CN104943111A - 树脂成型装置及树脂成型方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种树脂成型装置及树脂成型方法。通过简单的装置结构和简单的方法来判断在浇口中是否产生树脂残留。与连接到型腔的顶面的浇口对应地，在浇口抽吸机构设置有抽吸部和与抽吸部相连的抽吸通道。抽吸通道通过配管与抽吸机构连接。在配管上设置有测定所抽吸空气的流量的流量传感器。收集所测定出的流量值并进行数据处理的控制机构与流量传感器连接。使吸附部紧贴于浇口的开口周围，并使用抽吸机构经由浇口抽吸大气中的空气。通过对由流量传感器测定出的流量值和预先存储在控制机构中的基准流量值进行比较，来判断在浇口中是否产生树脂残留。

Description

树脂成型装置及树脂成型方法

技术领域

本发明涉及一种对由安装在基板上的集成电路(Integrated Circuit：IC)等芯片构成的电子部件进行树脂封装的情况等中所使用的树脂成型装置及树脂成型方法。

背景技术

一直以来使用传递模塑法、压缩成型法(压缩模塑法)、注塑成型法(注射模塑法)等树脂成型技术，并使用硬化树脂对安装于引线框或印刷基板等构成的基板上的IC等电子部件进行树脂封装。

例如，在使用传递模塑法的树脂成型装置中，以如下方式进行树脂封装。对作为成型模的上模和下模进行开模。有时也根据装置的结构，在上模和下模之间设置中间模。接着，使用运送机构，在下模的型面中的规定位置配置成型前基板，并且向下模上设置的料筒的内部供给树脂块。接着，使下模向上移动，对上模和下模进行合模。此时，电子部件和其周边的基板被收容在设置于上模与下模中至少一个中的型腔的内部。接着，使用柱塞按压料筒内的树脂块并进行加热使其熔融。使用柱塞进一步按压熔融后的流动性树脂，并经由被称作主流道(カル)、横浇道和浇口的树脂通道向型腔内注入流动性树脂。接下来，通过对流动性树脂进行加热硬化所需要的所需时间，从而使流动性树脂硬化以形成硬化树脂。由此，将型腔内的电子部件与其周边的基板树脂封装在对应于型腔的形状而成型的硬化树脂内。接着，对上模和下模进行开模，使已封装基板脱模。此外，在本申请文件的全文中，所谓“浇口”这一术语表示“将材料从直浇道(或者在多个安装金属模中为横浇道)注入到金属模型腔中的流道或铰孔”(参照JISK6900)。

但是，在型腔的侧面或顶面(内底面)中的任一面上设置有用于注入流动性树脂的注入口。在成型模上设置有由与该注入口相连的空间构成的浇口。形成于作为树脂通道的主流道、横浇道和浇口的硬化树脂为不需要树脂，通过打浇口从已封装基板分离不需要树脂。就浇口来说，与型腔连接的前端相对于横浇道侧较细而倾斜地形成，以便容易分离不需要树脂。但是，当分离不需要树脂时，有时形成于浇口前端部的硬化树脂被折断。即使废弃形成于主流道、横浇道和浇口的不需要树脂，该被折断的硬化树脂也会残留在浇口前端部。若在保持浇口中残留有硬化树脂的状态下进行树脂封装，则该残留的硬化树脂部分或完全堵塞浇口。当继续进行树脂封装时，残留的硬化树脂会阻挡流动性树脂向型腔的注入。由此会产生硬化树脂未被填充于型腔中等的成型不良。因此，检测出在浇口中是否残留有硬化树脂，换言之在浇口中是否产生硬化树脂的残留(以下，称作“树脂残留”)是很重要的。

作为树脂成型金属模的浇口堵塞检测装置，提出有如下浇口堵塞检测装置(例如，专利文献1的第二页及图1和图2)：该浇口堵塞检测装置在具有使横浇道和型腔连通的浇口的树脂成型金属模中具备：空气供给通道，将从空气供给源供给的浇口堵塞检测用空气向上述横浇道内导出；开闭阀，开闭该空气供给通道；和压力检测机构，在打开该开闭阀的状态下检测出经上述空气供给通道供给到横浇道内的空气的压力，并且该浇口堵塞检测装置被构成为根据由该压力检测机构检测出的空气压力的变化状态来判别在上述浇口内是否产生成型材料残留的浇口堵塞。

专利文件1：特开平2-289325号公报

然而，在专利文献1中所公开的浇口堵塞检测装置(以下，称作现有例)中，发生如下的问题。如专利文献1的图1和图2所示，在现有例中，在进行注塑成型之前将上模1和下模2合模的状态下，从空气供给源向连通管6内供给规定压力的空气。在因发生浇口堵塞而潜伏浇口被成型材料16闭塞的情况下，从横浇道3向型腔4的空气流入会受到阻碍，因此空气的压力提前上升至空气供给源的输出压力。于是，在现有例中，通过判别机构15对基于压力检测机构14的检测值求出的空气压力的上升速度和预先根据计算等求出的基准速度进行比较，来判别是否产生浇口堵塞。

如此，在现有例中通过检测出空气压力的上升速度，换言之通过测定到达空气供给源的输出压力为止的时间来计算空气压力的上升速度，并且基于该计算结果判别是否产生浇口堵塞。空气压力随着时间的流逝而上升，最终到达规定压力而成为恒定的压力。因此，在现有例中，正确监视直至到达恒定的压力的时间是很重要的。由于最终收敛在恒定压力内，因此必需通过严密监视由时间引起的压力变化来正确判断何时到达规定压力。然而，在刚供给空气之后的压力变化较大，但是靠近规定压力则压力变化非常小。而且，由于压力逐渐变化而到达规定压力。因此，难以正确判断到达该规定压力的时间为何时。如果无法正确判断到达规定压力的时间，则难以判别是否产生浇口堵塞。

另外，在现有例中，暂且停止成型工序，使树脂成型金属模为合模后的状态来判别是否产生浇口堵塞。因此，无法在即将实施成型工序之前检测出是否产生浇口堵塞。假如在成型工序中产生浇口堵塞，也无法检测出浇口堵塞，因此进行下一个注塑成型。其结果，产生由浇口堵塞引起的成型不良。因此，也具有如下的问题：无法在注塑成型产品之前判别是否产生浇口堵塞。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种树脂成型装置及树脂成型方法，该树脂成型装置及树脂成型方法能够通过简单的装置结构和简单的方法来正确判断在浇口中是否产生树脂残留。

