JPS5871625A - 電子ビ−ム露光装置のためのパタ−ンデ−タ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 本発明は、被加工物を選択的に照射するための電子ビー
ム露光装置に関する。特に、電子ビーム露光装置に対し
てビームブランキングデータをもたらす丸めのノ譬ター
ンデータ処理装置に関する。

超小型半導体デ／４イスの製作に使用するために、電子
ビーム露光装置が開発されてきた。電子ビームで露光す
ることによって、電子レジスト材料で被覆した半導体ウ
エノ・又はマスク内に４奢ターンが生成される。ノ９タ
ーンの露光において、電子ビームが、ビーム方向に垂直
に位置され九被加工物の表面にわたって走査される。ビ
ームが被加工物表面にわ九り走査されるときに、ビーム
を０Ｎ１０ＦＦし又は！ランクして、所望の／ｆターン
を生成する。

・譬ターンのゆがみを最小化するために、電子ビームの
偏向を制限し、被加工物を移動ステージによってビーム
の下に機械的に設置する。電子ビームは１方向に走査さ
れ、且つステージは！方向に移動し、それによシ被加工
物の条片（ｓｔｒｌｐ・）が走査される。追加的なステ
ージ移動により、多数の隣接する条片が走査されて、最
終的に被加工物の全面が走査される。電子ビーム走査域
は１マイクロメートルであシ、移動するステージによっ
て数インチ４方の被加工物の露光が可能となる。

予期されるように、超小型半導体デバイス上に複雑なノ
リーンを描くためには多量のデータが必要とされる。例
えば、０．５−ｖイクロメートルの電子ビームを利用す
るときには、１辺わずか０．５ミリメートルのノぐター
ンをラスタ走査するために１００万ビツトのデータが必
要である。露光すべきツタターンを描くデータは代表的
には、種々の模様の位置１寸法及び形状を特定する図形
データ（Ｈｇｕｒ＠ｄ＠ｔａ　）の形態で磁気テープ又
はディスク上に記憶される。ラスク走査装置においては
、露光すべき領域のビットマッグイメージ（ｂｉｔ　ｍ
ａｐｉ論１ｇ・）への図形データの変換が、ノ臂ターン
描画に先立ち要求される。図形データの変換に要する時
間は、かな夛のものである。

勢倍（実寸）のマスク又は半導体ウェハの露光において
、グイ（ｄｌ・）ツタターンが２５〜１００回反復され
る。従来技術の装置は、このノ々ターン反復の利点によ
って、図形データ変換に資す総時間を減少させた。１つ
の条片又は１つの条片の一部分についての図形データが
ビ、ットマッグへと１回変換されて、２５〜１００のダ
イの各々の上の対応する条片が露光される。この方法を
用いることにより、図形データ変換時間は代表的には、
被加工物を露光するための総時間のｌＯ−〜２５−にな
る。

レチクル（ｒ＠ｔｉ＊１・）作製のために電子ビーム露
光装置を用いることが、望まれてきた。レチクルと社、
実際のデバイス寸法の５倍又は１０倍の寸法であシ、ｌ
又はそれ以上のダイ又は反復／ｌターンを含んだタイプ
のマスクである。後にウェハステラ／１−Ｉ装置にレチ
クルが用いられて、１つ以上のダイの半導体ウェハのデ
バイス層を同時に製作する。レチクル作製のために電子
ビーム露光装置が商業的に使用されるときには、主要な
動作／豐うメータは、単位時間当ＤＫ完成されるレチク
ルのスループットである。

レチクルには本来的にノリーン反復がないので、従来技
術装置における図形データ変換に要する時間が増大する
。さらに、５倍又は１０倍レチクルの模様は１倍マスク
のそれよりも大きく、ビットマッグ内によυ多くのビッ
トを畳する。図形データはビットととに変換されるので
、大きな模様の変換にはより多くの時間が費される。従
来技術装置がレチクル作製に用いられるときに社、全体
的効果として図形ｒ−タ変換時間を著しく増大させる。

図形データ変換時間は、正味の描画時間の何倍もの時間
を費す。

〔発明の目的〕

本発明の一目的は、電子ビーム露光装置のために高速ビ
ームラランキングデータをもたらす／４ターンデータ処
理装置を提供することである。

他の目的は、電子ビーム露光装置のために連続的ビーム
ブランキング情報タをもたらすノ譬ターンデータ処理装
置を提供することである。

他の目的は、ビットマッグ発生中においても描画を継続
する電子ビーム露光装置のための・譬ターンデータ処理
装置を提供することである。

他の目的は、レチクル用のビームラランヤングデータが
効率的にもたらされ得る電子ビーム露光装置のためのノ
？ターンデータ処理装置を提供することである。

〔発明の概要〕

本発明に従い、Ｖ−ムが被加工物の多数の隣接する条片
を選択的に照射する露光装置の丸めにビームｆランキ／
グデータをもたらすノ中ターンデータ処理装置によって
、上記諸目的が達成される。

該ノ臂ターンデータ処理装置は、照射すべき／譬ターン
形状を描く図形データを記憶するためのメモリ一手段を
含む。図形データは多数ゾロツクのセグメント図形デー
タへと小分割され、その各々は前記条片領域のうち１つ
の領域内の１つのセグメントに対応する。ノ量ターンデ
ータ処理装置はさらＫ。

セグメント図形データのブロックの少なくとも１つをそ
れぞれのセグメントについてのピームシ２ンキング情報
を含むビットマツプへと変換する動作と、他のビットマ
ッグ内のビームブランキング情報を直列化して連続的ビ
ームブランキングデータをもたらす動作とを同時に行う
丸めの手段を含む。よって図形データ変換が、被加工物
の照射と同時に実行される。

本発明の他の特色によれば、ビームグラ／キングデータ
の発生方法が提供される。この方法は、図形データを多
数ブロックのセグメント図形データへと小分割してＲＡ
Ｍ（ランダムΦアクセス・メモリー）内に記憶させる段
階を含むつこの方法はさらに、セグメント図形データの
ブロックのうちの少なくとも１つをそれぞれのセグメン
トについてのビームブランキング情報を含むビットマツ
プへと変換し、同時に他のビットマツダ内のビームブラ
ンキング情報を直列化して連続的ビームブランキング情
報タをも走らす段階を含む。この方法によれば、図形デ
ータ変換が、被加工物の照射と同時に達成される。

〔電子ビーム露光装置の説明〕

電子ビーム露光装置が、第１図にブロック図で示されて
いる。書込みモジュール１０が、ペース１４上に取付け
られたコラム１２を含む。コラム１２は電子源及びビー
ムコラムを含み、それらはビームを形状づけるための開
口、ビームを集束させるためのレンズ、ブランキンググ
レート、中心合わせ用コイル（心合コイル）及び走査用
コイルを有する。電子源、レンズ及び心合コイルは、電
子源・コラム制御器１６から電力及び制御信号を受信す
る。走査コイルは、電子ビーム制御器１Ｂからビーム偏
向信号を受信す、る。！ランキンググレートは、データ
処理装置２０からビームブランキング信号を受信する。

