JPS59136948A - 集積回路チツプ - Google Patents

集積回路チツプ

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JPS59136948A
JPS59136948A JP59004927A JP492784A JPS59136948A JP S59136948 A JPS59136948 A JP S59136948A JP 59004927 A JP59004927 A JP 59004927A JP 492784 A JP492784 A JP 492784A JP S59136948 A JPS59136948 A JP S59136948A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は集積回路要素にタイミングパルスを供給するた
めの少くとも1個のクロック分配線を含む集積回路チッ
プに係る。
超大規模集積(VLSI)半導体チップの要素の大きさ
が減少し、動作周波数が増すにつれ、当業者には“′ク
ロックスキーパとして知られる問題が、より議論される
ようになった。クロックスキューはタイミングパルスが
、設計された到着時刻から集積回路要素に到着する時間
のずれである。
この問題は、約1ミクロンの要素の大きさおよび25メ
ガヘルツ(MH2)の動作において、許容されなくなる
クロックスキューを減すためのほとんどの努力は、等距
離または非常に短距離のクロック分配線を作成すること
に向けられてきた。
この目的のために、多くの集積回路チップは集積部分と
してクロック源を有する。遅延補償要素がしばしば導入
きれた。しかし、ある種の予期されない伝搬遅延が起こ
り、より高い周波数でこれらの効果はより有害になるこ
とがわかった。
これらの問題は、本発明に従う集積回路チップにより解
決される。本発明ンこ従う集積回路は、クロック分配線
の相対する側に固定されたd−c電位に保つのに適した
第1および第2の線を含み、第1および第2の線は密接
に隣接し、クロック分配線に平行であることを特徴とす
る。
第1図は周知のフォトリソグラフィ技術により、半導体
チップ(10)中に規定した典型的な集積回路マイクロ
プロセッサを示す。
マイクロプロセッサは制御部(11)、論理部(12)
およびデータバス部(16)から成る。制御および論理
部はワイヤリングパターン(15)により相互接続され
ている。
第2図は第1図のワイヤリングパターン(15)の拡大
された一部を示す。パターンは3請の表示線<21 .
22)および(25)を示す。インバータ(24,25
,21り)および(27)はある種の論理回路を表わす
線の端部に接続され、その具体的な性質は本発明を理解
する上で重要ではない。別の接地バス(28)も示され
ている。接地バス(28)は通常リード(29)によシ
、チップ牛ヤリヤ(図示されていない)上の外部端子に
接続されている。バス(28)とワイヤリングパターン
の任意の線の間には、電気的接続がないことに注意され
たい。
第6図は第2図に示されたマイクロプロセッサの、図中
の破線(1−11’)に清ってとった一部分の断面を示
す。線(21,22)および(23)Hチップの一部で
あるシリコン基板層(31)上の酸化物表面層(60)
の上に規定された金属から成る。金属パターンは通常の
ように、窒化物層(62)で被覆源れ・ている。誘電率
εは窒化物に対し7,5、酸化物に対し6,7と仮定す
る。また、線(21゜22)および(26)のそれぞれ
の断面は正方形で、線間の間隔は酸化物層の厚さと正方
形の一辺にほぼ等しい。寄生容量は容量(55゜36)
および(67)で表わされる。線(22)が経験する最
悪の場合の容量0.V%Iは、C22” ”” C57
+4056    (1)である。ここで、0,7;T
hよびCう。はそれぞれ容量(67)および(66)の
容量である。
最悪の場合は、中央線(22)および線(21゜23)
が同時に相対する極性にスイッチしたときに起る。一方
、最善の場合の容量は、OB=O,(2) 2 で表わされる。最善の場合は6個の容量すべてが同時に
同じ極性にスイッチしたときに起る。それは次のように
示される。
B 2 C−Cと仮定した。容量のそのような犬55    5
6 きな不確定さが生じる可能性は小さいが、50パ一セン
ト程度の不確定さは起り、回路動作に大きな影響をおよ
ぼす。線(22)がクロック分配線である場合、クロッ
クパルスに予期できないずれが起る。1ミクロン技術の
VLSIチップの場合、クロックスキューは通常2・ト
確定なりロック分配線の容量で全体が央址るであ、ろう
第4図:・↓それぞれ第2図の線(21,22)および
(23)に対応する6本の線(41゜42)および(4
6)を含む第1図のワイヤ部分(15)の一部を示す。
図はまた、線(42)のいずれかの側に配置された2つ
の追加きれた導電体線(44)および(45)を示し、
それらの基本的な機能は本発明の原理・ に従い、線(
41)または(46)のいずれかから、線(42)を静
電的に遮蔽することである31図はまた、第2図の接地
バス(28)に対応し、ワイヤ(49)により外部電極
にワイヤボンドするのに適した接地バス(48)を示す
。線(44)および(45)は本質的に接地に保たれる
ように、図示されているごとく、接地バス(48)に直
接接続されている。
第5図は本発明の別の実施例を示し、6本の線(,51
,52)および(56)は第2図の線(21,22)お
よび(26)に対応する。この場合の接地バス(54)
は線(51)および(52)の間に配置され、それらの
間の遮蔽として適切に働く。刻・4図の線(45)に対
応する遮蔽線(55)は、線(56)から線(52)を
遮蔽するために使用され、接地バスに接続され、さらに
リードワイヤ(56)により、外部端子(57)に接続
されている。
この実施例から、接地バスそれ自身は追加された接地線
(第4図の線(44)と同様)として用いるよりは、ク
ロック分配線(52)を遮蔽する補助として用いてもよ
い。
第6図は第4図の線(44)および(45)。
のような追加された接地線の必要性を除くためて、クロ
ック分配線を遮蔽するため接地およびパワーバスが用い
られる実施例を示す。
クロック分配線(62)はパワーバス(63)および接
地バス(64)により遮蔽されている。線(65)は第
4図の線(41)に対応し、バス(63)および(64
)はそれぞれ第4図の線(44)および(45)に対応
する。パワーおよび接地バス(66)および(64)は
それぞれリード線(66)および(67)を通して、端
子に接続されている。第6図の丸施例から、適切な遮蔽
は接地線を加えることなく、クロック分配線およびパヮ
ーバ、ス丑たは接地バスの一方または両方の配置を変え
ることにより得られることが明らかである。
所望の静電S蔽はいずれかの導電体により保護すべき線
を封じることにより実現でき、対のそれぞれは固定され
たd−c電位に床たれ、それは接地バス、パワーバスま
たは任意のd −c市川に1呆たれた単純な導電体であ
る。
このような方式でどの程度のクロック分配線をa蔽する
必要があるかは、典型的な場合多くの要因の関数である
。本発明はそのような線のかなりの部分を遮蔽する必要
があるとき、特に関心がもたれる。
第4図、第5図または第6図の実施例のいずれか−っの
クロック分配線の容は負荷は比較的低い。特に−ミクロ
ン技術の場合、ろ1)「の容量負荷が得られ、ゼ゛口に
近いクロックスキーが実現される。
【図面の簡単な説明】
第1図は、マイクロプロセッサの構成の略図であり。 第2図は、第1図示のマイクロッ0ロセツサの一部の拡
大平面図であり。 第6図は、第2図示の部分の断面図であり。 第4図、第5図及び第6図は1本発明の教示に従ったマ
イクロプロセッサの同様の部分に対する交互の書き込み
パターンの拡大平面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 クロック分配線   ・・・・・ 42第1の線   
  ・・・・・・ 44第2の線     ・・・・・
・ 45第2のパルスキャリ線 ・・・・ 41第6の
パルスキャリ線 ・・・・ 46接地パス      
 ・・・・ 64パワーハス      ・0・・ 6
3出  1幀 人    ウェスターン エレク1〜リ
ツクカムパニー、インコーポレーテツド