为了解决上述问题，本发明所涉及的树脂成型装置具备：

第一成型模；

第二成型模，与所述第一成型模相对设置；

型腔，设置于所述第一成型模中的与所述第二成型模相对的部位，所注入的流动性树脂在所述型腔内硬化而形成硬化树脂；

浇口，设置于所述第一成型模且与所述型腔的顶面连接；以及

合模机构，对至少具有所述第一成型模和所述第二成型模的成型模组进行合模，

所述树脂成型装置成型具有所述硬化树脂的成型品，其特征在于，具备：

浇口抽吸机构，以与所述型腔重合的方式配置在所述第一成型模与所述第二成型模之间；

抽吸部，设置于所述浇口抽吸机构；

抽吸通道，设置于所述浇口抽吸机构并与所述抽吸部相连；

配管，连接到所述抽吸通道；

抽吸机构，连接到所述配管；

流量测定机构，设置于所述配管，用于生成与通过所述配管的气体的流量相应的测定流量信息；以及

判断机构，基于从所述流量测定机构接收的所述测定流量信息计算出所述流量，并且基于该流量进行规定的判断，

在所述抽吸部的前端与所述浇口的开口周围的所述第一成型模的型面紧贴，并且由所述抽吸机构抽吸存在于所述浇口内的所述气体的状态下，所述流量测定机构生成测定流量信息，

所述规定的判断为，通过对在所述硬化树脂未残留在所述浇口中的状态下预先测定并存储的所述气体的基准流量信息和所述测定流量信息进行比较，来判断在所述浇口中是否残留有所述硬化树脂。

另外，本发明的树脂成型装置具有如下的方式：

设置有多个所述浇口，

与多个所述浇口分别对应地设置有多个所述抽吸部。

另外，本发明的树脂成型装置具有如下的方式：

与多个所述浇口分别对应地设置有多个所述型腔。

另外，本发明的树脂成型装置具有如下的方式：

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

所述浇口抽吸机构具有与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应的n个所述抽吸通道，每一个所述抽吸通道分别与构成所述抽吸部列中的每一列的所述m个抽吸部连通，

n个所述抽吸通道分别连接到共用的所述配管上的、从所述流量测定机构观察时位于所述抽吸机构的相反侧的配管部位。

另外，本发明的树脂成型装置具有如下的方式：

具备连接到所述抽吸机构的n条所述配管，

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

所述浇口抽吸机构具有与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应的n个所述抽吸通道，每一个所述抽吸通道分别与构成所述抽吸部列中的每一列的所述m个抽吸部连通，

n个所述抽吸通道分别与n条所述配管连接。

另外，本发明的树脂成型装置具有如下的方式：

进一步具备分别支撑所述抽吸部的弹性体。

另外，本发明的树脂成型装置具有如下的方式：

进一步具备运送机构，所述运送机构进行运送用于成型所述成型品的材料并移交给所述成型模组的动作和将所述成型品从所述成型模组取出的动作中的至少一个动作，

所述浇口抽吸机构设置于运送机构。

为了解决上述问题，本发明所涉及的树脂成型方法包括：

准备至少具有第一成型模和第二成型模的成型模组的工序，所述第一成型模具有供流动性树脂硬化而形成硬化树脂的型腔，所述第二成型模与所述第一成型模的所述型腔形成部位相对设置；

对所述成型模组进行合模的工序；

经由设置于所述第一成型模且与所述型腔的顶面连接的浇口向所述型腔注入所述流动性树脂的工序；

通过使所述流动性树脂硬化而形成硬化树脂的工序；

对所述成型模组进行开模的工序；以及

将具有所述硬化树脂的成型品从所述成型模组取出的工序，

所述树脂成型方法包括：

在准备抽吸部后，使该抽吸部的前端紧贴于所述浇口的开口周围的所述第一成型模的型面上的工序；

在准备抽吸机构后，在所述硬化树脂未残留在所述浇口的状态下，使用所述抽吸机构且经由所述抽吸部抽吸存在于所述浇口内的气体的同时，将通过与所述抽吸部相连的配管的所述气体的流量作为基准流量来预先测定的工序；

基于所述基准流量生成基准流量信息，并存储所生成的基准流量信息的工序；

使用所述抽吸机构且经由所述抽吸部抽吸存在于所述浇口内的气体的同时，测定通过所述配管的所述气体的流量的工序；

基于所述流量生成测定流量信息的工序；以及

通过对所述基准流量信息与所述测定流量信息进行比较，来判断在所述浇口中是否残留有所述硬化树脂的工序。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的方式：

分别设置有多个所述浇口和对应该浇口的所述抽吸部，

在使所述抽吸部的前端紧贴的工序中，使多个所述抽吸部的前端分别紧贴于多个所述浇口的开口周围的所述第一成型模的型面上，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，分别经由多个所述抽吸部来抽吸存在于多个所述浇口内的气体。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的方式：

与多个所述浇口分别对应地设置有多个所述型腔，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，分别经由多个所述抽吸部抽吸存在于多个浇口内的气体。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的方式：

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部(m和n均为正整数)，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，在准备抽吸通道后，经由该抽吸通道一并抽吸存在于多个所述浇口内的气体，其中，所述抽吸通道与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应地设置为n个，且分别与构成所述抽吸部列中的每一列的m个所述抽吸部中的每一个抽吸部连通，

在生成所述测定流量信息的工序中，在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中一并抽吸所述气体时，在共同连接于n个所述抽吸通道的所述配管上的与n个所述抽吸通道相比更加靠近所述抽吸机构的配管部位测定所述流量，从而生成所述测定流量信息。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的方式：

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，在准备抽吸通道后，分别经由该抽吸通道，分别抽吸存在于与所述n行抽吸部列中的每一列所具有的所述m个抽吸部对应的m个所述浇口内的气体，其中，所述抽吸通道与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应地设置为n个，且分别与构成所述抽吸部列中的每一列的m个所述抽吸部连通，

在生成所述测定流量信息的工序中，通过分别测定与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应的所述配管中的所述流量而生成n个所述测定流量信息。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的方式：

在使所述抽吸部的前端紧贴的工序中，使用弹性体支撑所述抽吸部。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的方式：

进一步包括：

准备设置有所述抽吸部的运送机构的工序；

运送用于成型所述成型品的材料并移交给所述成型模组的工序；以及

将所述成型品从所述成型模组取出的工序，

使用所述运送机构执行所述移交工序和所述取出工序中的至少一个工序，

在所述移交工序或所述取出工序中，至少执行使所述抽吸部的前端紧贴的工序、抽吸存在于所述浇口内的气体的工序和测定所述流量的工序。

根据本发明，在浇口抽吸机构设置抽吸部和与抽吸部相连的抽吸通道，并通过配管连接抽吸通道和抽吸机构。在配管具备流量测定机构和进行测定流量信息的判断的判断机构。使浇口抽吸机构上设置的吸附部紧贴于连接到型腔的顶面的浇口的开口周围，并使用抽吸机构抽吸浇口内存在的气体。由此，能够通过对抽吸并测定的测定流量信息和预先测定并存储的基准流量信息进行比较来判断在浇口中是否残留有硬化树脂。因此，能够通过所谓测定抽吸后的气体的流量这种简单的装置结构及简单的方法容易判断是否产生残留树脂。

