KR20150112809A - 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법 - Google Patents

Abstract

간단한 장치 구성 또한 간단한 방법에 따라 게이트에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단한다.
캐비티의 천장면에 접속된 게이트에 대응하여, 게이트 흡인 기구에 흡인부와 흡인부에 이어지는 흡인 통로를 마련한다. 흡인 통로를 배관에 의해 흡인 기구에 접속한다. 배관에 흡인한 공기의 유량을 측정하는 유량 센서를 마련한다. 측정된 유량값을 수집하여 데이터 처리하는 제어 수단을 유량 센서에 접속한다. 게이트의 개구의 주위에 흡착부를 밀착시키고, 흡인 기구를 이용하여 게이트를 경유하여 대기 중의 공기를 흡인한다. 유량 센서에서 측정된 유량값과, 미리 제어 수단에 기억해 둔 기준 유량값을 비교함으로써, 게이트에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단한다.

Description

수지 성형 장치 및 수지 성형 방법{RESIN MOLDING APPARATUS AND RESIN MOLDING METHOD}

본 발명은 기판에 장착된 집적 회로(Integrated Circuit: IC) 등의 칩으로 이루어지는 전자 부품을 수지 밀봉하는 경우 등에 사용되는 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법에 관한 것이다.

종래부터, 트랜스퍼 몰드법, 압축 성형법(컴프레션 몰드법), 사출 성형법(인젝션 몰드법) 등의 수지 성형 기술을 사용하여, 리드 프레임이나 프린트 기판 등으로 이루어지는 기판에 장착한 IC 등의 전자 부품을 경화 수지에 의해 수지 밀봉하는 것이 행해지고 있다.

예컨대, 트랜스퍼 몰드법을 사용하는 수지 성형 장치에서는, 다음과 같이 수지 밀봉이 행해진다. 성형틀인 상형과 하형을 형 개방한다. 장치의 구성에 따라서는, 상형과 하형 사이에 중간형을 마련하는 경우도 있다. 다음에, 반송 기구를 사용하여, 하형의 틀면에 있어서의 소정 위치에 성형 전 기판을 배치하고, 하형에 마련된 포트의 내부에 수지 타블렛을 공급한다. 다음에, 하형을 상방 이동하여, 상형과 하형을 형 체결한다. 이때, 전자 부품과 그 주변의 기판은, 상형과 하형 중 적어도 한쪽에 마련된 캐비티의 내부에 수용된다. 다음에, 포트 내의 수지 타블렛을 플런저에 의해 압박하며 가열하여 용융시킨다. 용융된 유동성 수지를 플런저에 의해 더욱 압박하여, 컬, 러너, 게이트라고 불리는 수지 통로를 경유하여 캐비티 내에 유동성 수지를 주입한다. 계속해서, 경화에 필요한 소요 시간만큼 유동성 수지를 가열함으로써, 유동성 수지를 경화시켜 경화 수지를 형성한다. 이에 의해, 캐비티 내의 전자 부품과 그 주변의 기판을, 캐비티의 형상에 대응하여 성형된 경화 수지 내에 수지 밀봉한다. 다음에, 상형과 하형을 형 개방하여, 밀봉 완료 기판을 이형시킨다. 또한, 본 출원 서류의 전체에 있어서, 「게이트」라고 하는 용어는, 「재료를 탕구(또는 다수 개 취하여 금형에 있어서는 러너)로부터 금형 캐비티 속에 주입하는 유로 또는 오리피스」을 의미한다(JIS K 6900 참조).

그런데, 캐비티의 측면 또는 천장면(내측 바닥면) 중 어느 하나의 면에는, 유동성 수지를 주입하기 위한 주입구가 마련된다. 성형틀에는, 그 주입구에 이어지는 공간으로 이루어지는 게이트가 마련된다. 수지 통로가 되는 컬, 러너, 게이트에 형성된 경화 수지는 불필요 수지가 되어, 디게이트(degate)함으로써 밀봉 완료 기판으로부터 불필요 수지가 분리된다. 불필요 수지를 분리하기 쉽도록, 게이트에 있어서는 캐비티에 접속되는 선단이 러너측에 대하여 가늘게 테이퍼형으로 형성된다. 그런데, 불필요 수지를 분리할 때에, 게이트 선단부에 형성된 경화 수지가 꺾이는 경우가 있다. 이 꺾인 경화 수지는, 컬, 러너, 게이트에 형성된 불필요 수지를 폐기하여도, 게이트 선단부에 남는다. 게이트에 경화 수지가 남은 채로 수지 밀봉을 행하면, 이 남은 경화 수지가 부분적으로 또는 완전하게 게이트를 막는다. 계속해서 수지 밀봉하는 경우에는, 유동성 수지를 캐비티에 주입하는 것이, 남은 경화 수지에 의해 저지된다. 이에 의해, 캐비티에 있어서의 경화 수지의 미충전 등의 성형 불량이 발생한다. 따라서, 게이트에 경화 수지가 남아 있지 않은지의 여부, 바꾸어 말하면 게이트에 있어서 경화 수지의 잔류(이하 「수지 잔류」라고 함)가 발생하고 있는지의 여부를 검출하는 것이 중요해진다.

