JPH0271141A

JPH0271141A - 厚膜被覆中に閉込められた気泡の検出および排除の方法および装置

Info

Publication number: JPH0271141A
Application number: JP63325740A
Authority: JP
Inventors: Eustathios Vassiliou; ユスタスイオス・バシリオウ
Original assignee: EI Du Pont de Nemours and Co
Current assignee: EIDP Inc
Priority date: 1987-12-23
Filing date: 1988-12-23
Publication date: 1990-03-09
Also published as: US4898020A; EP0321888A2; KR890011130A; EP0321888A3; DE3875932T2; DE3875932D1; EP0321888B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野〕本発明は厚膜組成物の被覆を有する信頼性の高い装置を
製造しテストするための方法および装置に関するもので
あり、特に厚膜組成物の被覆から閉じ込められた気泡を
検出し排除するための方法および装置に関するものであ
る。

［従来の技術］それらの高い容積効率および従ってそれらの小さいサイ
ズのため、多層キャパシタは厚膜ハイブリッドマイクロ
エレクトロニクスシステムのためのセラミックキャパシ
タの形態に最も広く使用されている。これらのキャパシ
タは適切な電極パターンが印刷されるセラミック基板の
薄膜を積層し加熱することによって構成される。各パタ
ーン化された層は、電極層がアセンブリの６縁で交互に
露出されるような方法で隣接層からずらされる。

電極パターンの露出縁部はキャパシタ端末として知られ
ているものを形成するように導電厚膜材料によって被覆
される。この端末は構造の全層を電気的に接続し、ラミ
ネートされた構造中の一群の並列接続されたキャパシタ
を形成する。このタイプのキャパシタはモノリシックキ
ャパシタと呼ばれる。

［発明の解決すべき課題］厚膜組成物の被覆を使用するこれらおよびその他のマイ
クロ電気部品の製造中、空気あるいはその他の気泡、以
下概して“気泡“と呼ぶが、それは被覆中に閉じ込めら
れるようになる。多層キャパシタの場合、例えばこれら
の気泡の存在は端末の均一性を乱す。端末の導電連続性
は通常妨害されないけれども、はとんどの応用に必要と
される高い信頼性はこのような欠点の連続して存在する
ことを許容しない。従って、信頼性の観点から、閉込め
られｅた気泡の排除は本質的なものである。

端末のために使用された組織は必然的に不透明で、それ
らが金属、ガラスフリットおよびその他の非透明組成物
を含むので、閉じ込められた気泡の存在を検出すること
は非常に困難である。巨大な泡の場合、被覆は泡の位置
にわたって乾燥または焼成中クラックを発達させる。し
かしながら、気泡のサイズが小さいとき、その存在を検
出するための唯一の方法はその乾燥および／または焼成
後に、装置に沿って異なる位置で、所定のバッチ（１）
ａＬｃｌ＋　）中の装置が欠陥を導くかもしれない閉じ
込められた気泡をＨするか否かを確めるために、完成さ
れた装置を分解することである。

従って、前記観点において、厚膜装置の被覆中に閉じ込
められた気泡の存在を検出するだめの方法および装置を
提供し、もし泡が存在していることが発見されたなら、
存在が発見された気泡を排除またはその数を充分に減少
することは利点と考えられる。

［課題解決のための手段および作用］本発明に従う装置および方法は厚膜組成物中に閉じ込め
られた気泡を検出し排除するための装置を提供する。全
実施例において、この装置および方法は厚膜組成物被覆
を有する１以上の部品を受けるための大きさである室を
具備する容器を含む。

この室は初期に周囲の圧力の空気のような気体流体を有
する。

閉じ込められた気泡の存在が検出されるような実施例に
おいて、この容器は顕微鏡のような観察手段を倫えられ
ており、それによって部品が観察される。最初の圧力と
第２の低い圧力との間で予め決められた数のサイクルに
わたって室内の流体の圧力を変えるための手段が設けら
れる。各サイクルは室内の流体が初期の圧力ををする第
１の期間と、それに後続する室内の流体が第２の圧力を
有する第２の予め決められた期間とを含む。初期圧力は
実質的に大気圧であり、−力筒２の圧力は４０）ル（ｔ
ｏｒｒ）以下であり、好ましくは１５トル以下である。