附图说明

图1是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例1中装置的大致结构的主视图。

图2是表示在图1所示的树脂成型装置中的成型模结构的示意性局部剖视图。

图3是表示在图2所示的成型模中的中间模结构的示意图。图3的(a)是俯视图，图3的(b)是从A-A线观察的剖视图。

图4是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例1中对应图3所示浇口的浇口抽吸机构的第一结构的示意图。图4的(a)是俯视图，图4的(b)是从A-A线观察的浇口抽吸机构的剖视图。

图5是表示在图4所示的浇口抽吸机构中抽吸机构的结构的示意图。图5的(a)是表示设置有一个流量传感器的抽吸机构结构的示意图，图5的(b)是表示设置有多个流量传感器的抽吸机构的结构的示意图。

图6是表示使用图4所示的浇口抽吸机构检测出中间模的浇口中的树脂残留状态的示意性局部剖视图。图6的(a)是表示浇口抽吸机构与中间模的浇口紧贴之前的状态的示意性局部剖视图，图6的(b)是表示浇口抽吸机构与中间模的浇口紧贴之后的状态的示意性局部剖视图。

图7是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例2中对应图3所示浇口的浇口抽吸机构的第二结构的示意图。图7的(a)是俯视图，图7的(b)是从A-A线观察的剖视图。

图8是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例3中一体化地构成有浇口抽吸机构的装载器被配置在成型模的规定位置上的状态的示意性局部剖视图。

图9是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例3中使用装载器检测出中间模的浇口中树脂残留状态的示意性局部剖视图。

图10是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例3中生成有硬化树脂状态的示意性局部剖视图。

图11是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例3中使用卸载器取出通过打浇口来残留的不需要树脂的状态的示意性局部剖视图。

图12是表示在本发明所涉及的树脂成型装置的实施例树脂3中使用卸载器取出完成树脂封装的成型品的状态的示意性局部剖视图。

具体实施方式

如图4所示，在本发明的各实施例中，在浇口抽吸机构26设置抽吸部27和与抽吸部27相连的抽吸通道28，并使之对应连接到型腔23的顶面的浇口24。将抽吸通道28通过配管29与抽吸机构30连接。在配管29上设置用于测定抽吸后的空气的流量的流量传感器31。将收集由流量传感器31测定的流量值并进行数据处理的控制机构CTL与流量传感器31连接。使抽吸部27的前端紧贴于浇口24的开口24b周围，并使用抽吸机构30经由浇口24抽吸大气中的空气。通过对由流量传感器31测定的流量值和预先存储到控制机构CTL的基准流量值进行比较，来判断是否在浇口24中产生树脂残留。

(实施例1)

参照图1至图6，对本发明的树脂成型装置的实施例1进行说明。本申请文件中的任一幅图均为了易于理解而进行适当省略或夸张以示意性地绘制。对相同的结构要素使用相同的附图标记，并适当省略说明。

如图1所示，在本实施例的树脂成型装置1中设置有底座2、设置于底座2上的四个角部的拉杆3和固定在拉杆3的上端部的固定盘4。在固定盘4的下表面设置有上模板5，在上模板5内设置有树脂成型用的上模6。可动盘7安装在拉杆3上，并且相对于固定盘4能够升降。在可动盘7的上表面，与上模板5相对地设置有下模板8，在下模板8内设置有树脂成型用的下模9。上模6和下模9相对地设置，并在上模6与下模9之间设置有中间模10。上模6、下模9和中间模10一起构成成型模。

驱动机构11为使中间模10在上模6与下模9之间升降的驱动机构。例如，可通过由齿轨和小齿轮机构构成的驱动机构11使中间模10升降。通过使用驱动机构11使中间模11升降，从而在上模5与中间模11之间以及中间模10与下模9之间进行局部合模和开模。中间模10的合模和开模并不仅限定于使用驱动机构11的情况。也可以通过设置于上模板5和下模板8的夹钳机构，将中间模10固定在上模板7或下模板8上。

在上模板5和下模板8中内装有用于加热上模6和下模9的加热器(未图示)。上模板5和上模6以及下模板8和下模9被加热至170℃左右。上模6、下模9和中间模10构成为能够分别根据树脂封装的对象在树脂成型装置1内简单地更换。

合模机构12是为了彻底进行合模和开模而使可动盘7升降的机构，例如，由肘节机构和液压缸等构成。通过使用合模机构12以使可动盘7升降，从而以上模6、下模9和中间模10为对象进行合模和开模。在对上模6、下模9和中间模10开始进行合模或开模的时刻，中间模10可以已经与上模6或下模9合模，也可以是通过夹钳机构被固定在上模6或下模9的状态。

此外，在实际的树脂成型装置1中，上模6和下模9一般由被称作模套架的外侧部分、被称作模套的内侧部分和设置有被称作阴模的型腔部分构成。在图1中，省略关于这些结构要素的图示。

参照图2，对本实施例的树脂成型装置1中的上模6、下模9和中间模10的结构进行说明。如图2所示，上模6、下模9和中间模10处于开模后的状态。装载器13为将安装有半导体芯片14的基板15和作为树脂材料的树脂块16运送至上模6与下模9之间的规定位置的运送机构。芯片14的端子和基板15的端子通过导线17电连接。此时，通过装载器13同时运送基板15和树脂块16。还可以分别运送基板15和树脂块16。

在下模9设置有收容通过装载器13供给的树脂块16的料筒18和将通过装载器13供给的基板15配置的下模9的规定位置上的凹部19。在料筒18内设置有按压已收容的树脂块16的柱塞20。在上模6设置有树脂块16经加热而熔融后的流动性树脂的通道——主流道21和横浇道22。

在中间模10设置有用于收容安装于基板15上的芯片14且作为形成硬化树脂的空间的型腔23和向型腔23供给流动性树脂的浇口24。另外，在中间模10设置有作为从料筒18向主流道21压送流动性树脂的树脂通道的贯通孔25。在对上模6、下模9和中间模10进行合模的状态下，连通料筒18、贯通孔25、主流道21、横浇道22、浇口24和型腔23，向型腔23注入流动性树脂。

参照图3，对图2所示的中间模10中的型腔23及浇口24的结构的一例进行说明。如图3的(a)所示，例如，型腔23和浇口24沿横向及纵向设置成格子状(矩阵状)。将沿横向(X方向)的排列称作“行”，沿纵向(Y方向)的排列称作“列”。此时，在中间模10沿横向(X方向)设置有四个型腔23和浇口24，并且沿纵向(Y方向)设置有五个型腔23和浇口24，总计设置有20个型腔23和浇口24。可根据产品任意确定设置于中间模10的型腔23和浇口24的数量。

