JPS60255671A - 高強度多孔質炭化ケイ素焼結体とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、炭化ケイ素結晶からなる低嵩密度かつ高強度
の多孔質炭化ケイ素焼結体に関し、さらに本発明は該多
孔質炭化ケイ素焼結体の製造方法に関する、 従来、表面に気孔のあるところの開放気孔を有するセラ
ミックＦＴ多孔体は、（イ）骨材粒子をガラスに１フラ
ツクスあるいは粘土質などの結合剤を加えて高温焼成す
ることによって固めたような構造を持つもの並びに、（
口］可燃性物質と骨材粉末を混合し焼成することによっ
て可燃性物質をガス化除去して製造するものとがある。

前者（イ）のセラミック質多孔体をモデル的に図示すれ
ば、第１図に示すように結合相位）で均一にコートされ
た骨材（イ）が密に圧縮され焼成によってこれらが作置
に結合すると同時に、これらの間隙が気孔に）となる。

骨材形状は多角形であり不規則なものが多く、気孔はく
さび状である。また、骨材の占める容量に対し気孔の占
める割合は３０〜４０％と比較的少ない。そのため、通
気抵抗は大きく気体や液体の流体物との接鹸有効面伊は
少なく、気体沖過には適さない場合があり、特に触媒担
体などの用途には適さないものが多い、そして、微小気
孔を有するものは、粒度配合を粗粒と微細粒子を適度に
配合せしめる必要上、成形体の嵩密度は著しく高くなる
、したがって気孔率は小さくなりまた一部閉気孔化が生
じる、一方、この方法によれば比較的大きい気孔を有す
る多孔質体は当然骨材粒子も大きくなるため、粒子間の
接舶点が少く機械的強度は嵩密度が高い場合の２分の１
以下に低下する。このため。

前述した如き結合剤が使用されるが、この時多孔画体の
強度は結合剤に左右される、すなオ）ち、この結合剤は
１０００〜１４００℃の高温焼成により、溶融し、骨材
の表面で反応しコーティング層を形成すると共に結合剤
相互の融着によって骨材を結合する機能を持つが当然の
如く、高温度で使用する際、特にガラス転位温度付近で
は変形を生じ著しく強度が低下する欠点がある。

次に後者（口］のセラミック宵多孔体は、第２図に示す
ような、いわゆるスケルトン構造体と呼ばれる大小のセ
ル状骨格で構成されている。そのため比較的大きいセル
状骨格に）が占める割合が多い場合は気孔率は８０−９
０容ＩＩｋｔＩＡと高くなる反面、曲げ強度は１０ｋｔ
ｉ／を一以下と低くなる欠点がある。

一方、比較的小さいセル状骨格（支）が占める割が多い
場合は気孔率は６０〜７０容量％と低くなる欠点があゆ
、しかも曲げ強度は約１２〜１３　ｋＱ／ｄとやや向上
するものの実用的な面からみれば１機械的強度に乏しい
ものである。

このようなスケルトン構造体の製造方法としては、例え
ば特開昭５８−１２２０１６号公報や特開昭４８−８１
９０５号公報で 「高分子発泡体材料に炭化珪素素地泥漿を含浸し、該高
分子発泡体材料を熱処理により消失せしめて炭化珪素素
地スケルトン構造体を形成し、該構造体を１９００〜２
３００℃の温度においてアルゴン中にて一次焼成し次い
で１６００〜２１００℃の温度にて１〜２００気圧の窒
素ガス中にて二次焼成しその後その両端に耐熱性電すを
形成し通電可能として成る通ｔｆｔ発熱可能な灰化珪素
フィルタの製造法。」並びに ［微細に粉砕されたセラミック材料を含むスラリーを有
機質発泡体に含浸させ、こうして含浸された発泡体を乾
燥し、焼成し、その際発泡体にスラリーを含浸させるに
先立ち、発泡体は、スラリー中の粒子状材料が発泡構造
物の表面に粘着するに至るように処理されることを特徴
とする、多孔性セラミック材料の製造方法。」が開示さ
れている。