수지 성형 금형의 게이트 막힘 검출 장치로서, 「러너와 캐비티를 연통시키는 게이트를 갖는 수지 성형 금형에 있어서, 에어 공급원으로부터 공급되는 게이트 막힘 검출용의 에어를 상기 러너 내에 도출하는 에어 공급 통로와, 이 에어 공급 통로를 개폐하는 개폐 밸브와, 이 개폐 밸브를 개방한 상태로 상기 에어 공급 통로를 통과하여 러너 내에 공급되는 에어의 압력을 검출하는 압력 검출 수단을 구비하고, 이 압력 검출 수단에 의해 검출된 에어압의 변화 상태에 따라 상기 게이트 내에 성형 재료가 잔류하는 게이트 막힘이 발생하였는지의 여부를 판별하도록 구성한」 게이트 막힘 검출 장치가 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1의 제2 페이지, 도 1, 도 2).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성2-289325호 공보

그러나, 특허문헌 1에 개시된 게이트 막힘 검출 장치(이하, 종래예라고 함)에서는, 다음과 같은 과제가 발생한다. 특허문헌 1의 도 1, 도 2에 나타내 바와 같이, 종래예에서는, 사출 성형을 행하기 전에 상형(1)과 하형(2)을 형 체결한 상태로, 에어 공급원으로부터 연통관(6) 내에 소정압의 에어를 공급한다. 게이트 막힘이 생겨 서브마린 게이트(5)가 성형 재료(16)에 의해 폐색되어 있는 경우에는, 러너(3)로부터 캐비티(4)에의 에어의 유입이 저지되기 때문에, 에어의 압력이, 에어 공급원의 토출압까지 조기에 상승한다. 그래서 종래예에서는, 압력 검출 수단(14)의 검출값에 기초하여 구한 에어압의 상승 속도와, 미리 계산 등에 의해 구한 기준 속도를 판별 수단(15)에 있어서 비교함으로써, 게이트 막힘이 발생하였는지의 여부를 판별한다.

이와 같이, 종래예에서는, 에어압의 상승 속도를 검출하는, 바꾸어 말하면, 에어 공급원의 토출압에 도달하기까지의 시간을 측정하여, 에어압의 상승 속도를 계산하고, 그 계산 결과에 기초하여 게이트 막힘이 발생하였는지의 여부를 판별하고 있다. 에어압은 시간의 경과와 함께 상승하여, 최종적으로는 소정의 압력에 도달하여 일정한 압력이 된다. 따라서, 종래예에서는, 일정한 압력에 도달하기까지의 시간을 정확하게 감시하는 것이 중요하게 된다. 최종적으로는 일정한 압력으로 수속되기 때문에, 시간에 따른 압력 변화를 엄밀하게 감시하여, 언제 소정의 압력에 도달하였는지를 정확하게 판단하지 않으면 안 된다. 그러나, 에어를 공급한 직후의 압력 변화는 크지만, 소정의 압력 근처가 되면 압력의 변화는 매우 작아진다. 그리고, 압력이 서서히 변화하여 소정의 압력에 도달한다. 따라서, 이 소정의 압력에 도달한 시간이 언제인지 정확하게 판단하는 것이 어렵다. 소정의 압력에 도달한 시간을 정확하게 판단할 수 없으며 게이트 막힘이 발생하였는지의 여부를 판별하는 것이 어려워진다.

또한, 종래예에서는, 일단 성형 공정을 멈추고, 수지 성형 금형을 형 체결한 상태로 하여, 게이트 막힘이 발생하였는지의 여부를 판별한다. 따라서, 성형 공정을 실시하기 직전에 게이트 막힘이 발생하고 있는지의 여부를 검출할 수 없다. 만약, 성형 공정 중에 게이트 막힘이 발생하였다고 해도, 게이트 막힘을 검출할 수 없기 때문에, 다음의 사출 성형이 행해진다. 결과로서, 게이트 막힘에 의한 성형 불량을 발생시키게 된다. 따라서, 제품을 사출 성형하기 직전에 게이트 막힘이 발생하였는지의 여부를 판별할 수 없다고 하는 과제도 있다.

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로, 간단한 장치 구성 또한 간단한 방법에 따라 게이트에 있어서 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 정확하게 판단할 수 있는 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 수지 성형 장치는,

제1 성형틀과,

상기 제1 성형틀에 서로 대향하여 마련된 제2 성형틀과,

상기 제1 성형틀의 제2 성형틀에 대향하는 부위에 마련되고, 주입된 유동성 수지가 경화하여 경화 수지가 형성되는 캐비티와,

상기 제1 성형틀에 마련되고, 상기 캐비티의 천장면에 접속되는 게이트, 그리고

상기 제1 성형틀과 상기 제2 성형틀을 적어도 갖는 성형틀군을 형 체결하는 형 체결 기구,

를 구비하여 상기 경화 수지를 갖는 성형품을 성형하는 수지 성형 장치로서,

상기 제1 성형틀과 상기 제2 성형틀 사이에, 상기 캐비티에 중첩되도록 배치된 게이트 흡인 기구와,

상기 게이트 흡인 기구에 마련된 흡인부와,

상기 게이트 흡인 기구에 마련되어 상기 흡인부에 이어지는 흡인 통로와,

상기 흡인 통로에 접속된 배관과,

상기 배관에 접속된 흡인 기구와,

상기 배관에 마련되어 상기 배관을 통과하는 기체의 유량에 따른 측정 유량 정보를 생성하는 유량 측정 수단과,

상기 유량 측정 수단으로부터 수취한 상기 측정 유량 정보에 기초하여 상기 유량을 산출하고 상기 유량에 기초하여 미리 정해진 판단을 행하는 판단 수단,

을 구비하고,

상기 유량 측정 수단은, 상기 흡인부의 선단이 상기 게이트의 개구의 주위에 있어서의 상기 제1 성형틀의 틀면에 밀착하며, 또한 상기 흡인 기구에 의해 상기 게이트 내에 존재하는 상기 기체가 흡인되어 있는 상태에 있어서 측정 유량 정보를 생성하고,

상기 미리 정해진 판단은, 상기 게이트에 상기 경화 수지가 잔류하고 있지 않은 상태에서 미리 측정하여 기억해 둔 상기 기체의 기준 유량 정보와 상기 측정 유량 정보를 비교함으로써, 상기 게이트에 있어서 상기 경화 수지가 잔류하고 있는지의 여부를 판단한다.