ペース１４は移動ステージ及びそれに付設された駆動モ
ータを含み、それらは電子ビームの下に被加工物を位置
づけ且つ露光進行中に被加工物を移動させる。さらにペ
ース１４は、被加工物の位置を正確に測定するレーデ−
干渉針、並びに電子源、ビームコラム及びチェンバを維
持する真空装置を含む。誼真空装置内の高真空の下に被
加工物が設置される。移動ステージのための駆動モータ
は、ステージ制御器２２からステージ駆動信号を受信す
る−。レーデ−干渉計からのステージ位置信号が、ステ
ージ制御器２２へと送られる。データ処理装置２０は、
電子源・コラム制御器１６、電子ビーム制御器１８及び
ステージ制御器２２へと制御信号を供給することによっ
て、露光装置の動作を制御する。加えて、データ処理装
置２０は、チーブユニット２４又はディスクユニット２
６からのノ譬ターンデータを処理して、ビームブランキ
ング信号を供給する。露光装置の動作を制御する丸めの
ソフトウェアは、ディスクユニット２６内に記憶される
。適尚な書込みモジュール及び付設する制御電子機器が
知られていて市販されている。本発明に従ったデータ処
理装置は、以下に詳細に記す。

動作にあたり、コラム１２は電子ビームを発生する。電
子ビームは、電子レジスト材料で被覆された被加工物の
上で走査され、ＯＮ１０　Ｆ　Ｆされ或いは！ランクに
されて、皺加工物上に所望の露光ツクターンを生成する
。電子ビームが有する走査域は約１　ｔ　ＩＪメートル
の限界があるので、移動するステージによって、比較的
大きな被加工物の露光が可能になる。

〔従来技術のデータ処理装置の説明〕

従来技術に従ったノ４ターンデータ処理装置が、第２図
１１Ｃｆロツク図で示されている。露光されるべきノ譬
ターンが、磁気ディスク上に図形データの形態で記憶さ
れる。図形データは、位置、寸法及び形状に関するパタ
ーンの特色を描く。ｌブロックの図形データが、汎用コ
ンピュータ３０によってディスクユニットからノ譬ター
ンデータプロセッサ３２へと転送される。−ノヤターン
データグロセツサ３２は、図形データを露光ノ４ターン
のピットマッグイメージ（ｂｉｔ　ｍａｐ　１ｍｍｇ・
）へと変換し、それをピットマッグメモリ−３４に記憶
させる。図形データの変換後に、ビットマッグは／譬タ
ーンデータグロセツサ３２を通して逆に転送され、ビー
ムブランキングデータをもたらす。

従来技術の描画技法を説明する等倍ｉスクの１例が、第
３図に示されている。マスク３８は多数の等しいグイ（
ａＳ・）４０を含む。走査する電子ビームは移動ステー
ジと連係して、各々のグイ４０の条片４２の露光をもた
らす。移動ステージは、矢印４４で示されるような蛇行
運動をマスク３８に付課する。それＫより、マスク３８
上の全ての条片４２が順に露光される。このように条片
４２のための図形データが１回だけビットマツプへと変
換され、全ての条片４２が露光されるまでビットマツプ
が繰り返し読み出される。次に、条片４２に隣接した条
片４６のための図形データがビットマッグへと変換され
、マスク３８上の全ての条片４６が露光される。全マス
クが露光されるまで、条片走査の処理が繰シ返される。

上記装置においては、図形データの変換及び被加工物の
露光が順に実行され、それにより図形データ変換時間が
被加工物処１１１１時間を直接に増大させる。図形デー
タ変換総時間を減少させるように一母ターンを繰り返す
ことから、利点が得られるつ 〔本発明に従ったデータ処理装置の説明〕本発明に従っ
たデータ処理装置２０が、第４図にブロック図で示され
ている。データ処理装置２０は、当皺装置の動作を制御
するコンピュータ５０、数！ロックの図形データを記憶
する・臂ターンデータメモＩＪ　−５２、及び複数のノ
やターン発生器５４．５５．５６．５７．５Ｂを含む。

各々の／４ターン発生器は、図形データをビットマッグ
へと変換して、そのピットマッグをシフトレジスタ６０
へと転送スる。コンピュータ５Ｇは、チーブユニット２
４及びディスクユニット２６に接続される。制御目的の
ためにコンピュータ１２勺・嗜ス６２が、・豐ターン発
生器５４〜５８及びシフトレジスタ６０へと接続されて
いる。コンピュータ！浄ノリ］２は又、インターフェー
ス回路６４を通して・昔ターンデータメモリーパス６６
へ接続され、そして電子源・コラ五制御器１６、電子ビ
ーム制御器１８及びステージ制御器２２へも接続されて
いる。・譬ターンデータメモリーハス６６は、ノ譬ター
ンデータメ篭り−５２、ノ９ターン発生器５４〜５８及
び中介回路（ａｒｂｉｔｒａｔｉｏｎ　＠１ｒｃｕｌｔ
　）　６８へと接続される。デライキングデータノ櫂ス
フ０が、各／＃ターン発生器５４〜５Ｂをシフトレジス
タ６０の入力へと接続する。上記接続の各々は多芯接続
であることに注意され丸い。

第４図のノ譬ターン発生器５４〜５８の代表的な・譬タ
ーン発生器が、第５図に！四ツクー形態で示されている
。コンピュータＩ１０パス６２は、コンピュータパスイ
ンター７エイス７６を通じて、！ログラムメモリー７８
、データラッチ８０の入力及びデータラッチ８２の出力
へと接続される。！ログラムメモリー７８の出力は、マ
イクログロセツサであるノ々ターン！ロセツサ８４へと
接続される。／譬ターングロセツサ８４からのアドレス
ラインが、グロダラムメモリー７８に接続される。・ダ
ターンデータメモリーノリ］６はデータラッチ８６を通
じてｌ）　ａ４ス８８へ接続され、次にＤ−々ス８８は
・リーン！ロセツ＋８４のＤ入力へと接続されている。

ノ譬ターン！ロセツサ８４のＹ出力がＹパス９０に接続
され、Ｙノ＋ス９０が次にアドレスカウンタ９２を通じ
て／ｌターンデータメモリーパス６６へと接続されてい
る。データラッチ８０の出力は、Ｄパス８８１１続され
る。データラッチ８２の出力は、Ｙパス９０に接続され
る。Ｙパス９０は、データラッチ９４を通じてビットマ
ッグメモリー９６のデータ入力に接続され、又マスクラ
ッチ９Ｂを通じてビットマッグメモリー９６の書込みエ
ネイブル（ｗｇ）入力に接続される。さらに、Ｙノリ］
０は、ワードカウンタ１００及びアドレスカウンタ１０
２の並列ロード入力に接続される。

アドレスカウンタ１０２の出力は、ビットマツダメモリ
ー９６のアドレス入力へと接続される。ワードカウンタ
１００のキャリー（ｇａｒｒｙ　）出力は、アドレスカ
ウンタ１０２の禁止（Ｉｎｈｉｂｉｔ　）入力に接続さ
れる。ビットマッグメモリーのデータ出力は、データラ
ッチ１０４を通じてブランキングデータバス７０に接続
され、又インターフェイス１０６を通じてＤパス８８に
接続される。

第４及び５図に示し上述したようなデータ処理装置２０
の動作において、以下の３つの異なる動作が同時に起こ
る。すなわち、１）チーブユニット２４からの図形デー
タを７４ターンデータメモリー５２へと転送する動作、
２）ノリーン発生ｇｓ５４〜５８のうち１つを除いた全
部によってノリｔンデータメモリ−５２からの図形デー
タを読み取り、そのデータをピットマッグへと変換する
動作、及ヒ３）ノｌターン発生器５４〜５８のうち残る
１つの内にビットマッグメモリー９６からのデータを転
送し、ビームグラ／ｄＰングデータをも九らす動作、で
ある。