しかしながら、これらの１１４ｍ法によればポリウレタ
ンなどの高分子発泡体で骨格を形成しているため耐薬品
性や耐熱性などに一定の限界があり、またこの方法で得
られた多孔質体は、嵩密度が小さく、気孔率は高いもの
であるが、強度が著しく低いものである。

また、後者（ロ）は前者（イ）と比較して一般に気孔径
、気孔率は大きいが、−細気孔の独立気放化や内部空隙
に対して隔壁部に生じた連続気孔径が小さくなる場合が
あるので、流体を通過せしめるには通過抵抗が大となる
欠点があった、 一方、これら上記の方法により得られる多孔性セラミッ
ク構造体の欠点を解決する方法として、特開昭４９−３
６７０８号公報や特開昭５３−１１２９１０号公報で 「無機質原料粉末を主成分とし、水分１０〜３０％と有
機質粘結剤１０％以下とを含む調合物で単位体積当り５
　ｃｄ／ｄ以上の表面積を有するハニカム構造体を押出
成形し、該成形体を０℃以下に冷却し、或いは冷却しつ
？真空雰囲気に保ち、水分を蒸発除去して幹燥し、つい
で焼結することを特徴とするハニカム構造体の製造法。

」により、第３図（イ）に示すような、例えば 「互いに平行な多数の貫通孔の形状が四角形よりなり、
該Ｉ通孔に直角な断面の外形形状が長円形状よりなるセ
ラミックハニカム構造体」が得られることが開示されて
いる。

しかしながら、上記方法により得られるセラミックハニ
カム構造体は、１ｄ当り３００−４００個のセル（細孔
）を有しており、隔壁の厚さは１５０μｍと精密なもの
ではあるが、セル構造が直線的なストレート構造を基本
としているため、自動車の排気ガス用触媒担体などの用
途に限られている。

したがって、前述した従来法で製造したセラミック多孔
質体は高強度と低嵩密度あるいは高気孔率を兼備したも
のは事実上存在していない現吠にあ′ろ。

ところで、本発明者は炭化ケイ素の粉末を主成分とする
原料組成物を成形し、焼結体をハリ造していたところ、
通常緻密化した後に焼結体に形成される結晶が緻密化す
ることなく、極度に板状結晶が発達することを新規に知
見【７た。そこで、本発明者は前記現象について種々検
討し研究した結果、板状結晶が複雑な状態で絡み合い三
次元の網目構造が形成された全く新しいタイプの多孔質
炭化ケイ素焼結体が得られ驚くべき性能を有することを
新規に発見し、本発明を完成するに至った。

本発明は気孔が連続し、かつ直線的でない構造を有し、
かつ良好な強度と低嵩密度を兼備した多孔質炭化ケイ素
焼結体並びにその製造方法を提供するものである。

本発明によれば、前記目的に対して、本多孔質炭化ケイ
素焼結体はアスペクト比が２〜５ｏの炭化ケイ素板状結
晶を主体として構成する三次元の網目構造を有し、嵩密
度が０．２〜２．０を有することを特徴とする焼結体で
あり、該焼結体は少くとも６０重！１％のβ型炭化ケイ
素からなる炭化ケイ素粉末を出発原料とし必要により結
晶成長助剤を添加する工程と前記渥合物に成形用結合剤
を添加混合し、所望する°形状に成形する工程と次いで
前記成形体を焼成する工程とにより得られるものである
。

次に本発明の詳細な説明する。

本発明によれば、前記多孔質体はアスペクト比が２〜５
０の炭化ケイ素板状結晶で構成されていることが必要で
あり、その結果生成する該結晶は三次元の網目構造とな
っていることが特徴である。

このようにアスペクト比の下限を設ける理由は、前ｎｅ
板吠結晶のアスペクト比が２より少いと、炭化ケイ素結
晶によって構成される気孔が、結晶の占める容積に比べ
て小さくなるため、高い気孔率と大きな気孔径を有する
ことが困難となるためでアル。一方、前記板状結晶のア
スペクト比が５０以上になると、板状結晶の接合部の強
度が低くなるため、多孔置体自体の強度が著しく低いも
のとなるからであり、なかでも前記板状結晶のアスペク
ト比は３〜３０であることがより好適である。

