JPH11233541A - ゲート残余物切断装置 - Google Patents

ゲート残余物切断装置

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JPH11233541A
JPH11233541A JP10288433A JP28843398A JPH11233541A JP H11233541 A JPH11233541 A JP H11233541A JP 10288433 A JP10288433 A JP 10288433A JP 28843398 A JP28843398 A JP 28843398A JP H11233541 A JPH11233541 A JP H11233541A
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gate residue
die
gate
punch
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JP10288433A
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Ki Kim San
キ キム サン
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Samsung Electronics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 切断されたゲート残余物の排出が円滑に行わ
れ、ゲート残余物に起因する装置の故障及び半導体チッ
プパッケージのクラックを防止することができるゲート
残余物切断装置を提供する。 【解決手段】 パッケージ胴体に残存するゲート残余物
を除去するために、リードフレーム９０の下部に位置し
て排出口５２及び固定突起５４を有するゲート残余物切
断ダイ５０と、リードフレーム９０の上部に位置して切
断パンチ７２と押圧突起７４とを有するゲート残余物切
断パンチダイとを備える。また、ゲート残余物切断パン
チダイの切断パンチ７２には、ゲート残余物９４の切断
工程の際、空気の持続的な流れを提供する空気の経路と
しての貫通穴を形成することにより空気流入口を確保す
る。また、ゲート残余物切断ダイ５０の近傍には、ダム
バーを切断するダムバー切断ダイとパンチダイとを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップパッ
ケージ素子の製造装置に関し、より詳細には、封止工程
が完了してパッケージ胴体に残存するゲート残余物を切
断して除去するゲート残余物の切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップパッケージ素子の製造工程
において、半導体チップをリードフレームに取り付けて
電気的に接続した後には、通常、半導体チップを外部か
ら保護し、電気的動作の信頼性を確保するため、エポキ
シ系樹脂化合物により封止する工程を実行している。こ
の封止工程は、パッケージ胴体と同様の形状を備えたキ
ャビティを各々備えた上下金型の間に、半導体チップ付
きのリードフレームを挟持した後、キャビティのゲート
を介して封止樹脂を注入することによりキャビティ内部
を充填する。そして、熱を加えてパッケージを硬化した
後、金型を分離（離型）すると、パッケージ胴体が形成
されたリードフレームが得られる。
【０００３】しかしながら、封止工程を完了した後、上
下金型をパッケージ胴体から分離しても、封止樹脂の注
入通路であるゲート側にはゲート残余物がパッケージ胴
体に残存する。従って、封止工程後には、ダムバーを除
去すると共に、ゲート残余物を除去すべきである。この
ような工程を切断工程という。通常、ゲート残余物の切
断は、ダムバー切断装置によりゲート残余物を切断し、
この切断工程はダムバーの切断直前に実行される。
【０００４】このような従来のダムバー切断装置は、切
断パンチを有する上部ダイと、切断されたゲート残余物
が排出される排出口を有する下部ダイとから構成されて
いる。リードフレームは上部ダイと下部ダイとの間に挟