또한, 본 발명의 수지 성형 장치에는,

상기 게이트가 복수 개 마련되고,

복수 개의 상기 게이트에 각각 대응하여 복수 개의 상기 흡인부가 마련된다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명의 수지 성형 장치에는,

복수 개의 상기 게이트에 각각 대응하여 복수 개의 상기 캐비티가 마련된다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명의 수지 성형 장치에는,

복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),

상기 게이트 흡인 기구는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하는 n개의 상기 흡인 통로를 가지며, 상기 흡인 통로 각각은, 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하고 있고,

n개의 상기 흡인 통로는, 공통하는 상기 배관의, 상기 유량 측정 수단으로부터 보아 상기 흡인 기구와는 반대측에 위치하는 배관 부위에 각각 접속된다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명의 수지 성형 장치에는,

상기 흡인 기구에 접속된 n개의 상기 배관을 구비하며,

복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),

상기 게이트 흡인 기구는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하는 n개의 상기 흡인 통로를 가지며, 상기 흡인 통로 각각은, 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하고 있고,

n개의 상기 흡인 통로는, n개의 상기 배관에 각각 접속된다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명의 수지 성형 장치에는,

상기 흡인부를 각각 지지하는 탄성체를, 더 구비한다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명의 수지 성형 장치에는,

상기 성형품을 성형하기 위한 재료를 반입하여 상기 성형틀군에 전달하는 동작과 상기 성형품을 상기 성형틀군으로부터 취출하는 동작 중 적어도 한쪽을 행하는 반송 기구를, 더 구비하고,

상기 게이트 흡인 기구는 반송 기구에 마련된다,

라고 하는 양태가 있다.

상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 수지 성형 방법은,

유동성 수지가 경화하여 경화 수지가 형성되는 캐비티를 갖는 제1 성형틀과, 상기 제1 성형틀의 상기 캐비티 형성 부위에 서로 대향하여 마련된 제2 성형틀을 적어도 갖는 성형틀군을 준비하는 공정과,

상기 성형틀군을 형 체결하는 공정과,

상기 제1 성형틀에 마련되어 상기 캐비티의 천장면에 접속되는 게이트를 경유하여 상기 캐비티에 상기 유동성 수지를 주입하는 공정과,

상기 유동성 수지를 경화시켜 경화 수지를 형성하는 공정과,

상기 성형틀군을 형 개방하는 공정과,

상기 경화 수지를 갖는 성형품을 상기 성형틀군으로부터 취출하는 공정,

을 포함한 수지 성형 방법으로서,

흡인부를 준비한 뒤에 상기 흡인부의 선단을, 상기 게이트의 개구의 주위에 있어서의 상기 제1 성형틀의 틀면에 밀착시키는 공정과,

흡인 기구를 준비한 뒤에, 상기 게이트에 상기 경화 수지가 잔류하고 있지 않은 상태에서, 상기 흡인 기구를 사용하여 상기 흡인부를 경유하여 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하면서 상기 흡인부에 이어지는 배관을 통과하는 상기 기체의 유량을 기준 유량으로서 미리 측정하는 공정과,

상기 기준 유량에 기초하여 기준 유량 정보를 생성하고, 생성한 기준 유량 정보를 기억하는 공정과,

상기 흡인 기구를 사용하여 상기 흡인부를 경유하여 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하면서 상기 배관을 통과하는 상기 기체의 유량을 측정하는 공정과,

상기 유량에 기초하여 측정 유량 정보를 생성하는 공정, 그리고

상기 기준 유량 정보와 상기 측정 유량 정보를 비교함으로써, 상기 게이트에 있어서 상기 경화 수지가 잔류하고 있는지의 여부를 판단하는 공정,

을 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 수지 성형 방법에는,

상기 게이트와 상기 게이트에 대응하는 상기 흡인부가 각각 복수 개 마련되고,

상기 흡인부의 선단을 밀착시키는 공정에서는, 복수 개의 상기 게이트의 개구의 주위에 있어서의 상기 제1 성형틀의 틀면에, 복수 개의 상기 흡인부의 선단을 각각 밀착시키며,

상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, 복수 개의 상기 흡인부를 각각 경유하여 복수 개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인한다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 성형 방법에는,

복수 개의 상기 게이트에 각각 대응하여 상기 캐비티가 복수 개 마련되고,

상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, 복수 개의 상기 흡인부를 각각 경유하여 복수 개의 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인한다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 성형 방법에는,

복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),

상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하여 n개 마련되며 또한 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하는 흡인 통로를 준비한 뒤에, 상기 흡인 통로를 경유하여 복수 개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 일괄하여 흡인하고,

상기 측정 유량 정보를 생성하는 공정에서는, n개의 상기 흡인 통로에 공통하여 접속된 상기 배관의 n개의 상기 흡인 통로보다 상기 흡인 기구에 가까운 배관 부위에 있어서, 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에 있어서 상기 기체를 일괄하여 흡인할 때에, 상기 유량을 측정하여 상기 측정 유량 정보를 생성한다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 성형 방법에는,