また、前記板状結晶の短軸方向の厚みは帆１〜３００７
ｚｍであることが好ましく、なかでも０．５〜２００７
１ｍであることが最適の条件である。

そり、て、ｍ１記板状結晶は前記板状結晶は前記多孔質
体１００重量部に対し、少くとも２ｏＭ量部を占めるこ
とが重要である。その理由は、２０重量％よりも少いと
、結晶によって形成される気孔が、結晶の占める各間に
対して少なくなり、また、板状結晶の接合面積が少くな
るため、多孔質体の機械的強度が著しく低下するものと
考えられるからである。なかでも、少くとも４０重量部
であることが最も好適に使用できる条件である。

また、前記量目構造の開放気孔径は０．１〜５ｏｏμｍ
であることが好ましく、なかでも、０．５〜３００μｍ
であることが最適の条件である。

そして、前記網目構造の開放気孔率は２０〜９５容量％
であることが好ましく、なかでも、３０〜９０容量％で
あることが最適の条件である、本発明において、前記出
発原料としてはα型結晶、β型結晶あるいは非結晶炭化
ケイ素を使用することができる。なかでも特にβ型結晶
および２Ｈ型のα型結晶を主体とする炭化ケイ素を使用
することが有利である。この理由は、これら結晶は約２
０００℃以下の低温域で安定であり、２Ｈ型を除＜４Ｈ
１６Ｈあるいは１５Ｒ型等の高温安定型ｌｌ型結晶に相
転位の際、板状結晶が生じゃすい。

また、これらの低温安定型結晶は合成される温度が比較
的低く、最高焼成温度との温度差により結晶の成長性が
優れているためである。

また、本発明において、前記出発原料としては少くとも
６０重量％のβ型炭化ケイ素からなるものであることが
重要である。その理由はβ型炭化ケイ素が６０重量％よ
りも少いと、板状結晶が十分に発達せず、板状結晶の接
合面積が少くなるため、多孔質体の機械的強度が著しく
低下するためである。なかでも、少くとも７０重量％で
あることが最も好適に使用できる条件である。

そして、前記出発原料は平均粒径が１０μｍ以下の微粉
末であることが好ましい。平均粒径がＩＱ／ｊｒｎより
も大きい粉末は、粒子相互の接触点が比較的少く、しか
も板状結晶の成長性に著しく欠けるため、高強度の多孔
質体を得ることが困難であるからである。なかでも、平
均粒径は５μｍ以下であることが最も好適に使用できる
条件である。

前記出発原料は１に今以上の比表面積を有することが好
ましい。その理由は比表面積が１１ｄ／ｆよりも小さい
と、粉末の表面が安定で板状結晶の成長性に乏しいため
、高強度の多孔質体を得ることが困難であり、なかでも
、５ｄｌ’１以上の比表面積を有していることが最適で
ある。

本発明における前記出発原料には不可避的不純物として
、Ｔ、ｉ、　Ｂｅ、　１３．Ｃ，Ｎ、　Ｎａ、　Ｍｇ、
ＡＩ、８ｉ、Ｐ、　Ｓ、に、　Ｃａ、　Ｓｃ、　Ｔ　ｉ
、■、Ｃｒ、　Ｍｎ、　Ｆｅ−Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、　Ｚ
ｎ、　Ｇａ、　Ｇｅ、　８　ｒ、　Ｙ、　Ｚ　ｒ、　Ｎ
ｂ、　Ｍｏ、Ｂａ、　Ｔａ、Ｗより選ばれるいずれか少
くとも１種の元素からなる化合物あるいは単体を含有し
ていることが好ましい。なかでも、Ｂ、Ｃ，Ｎ、ＡＩ、
Ｆｅから選ばれるいずれか少くとも１種以上の元素であ
ることが最も好適である。