持され、ゲート残余物は下部ダイの排出口上に位置す
る。そして、上部ダイの切断パンチが下降し、ゲート残
余物を切断する。このように切断されたゲート残余物
は、下部ダイの排出口を介して除去される。排出口の下
部には、切断されたゲート残余物を吸入するための真空
吸入器が形成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のダムバー切断装置では、ゲート残余物が切断
パンチにより切断される際、リードフレームが上部ダイ
と下部ダイの間に挟持されるため、外部から排出口内部
への空気の流れが遮断される。従って、真空吸入器によ
るゲート残余物の吸入が良好に行われないので、ゲート
残余物が排出口内部に残存してしまう不具合があった。
また、切断作業が繰り返されるほど、切断パンチと下部
ダイとが接触して摩擦により磁性を呈することになる。
そして、切断したゲート残余物が、排出口を介して排出
されなくなり、磁性によって切断パンチ又は下部ダイに
も付着してしまう。これにより、次のリードフレームに
対する切断作業を妨害するとともに、切断ダイの破損や
半導体チップパッケージのクラックを引き起こしてしま
う不具合があった。従って、本発明の目的は、ゲート残
余物の切断工程の際、空気が持続的に排出口に供給され
るように改善することにより、切断されたゲート残余物
の排出が円滑に行われるゲート残余物切断装置を提供す
ることを目的とする。また、本発明の他の目的は、切断
されたゲート残余物に起因する切断装置の故障及び半導
体チップパッケージのクラックを防止するゲート残余物
切断装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、封止工程を完了したパッケージ胴体からゲート
残余物を切断するゲート残余物切断装置は、パッケージ
胴体を形成したリードフレームの下部に位置するゲート
残余物切断ダイと、リードフレームの上部に位置するパ
ンチダイとを備える。ここで、ゲート残余物切断ダイに
は、ゲート残余物に対応する位置に形成されてゲート残
余物が切断された後に排出される通路である排出口と、
ゲート残余物が切断される際にリードフレームを支持す
る固定突起とを備えることが好ましい。また、パンチダ
イは、ゲート残余物に対応する位置に形成されてゲート
残余物を切断するための切断パンチと、ゲート残余物が
切断される際にリードフレームを支持する押圧突起とを
備えることが好ましい。また、本発明によるゲート残余
物切断装置は、特に切断パンチの内部に空気流入口であ
る貫通穴を形成し、切断パンチがゲート残余物を切断す
る際、切断パンチの空気流入口を介して外部から排出口
内部への持続的な空気流入が行われて切断されたゲート
残余物が排出口を介して円滑に排出されるように設ける
ことが好ましい。また、複数個のゲート残余物を同時に
切断することができるように、ゲート残余物切断ダイに
複数個の排出口を備え、パンチダイに複数個の切断パン
チを備えることが好ましい。また、ゲート残余物切断ダ
イとリードフレームを移送するための移送レールとを下
部ダイに形成し、パンチダイは上部ダイに形成すること
が好ましい。また、下部ダイはリードフレームのダムバ
ーを切断するためのダムバー切断ダイをさらに備え、上
部ダイはダムバー切断ダイに対応するパンチダイをさら
に備えることが好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
によるゲート残余物切断装置の実施の形態を詳細に説明
する。ここで添付図面には、同じ構成要素に同一符号を
記載している。図１は、本発明によるゲート残余物切断
装置の実施の形態を示す斜視図である。また図２は、図
１に示した上部ダイ２０の底面部を示す斜視図である。
【０００８】図１及び図２に示すように、本発明による
ゲート残余物切断装置１００は、平行してお互いに対向
した位置に配置され、当接するように移動することで嵌
合する下部ダイ１０と上部ダイ２０とを備えている。こ
こで、下部ダイ１０には、ゲート残余物切断ダイ５０及
びダムバー切断ダイ６０が形成されている。一方、上部
ダイ２０には、ゲート残余物パンチダイ７０及びダムバ
ーパンチダイ８０が形成されている。この上部ダイ２０