如图3的(b)所示，与各个型腔23对应地在型腔23的顶面(图中为上表面)中的规定的位置(例如，中央位置)连接有浇口24的前端。浇口24为筒状的空间，被形成为圆锥状的形状。浇口24被形成为与横浇道22(参照图2)连接的一侧的开口24a的直径较大，并且与型腔23连接的一侧的开口24b的直径较小。如此，通过使与型腔23连接的一侧的浇口较细，从而能够容易对型腔23内成型的成型品进行打浇口。然而，在通过使与型腔23连接的一侧的浇口较细来进行打浇口时，容易产生因形成于浇口前端部的硬化树脂被折断而该硬化树脂作为树脂残留而残留在浇口中的弊病。

参照图4，对检测出在图3的(a)所示的浇口24中是否产生树脂残留的浇口抽吸机构26的结构进行说明。如图4的(a)所示，在浇口抽吸机构26分别设置有抽吸空气的抽吸部27，抽吸部27对应图3的(a)所示的各个浇口24的位置。如图3的(a)和图4的(a)所示，与浇口24对应地在浇口抽吸机构26沿横向(X方向)设置有四个抽吸部27，并且沿纵向(Y方向)设置有五个抽吸部27，总计设置有20个抽吸部27。在此，空气为在浇口24中流通的气体的一例，但是也可以是空气之外的气体。例如，当在由空气之外的气体(氮气等)置换包括浇口24的内部空间的装置配置环境的状态下使用该树脂成型装置时，被置换的气体为本实施例中的气体。

例如，在从第一行至第五行的各行中，沿横向(X方向)配置的四个抽吸部27分别通过沿横向(X方向)延伸的抽吸通道28而连接。沿横向配置的四个抽吸部27经由抽吸通道28与外部连接。因此，将从第一行至第五行的各行上设置的四个抽吸部27与外部连接的抽吸通道28沿纵向(Y方向)设置为五个。不限于此，也可以沿纵向(Y方向)设置抽吸通道28。此时，沿纵向配置的五个抽吸部27分别通过沿纵向(Y方向)延伸的抽吸通道28而连接。将从第一列至第四列的各列上设置的五个抽吸部27与外部连接的抽吸通道28沿横向(X方向)设置为四个。

如图4的(b)所示，抽吸部27由抽吸部主体27a和吸附盘27b构成，其中，所述吸附盘27b由安装在抽吸部主体27a的前端上的弹性部件构成。吸附盘27b具有筒状的形状或前端扩展的锥状的剖面形状。作为吸附盘27b，例如使用丁腈橡胶、硅橡胶和氟橡胶等。由于在树脂成型装置1中，通过将上模6和下模9加热至170℃左右而进行树脂封装，因此作为吸附盘27b，优选使用具有耐热性的硅橡胶或氟橡胶。

在浇口抽吸机构26上设置的各个抽吸通道28通过由挠性管、氟树脂管和尼龙管等构成的配管29与抽吸机构30连接。优选配管29具有柔软性和耐热性等。作为抽吸机构30，使用真空喷射器或真空泵等。在各个抽吸通道28与抽吸机构30之间，设置有用于测定由所有的五个抽吸通道28抽吸的空气的总流量的流量传感器31。用于收集通过流量传感器31测定的流量值，并进行数据的保存和计算等数据处理的控制机构CTL与流量传感器31连接。使用抽吸机构30，从浇口抽吸机构26上设置的20个抽吸部27抽吸存在于浇口24内的气体。由于在本实施例中，浇口24开放于大气中，因此从20个抽吸部27抽吸大气中的空气。

如图5所示，可以与浇口抽吸机构26上设置的抽吸部27的数量对应地设置一个或多个流量传感器31。图5的(a)表示对应浇口抽吸机构26上设置的20个抽吸部27设置一个流量传感器31和与一个流量传感器31对应的控制机构CTL的情况。沿横向设置的五个抽吸通道28通过配管29且经由一个流量传感器31与抽吸机构30连接。因此，流量传感器31测定从浇口抽吸机构26上设置的20个抽吸部27抽吸的空气的总流量。

图5的(b)表示与连接浇口抽吸机构26中的第一行至第五行的各行上分别设置的四个抽吸部27的各个抽吸通道28对应地分别设置有一个流量传感器31的情况。此时，通过五个流量传感器31分别测定从连接到各抽吸通道28的四个抽吸部27抽吸的空气的总流量。以与五个流量传感器31对应的方式设置有控制机构CTL。因此，控制机构CTL收集所有的通过五个流量传感器31测定的流量值，并进行数据的保存和计算等处理。可根据浇口抽吸机构26上设置的抽吸部27的数量或抽吸通道28的数量、所抽吸的空气的总流量等任意确定流量传感器31的数量。

在图5的(a)、(b)中的任一种情况下，都使用浇口抽吸机构26预先测定在没有树脂残留的正常状态下抽吸的空气的总流量，并将该总流量作为基准流量信息存储在控制机构CTL中。而且，由控制机构CTL对与实际上使用浇口抽吸机构26测定的总流量对应的测定流量信息和预先存储的基准流量信息进行比较。由此，能够判断在浇口24中是否产生树脂残留。因此，控制机构CTL作为判断机构发挥功能。

参照图3至图6，对使用浇口抽吸机构26，检测出在图3所示的中间模10上设置的浇口24中是否产生树脂残留的动作进行说明。首先，如图6的(a)所示，使浇口抽吸机构26移动至中间模10的下方的规定位置，使得浇口抽吸机构26上设置的抽吸部27分别对应中间模10上设置的各个浇口24的位置。

接着，如图6的(b)所示，通过使浇口抽吸机构26向上移动，以使吸附盘27b紧贴于与型腔23连接的浇口24的开口24b周围。吸附盘27b具有前端扩展的锥状的剖面形状。由于吸附盘27b由硅橡胶或氟橡胶等弹性部件形成，因此能够使吸附盘27b完全紧贴于开口24b周围。如此，防止浇口24内存在的空气从浇口24的开口24b向型腔23中泄漏。

接着，使用抽吸机构30，抽吸存在于浇口24内的空气。浇口24内的空间处于与中间模10的外部连通的状态，换言之处于与大气连通的状态。因此，抽吸机构30抽吸大气中的空气。从大气中抽吸的空气从中间模10上设置的浇口24，依次经由浇口抽吸机构26上设置的吸附盘27b、抽吸部主体27a、抽吸通道28以及连接到抽吸通道28的配管29和流量传感器31，从抽吸机构30排出。通过流量传感器31测定从浇口24抽吸的空气的总流量。通过控制机构CTL对与已测定的总流量对应的测定流量信息和预先存储的基准流量信息进行比较。如此，能够判断在浇口24中是否产生树脂残留。