前記不可避的不純物は炭化ケイ素粉末ｉｏｏ原子置部に
対し、各元素に対し原子量に換算した原子量の合計が（
１，００５〜１０原子量部含有されていることが好まし
い。その理由は、前記不可避的不純物が０．００５原子
量部よりも少いと、板状結晶の成長が著しく低下し、板
状結晶が十分に発達せず、一方、１０原子量部よりも多
いと炭化ケイ素結晶間に前記不可避的不純物が析出し、
板状結晶接合部の強度を著しく低下するため、高強度の
多孔質体を得ることが困難となるからである。なかでも
、前記不可避的不純物は０．０１〜５原子量部を含有し
ていることが最も好適に使用できる条件である。

本゛発明によれば、前記出発原料に必要により結晶成長
助剤が添加される。前記結晶成長助剤はＬｉ、　Ｂｅ、
　Ｂ、　Ｃ，Ｎ、　Ｎａ、　ＭＰ、ＡＩ、Ｓｉ、Ｐ％８
．　Ｋ％Ｃａ。

Ｓｃ、　Ｔｉ、　Ｖ、Ｃｒ、　Ｍｎ、　Ｆｅ、　Ｃｏ、
Ｎｉ、　Ｃｕ、　Ｚｎ、　Ｇａ、Ｇｅ、　Ｓｒ、　Ｙ、
　Ｚｒ、　ＮｂｌＭｏ％Ｂａ、　Ｔａ、Ｗより選ばれる
いずれか少くとも１種の元素からなる化合物あるいは単
体を使用することができる。なかでも、Ｂ、Ｃ，Ｎ、Ａ
Ｉ、ｌ’ｅから選ばれるいずれか少くとも１種以上の元
素からなる化合物あるいは単体であることが好ましい。

なかでも、酸化物牛るいは単体であることが有利である
。

前記結晶成長助剤は各元素に対し原子量に換算した原子
量の合計と前記不可避的不純物の原子量の合計との和が
、炭化ケイ素粉末１００原子量部に対し、０．００５〜
ｌＯ原子量部となるように、必要により添加せしめるこ
とが最も好適である。

前記結晶成長助剤と出発原料との混合は、必要により乾
式あるいは湿式で混合することができるが、なかでも湿
式混合は、出発原料中に前記結晶成長助剤が均一に混合
できるため有利である。

本発明によれば、必要により前記混合物に成形用結合剤
が添加される。前記成形用結合剤は原料粉末に配合され
ることによって成形時における低嵩密度の炭化ケイ累生
成形体に強度を与え、取り扱いを容易にする。前記成形
用結合剤として良好な生成形体強度を与えるものとして
、澱粉、デキストリン、アラビアゴム、カゼイン、糖蜜
、Ｎａカルボキシメチルセルロース、メチルセルロース
、ポリビニルアルコール、ポリビニルメチルエーテル、
ポリアクリＶ酸アミド、タンニン酸、流動ハラフィン、
ワックスエマルジぢン、エチルセルロース、ポリビニル
アセテート、フェノールレジン、酢酸セＶロース、グリ
セリン、ポリエチレングリフ−Ｖ等があり、これらを１
種あるいは２種以上含有させることができる。

本発明によれば、前記混合物より所望する形状を持った
成形体を得る方法として、ダイブレス、静水圧プレス、
押出成形、射出成形、鋳込み成形。

ドクターブレード成形、ろくろ成形および揺動成形があ
り、これらを１種または２種以上用いることができる。

一般に嵩密度が小さく、高強度の多孔質体を得るために
は骨材と気泡、有機結合剤、水分等の低温度揮発あるい
は分解成分とが均一にしかも微細に分散し、前記板状結
晶が均一に成長することが重要である。一方、成形の段
階ではこのような混合物が型内に均一に流れ込み均質な
成形体を得ることが重要である。このように、骨材と低
温度揮発分あるいは分解成分が均一に分散し、しかも、
均質な成形体を得る方法として押出成形、射出成形、ド
クターブレード成形、鋳込成形が有利である。

前記成形体の炭化ケイ素の占める容量は３〜８０％であ
ることが好ましい。その理由は、炭化ケイ素の占める容
量が３％より小さいと、原料粉末個々の距離が長くなり
、板状結晶が成長できず、また、生成形体の強度が著し
く低下し、取り扱いが極めて困難となるためである。一
方、炭化ケイ素の占める容量が８０％より大きいと板状
結晶の成長が著しく、アスペクト比が著しく小さな網目
構造となり、低嵩密度で高い強度を有する多孔質体を製
造することが困難となるからである。なかでも、成形体
に占める炭化ケイ素の容量は７〜７０％であることが最
も好適の条件である。