第１の期間は０．１秒乃至２秒の範囲内であり、好まし
くは０．２乃至０．６秒の範囲内であり、更に好ましく
は０．４秒である。第２の期間は好ましくは０．５乃至
１０秒であり、更に好ましく１乃至３秒であり、更に好
ましくは２秒であり、前記反復サイクル申開じ込められ
た気泡は、もし存在するなら、室上に設けられた適当な
観察手段によってそれらの観察できるような方法で脈動
する。

第２の実施例において、この容器および圧力変化手段（
観察手段を具備するまたは具備していない）は厚膜組成
物から閉じ込められた気体を排除するために使用される
。サイクルが２乃至４０サイクルあるいはそれ以上繰返
されるとき、閉じ込められた気泡は爆発を生じる。閉じ
込められた気泡の排除を促進するため、いくつかの例に
おいては、摂氏１２０度以下、好ましくは摂氏１００度
以下の比較的低い沸点を有する溶媒で室中の流体を飽和
させるための手段を設けることが望ましい。

１．１１トリクロロエタン（’　ｃｔ＋ＩｏｒｏＬＩ＋
ｅｎｅ″）がこのような溶媒として有効である。低沸点
の溶媒が使用されるとき、組成物から気泡を排除するた
め必要とされるサイクルの数はかなり減少される。

本発明の別の実施例によると、上記のような反復サイク
ル後に、厚膜組成物の被覆を有する部品は容器（同じあ
るいは別の容器のいずれでもよく、観察手段を具備して
も具備しなくてもよい）の室中に配置され、その室中の
周囲の気体は摂氏１２（＋乃至３５０度の範囲内の比較
的高い沸点を有する溶媒によって飽和される。ベータ　
ターピネオールがこのような溶媒として使用するのに適
している。

この部品は気泡を被覆から排除するのに充分な期間中室
の環境に置かれる。本発明のこの実施例は、サイクルが
低沸点溶媒を有する環境において実施されるような実施
例と独立せずに、あるいはその代わりに使用されても良
い。例えば、低い沸点溶媒を伴わない容器におけるサイ
クル後、部品は被覆を経ておよび被覆からの気泡の拡散
を許容するのに充分な時間中、高い沸点溶媒を有する環
境に単に配置されるだけでよい。もし気泡を排除するた
めのサイクルが室内の低沸点溶媒を伴わずに実施される
なら、高い沸点溶媒がサイクル中被覆の蒸発を最少にす
るためその代わりとして室中で使用されても良いことが
注目されるべきである。その代イ）りに、この室が低沸
点溶媒を有する環境において前記のようなサイクルで処
理された後で、この室が別の過程として高い沸点溶媒を
有する環境に配置されても良い。

本発明に従って、溶媒が室中の気体を飽和するために使
用される場合、溶媒が厚膜組成物の流体組成物（例えば
“有機媒体″または“媒介物“）と調和しなければなら
ないことが理解されなければならない。

［実施例］本発明は、この出願の一部を形成する、添附図面と関連
して得られた以下の詳細な説明から更に完全に理解され
る。

本発明は厚膜装置の湿った焼成されていない厚膜被覆中
に閉じ込められた気泡の検出および排除のための方法お
よび装置に関する。厚膜組成物は液体媒介物中の電気的
に作用する物質の微細に分割された粒子を分散させたも
のである。組成物はペースト状の粘度を有する。本発明
は多層キャパシタの端末のため使用された厚膜被覆に関
して説明されるけれども、本発明が気泡が閉じ込められ
るようになる厚膜組成物の被覆を有する任意の装置にお
いて使用されても良いことが理解されるべきである。

第１図かられかるように、本発明に従った装置１０は全
体を参照符号１２で表わされた容器を含む。

この容器１２はその内部に密閉室１４を定める。室１４
はその中に気体状の流体、典型的に空気を有するが、し
かし窒素のようなその他の流体がその中に存在しても良
い。少なくとも１つのボート１６はパイプ１８へ接続さ
れ、容器■２の外部の１位置と室１４との間の連通がな
される。第１図において示された実施例において、容器
１２は解放された頂部を有するように示されているが、
しかし容器が後続する記述と一致した任意の適切な様式
で形成できることが理解されるべきである。また容器１
２は適切な材料、例えばガラス、金属またはプラスチッ
クから構成されることが理解されるべきである。

容器は観察窓２２によって定められたような透明部分２
０を含む。窓２２はガラス、透明なプラスチックなどか
ら構成される。窓２２は、真空グリースによって被覆さ
れるシリコンゴムガスケット２４の使用等によって、圧
力密閉様式で容器１２の解放された頂部へ固定される。