就图3的(a)所示的中间模10来说，使20个浇口24都处于没有树脂残留的正常的状态。在该正常的状态下，如图5的(a)所示，使用抽吸机构30，并通过一个流量传感器31测定从20个浇口24抽吸的空气的总流量。

设定抽吸机构30的抽吸量，使得从20个浇口24抽吸的空气的总流量的测定值为适当的值，例如为2L/min。换言之，将2L/min设为作为空气的总流量的测定值的设定值。如果是没有树脂残留的正常的状态，则从每一个浇口24抽吸的空气流量都相同，因此从每一个浇口24抽吸的空气的流量为0.1L/min(＝2L/min÷20)。如此，在没有树脂残留的正常状态下，预先设定抽吸机构30的抽吸量，使得从每一个浇口24抽吸的空气的流量的测定值为恒定值(0.1L/min)。因此，能够通过对该已设定的空气的总流量的测定值(2L/min)和由浇口抽吸机构26实际抽吸的空气的总流量的测定值进行比较，来判断是否产生树脂残留。

例如，假设如下的状态：在图3的(a)所示的中间模10上设置的20个浇口24中的一个浇口24残留有硬化树脂，并且树脂残留完全堵塞浇口24。在该状态下，使用浇口抽吸机构26，从浇口24抽吸大气中的空气。通过流量传感器31测定从20个浇口24抽吸的空气的总流量。由于无法从20个浇口24中的因树脂残留完全被堵塞的一个浇口24抽吸空气，因此通过流量传感器31测定的总流量为从没有树脂残留的19(20-1)个浇口24抽吸的空气的总流量。因此，从19个浇口24抽吸的空气的总流量为1.9L/min(＝2L/min-0.1L/min)。当测定出的总流量少于作为被设定为正常状态下测定值的总流量的2L/min时，能够判断在某一个浇口24中产生树脂残留。如此，能够使用浇口抽吸机构26来判断是否产生树脂残留。

在上述的实施例中，设定抽吸机构30的抽吸量，使得从20个浇口24抽吸的空气的总流量的测定值为2L/min。从每一个浇口24抽吸的空气的流量为0.1L/min(＝2L/min÷20)。因此，在两个浇口24具有完全的树脂残留的情况下的总流量为1.8L/min(＝2L/min-0.2L/min)，并且在三个浇口24具有树脂残留的情况下的总流量为1.7L/min(＝2L/min-0.3L/min)。如此，能够通过设定从每一个浇口24抽吸的空气的流量的测定值，来判断产生树脂残留的浇口24的数量。然而，还不能判断在20个浇口24中的哪一浇口24中产生树脂残留。

对于如图5的(b)所示那样与第一行至第五行的各抽吸通道28上设置的四个抽吸部27对应地分别设置流量传感器31的情况进行说明。此时，与各抽吸通道28对应地连接有五个流量传感器31。各抽吸通道28经由五个流量传感器31与抽吸机构30连接。与图5的(a)的情况相同地，将通过抽吸机构30抽吸的空气的总流量的测定值设定为2L/min。因此，通过各流量传感器31测定的空气的总流量的测定值为0.4L/min(＝2L/min÷5)。因此，当在与连接到各抽吸通道28的四个抽吸部27对应的浇口24中的一个浇口24中产生树脂残留时，测定出的总流量为0.3L/min(＝0.4L/min-0.1L/min)。另外，当在两个浇口24中产生树脂残留时，测定出的总流量为0.2L/min(＝0.4L/min-0.2L/min)。如果是该情况，则能够判断在五个抽吸通道28中的某一抽吸通道28上设置的抽吸部27中是否产生树脂残留。

进一步，可沿横向(X方向)和纵向(Y方向)，在所有的“行”和“列”上设置抽吸通道28。与沿横向和纵向设置的所有的抽吸通道28对应地设置流量传感器31。具体来讲，与从第一行至第五行上设置的五个抽吸通道28对应地设置五个流量传感器31以及与从第一列至第四列上设置的四个抽吸通道28对应地设置四个流量传感器31，总计设置九个流量传感器31。如果是该情况，则能够独立测定分别从沿横向和纵向设置的所有的抽吸通道28抽吸的空气的流量。因此，能够确定位于所测定出的流量的测定值少于预先设定的流量的测定值的“行”和“列”相交的交点上的浇口24。能够判断在位于该交点的浇口24中产生树脂残留。如此，能够判断在20个浇口24中的某一位置上形成的浇口24中是否产生树脂残留。

此外，能够与各抽吸部27对应地分别设置独立的抽吸通道28。此时，与各个抽吸通道28对应地分别设置独立的流量传感器31。因此，与一个抽吸部27对应地独立设置一个流量传感器31。总计20个流量传感器31与设置在浇口抽吸机构26上的各个抽吸通道28连接。如果是该情况，则能够通过在各个流量传感器31中是否有空气流动，来分别判断在各个浇口24中是否产生树脂残留。如此，能够直接确定在20个浇口24中的某一浇口24中是否产生树脂残留。

目前为止示出了使用浇口抽吸机构26一并(通过一个流量传感器31)或分开(通过多个流量传感器31)测定从与在中间模(参照图3的(a))上设置的所有的浇口24对应的抽吸部27抽吸的空气的总流量的情况。不限于此，如图3的(a)所示，可以沿“行”或“列”设置的多个浇口24分别为对象来设置浇口抽吸机构26。

例如，如图4的(a)所示，设置以第一行上设置的四个抽吸部27和连接这些抽吸部27的抽吸通道28为结构单位的浇口抽吸机构26。在抽吸通道28上连接抽吸机构30和流量传感器31。使用该浇口抽吸机构26，首先，通过流量传感器31测定与中间模10中的第一行上设置的四个浇口24对应地从四个抽吸部27抽吸的空气的流量。接着，测定对应于在第二行上设置的四个浇口24而抽吸的空气的流量。依次分别抽吸对应于在各行上设置的四个浇口24而抽吸的空气的流量。如此，测定对应于在所有的“行”上设置的浇口24而抽吸的空气的流量。由此，能够判断在某一“行”上是否产生树脂残留。

进一步，可设置与中间模10上设置的一个浇口24对应的浇口抽吸机构26。此时，在浇口抽吸机构26设置有一个抽吸部27和一个抽吸通道28。使用浇口抽吸机构26，依次测定对应于在中间模10上设置的所有的浇口24而抽吸的空气的流量。通过抽吸所有的浇口24，能够判断在某一浇口24中是否产生树脂残留。

根据本实施例，在使浇口抽吸机构26上设置的抽吸部27紧贴于中间模10上设置的浇口24的开口24b周围的状态下，使用抽吸机构30从浇口24抽吸大气中的空气。通过流量传感器31测定已抽吸的空气的总流量。能够通过对测定出的空气的总流量和在没有树脂残留的正常的状态下抽吸的空气的总流量的测定值进行比较，来判断是否产生树脂残留。