복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),

상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하여 n개 마련되며 또한 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하는 흡인 통로를 준비한 뒤에, 상기 흡인 통로를 각각 경유하여, n행의 흡인부의 열 각각이 갖는 상기 m개의 흡인부에 대응하는 m개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 각각 흡인하고,

상기 측정 유량 정보를 생성하는 공정에서는, n행 배열된 상기 흡인부의 열의 각각에 대응하는 상기 배관에 있어서의 상기 유량을 각각 측정하여 n개의 상기 측정 유량 정보를 생성한다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 성형 방법에는,

상기 흡인부의 선단을 밀착시키는 공정에서는, 탄성체에 의해 상기 흡인부를 지지한다,

라고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 성형 방법에는,

상기 흡인부가 마련된 반송 기구를 준비하는 공정과,

상기 성형품을 성형하기 위한 재료를 반입하여 상기 성형틀군에 전달하는 공정과,

상기 성형품을 상기 성형틀군으로부터 취출하는 공정,

을 더 포함하고,

상기 전달하는 공정과 상기 취출하는 공정 중 적어도 한쪽을, 상기 반송 기구를 사용하여 행하며,

적어도 상기 흡인부의 선단을 밀착시키는 공정과 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정과 상기 유량을 측정하는 공정을, 상기 전달하는 공정 또는 상기 취출하는 공정에 있어서 행한다,

라고 하는 양태가 있다.

본 발명에 따르면, 게이트 흡인 기구에 흡인부와 흡인부에 이어지는 흡인 통로를 마련하고, 흡인 통로와 흡인 기구를 배관에 의해 접속하고 있다. 배관에 유량 측정 수단과 측정 유량 정보의 판단을 행하는 판단 수단을 구비하고 있다. 캐비티의 천장면에 접속된 게이트의 개구의 주위에 게이트 흡인 기구에 마련된 흡착부를 밀착시키고, 흡인 기구에 의해 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하고 있다. 이에 의해, 흡인하여 측정된 측정 유량 정보와 미리 측정하여 기억된 기준 유량 정보를 비교함으로써, 게이트에 있어서 경화 수지가 잔류하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 흡인한 기체의 유량을 측정한다고 하는 간단한 장치 구성 또한 간단한 방법에 따라 잔류 수지가 발생하고 있는지의 여부를 용이하게 판단할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 1에 있어서, 장치의 개요를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 수지 성형 장치에 있어서, 성형틀의 구성을 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 성형틀에 있어서, 중간형의 구성을 나타내는 개략도이다. 도 3의 (a)는 평면도이며, 도 3의 (b)는 A-A선에서 본 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 1에 있어서, 도 3에 나타낸 게이트에 대응하는 게이트 흡인 기구의 제1 구성을 나타내는 개략도이다. 도 4의 (a)는 평면도이며, 도 4의 (b)는 A-A선에서 본 게이트 흡인 기구의 단면도이다.
도 5는 도 4에서 나타낸 게이트 흡인 기구에 있어서, 흡인 기구의 구성을 나타내는 개략도이다. 도 5의 (a)는 유량 센서를 1개 마련한 흡인 기구의 구성을 나타내는 개략도이며, 도 5의 (b)는 유량 센서를 복수 개 마련한 흡인 기구의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 6은 도 4에서 나타낸 게이트 흡인 기구에 있어서, 중간형의 게이트에 있어서의 수지 잔류를 검출하는 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다. 도 6의 (a)는 게이트 흡인 기구가 중간형의 게이트에 밀착하기 전의 상태이며, 도 6의 (b)는 게이트 흡인 기구가 중간형의 게이트에 밀착한 후의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 2에 있어서, 도 3에 나타낸 게이트에 대응하는 게이트 흡인 기구의 제2 구성을 나타내는 개략도이다. 도 7의 (a)는 평면도이며, 도 7(b)는 A-A선에서 본 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 3에 있어서, 게이트 흡인 기구가 일체화되어 구성된 로더가 성형틀의 소정 위치에 배치된 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 3에 있어서, 로더에 의해 중간형의 게이트에 있어서의 수지 잔류를 검출하는 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 3에 있어서, 경화 수지가 생성되어 있는 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 3에 있어서, 디게이트에서 남은 불필요 수지를 언로더에 의해 취출하는 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 수지 성형 장치의 실시예 3에 있어서, 수지 밀봉이 완료한 성형품을 언로더에 의해 취출하는 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.

본 발명의 각 실시예에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 캐비티(23)의 천장면에 접속된 게이트(24)에 대응하도록 하여, 게이트 흡인 기구(26)에, 흡인부(27)와 흡인부(27)에 이어지는 흡인 통로(28)를 마련한다. 흡인 통로(28)를 배관(29)에 의해 흡인 기구(30)에 접속한다. 배관(29)에는 흡인한 공기의 유량을 측정하는 유량 센서(31)를 마련한다. 유량 센서(31)에 의해 측정된 유량값을 수집하여 데이터 처리하는 제어 수단(CTL)을 유량 센서(31)에 접속한다. 게이트(24)의 개구(24b)의 주위에 흡인부(27)의 선단을 밀착시키고, 흡인 기구(30)를 이용하여 게이트(24)를 경유하여 대기 중의 공기를 흡인한다. 유량 센서(31)에서 측정된 유량값과, 미리 제어 수단(CTL)에 기억해 둔 기준 유량값을 비교함으로써, 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단한다.