は、ガイドバー３０に沿って下部ダイ１０まで上下移動
をすることができる。また、下部ダイ１０には、リード
フレーム９０を移送するための移送レール４０が形成さ
れている。
【０００９】また、本発明によるゲート残余物切断装置
１００は、従来のダムバー切断装置に対して、特に、ゲ
ート残余物切断ダイ５０とそれに対応するゲート残余物
パンチダイ７０とを設けたものであり、以下、ゲート残
余物切断ダイ５０及びゲート残余物パンチダイ７０につ
いてより詳細に説明する。
【００１０】封止工程が完了してパッケージ胴体９２が
形成されたリードフレーム９０は、下部ダイ１０の移送
レール４０に沿ってゲート残余物切断ダイ５０に供給さ
れる。そして、リードフレーム９０がゲート切断装置５
０の上部に位置すると、上部ダイ２０がガイドバー３０
に沿って下降して、リードフレーム９０を挟むように押
圧固定する。これにより、上部ダイ２０の切断パンチ７
２が下降し、ゲート残余物９４を切断する。
【００１１】次に、図３及び図４を参照して、ゲート残
余物９４の切断過程について説明する。図３は、図１に
示したゲート残余物切断ダイ５０とリードフレーム９０
との間の関係を示す分解斜視図であり、図４は、図３に
示した４−４線の断面でのゲート残余物が切断されて排
出される状態を示す断面図である。
【００１２】図３及び図４に示すように、ゲート残余物
切断ダイ５０は、リードフレーム９０の下部に位置し、
且つパッケージ胴体９２に残存するゲート残余物９４の
位置に対応するように排出口５２を備えている。また、
リードフレーム９０は、通常、ストリップ形態で形成さ
れ、複数のパッケージ胴体９２が１つのリードフレーム
９０に形成される。従って、ゲート残余物９４の切断工
程は、複数のゲート残余物９４を同時に切断する方式で
実行することが一般的である。これにより、ゲート残余
物切断ダイ５０には複数の排出口５２が形成され、ゲー
ト残余物パンチダイ７０には複数の切断パンチ７２が形
成されていることが好ましい。
【００１３】また、ゲート残余物切断ダイ５０は、リー
ドフレーム９０がパッケージの類型によって多様である
ため、ガイドブロック５８を設け、このガイドブロック
５８の両側に各々２つの排出口ブロック５６とを装着し
ている。従って、排出口ブロック５６は、ガイドブロッ
ク５８の両側から脱着可能であり、パッケージの種類に
よって交替することが可能である。
【００１４】ここで、図３に示したリードフレーム９０
は、いわゆるＴＳＯＰ素子の製造工程に使用されるもの
であって、タイバー９８の間にパッケージ胴体９２のゲ
ート残余物９４が残っている。また、リードフレーム９
０には、図３に示したように、パッケージ胴体９２の両
側にダムバー９６が設けてある。このダムバー９６は、
封止工程時に、封止樹脂のオーバーフローを防止してパ
ッケージ胴体９２の形成を容易にする。このダムバー９
６は、ゲート残余物９４の切断直後に切断されて除去さ
れる。
【００１５】また、ゲート残余物切断ダイ５０の排出口
５２の両側には、固定突起５４が形成されている。この
固定突起５４は、ゲート残余物パンチダイ７０とゲート
残余物切断ダイ５０とを嵌合させた時に、ゲート残余物
パンチダイ７０の押圧突起７４と対向するように設けて
ある（図２及び４参照）。この固定突起５４及び押圧突
起７４は、各々リードフレーム９０の上部面及び下部面
を押圧して切断工程の際にリードフレーム９０を支持し
ている。また、固定突起５４と押圧突起７４とは、各々
ゲート残余物切断ダイ５０とゲート残余物パンチダイ７
０との表面に所定の高さを備えて突設している。このた
め、固定突起５４と押圧突起７４とがリードフレーム９
０の上下面に当接して押圧することで支持するため、パ
ッケージ胴体９２にはゲート残余物切断ダイ５０及びゲ
ート残余物パンチダイ７０からの衝撃を伝えることがな
い。
【００１６】一方、ゲート残余物パンチダイ７０には、
ゲート残余物切断ダイ５０の排出口５２に対応して嵌入
する切断パンチ７２が形成されている。この切断パンチ
７２は、リードフレーム９０がゲート残余物切断ダイ５
０とゲート残余物パンチダイ７０との間に挟持されてゲ
ート残余物９４が排出口５２と切断パンチ７２との間に