另外，根据本实施例，作为检测出树脂残留的方法，测定从大气中抽吸的空气的流量。预先设定成能够通过抽吸机构30来取得规定流量的测定值。即使从使用抽吸机构30开始抽吸的时刻时间流逝，所抽吸的空气的流量总是恒定，没有对时间的依赖性。因此，无需严格监视所抽吸空气的流量，能够容易判断是否产生树脂残留。

另外，根据本实施例，通过流量传感器31测定从浇口抽吸机构26上设置的抽吸部27抽吸的空气的流量。通过检测出流量的变化，能够判断是否产生树脂残留。预先设定成在没有树脂残留的正常状态下能够使用抽吸机构30来取得规定流量的测定值。因此，能够任意确定从每一个抽吸部27抽吸的空气的流量。当因产生树脂残留而完全堵塞浇口24时，无法从与该浇口对应的抽吸部27抽吸空气。因此，从抽吸部27抽吸的空气的总流量减少与其相应的量。由于可将从每一个抽吸部27抽吸的空气的流量设定成检测树脂残留的灵敏度，因此能够高精度地判断是否产生树脂残留。

另外，根据本发明，可与中间模10上设置的浇口24的数量对应地沿横向或纵向设置多个与浇口抽吸机构26连接的流量传感器31。因此，即使在中间模10上设置的浇口24的数量非常多的情况下，也能够将从每一个抽吸部27抽吸的空气的流量设定成最佳的值。由于作为检测出树脂残留的方法，利用从大气中抽吸的空气的流量，因此能够根据产品将检测出树脂残留的灵敏度设为最佳。

进一步，也可以沿浇口抽吸机构26的横向和纵向，与所有的“行”和“列”上设置的抽吸通道28对应地连接流量传感器31。如此，也能够通过测定所有横向和纵向上设置的流量传感器31的流量，来确定产生树脂残留的浇口24。

另外，根据本实施例，可以与浇口抽吸机构26上设置的各抽吸部27对应地分别设置独立的抽吸通道28和流量传感器31。如此，能够通过在对应于所有的浇口24而设置的流量传感器31中是否有空气流动，来直接确定产生树脂残留的浇口24。

另外，根据本实施例，可以沿“行”或“列”设置的多个浇口24为对象，设置浇口抽吸机构26。使用该浇口抽吸机构26，测定依次对应于在所有的“行”或“列”上设置的浇口24而抽吸的空气的流量。由此，能够确认在某一“行”或“列”上是否产生树脂残留。

进一步，可设置与一个浇口24对应的浇口抽吸机构26。此时，使用一个抽吸部27，依次对应于在中间模10上设置的所有的浇口24而抽吸的空气的流量。能够通过抽吸所有的浇口24，来判断在某一浇口24中是否产生树脂残留。

另外，根据本实施例，使抽吸部27紧贴于浇口24的开口24b周围，从而测定经由浇口24从大气中抽吸的空气的流量。由于抽吸大气中的空气，因此能够以简单的装置结构和简单的检测方法检测出树脂残留。因此，能够降低树脂成型装置1的费用。

(实施例2)

参照图7，对实施例2中的浇口抽吸机构26的结构进行说明。与实施例1的区别为在浇口抽吸机构26中设置有支撑抽吸部27的弹性部件。如图7所示，在浇口抽吸机构26中设置有插入抽吸部27的凹部32。在凹部32内插入有例如作为弹性部件的弹簧33等，并在该弹簧33上配置有抽吸部27。

除了由弹性部件形成的吸附盘27b之外，抽吸部27也被弹簧33弹性支撑。由此，能够进一步提高吸附盘27b紧贴于浇口24的开口24b周围(参照图3的(b))的程度。在该情况下，在凹部32中设置弹簧33，以此弹性支撑抽吸部27。不限于此，也可以设定为在抽吸部主体27a的内部嵌入作为弹性部件的弹簧的结构。

(实施例3)

参照图8至图12，关于在本发明所涉及的树脂成型装置1中使用浇口抽吸机构26进行树脂封装的结构和动作进行说明。

如图8所示，在现有的运送机构中增加本发明所涉及的浇口抽吸机构26并一体化而构成树脂成型装置1所具有的装载器13。因此，装载器13具备将安装有芯片14的基板15配置在下模9的凹部19中的功能、将树脂块16供给到料筒18中的功能和为了抽吸大气中的空气以检测出树脂残留而抽吸浇口24的功能。图8中示出了在装载器13内装有浇口抽吸机构26，从而装载器13和浇口抽吸机构26一体化而成的结构。不限于此，也可以通过分别构成装载器13和浇口抽吸机构26来装配。

对在树脂成型装置1中使用浇口抽吸机构26进行树脂封装的动作进行说明。首先，对上模6、下模9和中间模10进行开模。接着，使装载器13移动至中间模10与下模9之间的规定位置。

如图9所示，通过使装载器13向上移动，来使安装在抽吸部27的前端的吸附盘27b紧贴于浇口24的开口24b周围。接着，使用抽吸机构30，在没有树脂残留的状态(正常状态)下预先设定的条件下，经由浇口24抽吸大气中的空气。通过流量传感器31测定由抽吸机构30抽吸的空气的总流量。

在图9中所测定出的空气的总流量与在正常状态下测定出的基准流量值不同的情况(少的情况)下，判断为在任一个浇口24中产生树脂残留。此时，暂且中止树脂封装工序。而且，从树脂成型装置1拆卸中间模10，清洗浇口24。通过清洗，从浇口24去除硬化树脂的树脂残留。接着，将清洗后的中间模10安装到树脂成型装置1，确认通过抽吸机构30抽吸的空气的总流量的测定值是否正常。如果总流量的测定值正常，则重新进行树脂封装工序。

如图10所示，如果测定出的空气的总流量与在正常状态下测定出的基准流量值(基准流量信息)相同，则判断为在浇口24中没有产生树脂残留。当判断为没有树脂残留的正常状态时，将安装有芯片14的基板15配置在下模9的凹部19中。接着，将树脂块16供给到料筒18。接着，使装载器13从规定位置后退。接着，对上模6、下模9和中间模10进行合模。在合模之后，按压树脂块16的同时加热该树脂块16。通过加热而使树脂块16熔融，从而生成流动性树脂。接着，使用柱塞20按压流动性树脂。从料筒18依次经由贯通孔25、主流道21、横浇道22和浇口24，向型腔23注入被按压的流动性树脂。通过以规定时间加热被注入到型腔23的流动性树脂而形成硬化树脂34。在该状态下，芯片15被硬化树脂34树脂封装。