(실시예 1)

본 발명의 수지 성형 장치의 실시예 1에 대해서, 도 1∼도 6을 참조하여 설명한다. 본 출원 서류에 있어서의 어느 도면에 대해서도, 알기 쉽게 하기 위해, 적절하게 생략 또는 과장하여 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 설명을 적절하게 생략한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 수지 성형 장치(1)에는, 기반(2)과, 기반(2) 상의 4코너부에 마련된 타이 바(3)와, 타이 바(3)의 상단부에 고정된 고정반(4)이 마련된다. 고정반(4)의 하면에는, 상형 플레이트(5)가 마련되고, 상형 플레이트(5) 내에 수지 성형용의 상형(6)이 마련된다. 고정반(4)의 하방에는, 고정반(4)에 서로 대향하여 가동반(7)이 마련된다. 가동반(7)은, 고정반(4)에 대하여 승강할 수 있도록 타이 바(3)에 부착된다. 가동반(7)의 상면에는, 상형 플레이트(5)에 서로 대향하여 하형 플레이트(8)가 마련되고, 하형 플레이트(8) 내에 수지 성형용의 하형(9)이 마련된다. 상형(6)과 하형(9)은 서로 대향하여 마련되고, 상형(6)과 하형(9) 사이에는 중간형(10)이 마련된다. 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)은 합하여 성형틀을 구성한다.

구동 기구(11)는, 상형(6)과 하형(9) 사이에서 중간형(10)을 승강시키는 구동 기구이다. 예컨대, 래크 앤드 피니언 기구로 이루어지는 구동 기구(11)에 의해 중간형(10)을 승강시킬 수 있다. 구동 기구(11)를 이용하여 중간형(10)을 승강시킴으로써, 상형(6)과 중간형(10) 사이, 및, 중간형(10)과 하형(9) 사이에 있어서, 부분적으로 형 체결과 형 개방을 행한다. 중간형(10)의 형 체결 및 형 개방은, 구동 기구(11)를 이용하는 경우에만 한정되지 않는다. 상형 플레이트(5) 및 하형 플레이트(8)에 마련된 클램프 기구에 의해, 중간형(10)을 상형 플레이트(5) 또한 하형 플레이트(8)에 고정하도록 하여도 좋다.

상형 플레이트(5) 및 하형 플레이트(8)에는, 상형(6) 및 하형(9)을 가열하기 위한 히터(도시 없음)가 내장된다. 상형 플레이트(5)와 상형(6) 및 하형 플레이트(8)와 하형(9)은 170℃ 정도로 가열된다. 상형(6), 하형(9), 중간형(10)은, 각각 수지 밀봉하는 대상에 따라 수지 성형 장치(1) 내에서 간단하게 교체할 수 있도록 구성되어 있다.

형 체결 기구(12)는, 완전하게 형 체결과 형 개방을 행하기 위해 가동반(7)을 승강시키는 기구로서, 예컨대, 토글 기구나 유압 실린더 등에 의해 구성된다. 형 체결 기구(12)를 이용하여 가동반(7)을 승강시킴으로써, 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)을 대상으로 하여 형 체결과 형 개방을 행한다. 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)을 형 체결 또는 형 개방하기 시작하는 시점에서는, 중간형(10)은, 이미 상형(6) 또는 하형(9)에 형 체결되어 있어도 좋고, 클램프 기구에 의해 상형(6) 또는 하형(9)에 고정된 상태로 되어 있어도 좋다.

또한, 실제의 수지 성형 장치(1)에 있어서는, 상형(6) 및 하형(9)은, 체이스 홀더라고 불리는 외측의 부분과, 체이스라고 불리는 내측의 부분과, 캐비티 블록이라고 불리는 캐비티가 마련된 부분에 의해 구성되는 것이 많다. 도 1에 있어서는, 이들 구성 요소에 대해서는 도시를 생략하였다.

도 2를 참조하여, 본 실시예의 수지 성형 장치(1)에 있어서, 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)의 구성을 설명한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)은 형 개방한 상태이다. 로더(13)는, 반도체의 칩(14)이 장착된 기판(15)과 수지 재료인 수지 타블렛(16)을, 상형(6)과 하형(9) 사이의 소정 위치에 반송하는 반송 기구이다. 칩(14)의 단자와 기판(15)의 단자는 와이어(17)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 이 경우에는, 로더(13)에 의해 기판(15)과 수지 타블렛(16)이 동시에 반송된다. 기판(15)과 수지 타블렛(16)을 각각 반송하도록 하여도 좋다.

하형(9)에는, 로더(13)에 의해 공급되는 수지 타블렛(16)을 수용하는 포트(18)와, 로더(13)에 의해 공급되는 기판(15)을 하형(9)의 소정 위치에 배치하는 오목부(19)가 마련된다. 포트(18) 내에는 수용된 수지 타블렛(16)을 압박하는 플런저(20)가 마련된다. 상형(6)에는, 수지 타블렛(16)이 가열되어 용융한 유동성 수지의 통로가 되는 컬(21)과 러너(22)가 마련된다.

중간형(10)에는, 기판(15)에 장착된 칩(14)을 수용하여 경화 수지가 형성되는 공간으로 되는 캐비티(23)와, 캐비티(23)에 유동성 수지를 공급하는 게이트(24)가 마련된다. 또한, 중간형(10)에는, 포트(18)로부터 컬(21)에 유동성 수지를 압송하는 수지 통로로 되는 관통 구멍(25)이 마련된다. 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)이 형 체결된 상태에 있어서, 포트(18)와 관통 구멍(25)과 컬(21)과 러너(22)와 게이트(24)와 캐비티(23)가 연통하여, 유동성 수지가 캐비티(23)에 주입된다.