テープユニット２４内に記憶されている図形データは、
被加工物上での描画ノ譬ターンに対応し、且つ用いられ
る描画技法に相応するように組織化されている。本装置
の描画技法及びデータ組織化は、第６〜８図に示されて
いる。第６図は、等しいグイ１１２，１１４を含むレチ
クル（ｒ＠ｔｌ＊１＊）１１０を示す。第１図に示す装
置によるレチクル１１００露光の際に、条片領域１１６
及び条片領域１１８が、図示する方向に順に走査される
。移動ステージがシフトし、方向が変わり、それぞれ条
片領域１１ｇ及び１１６に隣接する条片領域１２０及び
１２２が順に走査される。条片領域に隣接して前進後退
する技法が繰り返されて、レチクル１１０ａ完全に露光
される。条片領域１１６、１１ｇ、１２０，１２２の幅
は、電子ビームの走査幅により制限され、代表的には１
ミリメートル又はそれ以下である。チー！に記憶されて
いる図形データは、数ブロックに分割され、各々が各条
片領域に対応する。・臂ターンデータメモリー５２Ｆ１
．２ｆロツクの条片データ分の容量を有する。

レチクルの場合の特色は、勢価の１×マスクに比べて寸
法が大きく数が少ないことである。このように、特定の
ノ譬ターン領域を描画するのに要するデータの量は、レ
チク、、ルの場合に小さい。本実施例においては、ノ々
ターンデータメモリーは０．５メガバイトの容量を有す
る。数ブロックの条片データカ、コンピュータ５ｏにょ
ジインターフェイス６４を通じてノ々ターンデータメモ
リー５２へと転送される。

第７図を参照すると、多重セグメント１２４．１２６．
１２８．１３０へと小分割され九条片領域１１６の拡大
図が示されている。条片データはノ臂ターンデータメ篭
り一５２内に記憶され、条片領域のセグメントに対応す
る数ブロックのセグメント図形データが、ツタターン発
生器５４〜５８によって独立的にアクセス可能である。

ラスク走査の詳細を示すセグメント１２４の拡大図が、
第８図に示されている。代表的なセグメントでは、横ｚ
０２４ビット、長さ２４４ピツトである。かくして、セ
グメｙ）１２４の／ヤターンを特定する丸めに２５０に
ビットマツ！が必要となる。電子ビームによるラスク走
査は、破線で示されている。

実際上、特定の実例のために２４４本の走査線が必要で
ある。

数！ロックのセグメント図形データへと小分割され走数
ブロックの条片データがノ譬ターンデータメモリー５２
へとロードされると、その後図形データのピットマツダ
への変換が連続的に起こり得る。図形データのビットマ
ツ！への変換は、コンピュータ５００制御の下でノｆタ
ーン発生器５４〜５８の各々によって実行される。図形
データ変換ルーチン及びビットマツ！転送ルーチンは、
コンピュータ５０から、各ノ奢ターン発生器５４〜５Ｂ
内の！ログラムメモリーフ８へとダウンロード（ｔ＠ｗ
ｍｌｏａｄ　）　　される。連続する数ブロックのセグ
メント図形データの開始点に対応するアドレスが、コン
ピュータ５０から各・皆ターン発生器５４〜５Ｂへとダ
ウンロードされる。このようにして、例えば、セグメン
ト１２４に対応する数！ロックのセグメント図形データ
のアドレスが７４タ一ン発生器５４に与えられ、セグメ
ン）１２６に対応する数ブロックのセグメント図形デー
タのアドレスがツタターン発生器５５に与えられ、以後
同様になる。

ツタターン発生器はそこで、コンピュータ５０に命令さ
れて、図形データ変換を続行する。、４ターンプロセツ
サ８４は、アドレスレジスタ９２を通じてアドレスをノ
譬ターンデータメモリー５２へと送る。アドレスされた
データワードは、データラッチ８６を通じて・譬ターン
！ロセツサ８４により受信される。第１の図形データワ
ードは、続くデータワードが長方形であるか或いは台形
であるかを指示する。

図形データは、長方形表示及び台形表示に分けられる。

何れの場合も、Ｘ％ｙの位置、高さ及び幅が特定される
。台形の場合には、非千行辺の傾斜も特定される。各数
字表示が、パターンデータメモリー５２の数ワードを占
める。

次に・譬ターン！ロセツサ８４は図形表示のうち残るデ
ータ９−ドを読出し、そして長方形変換サブルーチン又
は台形変換サブルーチンの何れかを呼出す。図形データ
ワードはビットマツダを発生させるために用いられる。

ビットマッグは点ごとの図形の表示であり、ビットマツ
ダデータがビットマッグメモリー９６内に記憶される。

長方形ビットマッグの発生を第５及び９図を参照して説
明する。本実施例においては、ビットマッグメモリー９
６が１６ピツトワードであると仮定する。、第９図は、
ピットマッグメモリー９６の領域１４０を示している。

各々の垂直条片は、特定アドレスを有する１６ピツトワ
ードを表わす。

領域１４０へ１ツノされる長方形１４２が、斜線部分で
示される。長方形１４２は、ビットマッグメモリー９６
の領域１４０内に完全に位置される。

説明を明白にするため、領域１４０の左側に１６ピツト
マスクワード１４４を示す。長方形ピットマッグの発生
は以下のように処理される。長方形１４２のＸ位置を示
す開始アドレスムｌが、ノ臂ターン！ロセツサ８４によ
シ決定され、アドレスカウンタ１０２へと四−ドされる
。長方形の長さをデータワードで示す数字Ｌｌが、ノリ
ーンプロセッサ８４によりワードカウンタ１００へとロ
ードされる。第９図の実施例では、Ｌｌは９ワードであ
る。長方形１４２の位置を示し且つその幅をビットで示
すマスクワード１４４は、・臂ターングロセツサ８４に
よシラスクラッチ９８へとロードされる。第９図の実施
例では、マスクワード１４４の濃い部分である中央の８
ビツトが″ｌ＃である。

！スクラッチ９８の出力がビットマッグメモリー９６の
書込みエネイゾル入力に接続しているので、データワー
ドのマスクされていないビットへの書込みが達成され、
又データワードのマスクされ九ピットはそのｔｔ残る。

このようにして、マスク部分において以前書込まれ九ピ
ッ）−ｒツブ情報の転換が禁止される。全て１１”から
成るデータワードが、／４ターンプロセッサ８４により
データラッチ９４へとロードされる。ここで、ビットマ
ッグメモリー９６への書込み、及びアドレスカウンタ１
０２とワードカウンタ１００とのクロッキングが処理さ
れる。アドレスカウンタがカウントするにつれて、マス
クラッチ９８内のデータは連続したアドレス位置へと書
込まれる。第９図において、アドレスカラ／りはアドレ
スＡＩのところで開始して、右方へと進行する。ワード
カウンタ１００がＬｌのカウントに達すると、アドレス
Ａ９においてアドレスカウンタ１０２が禁止され、そし
て長方形１４２０ビツトＴツグの書込みが完了する。

データラッチ９４、マスクラッチ９８、ワードカウンタ
ｌＯＯ及びアドレスカウンタ１０２へのデータのローデ
ィングの後に、ビットマツプメモリー９６への長方形ビ
ットマッグの書込みが、ノ譬ターンプロセッサ８４によ
る制御又は介入なしに完了されることに注意され丸い。