如图11所示，在中间模10和下模9合模的状态下，使中间模10和下模9从上模6下降。由此，对由硬化树脂34树脂封装的成型品35进行打浇口。通过打浇口，在主流道21、横浇道22和浇口24中形成的硬化树脂作为不需要树脂36而与成型品35分离。经分离的不需要树脂36残留在上模6中。接着，使卸载器37移动至上模6与中间模10之间的规定位置。使用卸载器37从上模6取出不需要树脂36。

如图12所示，对中间模10和下模9进行开模。在该状态下，对上模6、下模9和中间模10进行完全的开模。成型品35残留在下模的凹部19中。接着，使卸载器37再次移动至中间模10与下模9之间的规定位置。而且，使用卸载器37取出成型品35。如此，完成树脂封装。

根据本实施例，在装载器13中一体地构成有浇口抽吸机构26。因此，装载器13具备运送安装有芯片14的基板15和树脂块16的功能及为了检测出树脂残留而抽吸浇口24的功能。因此，在树脂封装工序中，能够在即将进行树脂封装之前检查是否产生树脂残留。由于在即将进行树脂封装之前检查树脂残留，因此如果检测出树脂残留，则能够在该时刻停止生产。因此，能够防止由树脂残留引起的成型不良。

另外，根据本实施例，使用与装载器13一体化的浇口抽吸机构26，判断是否产生树脂残留。使用抽吸机构30从浇口24抽吸大气中的空气。通过流量传感器31测定抽吸后的空气的总流量，并且和在没有树脂残留的正常状态下测定出的基准流量值进行比较。通过流量传感器31测定出的空气的总流量没有时间依赖性，为恒定流量。即使从开始抽吸的时刻时间流逝，所测定的空气的总流量也为恒定值且不会变动。因此，能够容易判断是否产生树脂残留。

另外，根据本实施例，预先在没有树脂残留的正常状态下，设定使用抽吸机构30从每一个抽吸部27抽吸的空气的流量值。因此，能够将从每一个抽吸部27抽吸的空气的流量设定为检测出树脂残留的灵敏度。当产生树脂残留时，无法从该抽吸部27抽吸空气，因此所测定的空气的总流量减少与其相应的量。因此，在测定出的总流量少于预先设定的总流量的测定值的情况下，能够判断为产生树脂残留。另外，能够根据减少的流量，推算产生树脂残留的浇口24的数量。

另外，根据本实施例，使装载器13上设置的抽吸部27紧贴于浇口24的开口24b周围，并且测定从大气中经由浇口24抽吸的空气的流量。因此，能够以简单的装置结构和简单的检测方法检测出树脂残留。因此，能够降低树脂成型装置1的费用。

此外，在各实施例中，在中间模10的下表面侧设置有型腔23且在中间模10的上表面侧设置有浇口24。不限于此，在中间模10的上表面侧设置有型腔23且在中间模20的下表面侧设置有浇口24的情况下，也取得相同的效果。

另外，在实施例3中示出了将浇口抽吸机构26装配在树脂成型装置1的装载器13上的情况。不限于此，可以将浇口抽吸机构26独立于装载器13而设置于树脂成型装置1上。进而，也可以将浇口抽吸机构26与树脂成型装置1分开而分别构成。此时，就使用相同的中间模10的树脂成型装置组或使用相同的中间模10的成型模块组来说，能够使用浇口抽吸机构26来检测是否产生树脂残留。

在上述的各实施例中，对树脂残留的情况进行了说明，即，对残留在浇口24中的硬化树脂完全堵塞浇口24的状态进行了说明。不限于此，在残留在浇口24中的硬化树脂不完全堵塞浇口24的情况，即，流动性树脂在浇口24中流动的空间的剖面面积变窄的情况下，也能够适用本发明。

在各实施例中，使用抽吸机构30，从浇口抽吸机构26上设置的规定个数的抽吸部27抽吸大气中的空气。不限于此，也可以在上模6和中间模10合模的状态下，从规定个数的抽吸部27，抽吸浇口24的内部存在的气体。此时，由于在开始抽吸之后流量有过渡性的变化，因此可基于测定出的流量的变化形式来判断是否产生树脂残留。此时，优选在上模6与中间模10之间设置密封部件以使浇口24的内部完全成为密闭空间。

在各实施例中说明了一种使用传递模塑的树脂成型装置，所述树脂成型装置对基板15上安装的芯片14进行树脂封装。树脂封装对象可以是IC、LED和晶体管等半导体芯片，还可以是无源元件。当对安装于引线框、印刷基板和陶瓷基板等基板上的一个或多个电子部件进行树脂封装时，可适用本发明。

不限于对电子部件进行树脂封装的情况，在通过树脂成型来制造透镜、导光板、反射件(反射器)、光学模块等光学部件和其他通常的树脂产品的情况下，可适用本发明。

不限于使用三个成型模的树脂成型装置，使用两个成型模的树脂成型装置也为本发明的对象。此时，上模和下模中的任一个模相当于图2所示的中间模10。

进一步，不限于传递模塑，可以对进行注塑成型的树脂成型装置适用本发明。所谓“注塑成型”这一术语意味着“在加压下从加热气缸经过直浇道(横浇道、浇口)向封闭的金属模的型腔中注入材料来进行成型的工序”(参照JISK6900)。

本发明并不限定于上述的各实施例，在不脱离本发明的主旨的范围内，可按照需要，任意并且适当组合而进行变更，或选择性地采用。

附图标记说明

1  树脂成型装置

2  底座

3  拉杆

4  固定盘

5  上模板

6  上模(成型模组)

7  可动盘

8  下模板

9  下模(第二成型模、成型模组)

10 中间模(第一成型模、成型模组)

11 驱动机构(合模机构)

12 合模机构

13 装载器(运送机构)

14 芯片

15  基板

16  树脂块

17  引线

18  料筒

19  凹部

20  柱塞

21  主流道

22  横浇道

23  型腔

24  浇口

24a 开口

24b 开口

25  贯通孔

26  浇口抽吸机构

27  抽吸部

27a 抽吸部主体(抽吸部)

27b 吸附盘(抽吸部)

28  抽吸通道

29  配管

30  抽吸机构

31  流量传感器(流量测定机构)

32  凹部

33  弹簧(弹性体)

34  硬化树脂

35  成型品

36  不需要树脂

37  卸载器(运送机构)

CTL 判断机构

Claims (14)

