該系の部材は複合ライン２１の左側又は複合ライ
ン２２の左側に設置される。
結局、周囲のダストによるペーストの汚染の危険性が増
加するのでクリーンルーム（１０，０００Ｕ、Ｓ。
より良好なりラス）内で操作を行うことが重要と□なる
。
【図面の簡単な説明】
第１図はスクリーン印刷機の縦断面図、第２図は本発明
の方法を実施する装置の配置図である。 １・・・スクリーン　　　　　２．１９・・・基板３．
１７・・・チャンバー　　　　４・・・ペースト５・・
・スキージ−６・・・受は板 ７．８・・・出口　　　　　　　１０・・・ガスタービ
ン１１・・・永久一定漏洩系　　　１２・・・三方バル
ブ１３・・・調製漏洩系　　　　　１４．１６・・・測
定部材１５・・・速度支持針　　　　　１８・・・吸引
管ＦＩＧ、１

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、厚膜、シルク−スクリーン印刷技術の一部として基
    板における孔又はキャビティの多くのめっきスルー又は
    壁面めっき操作を実施する方法において、上記基板はス
    クリーン印刷装置の気密、基板−支持チャンバ内を部分
    減圧にすることにより所定位置に保持され、導電性ペー
    ストの粘度を適切な値とし、予備穿孔された孔及び／又
    はキャビティへの上記ペーストの吸収を低い部分減圧で
    強力な空気流を生じる能力がある装置により実施され、
    その装置において上記装置により供給される強力な空気
    流をスクリーン印刷操作と同時に気密基板支持チャンバ
    へ注いで上記ペーストをスクリーン印刷スクリーン上か
    ら上記基板上へ移し、その基板上への堆積及び上記孔及
    び／又はキャビティ壁の最適被覆をスクリ−ン−印刷装
    置のスキージーの作動と関連して行なうことを特徴とす
    る厚膜基板の両面間の連結として用いる孔をめっきスル
    ーし同時にシルク−スクリーン印刷操作を行なう方法。 ２、強力な流れ及び低い部分減圧を用いて空気を循環す
    るのに使用される上記装置は、変速ガスタービンで、空
    気流の物理的パラメータ（速度及び／又は量）は永久測
    定及び制御装置により得られ、該装置は特にタービンよ
    り上流の空気循環路における指示器を有する適切なセン
    サーを含む特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、上記物理的パラメータの測定は基板の厚みにおける
    ペーストの堆積制御を可能にしさらに上記基板の孔及び
    ／又はキャビティの大きさ、密度、スクリーン印刷の他
    のパラメータ値によりその粘度を改変することを可能に
    する特許請求の範囲第２項記載の方法。
JP7757486A 1985-04-05 1986-04-05 厚膜基板の両面間の連結として用いる孔をめつきスル−し同時にシルク−スクリ−ン印刷操作を行なう方法 Pending JPS61236197A (ja)

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JP (1) JPS61236197A (ja)
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DE (1) DE3674823D1 (ja)
FR (1) FR2580135B1 (ja)
NO (1) NO861301L (ja)

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