かくして、／ＩＦターングロセツサ８４は図形データ変
換の次のステツブにおいて自由に動作し、そして図形デ
ータ変換の総処理時間が速くなる。

第１θ図を参照すると、長方形１５０が示されている。

この長方形１５０は、リードの境界をまたぎ、ビットマ
ツプメモリー９６０領域１５２及び領域１５４に部分的
に存在している。この場合においては、前述の長方形発
生処理が２回（長方形がさらに大きいときは２回以上）
実行される。

マスクワード１５６、開始アドレスＢ１．及び長さく第
１０図の例では１１）を表わす数字Ｌ２が、上述のよう
に適切な位置へとロードされ、そして長方形１５０の上
方部分が領域１５２内に書込まれる。次Ｋｗスクワード
１５８、開始アドレスＣＩ及び数字Ｌ２が上述のように
適切水位置にロードされ、長方形１５Ｇの下方部分が領
域１５４内に書込まれる。このようにして１図形データ
により特定される全ての長方形が、Ｖットマッ！メモリ
ー９６へと願に書込まれる。

台形の図形データのビットマッグへの変換を第１１ｇに
示す。合体して所望の形状の台形を形成するｌビット幅
の一連のラインを書込むことによって、ビットマツプメ
モリーの領域１６２へ台形１６０が書込まれる。台形の
傾斜辺のために各成分ラインは異なる長さを有し、各ラ
インの書込みに先立ちその長さがノダターンｆロセツサ
８４によシ計算される。台形ビットマツダの１つの成分
ライン１６４の書込みは、上述のようにして１ビツト幅
の長方形の書込みと同様にして達成される。

所望のライン位置Ｋｌビットを含むマスクワード１６６
が、マスクラッチ９８ヘロードされる。ライン１６４の
長さを表わす数字Ｌ３がワードカウンタ１００ヘロード
され、開始アドレスＤｌがアドレスカウンタ１０２へｐ
−ドされ、そしてライン１６４が領域１６２内に書込ま
れる。次に、隣接するラインが同４１にして書込まれ、
その処理が繰返されて、台形ビットマッグが完了される
。

１つの条片領域の１つのセグメントに対するビットマツ
プが完了すると、ノ々ター／発生器はデータラッチ８２
及びコンピュータパスインター７エイス７６を通してコ
ンピュータ５０に信号を送夛、ピッ）ｗラグデータを読
取るための準備ができる。

ビットマッグの発生中において、データをシフトレジス
タ６０へと読出す１つのツクターン発生器を除いた各々
のノ母ターン発生８５４〜５８は、新しい図形表示が要
求される各回毎に・中ターンデータメモリー５２をアク
セスする。加えて、ノ中ターン発生器５４〜５Ｂによる
図形データの貌取りの際に、コンピュータ５０は新しい
図形データの書取シの九めにノ臂ターンデータメモリー
５２をアクセスする。かくして、／臂ターンデータメモ
リー５２について高速動作の要求がもたらされ、装置動
作の遅砥が阻止される。本発明の１１１！施例において
は、ノ母ターンデータメモリー５２は、１００ナノ秒毎
に１つのデータを読取シ或いは書込むことが可能なメモ
リーである。かくして、ツクターン発生器５４〜５８又
はコンピュータ５０のうちの１つがアクセスのために待
ち時間を有する可能性は低い。２つのデノ肴イスが同時
にノ譬ターンデータメモリー５２をアクセスしようとす
る時には、中介回路６８が１つのｒノ４イスにアクセス
を許し他のデバイスに待つことを要求する。仲介回路６
８は優先回路であって、その中で所定の優先度が、・中
ターンデータメモリー５２をアクセスしようとする各デ
・臂イスへと与えられる。

ノ４ターン発生器５４〜５８の成るものが１つのビット
マツダの発生及び記憶を完了させると、次にそれはコン
ピュータ５０からの指令を読むために待つ状態になる。

指令が与えられると、ピットマッグメモリー９６からシ
フトレジスタ６０へとビットマッグデータが読出される
（１度に１つのデータワーＰ）。次にデータワードはシ
フトレジスタ６０へと直列にシフトされて、ビームブラ
ンキングデータをもたらす。ノ譬ターンが被加工物上に
適正に位置されることの必要性のため、ビームブランキ
ングデータは電子ビーム掃引電圧に対して適正に同期さ
れなければならない。このことは、ビットマッグメモリ
ー９６からシフトレジスタ６０を通るデータの転送を、
電子ビーム場引電圧を制御する同一のクロックに同期さ
せることにより、達成される。ビットマツプメモリー９
６からのデータの転送に先立ち、走査方向が決定されな
ければならない。第６図を参照すれば明白なように、条
片領域１１６を露光するためにビットマツプメモリー９
６が成る方向＃ｔａまれるならば、条片領域１２２を露
光するためにはピットマッグメモリーは反対方向に読ま
れる。ピットマッグメモリー９６の読出しの間、ノ譬タ
ーン！ロセツサ８４はアドレスカウンタ１０２を通じて
データワードをアドレスし、データワードはデータラッ
チ１０４を通じてシフトレジスタ６０へと転送される。

各電子ビームがラインを走査した後に、ノ９ターン！ロ
セツサ８４はシフトレジスタ６０のクロックに同期され
る。ビットマツプの最後のツインがシフトレジスタ６０
へと転送され丸後に、ツクターン発生器がコンピュータ
５０に割込み、次のツクターン発生器に読出し指令が与
えられる。

図形データの処理及び条片領域のセグメントの露光の間
の、／母ターン発生器５４〜５８のタイきング関係を、
第１２図に示す。ダイヤグラムの最上部分は、代表的な
条片領域のセグメン）１−１０に対する、時間の関数と
してのビームブランキングデータを表わす。ダイヤグラ
ムの残る部分は、セグメン）１−１０の露光の際のツク
ターン発生器５４〜５８の動作を表わす。第１２図に示
す時間間隔に先立って全ての初期化手続が完了されてい
ると、仮定する。ツクターン発生器５４〜５８の各々は
、データ処理又は図形データのビットマッグへの変換と
ビットマッグの読取りとの機部を交替に行い、これら２
つの動作は前述のようである。

ツクターン発生器５４〜５８は、コンピュータ５０の制
御の下にビットマツプを順次に読出し、連続的なプラン
キングーータをもたらす。かくして−、セグメン）ＩＫ
対応するビットマッグが、・臂ターン発生器５４から読
出される。次にセグメント２に対応するビットマッグが
、・譬ターン発生器５５から読み出され、順序このよう
に続く。各・り一ン発生器がビットマッグの読出しを完
了してビームブランキングデータをもたらした後に、そ
のノナタ゛−ン発生器は新しいビットマッグの発生の処
理を行う。第１２図を参照すれば、・ぐターン発生器５
４はセグメントｌＫ対するビットマツ！を読出した後に
、セグメント６に対するビットマツ！を発生する。±グ
メント５に対応するビットマッグがノ譬ターン発生器５
８から読出された後に、コンピュータ５０によってセグ
メント６が呼出される。