配置されると、下降してゲート残余物９４を切断する。
また、排出口５２の下部には、切断されたゲート残余物
９４を吸入するための真空吸入器（図示せず）が位置し
ている。このため、ゲート残余物９４は、排出口５２を
介して真空吸入器が吸入することで除去することができ
る。切断パンチ７２により切断されたゲート残余物９４
が排出口５２を介して排出される状態を図４に示してい
る。
【００１７】前述した切断パンチ７２によるゲート残余
物９４の切断工程は、従来のダムバー切断装置のように
次のような不具合を有している。すなわち、リードフレ
ーム９０がゲート残余物切断ダイ５０の固定突起５４と
ゲート残余物パンチダイ７０の押圧突起７４との間に挟
持されているため、外部からの排出口５２内への空気の
流れが遮断されてしまう。従って、真空吸入器（図示せ
ず）によるゲート残余物９４の吸入が良好に行われない
ので、ゲート残余物９４が排出口５２の内部に残存して
しまう。また、切断作業が繰り返されるほど、切断パン
チ７２とゲート残余物切断ダイ５０とが摩擦して磁性を
呈してしまう。これにより切断されたゲート残余物９４
は、排出口５２を介して排出されなくなり、磁性によっ
て切断パンチ７２又はゲート残余物切断ダイ５０に付着
してしまう。従って、次のリードフレームに対する切断
作業を妨害してしまう。
【００１８】従って、ゲート残余物９４の切断工程の
際、空気の持続的な流れを提供する経路が必要である。
以下、図５〜図７を参照して、このような空気の持続的
な流れを提供する経路について詳細に説明する。図５
は、図４に示した切断パンチ７２に形成される空気流入
口を示す斜視図である。また図６は、図４に示した切断
パンチ７２に形成される空気流入口の他の実施の形態を
示す斜視図である。また、図７は、図５に示した貫通穴
７８を形成した切断パンチ７２によるゲート残余物の切
断工程の動作を示す動作説明図である。
【００１９】図５及び図６に示すように、切断工程の
際、空気の持続的な流れを確保するため、切断パンチ７
２の内部に上部から下部に貫通する貫通穴７８又は溝７
９のいずれかを形成することが解決方法の１つである。
【００２０】このように本発明によるゲート残余物切断
装置は、切断パンチ７２に貫通穴７８及び溝７９などの
ような空気の経路を形成することにより空気流入口を確
保している。また、このような貫通穴７８及び溝７９な
どのような空気の経路により空気流入口を確保するため
には、例えば、図５に示した貫通穴７８の場合、図７に
示したように、リードフレーム９０がゲート残余物切断
ダイ５０の固定突起５４とゲート残余物パンチダイ７０
の押圧突起７４との間に挟持されて空気の流れが遮断さ
れても、切断パンチ７２の貫通穴７８を介して持続的に
空気を流入させることができる（図６に示した１１
０）。従って、排出口５２内部において、真空吸入が円
滑に行われ、これにより、切断されたゲート残余物９４
が排出口５２を介して容易に排出される。
【００２１】以上、本発明によるゲート残余物切断装置
の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述の実施
の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で変更可能である。例えば、切断パンチ７２に貫
通穴７８または溝７９のいずれかを１箇所形成した実施
の形態を説明したが、これに限定されるものではなく、
貫通穴７８及び溝７９の両方、或いは、いずれか一方を
複数設けることで空気の流動を向上させてもよい。
【００２２】
【発明の効果】このように本発明のゲート残余物切断装
置によれば、リードフレームが上下ダイの間に挟持され
て空気の流れが遮断されるとしても、切断パンチに貫通
穴などの空気流入口を形成することにより、切断パンチ
の貫通穴を介して持続的に空気の流れを提供することが
できる。従って、切断されたゲート残余物を真空吸入器
により排出口を介して容易に除去することができ、切断
装置の故障及びパッケージのクラックなどの不具合を防
止することができる。また、切断パンチとゲート残余物
切断ダイとが摩擦して磁性を呈したとしても、切断パン
チの空気流入口を介して空気の流れが持続的に流入され