本発明によれば、前記成形体を焼成し、板状結晶を成長
するためには、最高焼成温度が１７００〜２２００°Ｃ
であることが好ましい。最高焼成温度が１７００°Ｃよ
り低いと、前記成形体を構成する炭化ケイ素微粉末が十
分に成長を起こさず、弱い板状結晶となる。一方、２３
００°Ｃより高くしても板状結晶は発”達することがな
く実用的でない。なかでも、最高焼成温度は１８００〜
２２００°Ｃの範囲であることが最適の条件である。

本発明によれば、前記最高焼成温度を０．１〜１０時間
細持することが好ましい。最高温度における維持時間が
０．１時間よりも短いと炭化ケイ素の板状結晶の成長が
不完成となり、その強度は弱いものとなる。一方、１０
時間よりも長く最高焼成温度を維持しても、板状結晶は
成長することがなく、実用的でない。なかでも、０．５
〜５時間最高焼成温度を維持することが最適の条件であ
る。

前記焼成の雰囲気としては、主としてＨｅ、Ａｒ、Ｋｒ
、Ｆｚ、ＨＦ、■ＩＱ１．　ｃ１２．　Ｎｅ、　Ｈ２か
ら選ばレルイずれか少くとも１種を使用することが好ま
しい。

また、前記焼成雰囲気の圧力としては、０．０１〜１Ｑ
ｑｔｉｎであることが好ましい。焼成の雰囲気の圧力が
Ｑ、１ａｔｉｎより低いと炭化ケイ素の結晶成長ハりも
分解反応が進むため、結晶成長が抑制されるからである
。一方、前記圧力が１０ａｔｉｎよりも高くても、結晶
成長が促進することがないため実用的でない。なかでも
、雰囲気圧力が０．０５〜５ａｔｉｎであることが最も
好適である。

本発明において、前記雰囲気中にＬｉ、　Ｂｅ、　Ｂ。

Ｃ，Ｎ、　Ｎａ、　Ｍｆ、　ＡＩ、８　ｉ、　ｐ、　ｓ
、　Ｋ、　Ｃａ、８ｅ、Ｔｉ。

■、Ｃｒ、　Ｍｎ％Ｆｅ、　Ｃｏ、　Ｎｉ％Ｃｕ、Ｚｎ
、Ｇａ、　Ｇｅ、　Ｓｒ、Ｙ、　Ｚｒ、　Ｎｂ、　Ｍｏ
、　Ｂａ、　Ｔａ、　Ｗより選ばれるいずれか少くとも
１種の元素からなる化合物あるいは単体を含有すること
が好ましく、特に酸化物あるいは単体であることが好適
である。なかでも、Ｂ、Ｃ，ＡＩ、Ｆｅより選ばれるい
ずれか少くとも１７９の元素からなる化合物あるいは単
体を含有することが最適の条件である。

前記雰囲気ガス中に含まれる元素は、雰囲気ガス１００
原子量部に対し、各元素に対し原子量換算した原子量合
計が０．０５〜１０原子量部であることが好ましい。そ
の理由は雰囲気ガス中に含まれる前記元素が０．０５原
子量部よりも少いと、板状、結晶の成長が著しく低下し
板状結晶が十分に発達しない。一方１．１０原子量部よ
り多いと、板吠結晶粒界内に前記元素が析出し、板状結
晶接合部の強度を著しく低下するためであり、高強度の
多孔質体を得ることが困難であるためである。なかでも
、雰囲気ガス中に含まれる元素は０．１〜５原子量部で
あることが最も好適な条件である。