ガスケット２４はゴムのような、当分野において既知の
適切な弾性ガスケット材料から構成される。真空グリー
スは空気密閉インターフェースを与えることのできる非
揮発性潤滑ペーストである。“ヘビー　という特徴を有
する真空グリースが好ましい。

室１４は予め決められた容積を定める大きさである。こ
の容積は予め決められた数の厚膜装置を受けるのに充分
であり、その各々は一般に参照符号３０によって示され
る。本発明は、容器１２中に受けられるトレー３２中に
複数の装置が配置されるバッチモードにおいて恐らく最
も良く使用される。容器１２の内部で装置３０を支持す
るため、適切な支持台３４が容器１２中に設けられる。

カップ３Ｂは明らかにするため容器１２の内部の適切な
位置に配置される。第１図に示されるように、カップ３
Ｂは支持台３４に固定されるが、しかしこのような配置
は指定はされない。カップ３６は固体フオームのような
吸収材料３８を与えられている。

参照符号４０によって全体的に示された観察手段は窓２
２に関して適切な位置に設けられる。観察手段４０は顕
微鏡のような任意の適当な観察装置から形成されても良
い。

室１４中の流体は予め決められた初期圧力を有する。一
般的に初期圧力は大気圧である。全体を参照符号５０で
示された手段が初期圧力と初期圧力より小さい第２の圧
力との間の予め決められたサイクル数の間室中の流体の
圧力を変えるために設けられる。手段５０は容器１２か
らのパイプ１８へ接続された主要ライン５２を含む。空
気のような気体の源５５から発する第１の分岐ライン５
４は主要ライン５２へ接続される。ゴールトナー（Ｇ　
ｏｌｄｎｅｔ）社製造のモデル番号ＡＳＣＯ８２１０Ｃ
３３のソレノイド制御弁のような弁５６は第１のライン
５４中に備えられている。同様に第２の分岐ライン５８
が主要ライン５２へ接続される。ゴールトナー社製造の
ＡＳＣＯ８２１０Ｃ９３のような第２の弁６０は、弁５
６と同様であるが通常閉じられており、第２の分岐５８
中に設けられている。以下説明される制御回路網６６か
らの電気制御ライン８２．８４は弁５６．６０のソレノ
イド５６Ｓ　、　６０Ｓへ各々接続される。弁５６゜６
０はオートマチックスイッチ（Ａ　ｕｔｏｍａｔｌｃＳ
　ｗｉｔｃｈ　）社にュージャージ州、Ｆ　Ｉｏｒｈａ
ａ＋Ｐａｒｋ）によって製造されている。第２の分岐ラ
イン５８はハウス真空源によっであるいは真空ポンプ７
０によって提供されるような真空へ接続される。

もしポンプが使用されるなら、“コールド　トラップ”
のようなオイル　トラップを使用するため注意が払われ
なければならず、それは（後で議論されるように）室中
に存在する溶媒によるポンプの汚濁を阻止するためであ
る。圧力計７４は主要ライン５２における圧力をモニタ
するために使用される。弁５６はフラッパ５８Ｆの位置
で示されるように通常の解放型であり、一方、逆に弁６
０のフラッパ［ｉｏＦはそのフラッパ６０Ｆの位置で示
されるように通常閉鎖型である。

制御回路網６６は電源７６と弁５８．６０のソレノイド
５ＧＳ　、　６０Ｓとの間に接続されるス・ｒツチ７４
Ｓを有するタイマ７４を含む。トーマスサ・ｆエンティ
フィック（Ｔ　ｈｏａ＋ａｓ　Ｓ　ｃｉｅｎｔｌｒｌｃ
　）社製造のモデル番号４５１．９３７３−Ｅ６５のよ
うな装置はタイマ７４として使用するのに適している。

スイッチ７４Ｓの時間的な閉鎖は交互にポンプ７０およ
び空気供給源５５へ室１４を接続する。優先スイッチ７
８はタイマ７４に並列に接続される。スイッチ７８の閉
鎖は時間を無視するように動作し、所望されるなら室１
４へ連続的に真空を供給する。