第１２図に示された多重動作によって、図形データの変
換及び被加工物の露光の同時性が得られる。

５個のノ臂ターン発生器が利用されるときには、各・譬
ターン発生器は自己の時間の％を図形データ・ビットマ
ッグ変換に資すことができる。かくして、第１２図にお
けるセグメント６に対する図形データの処理は、セグメ
ント５が完了する時又は装置の運砥が生じる前までに完
了されなければならない。上述の装置の１４１色は、装
置に対してノ臂ターン発生器を付加或いは除去すること
が可能でＩｈｂ、所望の応用に応じて装置動作を設計し
得ることである。例えば、電子ビーム露光速度が比較的
低い場合には、２又は３個のノリーン発生器によって、
装置の遅嬌を防止すべき十分な速度で図形データの変換
をすることができる。電子ビーム露光速度が比較的高い
場合には、４又はそれ以上の・中ターン発生器によって
、より高速の図形データ変換をすることができる。上述
の議論及び第１２図から明らかなように、要求されるノ
９ターン発生器の数はＴ　＋　１に等しいか或いはそれ
よυ大きい。ここに、Ｃは１つのセグメントについての
図形データ変換の最大時間であり、Ｔは１つのセグメン
トについてのピットマツ！転送時間である。上述のデー
タ地理装置の他の特色は、・母ターン発生器、のうちの
１つが故障したときでも、装置は速度を落として動作を
継続することが可能なことである。或いは、追加的な・
中ターン発生器を装置に設置しておいて、万一のノ譬タ
ーン発生器故障の際にも最大速度での動作を保証するこ
とができる。露光装置の動作速度は、ツタターンデータ
メモリー５２の速度並びに書込みモジュール１０及びそ
れに付設された制御電子機器の速度によって、いくつか
の時点において制限される。

連続的なビームブランキングデータをもたらす上述のデ
ータ処理装置においては、ツタターンデータメモリー５
２は、ノ譬ターン発生器５４〜５８にとって有用な新し
い図形データを連続的に有しなければならない。このこ
とは、被加工物の連続し九２つの条片領域に対応する図
形データを記憶するのに十分な容量を有する・中ターン
データメモリー５２を利用することにょシ、達成される
。かくして、初期状態を除く何れの時点において亀、コ
ンピュータ５０は成る条片の丸めの新しい図形データを
・母ターンデータメモリー５２の半分に書込む段階にあ
ることが可能であシ、一方・譬ターン発生器５４〜５８
は同時にツタターンデータメモリー５２の残シの半分か
ら他の条片のための図形データを読出し変換する段階に
あることが可能である。

上述のようＪｇ、１／ｌターンデータメモリー５２の高
速性によって、コンピュータ５ｏ又はノｕｐ−ｙ発生１
）５４〜５Ｂの何れかがメモリーアクセスの丸めの待ち
伏Ｉ！にあることが防止される。

本発明の一実施例によれば、コンピュータ５゜は６４に
ノ々イトのＲＡＭを有するＮｏｖａ　　４　　＜　ニコ
ンピエータ（データ・ジェネラル・コーーレイシ耐ン剃
）であシ、ノ９ターンデータメモリー５２は５１２にバ
イトのＲＡＭである。・中ターン発生器５４〜５８にお
いて、ノ臂ターングロセ、ツサ８４はＡＭ　　２９０１
　　ビット拳スライス・マイクロノロセッサ（アメリカ
ン・マイクロシステムズ製）であり、ピットマッグメモ
リー９６は１６ｋＸ１６ビツトのパイＩ−ラＲＡＭであ
る。

以上のようにして本発明によってツヤターンデータ処理
装置がもたらされ、それにより図形データ変換が皺加工
物の電子ビーム露光と同時に進行され、連続的なビーム
ラランキング（移動ステージの再位置づけの時を除く）
がもたらされる。故に、図形データ変換後に被加工物の
露光を行う従来装置に比験して、被加工物の全体露光時
間が減少される。本発明の・豐ターンデータ処理装置は
、反復が少なく或いは無く且つ比較的大面積であるとい
う特徴をもつレチクルなどの被加工物の露光に対して、
４１に有用である。パス相互接続方式のために、異なる
速度で動作させるように装置の配蓋を組換えることが容
易である。