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 集積回路要素にタイミングパルスを分配するため
    の少くとも1個のクロック分配線を含む集積回路チップ
    において。 クロック分配線の相対する側に、固定d−C電位に医つ
    のに適した第1および第2の線を備え、第1および第2
    の線はクロック分配近傍に隣接し、それと平行であるこ
    とを特徴とする集積回路チップ。 2、特許請求の範囲第1項に記載された集積回路チップ
    において、。 クロック分配線に相対する第1つ線の一方の側に、それ
    と隣接し、かつ平行に第2のパルス牛ヤリ線が延び、ク
    ロック分配線に相対する第2の線の一方の側に、それと
    隣接1〜、かつ平行にオ6のパルス牛ヤリ線が延びるこ
    とを更に特徴とする集積回路チップ。 6 特許請求の範囲第1項に記載された集積回路チップ
    において、 該第1の線は接地バスから成ることを更に特徴とする集
    積回路チップ。 4、 特許請求の範囲第2項に記載された集積回路チッ
    プにおいて、 該第2の線はパワーバスから成ることを更に特徴とする
    集積回路チップ。 5、 特許請求の範囲第1項に記載された集積回路チッ
    プにおいて、 該クロック分配線の幅は、該線と該第1および第2の線
    との間隔にほぼ等しいことを更に特徴とする集積回路チ
    ップ。
JP59004927A 1983-01-18 1984-01-17 集積回路チツプ Granted JPS59136948A (ja)

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US06/458,769 US4514749A (en) 1983-01-18 1983-01-18 VLSI Chip with ground shielding
US458769 1983-01-18

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JPS59136948A true JPS59136948A (ja) 1984-08-06
JPH0572744B2 JPH0572744B2 (ja) 1993-10-12

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DE (1) DE3401181C2 (ja)
FR (1) FR2547676B1 (ja)
GB (1) GB2134708B (ja)
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