1.一种树脂成型装置，具备：

第一成型模；

第二成型模，与所述第一成型模相对设置；

型腔，设置于所述第一成型模中的与所述第二成型模相对的部位，所注入的流动性树脂在所述型腔内硬化而形成硬化树脂；

浇口，设置于所述第一成型模且与所述型腔的顶面连接；以及

合模机构，对至少具有所述第一成型模和所述第二成型模的成型模组进行合模，

所述树脂成型装置成型具有所述硬化树脂的成型品，其特征在于，具备：

浇口抽吸机构，以与所述型腔重合的方式配置在所述第一成型模与所述第二成型模之间；

抽吸部，设置于所述浇口抽吸机构；

抽吸通道，设置于所述浇口抽吸机构并与所述抽吸部相连；

配管，连接到所述抽吸通道；

抽吸机构，连接到所述配管；

流量测定机构，设置于所述配管，用于生成与通过所述配管的气体的流量相应的测定流量信息；以及

判断机构，基于从所述流量测定机构接收的所述测定流量信息计算出所述流量，并且基于该流量进行规定的判断，

在所述抽吸部的前端与所述浇口的开口周围的所述第一成型模的型面紧贴，并且由所述抽吸机构抽吸存在于所述浇口内的所述气体的状态下，所述流量测定机构生成测定流量信息，

所述规定的判断为，通过对在所述硬化树脂未残留在所述浇口中的状态下预先测定并存储的所述气体的基准流量信息和所述测定流量信息进行比较，来判断在所述浇口中是否残留有所述硬化树脂。

2.根据权利要求1所述的树脂成型装置，其特征在于，

设置有多个所述浇口，

与多个所述浇口分别对应地设置有多个所述抽吸部。

3.根据权利要求2所述的树脂成型装置，其特征在于，

与多个所述浇口分别对应地设置有多个所述型腔。

4.根据权利要求2或3所述的树脂成型装置，其特征在于，

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

所述浇口抽吸机构具有与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应的n个所述抽吸通道，每一个所述抽吸通道分别与构成所述抽吸部列中的每一列的m个所述抽吸部连通，

n个所述抽吸通道分别连接到共用的所述配管上的、从所述流量测定机构观察时位于所述抽吸机构的相反侧的配管部位。

5.根据权利要求2或3所述的树脂成型装置，其特征在于，

具备连接到所述抽吸机构的n条所述配管，

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

所述浇口抽吸机构具有与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应的n个所述抽吸通道，每一个所述抽吸通道分别与构成所述抽吸部列中的每一列的m个所述抽吸部连通，

n个所述抽吸通道分别与n条所述配管连接。

6.根据权利要求1所述的树脂成型装置，其特征在于，

进一步具备分别支撑所述抽吸部的弹性体。

7.根据权利要求1所述的树脂成型装置，其特征在于，

进一步具备运送机构，所述运送机构进行运送用于成型所述成型品的材料并移交给所述成型模组的动作和将所述成型品从所述成型模组取出的动作中的至少一个动作，

所述浇口抽吸机构设置于所述运送机构。

8.一种树脂成型方法，包括：

准备至少具有第一成型模和第二成型模的成型模组的工序，所述第一成型模具有供流动性树脂硬化而形成硬化树脂的型腔，所述第二成型模与所述第一成型模的所述型腔形成部位相对设置；

对所述成型模组进行合模的工序；

经由设置于所述第一成型模且与所述型腔的顶面连接的浇口向所述型腔注入所述流动性树脂的工序；

通过使所述流动性树脂硬化而形成所述硬化树脂的工序；

对所述成型模组进行开模的工序；以及

将具有所述硬化树脂的成型品从所述成型模组取出的工序，

所述树脂成型方法的特征在于，包括：

在准备抽吸部后，使该抽吸部的前端紧贴于所述浇口的开口周围的所述第一成型模的型面上的工序；

在准备抽吸机构后，在所述硬化树脂未残留在所述浇口中的状态下，使用所述抽吸机构且经由所述抽吸部抽吸存在于所述浇口内的气体的同时，将通过与所述抽吸部相连的配管的所述气体的流量作为基准流量来预先测定的工序；

基于所述基准流量生成基准流量信息，并存储所生成的基准流量信息的工序；

使用所述抽吸机构且经由所述抽吸部抽吸存在于所述浇口内的气体的同时，测定通过所述配管的所述气体的流量的工序；

基于所述流量生成测定流量信息的工序；以及

通过对所述基准流量信息和所述测定流量信息进行比较，来判断在所述浇口中是否残留有所述硬化树脂的工序。

9.根据权利要求8所述的树脂成型方法，其特征在于，

分别设置有多个所述浇口和对应该浇口的所述抽吸部，

在使所述抽吸部的前端紧贴的工序中，使多个所述抽吸部的前端分别紧贴于多个所述浇口的开口周围的所述第一成型模的型面上，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，分别经由多个所述抽吸部来抽吸存在于多个所述浇口内的气体。

10.根据权利要求9所述的树脂成型方法，其特征在于，

与多个所述浇口分别对应地设置有多个所述型腔，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，分别经由多个所述抽吸部抽吸存在于多个所述浇口内的气体。

11.根据权利要求9或10所述的树脂成型方法，其特征在于，

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，在准备抽吸通道后，经由该抽吸通道一并抽吸存在于多个所述浇口内的气体，其中，所述抽吸通道与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应地设置为n个，且分别与构成所述抽吸部列中的每一列的m个所述抽吸部连通，

在生成所述测定流量信息的工序中，在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中一并抽吸所述气体时，在共同连接于n个所述抽吸通道的所述配管上的与n个所述抽吸通道相比更加靠近所述抽吸机构的配管部位测定所述流量，从而生成所述测定流量信息。

12.根据权利要求9或10所述的树脂成型方法，其特征在于，

多个所述抽吸部为俯视观察时由沿第一方向排列的m个抽吸部构成的抽吸部列沿与所述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n个抽吸部，其中，m和n均为正整数，

在抽吸存在于所述浇口内的气体的工序中，在准备抽吸通道后，分别经由该抽吸通道，分别抽吸存在于与所述n行抽吸部列中的每一列所具有的所述m个抽吸部对应的m个所述浇口内的气体，其中，所述抽吸通道与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应地设置为n个，且分别与构成所述抽吸部列中每一列的m个所述抽吸部连通，

在生成所述测定流量信息的工序中，通过分别测定与排列成n行的所述抽吸部列中的每一列对应的所述配管中的所述流量而生成n个所述测定流量信息。

13.根据权利要求8所述的树脂成型方法，其特征在于，

在使所述抽吸部的前端紧贴的工序中，使用弹性体支撑所述抽吸部。

14.根据权利要求8所述的树脂成型方法，其特征在于，

进一步包括：

准备设置有所述抽吸部的运送机构的工序；

运送用于成型所述成型品的材料并移交给所述成型模组的工序；以及

将所述成型品从所述成型模组取出的工序，

使用所述运送机构执行所述移交工序和所述取出工序中的至少一个工序，

在所述移交工序或所述取出工序中，至少执行使所述抽吸部的前端紧贴的工序、抽吸存在于所述浇口内的气体的工序和测定所述流量的工序。