次に本発明を実施例について説明する。

実施例１ この実施例の原料バッチに対して、８０重量％がβ型結
晶および５重量％の２Ｈ型、１０重量％の４Ｈ型α型結
晶からなる出発原料を用いた。この出発原料には不純物
としてＢが０．０１　、Ｃが０．５、Ａ１が２．１Ｏ１
Ｎが０．２、Ｆｅが０．０８原子量部、その他の元素は
痕跡置台まれており、これら不純物総量は２．９１原子
量部であった。また、仁の出発原料の平均粒径は帆８μ
ｍ、比表面積は５．２ｖｆ／ｆであった。これに成形用
結合剤としてメチルセルロースを１５重量部添加し、ボ
ールミルにより水を分散媒として混合した後乾燥した。

この混合物を５００　ｋｑ／ｄの圧力で押出成形したと
ころその成形体に占める炭化ケイ素質は２５容量％であ
った。この成形体をＡＩ熱蒸気原子量部を含んだアルゴ
ンガス、９．５ａｔｉｎ中で、室温〜５００°Ｃまで３
°Ｃ／ｓｉｘの昇温条件で前記結合剤を熱分解した後、
５００〜２１００℃まで５℃／ｉで昇温し、最高温度で
４時間保持した。

この焼結体は第３囚に示す構造を有しており、板状結晶
のアスペクト比”７〜１５、短軸方向厚みが４０〜１５
０μｍであり、板状結晶の占める割合が炭化ケイ素Ｗ　
１００重量部に対して９８重量部である嵩密度０−７１
ｆ／Ｃｄの網目構造を有した多孔質体であった。この多
孔質体の開放気孔径は８０〜３５０μｍで、開放気孔率
は７８容量であり、曲げ強度は　１７０　ｋｇ／ｃｄの
高強度であった。

実施例２ 平均粒径０．２μｍ、比表面積１９．５Ｗｆ／ｆ／であ
る。

９８重量％がβ型結晶、２％が２Ｈ型結晶である炭化ケ
イ素粉末を出発原料に用いた。この原料粉末にはＣ，Ａ
Ｉ、Ｃａ、Ｆｅが痕跡量しか含まれていなかツタｆ：　
ＩＴ’）、Ｂ２Ｏ３、Ｃｒｚ０３、およびＬＯ２をそれ
ぞれ０．Ｏ１原子量部、計０．０３原子量部を添加し、
これに成形用結合剤としてポリエチレングリコールを２
重量部添加し、アトライター混合機中でベンゼンを用い
て分散混合した後、噴霧乾燥した。この顆粒を１００　
ｋｇ／ｄでダイプレスし、その後１−５　ｔ　Ａｉｓの
ラバープレス成形した。この成形体に占める炭化ケイ素
質は５５容量％であった。この成形体をＢ２Ｏ３，０，
４原子量部を含むＨ２ガＸ４ａｔｉｎ中で室温〜３００
℃まで５°Ｃ／ｍ、３００〜２２００℃まで３０°Ｃ／
ｍで昇温し、最高温度で０．５時間保持した。

この焼結体は第４図に示す構造を有しておりアスペクト
比が１０〜２０、短軸方向厚みが２〜５μｍの板状結晶
が炭化ケイ素結晶体の９５重ｊ１％からなる嵩密度１．
５５　ｆ／ｃ４多孔質体であった。この多孔質体の開放
気孔径は１〜７μｍ、開放気孔率は５２容量％であり、
曲げ強度は１．８５０　ｋｔｉ／ｄであった。

実施例３．４ 実施例１あるいは２と同様の方法で製造した炭化ケイ素
多孔質体の特性を下記の表にまとめた。

比較例１．２ 比較例１．２は実施例１で成形体に占める炭化ケイ素の
含有率と焼成条件を変えて、多孔質体を構成する板状結
晶のアスペクト比を変えたものである。比較例１ではア
スペクト比を小さくなると強度は強くなるが気孔率、気
孔径、気孔率が著しく小さいことがわかる。一方、・ア
スペクト比が大きくなると逆に気孔径、気孔率は大きい
が強度が著しく低いものとなった。