本発明の装置の基本的機能素子の相互結合を明らかにす
ると、その動作は以下に説明されるとおりである。厚膜
組成物の被覆を有する１以上の装置３０は容器１２の室
１４中の配置される。この装置３０は台３４上にセット
されたトレー３２などに支持されている。組成物は当業
者によく知られているように、“有機媒体″または“媒
介物“を含む。タイマに基づく電気の制御回路網６６の
制御下で、弁５６゜６０は室１４中の流体の圧力を変え
るように選択的に閉じたり開いたりされる。室１４中の
流体の圧力変化の１デユーテイサイクルが第２図に示さ
れている。

第２図において、室１４中の初期圧力が値Ｐ１（好まし
くは大気圧に等しい）で示されており、室圧は値Ｐ２へ
減少される。圧力Ｐ２は圧力Ｐ１より低い。圧力Ｐ２は
計器７４でａ−１定され４０トル以下であることが望ま
しく、更には、１５トル以下であることが望ましい。圧
力Ｐ１は、０．１秒乃至２秒の範囲に存在する第１の期
間Ｔ１の期間、室において維持される。好ましくは第１
の期間は０．２秒乃至０．６秒の範囲であり、最も好ま
しくは０．４秒である。圧力Ｐ２は第２の予め決められ
た時間Ｔ２の間、室１４において維持される。期間Ｔ２
は０．５乃至１０秒の範囲であることが望ましく、１乃
至３秒であることが更に望ましく、２秒であることが最
も望ましい。第２図の圧力−時間波形は方形波に近いけ
れども、その他の波形も最少および最大圧力が前記され
た期間にわたって得られる限り使用されても良いことに
注意すべきである。また、圧力間の変化は所望された効
果を得るため急激でなければならない。

圧力変化は、以下議論されるように、予め決められたサ
イクルの間繰返される。室１４中の流体の圧力変化は装
置３０の厚膜被覆中に閉じ込められた気泡の検出を許容
する。サイクルの真空部分（Ｔ２）の間、閉じ込められ
た気泡は膨張するが、一方それはサイクルの周囲雰囲気
圧力部分子１の間非常に急激に収縮する。これは気泡が
観察手段４０によって検出できるような方法で容積的に
脈動することを引起こす。室！４中の流体における反復
的変化は、手段４０によって検出できる閉じ込められた
気泡の非常に明確なアウトラインを形成する。

変化が被覆中の局部的破断速度状態へ上昇し、それが閉
じ込められた気泡の各々のすぐ付近において疑似プラス
チック被覆の粘度を減少するという事実は、気泡が圧力
変化中アウトラインを明らかにされる主な理由の１つで
あると思われる。気泡が見えるようになる前に必要とさ
れるサイクル数は、被覆中のそれらの位置、それらのサ
イズ、および組成物の粘性に依存して変化する。しかし
ながら、一般に、サイクル数は１サイクルと２０サイク
ルの間である。

室１４中の圧力の変化はまた泡が全体的あるいは部分的
に壊れ始めることを引起こし、装置におけるそれらの位
置を集中または変化させるために使用される。同じ減少
、即ち粘度における局部的減少は泡を被覆の表面へ移動
させ、最後には破裂させて消滅させる。もし装置！０が
閉じ込められた気泡を排除または減少させるため使用さ
れるなら、容器ｌｚ中の透明部分２０は所望されるなら
省かれても良い。閉じ込められた気泡を排除または減少
するため、サイクル数は１０乃至５００サイクルの範囲
でなければならず、３０乃至１００サイクルの範囲が更
に望ましい。溶媒が本発明に従って室中の流体を飽和さ
せるため使用されるような場合、この溶媒は厚膜組成物
の液体成分（例えば“有機媒体“または“媒介物“）と
調和していなければならないことが理解されるべきであ
る。勿論、サイクルの実際の数は厚膜組成物の位置、サ
イズおよび粘性に再び依存する。

所望されるなら、上記されたパルス期間中の組成物の蒸
発速度を減少させるため、比較的高い沸点、即ち摂氏１
２０乃至３５０度の範囲の沸点をＨする溶媒によって室
１４中の環境を飽和することが所望される。ベータータ
ーピネオールがこのような溶媒として使用するのに適し
ている。選択された特定の溶媒が組成物中で使用される
媒介物と調和することが理解されるべきである。“調和
”とは、選択された溶媒が媒介物中への少なくとも制限
された混合性を有することが意味される。混合性が高い
ほど、溶媒は更に調和する。溶媒はカップ３６を使用し
て室３４中に配置され、それはそれによって室３４中の
流体を飽和させる手段に溶媒を供給する。