これまで本発明の好適実施例について説明したけれども
、本発明の範囲を逸脱することなく多くの変形及び修正
をなし得ることは１、当業者には明白であろう。

【図面の簡単な説明】

第１　Ｅａ、電子ビーム露光装置のブロック図である。 第２図及び第３図れ、従来技術のデータ処理装置である
。 第４図は、本発明に従ったデータ処理装置のブロック図
である。 第５図は、第４図に示されたノ譬ターン発生器の詳細を
表わすブロック図である。 第６〜８図は、本発明に従った被加工物の露光を説明す
る図である。 第９〜１１図は、本発ｆ！１４に従ったビットマツプの
発生を説明する図である。 第１２図は、第４図に示され九ノ々ターン発生器の動作
を説明するタイミング図である。 〔主要符号の説明〕 ｌＯ・・・書込み等ゾエール １２・・・コラム １４・・・ペース １６・・・電子源・コラ五制御器 １Ｂ・・・電子ビーム制御器 ２０・・・データ４６ｍ１１１置 ２２・・・ステージ制御器 ２４・・・テープユニット ２６・・・ディスクユニット ３０・・・汎用コンピュータ　゛ ３２・・り臂ターンデータ！ロセツサ ３４・・・Ｖットマッ！メモリー ３８・・・マスク ４０・・・Ｉイ ４２．４６・・・条片 ５０・・・コンピュータ ５２・・・ノ臂ターンデータメ篭す一 ５４．５５，５６，５７，５８・・・／譬ターン発生器
６０・・・シフトレジスタ ６２・・・Ｉ１０パス ６４・・・インターフェース回路 ６６・・・データメモリーパス ６８・・・仲介回路 ７０・・・デランキングデータノ童ス フ６・・・コンピュータノ脅スインターフエイスフＢ・
・・プログラムメモリー ８０．８２，８６，９４，１０４　　・・・ｒ−タラツ
チ８４・・・ノぐターンゾロセッサ ８８　・・・　Ｄ　ノ譬　ス ９　０　・・・　Ｙ　／童　ス ９２・・・アドレスレジスタ ９６・・・ビットマツプメモリー ９Ｂ・・・マスクラッチ １００・・・ワードカウンタ １０２・・・アドレスカウンタ １０６・・・インターフェイス １１０・・・レチクル １１２．１１４・・・〆イ １１６．１１８１１２０．１２２　・・・条片領域１２
４．１２６，１２８，１３０　　・・・セグメント１４
０．１５２，１５４，１６２　・・・領域１４２．１５
０　　・・・長方形 １４４．１５６，１５８，１６６　　・・・マスクワー
ド１６０・・・台形 １６４・・・成分ライン 特許出願人　　バリアン番アソシェイッ・インコーＩレ
イテツド ９　　　　　警 ＦＩＧ　３ ＦＩＧ　６ （埋　！；　　勧Ｌ　、　　　、ＯＪ”、’；−＞紀昏
ＦＩＧ　／２ 手続補正書 特許庁長官着　杉　和　夫殿 １、事件、の表示　＠和！１？都特許麺颯ｌフ３３８２
号２、発明の名称　電子ビーム側光装置のためのパター
ンデータ処理装置 ３、補正をする者 事件との関係　轡許出−人 住　所（居所） 氏名（名称）パリアン・アンシェイッ・インコーホレイ
テッド４、代理人 、住所東京Ｓ港区西新橋１丁目６番２、特許請求の範囲 １、　ビームが被加工物の多数のＩｉＩ接する条片領域
を選択的に照射する露光装置において、ビームブランキ
ングデータをも九らすためのパターンデータ処理装置で
豪つて： 照射すべきパターン形状を描く図形データ゛を記憶する
よう動作するメモリ一手段であり、前記図形データが多
数ブロックのセグメント図形データへと小分割ブれ、各
セグメント図形データが前記条片領域のうちの］領域の
１つのセグメントに対応する、ところのメモリ一手段；
並びに セグメント図形データの前記フロックのうち少なくとも
ｌ）を、それぞれのセグメントにりいてのビームブラン
キング情報管含む１つのビットマツプへと灰換する動作
と、他のビットマツプ内のビームブランキングデータを
も九らす動作とを、同時に行り７田七ツシングを段； から成シ、以て前記被加工−の照射と一時に図形データ
置換が実行畜れるところのＩ＜ターンデータ処ｍ装置。 ２、　４許請求の範囲ｌＩ１項に記載された処騨装置で
あって、 前記プロセラシンク！！が： 複数のパターン発生器であり、その各々が、ビットマツ
プメモリーを有し、セグメント図形データの特定ブロッ
クをビットマツプへと変換し鋏ピッシマツブをｌｌ＋記
ビットマツプメモリー内に記憶し且つ特定時に前記ビッ
トマツプメモリーから前記ビットマツプを絖出す動作を
する、ところのパターン発生器；前記パターン発生器の
各々により１俟されるべきセグメント図形データのブロ
ックな特電して条片領域の連続する竜グメン）管質換す
る動作と、前記パターン発生器の各々が前記とツ）！ツ
ブメモリーから前記ピッドマツプを説出す時會特定して
連続的ビームフランキングデータをもたらす動作とを、
行なう制両手段；並びに 前記ビットマツプメモリーがら読出はれ九ピッ）マツプ
を直列化するために前記パターン発生器の各々に接続′
：！れたシフトレジスタ手段； から成る、ところの処理装置。 ３、特許請求の範囲第２項に記載された処理装置で率っ
て： 前記制御手段が、前記パターン発生器による図形データ
の変換中に図形データｔ−前記メモリ一手段へと書込む
ための手段を含む、ところの処理装置。 ４、　４１ｊＩｌｌ’Ｆ１１１＞［）範囲［２］ＪｉＫ
記載−ＪｆＬだ処ｍ妓ａであって： 前記パターン発生６の数が、１つのセグメントについて
の図形データ簸換最大時間と１つのセグメントについて
のビットマツプ読取シ峙関との比に１に足した数に等し
い、か或いは大きい、ところの処ｍａｔ。 ５、電子ビームが被加工物の隣接する条片領域を選択的
に照射する電子ビーム露ｘ装置において、ビームブラン
キングデータをもたらすた約のパターンデータ処虐ｆｔ
＆電であって： 照、射すべきパターン形状を描く図形データを記憶する
ためのメモリ一手段であシ、１記図形データか多数ブロ
ックのセグメント図形データへ２小分割され、各セグメ
ント図形データが＃ＩＦ条片領域のうちの１１１域の１
つのセグメントに？ｌ応するところの、メモリ一手段； 複数のパターン発生器手段であり、その各−々が、ビッ
トマツプメモリーを有し、前記メモリ一手段からの１ブ
ロツクのセグメント図形データをビットマツ１へと張換
し該ビットマツ：ｙｔｓ記ピッシマツブメモリー内に記
憶し且つ該ビットマツ７メモリーから前記ビットマツプ
を転送する動作をする、ところのパターン発生器手段； 前記パターン発生器から転送されたビットマツプを直列
化してビームブランキングデータをもたらすために、Ｍ
Ｕ記記構ターン発生器手段各々に接続されたシフトレジ
スタ手段；、！ひに 図形データを前記メモリ一手段へとロードするための手
段と、前記パターン発生器＋段によるセグメント図形デ
ータの質換を制御してセグメント図形データの多数ブロ
ックの同時的変換ｔ−も九らすための手段と、前記パタ
ーン発生器手段からのビットマツプの転送及び前記シフ
トレジスタ手段による前記ピントマツプの直列化を制御
して連続的ビームフランキングデータをもたらすための
手段とを、含む制御手段； から成り、以て前記被加工物の照射と同時に図形データ
飯換か実行きれるところのパターンデータ処理装置。 ６、　　％許請求の範ｌ！ｌ第６項に記載された処蓉装
筐であって： 前記パ）−ン発生器！！一段の谷々が、前記メモリ一手
段から＾１記モダメンシ図形データ管読み、それを一連
の成分長方形描画信号信号へと変換するよう動作するパ
ターンプロセッサ手段：並ｒμに 成分長方形描画信号の各々に応Ａして、前記成分長方形
を描くビームフランキンク情報′ｆ前Ｐビットマツプメ
モリー内ＶＣ記憶させるよう動作する長方形発生器手段
； から１“す、前記戚分長万形が結合して、１ＩＩＩ！ｌ
ｆ七クメント上に照射すべきパターンをＬＩｋｌ成する
ことを製做とする、ところＣ処坤装ｒ０７　特許ｎ累の
範咄第６項に１′畝ζｒした処理装置であって： ＠ｒメモリ一手段、前記制麹手段及び各１紀パターン発
生Ｓ手段がメモリーバスに接続され、前記メモリ一手段
へＣ及びそこか１の図形データの全ての転送が＃１メモ
リーバス上で付なわｎ、＃Ｆシフトレジスタ及び名前６
にパターン発生器手段がプランキンクバスに接経情れ、
前Ｆビットマツ７メモリーから前記シフトレジスタ手段
へのビームブランキング＋段ｃ１全ての転送が前記ブラ
ンキングバス上で行なわれ、以て図形データの転送及び
ビームフランキング情報の転送が同時に生じ得る、とこ
ろの処理装置。 ８、　　＃許請求の範囲第１Ｆ項にＰ載された処理装置
であって： 前記パターン発生器の数が、１つのセグメントについて
の図形データ変換最大時間と１つのセフメン）について