도 3을 참조하여, 도 2에서 나타낸 중간형(10)에 있어서의 캐비티(23) 및 게이트(24)의 구성의 일례에 대해서 설명한다. 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 예컨대 캐비티(23) 및 게이트(24)는 가로 방향 및 세로 방향으로 격자형(매트릭스형)으로 마련된다. 가로 방향(X 방향)을 따르는 나열을 「행」이라고 부르고, 세로 방향(Y 방향)을 따르는 나열을 「열」이라고 부르기로 한다. 이 경우에는, 가로 방향(X 방향)을 따라 4개, 세로 방향(Y 방향)을 따라 5개, 합계 20개의 캐비티(23) 및 게이트(24)가, 중간형(10)에 마련된다. 제품에 따라 중간형(10)에 마련되는 캐비티(23) 및 게이트(24)의 수를 임의로 결정할 수 있다.

도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 각각의 캐비티(23)에 대응하여, 캐비티(23)의 천장면(도면에서는 상면)에 있어서의 소정의 위치(예컨대, 중앙 위치)에 게이트(24)의 선단이 접속된다. 게이트(24)는 통형의 공간으로서 원추형의 형상이 되도록 형성된다. 게이트(24)는, 러너(22)(도 2 참조)에 접속되는 측의 개구(24a)의 직경이 크고, 캐비티(23)에 접속되는 측의 개구(24b)의 직경이 작아지도록 형성된다. 이와 같이, 캐비티(23)에 접속되는 측의 게이트를 가늘게 함으로써, 캐비티(23) 내에 있어서 성형되는 성형품이 디게이트하기 쉬워진다. 그러나, 캐비티(23)에 접속되는 측의 게이트를 가늘게 함으로써, 디게이트할 때에 게이트 선단부에 형성되어 있던 경화 수지가 꺾여, 이 경화 수지가 수지 잔류로서 게이트에 남아 버린다고 하는 폐해가 발생하기 쉬워진다.

도 4를 참조하여, 도 3의 (a)에서 나타낸 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 검출하는 게이트 흡인 기구(26)의 구성에 대해서 설명한다. 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 게이트 흡인 기구(26)에는, 도 3의 (a)에서 나타낸 각각의 게이트(24)의 위치에 대응하도록 하여 공기를 흡인하는 흡인부(27)가 각각 마련된다. 도 3의 (a)와 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 게이트(24)에 대응하여, 가로 방향(X 방향)을 따라 4개, 세로 방향(Y 방향)을 따라 5개, 합계 20개의 흡인부(27)가, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된다. 여기서, 공기는 게이트(24)를 유통하는 기체의 일례이지만, 기체는 공기 이외여도 좋다. 예컨대, 게이트(24)의 내부 공간을 포함하는 장치 배치 환경을 공기 이외의 기체(질소 가스 등)에 의해 치환한 상태로 이 수지 성형 장치를 이용하는 경우, 치환된 기체가 본 실시예에 있어서의 기체가 된다.

예컨대, 1행째부터 5행째의 각 행에 있어서, 가로 방향(X 방향)을 따라 배치된 4개의 흡인부(27)는, 가로 방향(X 방향)을 따라 연장되는 흡인 통로(28)에 의해 각각 접속된다. 가로 방향을 따라 배치된 4개의 흡인부(27)는 흡인 통로(28)를 통해 외부에 접속된다. 따라서, 1행째부터 5행째의 각 행에 있어서 마련된 4개의 흡인부(27)를 외부에 접속하는 흡인 통로(28)는, 세로 방향(Y 방향)을 따라 5개 마련된다. 이에 한정되지 않고, 흡인 통로(28)를, 세로 방향(Y 방향)을 따라 마련할 수도 있다. 이 경우에는, 세로 방향을 따라 배치된 5개의 흡인부(27)는 세로 방향(Y 방향)을 따라 연장되는 흡인 통로(28)에 의해 각각 접속된다. 1열째부터 4열째의 각 열에 마련된 5개의 흡인부(27)를 외부에 접속하는 흡인 통로(28)는 가로 방향(X 방향)을 따라 4개 마련되게 된다.

도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 흡인부(27)는, 흡인부 본체(27a)와 흡인부 본체(27a)의 선단에 부착된 탄성 부재로 이루어지는 흡착 패드(27b)로 구성된다. 흡착 패드(27b)는, 통형의 형상 또는 선단이 넓어지는 테이퍼형의 단면 형상을 갖는다. 흡착 패드(27b)로서는, 예컨대 니트릴 고무, 실리콘 고무, 불소 고무 등이 이용된다. 수지 성형 장치(1)에 있어서는, 상형(6)이나 하형(9)을 170℃ 정도로 가열하여 수지 밀봉을 행하기 때문에, 흡착 패드(27b)로서는, 내열성을 갖는 실리콘 고무나 불소 고무를 사용하는 것이 바람직하다.