その代わりに閉じ込められた気泡の排除を更に高めるた
め、本発明に従って、室中の流体は比較的低い沸点を有
する溶媒によってカップ３６で定められた飽和手段を使
用して飽和される。好ましくはこの溶媒の沸点は摂氏１
２０度以下であり、摂氏１００度以下であることが更に
好ましい。

このような低い沸点の溶媒として使用するのに適切なの
は１．１．１トリクロロエタン、アセトン、トルエン、
メチルエチルケトン、メタノール、ヘプタン、エチルエ
ーテルなどである。好ましい溶媒は、その高い効力とそ
の非可燃性のため１．１．１１リクロロエタンである。

“効力（ｅｆ’ｆ’ｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓ　）　’とは
、この溶媒が泡を排除するため最少数のサイクルを必要
とすることが見出だされたことを意味する。低い沸点の
溶媒が使用されるとき、必要とされるサイクル数は溶媒
（あるいは高い沸点）が存在しないときよりかなり低い
。低い沸点の溶媒が使用されるなら、気泡を排除するた
め必要とされるサイクル数はかなり減少される。低い沸
点の溶媒が使用されるとき、低い沸点の溶媒が被覆の粘
度を減少する傾向にあるので弱まる（Ｓａｇｇｉｎｇ　
）のを阻止するため最も短い有効時間の間飽和された大
気に装置がさらされ、被覆を弱めることが注目されるべ
きである。

勿論、低い沸点の溶媒が使用されるなら、高い沸点の溶
媒は使用されない。

図面に示された本発明の実施例において、カップ３６を
使用された室１４　（発砲部材が使用されるか否かいず
れか）における流体を飽和するための手段が使用され、
選択された溶媒の性能が使用される。他の適切な手段が
室の流体を飽和させるのに使用されても良い。もう１つ
の実施例において、例えば、この部材はほとんどの泡が
表面へ移動するまで脈動動作にさらされ、低い沸点を有
する溶媒は泡を爆発させるため表面付近における被覆の
粘度を低くするため室中へ導入される。更に、気体源５
５は所望される溶媒で飽和され、従って室における溶媒
供給の必要性を排除する。その代わりに１以上の分岐５
４および弁５Ｂが並列に配置され、各々は所望される溶
媒で飽和された空気（あるいは他の気体）へ接続される
。

本発明の更に別の実施例に従うと、上記のような処理サ
イクル後に厚膜組成物の被覆を有する部材は容器（同じ
あるいは異なる容器のいずれでも良く、観察手段を具備
しても具備しな（でも良い）の室中に配置され、その室
中の周囲雰囲気流体は上述された比較的高い沸点の溶媒
で飽和される。

本発明のこの実施例によれば、気泡を被覆から拡散によ
って排除するのに充分な期間中室の環境中に残される。

この期間は数秒乃至数時間である。

勿論、この期間は被覆の組成物および泡の大きさおよび
位置に依存する。高い沸点の溶媒の存在は被覆の蒸発の
速度を遅らせ、従って閉じ込められた気泡の被覆からの
より簡単な拡散を許容する。

本発明の実施例は、サイクルが低い沸点の溶媒を有する
環境において実行されるような実施例と独立にあるいは
その代わりに使用されても良い。例えば、上述のように
低い沸点の溶媒を伴わない容器における処理サイクル後
（蒸発を最少にする高い沸点の溶媒を伴っであるいは伴
わずに）、部品は気泡の表面への拡散を許容するのに充
分な時間にわたって高い沸点の溶媒を有する環境に単に
置かれるだけでいい。その代わりに、この部品が低い沸
点の溶媒を有する環境において前記のようなサイクルの
処理がされた後で更なる過程として高い沸点の溶媒を有
する環境にこの部品が置かれるようにしてもよい。

本発明の教示の利益を存する当業者は多数の修正を加え
ても良い。例えば、その他の適切な装置、さもなければ
光学装置が室１２中に配置された装置３０の被覆におけ
る脈動をモニタするため使用され、論議された方法で生
成されることも本発明の技術範囲中に含まれる。また容
器１２中の圧力を変えるための手段が別のものとして形
成されても良いことが明らかである。同様に、室の大気
が特定の溶媒によって飽和される装置が、前述されたも
のと異なっていても良い。更に、期間、圧力、および溶
媒もまた変えられても良い。これらおよびその他の修正
が特許請求の範囲によって定められる本発明の技術的範
囲に含まれるべきものと解釈される。