のビットマツプ転送時間との比に１を足した数に輯しい
か或いは大ｐＶ１ところの処理装置。 ９、電子ビームが仮加工物の隣接する条片領域を選択的
に照射する電子ビーム無光装ｆＩｔＫおし・て、ビーム
フランキングデータをもたらすための方法であって： 照射すべきパターン形状を描く図形データを、前記条片
領域のうちの１ｇＡ域の１つのセフメン）にそれぞれ対
応する多数ブロックのセグメント図形データへと小分割
して、ＲＡＭ内に配憶させる段階；並ひに 前記セグメント図形データの７０ツクのうち少なくとも
１つを、それぞれのセフメン）Ｋついてのビームブラン
キング情報を含むビットマツプへと変換する段階と；一
時に他のビットマツプ内のビームブランキング情報を直
列化して連続的ビームブランキングデータ１本たらす段
階と； から放り、以て前記複加工物の照射と一１時に図形デー
タ変換が実行されるところの方法。 ｌＯｏ　　特許請求の範囲筒９璃に記載さ１．た方法で
めって： セグメント図形データのブロックを一時的に１換するＩ
ＩＩ配の段階が、前Ｐの複数のピントマツプを対応する
複数のビットマツプメモリー内Ｋ　ｉｔ’憶ζゼる段階
を含み； 前記ビームフランキング情報１１０列化する約配の段階
が、前記ビームフランキング情報を前記ヒツトマツプメ
モリーからシフトレジスタへと転送する段階１．及びそ
の体ＦＴＩ前記ヒームフランキング情報管前記シフトレ
ジスタから直列にシフトする段階を含む： ところの方法。 １１、電子ビーム露光装置において、長方形（Ｑｘ位置
、ｙ位置、長さ及び幅ｔＪｌｌＩ定する図形データに基
いて長方形を描くビームブランキングデータを記憶する
ための装置であって： 前記ビームプランキングデータを記憶するためのピッ）
マツプメモリ一手段であり、ｎピッ）のデータワード管
有し、該データワードのｎビットの各々についての書込
みエネイブル入力ヲ含む、ピッ）！ツブメモリ一手段；
前記ビットマツプ゛メモリ一手段の７）”レス入力に接
続され大出力を有し、前記長方形の！位置に相当するア
ドレスがロードされる、アドレスカウンタ手段； ＃紀要方形の長さに相当するアドレスの数だけ前記アド
レスカウンタ手段が＃ＩＩ進嘔れた俵に、該アドレスカ
ウンタ＋段を禁止１°るための手段；並びに ｎビット位１ｋを有するマスク’）ツｆ＋ＩＮ”Ｔ”あ
す、その各々が１１１Ｉ記ピツシマツブメモリ一手段の
前記書込みエネイフル人力（１）　１つに接続し大出力
を有し、咳！スクラッチ手段ｔこはマスクビットが四−
ドされ、該マスクビットの位置が前記長方形のｙ位置を
決定し、＾訂記マスクピッ）の数が＃１１配長方形の幅
を決定すル、トコ口のマスクラッチ手段； から成シ、以て前記アドレスカウンタ手段ｆｉｇ＃配畏
方形の長さに相当するアト°レスの数だけ―進され喪と
参に、前記長方形を描くビームフランキングデータが前
記ビットマツプメモリ一手段内に配憶され、且つ以前に
に憶さｎ、たビームフランキングデータは転換寧ｎない
、ことをＩＩＪＩＩｌｋとする装置。 １２、特許請求０１１１１第１１項に記載された装置で
あって： ＃記アドレスカウンタ手段【禁止するための前記の手段
がワードカウンタ手段管含み、該ワードカラン＃手段か
、前記アドレスカウンタ＋＊によりアタ竜スされたアド
レスをカラン）するように配列逼れ、且つＩｔ］記アド
レスカウンタ手°段が前記長方形の長場に相当するアド
レスの数だけ前進されたときに前記アドレスカウンタ手
段ｔ＊止するように配列されている、ところの装置。・ １３、　　ビームが被加工物の多数の隣接する東岸領域
を選択的に照射する露光装雪において、ビームブランキ
ングデータをもたらす大めのパターンデータ処ｍ装置で
あって： 照射すべきパターン形状を描く図形データを記憶するよ
う動作するメモリ一手段であり、前記図形データが多数
ブロックのセグメント図形データへと小分割され、各セ
グメント図形データが前記条片領域のうちＣ１領域の１
つの七グメンシに対応する、ところのメモリ一手段；並
びに セグメント図形データの複数の１記フロツクを、それぞ
れのセフメン＋についてのビームブランキング情報を含
む複数Ｏビットマツプへと−Ｊ［Ｋ変換する動作と、前
記ビットマツプの各々の内の卿記ビームフランキング情
＠ｔ−直列化して連続的ビームプランキンクデータをも
たらす動作とを、同時に行うツロセツシング手段； から成り、以て前記被加工物の照射と同時に図形データ
置換が奥行されるところの）（ターンデータ処理装置。 １４　　特許請求の範囲第１３項に記載された処理装置
であって、 Ａｎ　＆ｌｉプロセッシング手段が： 複数のパターン発生−マ゛あり、その各々が、ビットマ
ツプメそり一を有し、セフメン）図形データの特定ブロ
ックをビットマツプへと変換し該ビットマツプ管前−己
ビットマツフメモリー内に記憶し且つ％定時に削Ｐビン
シマツブメモリーから前記ビットマツプｔＭ出す動作を
する、ところのパターン発生器；前記パターン発生器の
各々により１挨されるべきセグメント図形データのフロ
ック１ｒ特定して条片領域の連続するセグメントヲ淑換
する動作と、Ｉａ紀しくターン発生梅の各々が前記ビッ
トマツプメモリーから前記ビットマツプを計出す時を特
定して連続的ビームフランキングデータをもたらす動作
と倉、行なう制御手段；並びに 前記ビツシ′！ツブメモリーから読出されたビットマツ
プｔ″直列化するためＫｍ記ノ＜ａ−ン発生器の各々に
接続謬れたシフトレジスタを段； から成る、ところの処理装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　ビームが被加工物の多数の隣接する条片領域を選
   択的に照射する露光装置において、ビームフランキング
   データをもたらすためのノナターンデータ処理装置であ
   って： 照射すぺ龜・量ターン形状を描く図形データを記憶する
   よう動作するメモリ一手段であシ、前記図形データが多
   数ブロックのセグメント図形データへと小分割され、各
   セグメント図形データが前記条片領域のうちの１領域の
   １つのセグメントに対応する、ところのメモリ一手段；
   並びに セグメント図形データの前記ブロックのうち少なくとも
   １つを、それぞれのセグメントについてのビームブラン
   キング情報を含むｌノに’ットマッグへと変換する動作
   と、他のピットマッグ内のビームブランキング情報を直
   列化して連続的ビームブランキングデータを４九らす動
   作とを、同時に行う！ロセツシング手段； から成り、以て前記被加工物の照射と同時に図形データ
   変換が実行されるところのノ々ターンデータ処理装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載された処理装置であっ
   て、 前記プロ竜ツシング手段が： 複数の／ｌターン発生器であり、その各々が、ビットマ
   ッグメモリーを有し、セグメント図形データの特定ブロ
   ックをピットマツダへと変換し該ピッドマツ！を前記ピ
   ットマッグメモリー内に記憶し且つ特定時に前記ビット
   マッグメモリーから前記ピットマツダを読出す動作をす
   る、とζろの・ダターン発生器；餉記・臂ターン発生器
   の各々により変換されるべきセグメント図形データのブ
   ロックを特定して条片領域の連続するセグメントを変換
   する動作と、前記ノ豐ターン発生器の各々が前記ビット
   マツプメモリーから前記ビットマツプを読出す時を特定
   して、連続的ビームブランキングデータをも九らす動作
   とを、行なう制御手段：並びに 前記ビットマツダメモリーから読出され九ピットマツプ
   を直列化する丸めに前記・譬ターン発生器の各々に接続
   されたシフトレジスタ手段； から成る、ところの処理装置。 ３．４！許請求の範囲第２項に記載された処理装置であ
   って： 前記制御手段が、前記・譬ターン発生器による図形デー
   タの変換中に図形データを前記メモリ一手段へと書込む
   ための手段を含む、とζろの処理装置。 ４、特許請求の範囲第２項に記載された処理装置であっ
   て： 前記ノ４ターン発生器の数が、１つのセグメントについ
   ての図形データ変換最大時間と１つのセグメントについ
   てのビットマッグ読取り時間との比に１を足した数に等
   しいか或いは大きい、ところの処理装置。 ５、電子ビームが被加工物の隣接する条片領域を選択的
   に照射する電子ビーム露光装置において、ビームブラン