表・多孔質炭化珪素焼結体の諸性能 以上述べた如く、本発明によれば、アスペクト比が２〜
５０の板状結晶より構成される多孔質炭化ケイ素焼結体
は、良好な気孔径および気孔率と高い強度を兼備した多
孔質体であり、各種ｐ過フィルター、集塵装置あるいは
分級装置、化学反応工業における触媒あるいは触媒担体
、熱交換器、液体保持用骨材、複合材料骨材等広範囲な
用途に対し、良好な特性を与うろことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は従来のセラミック多孔質体の説明図、
第４〜図は本発明の高強度多孔質炭化珪素焼結体の電子
顕微鏡による拡大写真である。 特許出願人 イビデン株式会社 代表者多賀潤一部 第１図 第３図 （イ） 一゛−；二＆ｓ　％＞　Ｊｚへ代置゛゛−ト長二ヌ■１
−鏑′手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和５９年特許陣第１０９９０８号 ３、補正をする者 事件との関係　出願人本人 居　所　〒５０３岐阜県大垣市神田町２丁目１番地４、
補正命令の日付 昭和５９年８月８日（昭和５９年８月２８日発送）５、
補正の対象 明細書の「図面の簡単な説明」の補 油　正　の　内　容 １、明細冑の「図面の簡単な説明」の掴明細書第２６頁
第３行から第５行までに記載の「第１図〜第３図・・・
・・・・・・・・・９子顕微鏡による拡大写真である。 」とあるを、 「第１図、＠２図及び第３図は従来のセラミック多孔背
体の説明図、第４図及び第５図は本発明の高強度多孔寵
炭化珪素焼紡体の結晶の１１１ｒ子顕微鏡写真である。 」と訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、アスペクト比が２〜５０の板状結晶を主体として構
   成される三次元の網目構造を有し、嵩密度が０．２〜３
   ．Ｏｆ／ＣＡであることを特徴とする高強度多孔質炭化
   ケイ素焼結体。 ２、前記板状結晶の短軸方向厚みが０．１〜３０ｏｐｎ
   である特許請求の範囲第１項記載の多孔質炭化ケイ素焼
   結体。 ３、前記板状結晶は前記多孔質体１００　ｉ置部に対し
   、少くとも２０重量部含有されている特許請求の範囲第
   １あるいは２項いずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結
   体。 ４、前記三次元の網目構造の開放気孔径が０．１〜５０
   ０／ｆｆｎである特許請求の範囲第１〜３項いずれかに
   記載の多孔質炭化ケイ素焼結体。 ５、前記三次元の網目構造の開放気孔率がｚＯ〜９５容
   量％である特許請求の範囲第１〜４項いずれかに記載の
   多孔質炭化ケイ素焼結体。 ６、少（とも６０重量％のβ型炭化ケイ素からなる炭化
   ケイ素粉末を主成分とする出発原料に必要により結晶成
   長助剤を添加し均一に混合する工程（イ）と、前記混合
   物に必要により成形用結合剤を添加し均一に混合し、所
   望する形状に成形する工程（ロ）と、前記成形体を焼成
   する工程（１）とから成り、アスペクト比が２〜５０の
   板状結晶を主体として構成される三次元の網目構造を有
   し、嵩密度が０．２〜３．０ｇ／ｄを有する多孔質炭化
   ケイ素焼結体が得られることを特徴とする高強度多孔質
   炭化ケイ素焼結体の製造方法、 ７、前記出発原料は平均粒径が１ｏＩＪ、ｍ以下の微粉
   末である特許請求の範囲第７項記載の多孔質炭化ケイ素
   焼結体の製造方法。 ８、前記出発原料は１ｒｒｔ７ｙ以上の比表面積を有す
   る特許請求の範囲第７〜８項に記載の多孔質炭化ケイ素
   焼結体の製造方法。 ９、前記出発原料は不可避的不純物としてＬｉ、Ｂｅ、
   　Ｂ、Ｃ，Ｎ％Ｎａ、　Ｍ１７、Ａ　Ｉ、　Ｓｉ、　Ｐ