るため、切断されたゲート残余物が磁性により切断パン
チ又はゲート残余物切断ダイに付着してしまい次のリー
ドフレームに対する切断作業に与える影響を低減および
防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるゲート残余物切断装置の実施の形
態を示す斜視図。
【図２】図１に示した上部ダイの底面部を示す斜視図。
【図３】図１に示したゲート残余物切断ダイとリードフ
レームとの間の関係を示す分解斜視図。
【図４】図３に示した４−４線の断面でのゲート残余物
が切断されて排出される状態を示す断面図。
【図５】図４に示した切断パンチに形成される空気流入
口を示す斜視図。
【図６】図４に示した切断パンチに形成される空気流入
口の他の実施の形態を示す斜視図。
【図７】図５に示した貫通穴を形成した切断パンチによ
るゲート残余物の切断工程の動作を示す動作説明図。
【符号の説明】
１０ 下部ダイ ２０ 上部ダイ ３０ ガイドバー ４０ 移送レール ５０ ゲート残余物切断ダイ ５２ 排出口 ５４ 固定突起 ５６ 排出口ブロック ５８ ガイドブロック ６０ ダムバー切断ダイ ７０ ゲート残余物パンチダイ ７２ 切断パンチ ７４ 押圧突起 ７８ 貫通穴 ７９ 溝 ８０ ダムバーパンチダイ ９０ リードフレーム ９２ パッケージ胴体 ９４ ゲート残余物 ９６ ダムバー ９８ タイバー １００ ゲート残余物切断装置

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 封止工程を完了したパッケージ胴体から
    ゲート残余物を切断するゲート残余物切断装置であっ
    て、 前記パッケージ胴体が形成されたリードフレームの下部
    に位置し、且つ、前記ゲート残余物に対応する位置に形
    成されて前記ゲート残余物が切断された後に排出される
    通路である排出口と、前記ゲート残余物が切断される際
    に前記リードフレームを支持する固定突起とを備えるゲ
    ート残余物切断ダイと、 前記リードフレームの上部に位置し、且つ、前記ゲート
    残余物に対応する位置に形成されて前記ゲート残余物を
    切断するための切断パンチと、前記ゲート残余物が切断
    される際に前記リードフレームを支持する押圧突起とを
    備えるパンチダイとを備え、 前記切断パンチが前記ゲート残余物を切断する際、切断
    されたゲート残余物が前記排出口を介して円滑に排出で
    きるように、前記切断パンチに空気流入口が形成され、
    これにより外部から前記排出口に持続的な空気流入が行
    われることを特徴とするゲート残余物切断装置。
  2. 【請求項２】 前記空気流入口は、前記切断パンチの内
    部に形成される貫通穴であることを特徴とする請求項１
    に記載のゲート残余物切断装置。
  3. 【請求項３】 前記空気流入口は、前記切断パンチの外
    壁に形成される溝であることを特徴とする請求項１に記
    載のゲート残余物切断装置。
  4. 【請求項４】 前記ゲート残余物切断装置は、複数個の
    ゲート残余物を同時に切断することができるように、前
    記ゲート残余物切断ダイに複数個の排出口を備え、前記
    パンチダイに複数個の切断パンチを備えていることを特
    徴とする請求項１に記載のゲート残余物切断装置。
  5. 【請求項５】 前記ゲート残余物切断ダイ及び前記リー
    ドフレームを移送するための移送レールとは下部ダイに
    形成され、前記パンチダイは上部ダイに形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載のゲート残余物切断装
    置。
  6. 【請求項６】 前記下部ダイは、前記リードフレームの
    ダムバーを切断するためのダムバー切断ダイをさらに含
    み、前記上部ダイは、前記ダムバー切断ダイに対応する
    パンチダイをさらに含むことを特徴とする請求項５に記
    載のゲート残余物切断装置。
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