【図面の簡単な説明】第１図は本発明に従った装置の非常に様式化された概略
図である。第２図は第１図に示された装置の容器中の流体の圧力を
示すタイミング図である。１０・・・装置、Ｉ２・・・容器、１４・・・密閉室、
１６・・・ポート、１８・・・パイプ、２２・・・観察
窓、２４・・・ガスケット、３０・・・装置、３２・・
・トレー、３４・・・支持台、３Ｂ・・・カップ、３８
・・・吸収材料、４０・・・観察手段、５２・・・主要
ライン、５４゜５８・・・分岐ライン、５６．６０・・
・弁、６６・・・制御回路網、７０・・・真空ポンプ、
７４・・・タイマ、７６・・・源、７８・・・スイッチ
。図面の浄書（内容に変更なし）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）部品上に付着された厚膜組成物の被覆中に閉じこ
められた気体の存在を検出するための装置において、厚膜組成物を有する部品を受ける大きさで、初期に周囲
雰囲気の圧力を有する室を有している容器と、室内の部品を観察するための観察手段と、観察手段によって観察できる方法で厚膜組成物中に閉じ
こめられた気体を脈動させるため初期の圧力と初期の圧
力より小さい第２の圧力との間で予め決められたサイク
ル数だけ室内の流体の圧力を変えるための手段とを具備
する装置。
（２）各サイクルは室内の流体の圧力が初期の圧力であ
る第１の予め決められた期間と、それに後続する室内の
流体の圧力が第２の圧力である第２の予め決められた期
間とを含むものであり、第１の期間は０．１乃至２秒の
範囲内にあり、第２の期間０．５乃至１０秒の範囲にあ
り、室内の流体の初期の圧力が大気圧であり、第２の圧力が
４０トル以下である請求項１記載の装置。
（３）第１の期間は０．２乃至０．６秒の範囲にあり、
第２の期間が１乃至３秒の範囲にあり、室内の流体の第
２の圧力が１５トル以下である請求項２記載の装置。
（４）部品上に設けられた厚膜組成物の被覆中に閉じこ
められた気体の存在を検出するための方法において、ａ）容器の内部の初期の周囲の圧力を伴う流体を有する
室内に厚膜組成物を有する部品を配置し、この室が、ｂ）厚膜組成物中に閉込められた気体を脈動させるため
初期の圧力と初期の圧力より小さい第２の圧力との間で
予め決められたサイクル数だけ室中の流体の圧力を変化
させ、ｃ）閉じこめられた気泡の脈動を観察するため部品を観
察する過程を含む方法。
（５）各サイクルが室内の流体の圧力が初期の圧力であ
る第１の予め決められた期間と、それに後続する室内の
流体の圧力が第２の圧力である第２の予め決められた期
間とを含み、第１の期間は０．１乃至２秒の範囲内にあり、第２の期
間０．５乃至１０秒の範囲にあり、室中の流体の初期の圧力が大気圧であり、第２の圧力が
４０トル以下である請求項４記載の方法。
（６）第１の期間は０．２乃至０．６秒の範囲にあり、
第２の期間が１乃至３秒の範囲にあり、室内の流体の第
２の圧力が１５トル以下である請求項５記載の方法。
（７）部品上に設けられた厚膜組成物の被覆中に閉じこ
められた気体を排除するための装置において、初期に周囲雰囲気の圧力を有している厚膜組成物を受け
る大きさの室を有する容器と、厚膜組成物中に閉じこめられた気体の泡を爆発させるた
め初期の圧力と初期の圧力より小さい第２の圧力との間
で予め決められたサイクル数だけ室内の流体の圧力を変
化させる手段とを具備する装置。
（８）各サイクルが室内の流体の圧力が初期の圧力であ
る第１の予め決められた期間と、それに後続する室内の
流体の圧力が第２の圧力である第２の予め決められた期
間とを含み、第１の期間は０．１乃至２秒の範囲内にあり、第２の期
間０．５乃至１０秒の範囲にあり、室内の流体の初期の圧力が大気圧であり、第２の圧力が
４０トル以下である請求項７記載の装置。
（９）第１の期間は０．２乃至０．６秒の範囲にあり、
第２の期間が１乃至３秒の範囲にあり、流体の第２の圧
力が１５トル以下である請求項８記載の装置。