   ％８．　Ｋ、　（−：ｎ、。 ８ｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ％Ｍｎ％Ｆｅ％Ｃｏ、　Ｎ　ｉ％
   Ｃｕ、　７＋ｎ、Ｇａ。 Ｇｅ、　Ｓ　ｒ、　Ｙ、　Ｚｒ、　Ｎｂ、　Ｍｏ、１３
   ａ、Ｔａ、Ｗより選ばれるいずれか少くとも１種の元素
   からなる化合物あるいは単体を、炭化ケイ素粉末１００
   綜子量部に対し、各元素に対し原子量に換算した原子量
   の合計が０．００５〜１０原子承部含有さ、れている特
   許請求の範囲第７〜９項いずれかにｙｒ！賊の多孔質炭
   化ケイ素焼結体のｔｉｙ造方法。 ｌＯ１前記工程（イ）において、前記結晶成長助剤がＬ
   ｉ、　Ｂｅ、　Ｂ、　Ｃ，Ｎ、　Ｎａ、　Ｍｆ、Ａｔ、
   ８ｉ、Ｐ、　Ｑ、に、　Ｏｎ、Ｓｃ、　Ｔｉ、　Ｖ、　
   Ｃｒ、　Ｍｎ、　Ｆｅ、　Ｃｏ、　Ｎｉ、　Ｃｕ、Ｚｎ
   、　Ｇａ、　Ｇｅ、Ｓ　ｒ、Ｙ、Ｚｒ％Ｎｂ、　Ｍｏ、
   Ｂａ、Ｔａ、Ｗより選ばれるいずれか少くとも１種の元
   素からなる化合物あるいは単体である特許請求の範囲第
   ７〜１０”１いずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体
   の製造方法、１１、前記工程（イ）において、前記結晶
   成長助剤を、各元素に対し原子量に換算した原子量の合
   計と前記不可避的不純物の原子量合計との和が、炭化ケ
   イ素粉末１００原子量部に対し％０．００５〜ｌＯ原子
   爪部と・なるよう添加せしめる特許請求の範囲第７〜１
   １項のいずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体の製造
   方法。 １２、工程（四において、成形体に占める炭化ケイ素の
   容量が３〜８０％である特許請求の範囲第７〜１２項の
   いずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体の製造方法。 １３、前記工程（ハ）において、最高焼成温度が１７０
   ０〜２３００℃である特許請求の範囲第７〜１３項いず
   れかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体の製造方法。 １４、前記工程９羽こおいて、少なくとも０．１〜１０
   時間の間、最高焼成温度を維持する特許請求の範囲第７
   〜１４項いずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体の製
   造方法。 １５、前記工程ｆ−４ｉこおいて、焼成の雰囲気が主と
   してＨｅ、　Ａｒ％Ｋｒ、　Ｎｅ、　Ｈｚ、Ｆｚ、　Ｈ
   Ｆ、　Ｈａｄ、　ａｌｚから選ばれるいずれか少くとも
   ＩＩＩである特許請求の範囲第７〜１５項いずれかに記
   載の多孔質炭化ケイ素焼結体の製造方法。 １６、前記工程Ｇ”？１こおいて、焼成の雰囲気の圧力
   が０．Ｏ１〜１０ｎｔｉｎである特許請求の範１（計容
   ）〜１６項いずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体の
   製造方法、 １７、前記工程ｆ）Ｉζおいて、焼成の雰囲気はＬｌ、
   Ｂｅ、　Ｂ％Ｃ，Ｎ、　Ｎｎ％Ｍｆ、　ＡＩ、Ｓ　ｉ％
   Ｐ、　８．に、Ｃａ、　８ｃ。 Ｔ　ｉ、　Ｖ％Ｃｒ、　Ｍｎ、　Ｆｅ、　Ｃｏ、　Ｎ　
   ｉ、Ｃｕ、　Ｚｎ％Ｇａ、　Ｇｅ、８ｒ。 Ｙ、　Ｚｒ、　Ｎｂ、　Ｍｏ、　Ｂａ＝　Ｔ’ａ、　Ｗ
   より選ばれるいずれか少くとも１種の元素からなる化合
   物あるいは単体を、前記焼成の雰囲気１００原子唄部に
   対し、各元素に対し原子量に換算した原子量の合計が０
   ．０５〜１０原子垣部含有している特許請求の範囲ｔＪ
   ７〜１７項いずれかに記載の多孔質炭化ケイ素焼結体の
   製造方法。