게이트 흡인 기구(26)에 마련된 각각의 흡인 통로(28)는, 플렉시블 튜브, 불소 수지 튜브, 나일론 튜브 등으로 이루어지는 배관(29)에 의해 흡인 기구(30)에 접속된다. 배관(29)은 유연성, 내열성 등을 갖는 것이 바람직하다. 흡인 기구(30)로서는, 진공 이젝터나 진공 펌프 등이 이용된다. 각각의 흡인 통로(28)와 흡인 기구(30) 사이에는, 5개의 흡인 통로(28)의 전부에 있어서 흡인하는 공기의 총유량을 측정하는 유량 센서(31)가 마련된다. 유량 센서(31)에 의해 측정되는 유량값을 수집하여, 데이터의 보존이나 계산 등의 데이터 처리를 하기 위한 제어 수단(CTL)이 유량 센서(31)에 접속된다. 흡인 기구(30)를 사용하여, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 20개의 흡인부(27)로부터, 게이트(24) 내에 존재하는 기체가 흡인된다. 본 실시예에서는, 게이트(24)는 대기에 개방되어 있기 때문에, 20개의 흡인부(27)로부터 대기 중의 공기가 흡인된다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 흡인부(27)의 수에 대응하여, 유량 센서(31)를 1개 또는 복수 개 마련할 수 있다. 도 5의 (a)는 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 20개의 흡인부(27)에 대하여, 1개의 유량 센서(31)와, 1개의 유량 센서(31)에 대응하는 제어 수단(CTL)을 마련한 경우를 나타낸다. 가로 방향을 따라 마련된 5개의 흡인 통로(28)는 배관(29)에 의해 1개의 유량 센서(31)를 경유하여 흡인 기구(30)에 접속된다. 따라서, 유량 센서(31)는 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 20개의 흡인부(27)로부터 흡인되는 공기의 총유량을 측정하게 된다.

도 5의 (b)는 게이트 흡인 기구(26)의 1행째부터 5행째의 각 행에 각각 마련된 4개의 흡인부(27)를 접속하는 각각의 흡인 통로(28)에 대응하여, 각각 1개의 유량 센서(31)를 마련한 경우를 나타낸다. 이 경우에는, 각 흡인 통로(28)에 접속된 4개의 흡인부(27)로부터 흡인되는 공기의 총유량이, 5개의 유량 센서(31)에 의해 각각 측정된다. 5개의 유량 센서(31)에 대응하도록 제어 수단(CTL)이 마련된다. 따라서, 제어 수단(CTL)은, 5개의 유량 센서(31)에 의해 측정되는 유량값을 전부 수집하여, 데이터의 보존이나 계산 등의 처리를 행한다. 유량 센서(31)의 수는 게이트 흡인 기구(26)에 마련되는 흡인부(27)의 수나 흡인 통로(28)의 수, 흡인하는 공기의 총유량 등에 따라 임의로 결정할 수 있다.

도 5의 (a), (b) 어느 경우에 있어서도, 수지 잔류가 없는 정상적인 상태에서 흡인한 공기의 총유량을 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여 미리 측정하여, 그 총유량을 기준 유량 정보로서 제어 수단(CTL)에 기억해 둔다. 그리고, 실제로 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여 측정한 총유량에 대응하는 측정 유량 정보와, 미리 기억해 둔 기준 유량 정보를, 제어 수단(CTL)이 비교한다. 이에 의해, 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 제어 수단(CTL)은 판단 수단으로서 기능한다.

도 3∼도 6을 참조하여, 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여, 도 3에서 나타낸 중간형(10)에 마련된 게이트(24)에, 수지 잔류가 발생하였는지의 여부를 검출하는 동작에 대해서 설명한다. 우선, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 중간형(10)에 마련된 각각의 게이트(24)의 위치에, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 흡인부(27)가 각각 대응하도록, 게이트 흡인 기구(26)를 중간형(10)의 하방의 소정 위치까지 이동시킨다.

다음에, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 게이트 흡인 기구(26)를 상승시켜, 캐비티(23)에 접속되는 게이트(24)의 개구(24b)의 주위에 흡착 패드(27b)를 밀착시킨다. 흡착 패드(27b)는, 선단이 넓어지는 테이퍼형의 단면 형상을 가지고 있다. 흡착 패드(27b)는, 실리콘 고무나 불소 고무 등의 탄성 부재로 형성되어 있기 때문에, 흡착 패드(27b)를 개구(24b)의 주위에 완전히 밀착시킬 수 있다. 이와 같이 하여, 게이트(24) 내에 존재하는 공기가 게이트(24)의 개구(24b)로부터 캐비티(23)로 새는 것을 막는다.

다음에, 흡인 기구(30)를 사용하여, 게이트(24) 내에 존재하는 공기를 흡인한다. 게이트(24) 내의 공간은, 중간형(10)의 외부에 연통한 상태, 바꾸어 말하면 대기에 연통하는 상태로 되어 있다. 따라서, 흡인 기구(30)는 대기 중의 공기를 흡인한다. 대기 중으로부터 흡인한 공기는, 중간형(10)에 마련된 게이트(24)로부터, 게이트 흡인 기구(26)에 마련되어 흡착 패드(27b), 흡인부 본체(27a), 흡인 통로(28), 더욱, 흡인 통로(28)에 접속된 배관(29), 유량 센서(31)를 순차 경유하여, 흡인 기구(30)로부터 배기된다. 게이트(24)로부터 흡인된 공기의 총유량을, 유량 센서(31)에 의해 측정한다. 측정한 총유량에 대응하는 측정 유량 정보와, 미리 기억해 둔 기준 유량 정보를, 제어 수단(CTL)에 의해 비교한다. 이와 같이 하여, 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하였는지의 여부를 판단할 수 있다.

도 3의 (a)에 나타내는 중간형(10)에 있어서, 20개의 게이트(24)는, 전부 수지 잔류가 없는 정상적인 상태라고 한다. 이 정상적인 상태에 있어서, 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 흡인 기구(30)를 사용하여, 20개의 게이트(24)로부터 흡인하는 공기의 총유량을 1개의 유량 센서(31)에 의해 측정한다.