   キングデータをもたらすためのノ豐ターンデータ処理装
   置であって： 照射すべき・譬ターン形状を描く図形データを記憶する
   ためのメ・モリ一手段であり、前記図形データが多数ブ
   ロックのセグメント図形データへと小分割され、各セグ
   メント図形データが前記条片領域のうちの１領域の１つ
   のセグメントに対応するところの、メモリ一手段； 複数の・臂ターン発生器手段であり、その各々が、ビッ
   トマツダメモリーを有し、前記メモリ一手段からのｌブ
   ロックのセグメント図形データをビットマツプへと変換
   し該ビットマツプを前記ビットマツプメモリー内に記憶
   １、且ツ諌ビットマッシメモリーから前記ビットマッグ
   を転送する動作をする、ところの・ぐターン発生器手段
   ； 前記ノリーン発生器から転送され九ビットマッグを直列
   化してビームブランキングデータをも九らすために１前
   記・苧ターン発生器手段の各々に接続されたシフトレジ
   スタ手段；並びに 図形データを前記メモリ一手段へとロードするための手
   段と、前記・譬ターン発生器手段によるセグメント図形
   データの変換を制御してセグメント図形データの多数ブ
   ロックの同時的変換をもたらす丸めの手段と、前記・譬
   ターン発生器手段からのビットマッグの転送及び前記シ
   フトレジスタ手段による前記ビットマツプの直列化を制
   御して連続的ビームブランキングデータをもたらすため
   の手段とを、含む制御手段； から成り、以て前記被加工物の照射と同時に図形データ
   変換が実行されるところの／ｌターンデータ処理装置。 ７、　　％許請求の範囲第６項に記載された処理装置で
   あって： 前記メモリ一手段、前記制御手段及び各前記・ぐターン
   発生器手段がメモリー・ヤスに接続さ汰前記メモリ一手
   段への及びそこからの図形データの全ての転送が前記メ
   モリー・ヤス上で行なわれ、前記シフトレジスタ及び各
   前記・９タ一ン発生器手段がブランキングツヤスに接続
   され、前記ビットマツダメモリーから前記シフトｖ、、
   ｙスｐ手ｍへのビームプランキング情報の全ての転送が
   前記ブランキングパス上で行なわれ、以て図形データの
   転送及びビームプランキング情報の転送が同時に生じ得
   る、ところの処理装置。 ８．４１許請求の範囲第７項に記載された処理装置であ
   って： 前記・奢ターン発生器の数が、１つのセグメントについ
   ての図形データ変換最大時間と１つのセグメントについ
   てのビットマツ！転送時間との比に１を足し九数に等し
   いか或いは大きい、ところの処理装置。 ９、電子ビームが被加工物の隣接する条片領域を選択的
   に照射する電子ビーム露光装置において、ビームブラン
   キングデータをも走らすための方法であって： 照射すべき・ぐターン形状を檜〈図形データを、前記条
   片領域のうちの１領域の１つのセグメントにそれぞれ対
   応する多数ブロックのセグメント図形データへと小分割
   して、ＲＡＭ内に記憶させる段階；並びに 前記セグメント図形データのブロックのうち少なくとも
   １つを、それぞれのセグメントについてのビームブラン
   キング情報を含むピッ）−ｒラグへと変換する段階と；
   同時に他のビットマツプ内のビームブランキング情報を
   直列化して連続的ビームシランキングデータを、もたら
   す段階と； から成シ、以て前記被加工物の照射と同時に図形データ
   変換が実行されるとζろの方法。 １０、特許請求の範囲第９項に記載された方法であって
   ： セグメント図形データのブロックを同時的に変換する前
   記の段階が、前記の複数のビットマツプを対応する複数
   のビットマッグメモリー内に記憶させる段階を含み； 前記ビームブランキング情報を直列化する前記の段階が
   、前記ビームブランキング情報を前記ビットマツプメモ
   リーからシフトレジスタへと転送する段階、及びその後
   前記ビームブランキング情報を前記シフトレジスタから
   直列に７フトする段階を含む； ところの方法。 １１、　　電子ビーム露光装置において、長方形の夏位
   置、１位置、長さ及び櫂を特定する図形データに基いて
   長方形を描くビームブランキングデータを記憶するため
   の装置であって： 前記ビームプランヤングデータを記憶するためのビット
   マッグメモリ一手段であり、ｎビットのデータワードを
   有し、骸データワードの１ビツトの各々についての書込
   みエネイブル入力を含む、ビットマッグメモリ一手段；
   前記マットマツ！メモリ一手段のアドレス入力に接続さ
   れた出力を有し、前記長方形の！位置に相当するアドレ
   スがロードされる、アドレスカウンタ手段； 前記長方形の長さＩｎ６当するアドレスの数だけ前記ア
   ドレスカウンタ手段が前進された後に、峡アドレスカウ
   ンタ手段を禁止する喪めの手段；並びに ｎビット位置を有するマスクラッチ手段であり、その各
   々が前記ビットマツプメモリ一手段の前記書込みエネイ
   ブル入力の１つに接続した出力を有し、皺マスクラッチ
   手段にはマスクビットがロードされ、腋マスクピットの
   位置が前記長方形の１位置を決定し、前記マスクビット
   の数が前記長方形の幅を決定する、ところのマスクラッ
   チ手段； から成シ、以て前記アドレスカウンタ手段が前記長方形
   の長さに相当するアドレスの数だけ前進され九ときに、
   前記長方形を描くビームブランキングデータが前記ビッ
   トマツプメモリ一手段内に記憶され、且つ以前に記憶さ
   れ九ビームｆランキングデータは転換され表い、ことを
   特徴とする装置。 １２、特許請求の範ｌ！ｌ第１１項に記載された装置で
   あって： 前記アドレスカウンタ手段を禁止する丸めの前記の手段
   がワードカウンタ手段を含み、該ワードカウンタ手段が
   、前記アドレスカウンタ手段によりアク竜スされたアド
   レスをカウントするように配列され、且つ前記アドレス
   カウンタ手段が前記長方形の長さに相当するアドレスの
   数だけ前進されたときに前記アドレスカラ／り手段を禁
   止するように配列されている。 ところの装置。 １３、ビームが被加工物の多数の隣接する条片領域を選
   択的に照射する露光装置において、ビームブランキング
   データをも九らすための・臂ターンデータ処理装置であ
   って： 照射すべき／母ターン形状を描く図形データを記憶する
   よう動作するメモリ一手段であり、前記図形データが多
   数ブロックのセグメント図形データへと小分割され、各
   セグメント図形データが前記条片領域のうちの１領域の
   １つのセグメントに対応する、ところのメモリ一手段；
   並びに セグメント図形データの複数の前記ブロックを、そ、れ
   ぞれのセグメントについてのビームブランキング情報を
   含む複数のビットマツダへと一度に変換する動作と、前
   記ビットマッグの各々の内の前記ビームブランキング情
   報を直列化して連続的ビームブランキングデータをも九
   らす動作とを、同時に行う！ロセツシ／グ手段； から成り、以て前記被加工物の照射と同時に図形データ
   変換が実行されるところの／臂ターンデータ処理装置。 １４、特許請求の範囲第１３項に記載され九処理装置で
   あって、 前記グロセツシング手段が： 複数のノ豐−−ン発生器であシ、その各々が、ピットマ
   ツダメモリーを有し、セグメント図形データの特定ブロ
   ックをピットマッグへと変換し蚊ピットマツダを前記ビ
   ットマッグメモリー内に記憶し且つ特定時に前記ビット
   １ツグメモリーから前記ビットマツプを読出す動作をす
   る、ところの・母ターン発生器；前記・譬ターン発生器
   の各々により変換されるべきセグメント図形データのブ
   ロックを特定して条片領域の連続するセグメントを変換
   する動作と、前記ノ譬ターン発生器の各々が前記ピット
   マッグメモリーから前記ビットｗ’）グを貌出す時を特
   定して連続的ビームプランヤングデータを４九らす動作
   とを、行なう制御手段；並びに 前記ビットマッグメモリーから読出されたピットマッグ
   を直列化する丸めに前記・ヤターン発生器の各々に接続
   されたシフトレジスタ手段； から成る、ところの処理装置。