（１０）室内の流体を摂氏１２０乃至３５０度の範囲の
沸点を有する溶媒で飽和させるための手段を含む請求項
７乃至９のいずれか１項記載の装置。
（１１）溶媒がベータターピネオールである請求項１０
記載の装置。
（１２）室中の流体を摂氏１２０度以下の沸点を有する
溶媒で飽和させるための手段を具備する請求項７記載の
装置。
（１３）各サイクルが室内の流体の圧力が初期の圧力で
ある第１の予め決められた期間と、それに後続する室内
の流体の圧力が第２の圧力である第２の予め決められた
期間とを含み、第１の期間は０．１乃至２秒の範囲内にあり、第２の期
間０．５乃至１０秒の範囲にあり、室内の流体の初期の圧力が大気圧であり、第２の圧力が
４０トル以下である請求項１２記載の装置。
（１４）第１の期間は０．２乃至０．６秒の範囲にあり
、第２の期間が１乃至３秒の範囲にあり、室内の流体の
第２の圧力が１５トル以下である請求項１３記載の装置
。
（１５）溶媒が１，１，１トリクロロエタンである請求
項１２乃至１４のいずれか１項記載の装置。
（１６）部品上に設けられた厚膜組成物の被覆中に閉込
められた気体を排除するための方法において、（ａ）初
期に周囲雰囲気の圧力を有する流体を有する室内に厚膜
組成物を有する部品を配置し、（ｂ）厚膜組成物中に閉
込められた気体を爆発させるため初期の圧力と初期の圧
力より小さい第２の圧力との間で予め決められたサイク
ル数だけ室内の流体の圧力を変化させる過程を含む方法
。
（１７）各サイクルが室内の流体の圧力が初期の圧力で
ある第１の予め決められた期間と、それに後続する室内
の流体の圧力が第２の圧力である第２の予め決められた
期間とを含み、第１の期間は０．１乃至２秒の範囲内にあり、第２の期
間０．５乃至１０秒の範囲にあり、室内の流体の初期の圧力が大気圧であり、第２の圧力が
４０トル以下である請求項１６記載の方法。
（１８）第１の期間は０．２乃至０．６秒の範囲にあり
、第２の期間が１乃至３秒の範囲にあり、室内の流体の
第２の圧力が１５トル以下である請求項２３記載の方法
。
（１９）前記過程（ｂ）と同時に、室内の流体を摂氏１
２０度以下の沸点を有する溶媒で飽和させることを含む
請求項２２記載の方法。
（２０）各サイクルが室内の流体の圧力が初期の圧力で
ある第１の予め決められた期間と、それに後続する室内
の流体の圧力が第２の圧力である第２の予め決められた
期間とを含み、第１の期間は０．１乃至２秒の範囲内にあり、第２の期
間０．５乃至１０秒の範囲にあり、室内の流体の初期の圧力が大気圧であり、第２の圧力が
４０トル以下である請求項２５記載の方法。
（２１）第１の期間は０．２乃至０．６秒の範囲にあり
、第２の期間が１乃至３秒の範囲にあり、室中の流体の
第２の圧力が１５トル以下である請求項２６記載の方法
。
（２２）溶媒が１，１，１トリクロロエタンである請求
項１９乃至２１のいずれか１項記載の方法。
（２３）ｄ）請求項１９の過程に後続して、摂氏１２０
乃至３５０度の範囲の沸点を有する溶媒で飽和された流
体を有する容器の内部の室中に部品を配置し、ｅ）組成物中に残っている気体を表面へ移動させるため
予め決められた時間後に室から部品を除去する過程を含
む請求項１９記載の方法。
（２４）（ｃ）請求項１６の過程（ｂ）に後続して、摂
氏１２０乃至３５０度の範囲の沸点を有する溶媒で飽和
された流体を有する容器の内部の室中に部品を配置し、（ｄ）組成物中に残っている気体を表面へ移動させるた
め予め決められた期間後に室から部品を除去する過程を
含む請求項１６記載の方法。
（２５）（ｃ）前記過程（ｂ）と同時に、室中の流体を
摂氏１２０乃至３５０度の範囲の沸点を有する溶媒で飽
和させる過程を含む請求項１６記載の方法。
（２６）（ｃ）過程ｂと同時に、室中の流体を摂氏１２
０乃至３５０度の範囲の沸点を有する溶媒で飽和させる
過程を含む請求項１７または１８記載の方法。
（２７）溶媒がベータターピネオールである請求項２３
乃至２６のいずれか１項記載の方法。