20개의 게이트(24)로부터 흡인하는 공기의 총유량의 측정값이 적당한 값, 예컨대 2 L/분이 되도록 흡인 기구(30)의 흡인량을 설정한다. 바꾸어 말하면, 2 L/분을, 공기의 총유량의 측정값으로서의 설정값으로 한다. 수지 잔류가 없는 정상적인 상태이면, 1개당의 게이트(24)로부터 흡인되는 공기의 유량은 전부 동일해지기 때문에, 1개의 게이트(24)로부터 흡인되는 공기의 유량은, 0.1 L/분(=2 L/분÷20)이 된다. 이와 같이 하여, 수지 잔류가 없는 정상적인 상태에 있어서, 1개당의 게이트(24)로부터 흡인하는 공기의 유량의 측정값이 일정한 값(0.1 L/분)이 되도록, 흡인 기구(30)의 흡인량을 미리 설정해 둔다. 따라서, 이 설정한 공기의 총유량의 측정값(2 L/분)과 게이트 흡인 기구(26)에 의해 실제로 흡인되는 공기의 총유량의 측정값을 비교함으로써, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

예컨대, 도 3의 (a)에 나타낸 중간형(10)에 마련된 20개의 게이트(24) 중, 1개의 게이트(24)에 경화 수지가 남아 있고, 수지 잔류가 완전히 게이트(24)를 막은 상태라고 가정한다. 이 상태에 있어서, 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여, 게이트(24)로부터 대기 중의 공기를 흡인한다. 20개의 게이트(24)로부터 흡인된 공기의 총유량을, 유량 센서(31)에 의해 측정한다. 20개의 게이트(24) 중, 수지 잔류에 의해 완전히 막힌 1개의 게이트(24)로부터는 공기가 흡인되지 않기 때문에, 유량 센서(31)에 의해 측정되는 총유량은, 수지 잔류가 없는 19(20-1)개의 게이트(24)로부터 흡인되는 공기의 총유량이 된다. 따라서, 19개의 게이트(24)로부터 흡인되는 공기의 총유량은, 1.9 L/분(=2 L/분-0.1 L/분)이 된다. 정상적인 상태에서의 측정값으로서 설정된 총유량인 2 L/분보다 측정된 총유량이 적어지는 경우에는, 어딘가의 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있다고 판단할 수 있다. 이와 같이 하여, 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

상기 실시예에 있어서는, 20개의 게이트(24)로부터 흡인하는 공기의 총유량의 측정값이 2 L/분이 되도록, 흡인 기구(30)의 흡인량을 설정하였다. 1개당의 게이트(24)로부터 흡인하는 공기의 유량은 0.1 L/분(=2 L/분÷20)이다. 따라서, 2개의 게이트(24)에 완전한 수지 잔류가 있는 경우의 총유량은 1.8 L/분(=2 L/분-0.2 L/분), 3개의 게이트(24)에 수지 잔류가 있는 경우의 총유량은 1.7 L/분(=2 L/분-0.3 L/분)이 된다. 이와 같이, 1개당의 게이트(24)로부터 흡인하는 공기의 유량의 측정값을 설정함으로써, 수지 잔류가 발생하고 있는 게이트(24)의 수를 판단할 수 있다. 그러나, 20개의 게이트(24) 중, 어느 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부까지 판단할 수는 없다.

도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1행째부터 5행째까지의 각 흡인 통로(28)에 마련된 4개의 흡인부(27)에 대하여, 각각 유량 센서(31)를 마련한 경우에 대해서 설명한다. 이 경우에는, 각 흡인 통로(28)에 대응하여 5개의 유량 센서(31)가 접속된다. 각 흡인 통로(28)는, 5개의 유량 센서(31)를 경유하여 흡인 기구(30)에 접속된다. 도 5의 (a)의 경우와 마찬가지로, 흡인 기구(30)에 의해 흡인하는 공기의 총유량의 측정값을 2 L/분으로 설정한다. 따라서, 각 유량 센서(31)에 의해 측정되는 공기의 총유량의 측정값은, 0.4 L/분(=2 L/분÷5)이 된다. 따라서, 각 흡인 통로(28)에 접속된 4개의 흡인부(27)에 대응하는 게이트(24) 중, 1개의 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는 경우에는, 측정되는 총유량은 0.3 L/분(=0.4 L/분-0.1 L/분)이 된다. 또한, 2개의 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는 경우에는, 측정되는 총유량은 0.2 L/분(=0.4 L/분-0.2 L/분)이 된다. 이 경우라면, 5개의 흡인 통로(28) 중, 어느 흡인 통로(28)에 마련된 흡인부(27)에 대응하는 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

또한, 가로 방향(X 방향) 및 세로 방향(Y 방향)을 따라, 모든 「행」 및 「열」에 흡인 통로(28)를 마련할 수 있다. 가로 방향 및 세로 방향을 따라 마련된 모든 흡인 통로(28)에 대응하여, 유량 센서(31)를 마련한다. 구체적으로는, 1행째부터 5행째에 마련된 5개의 흡인 통로(28)에 대응하여 5개의 유량 센서(31)를, 그리고, 1열째부터 4열째에 마련된 4개의 흡인 통로(28)에 대응하여 4개의 유량 센서(31)를, 합계로 9개의 유량 센서(31)를 마련한다. 이 경우라면, 가로 방향 및 세로 방향을 따라 마련된 모든 흡인 통로(28)로부터 각각 흡인하는 공기의 유량을, 독립적으로 측정할 수 있다. 따라서, 미리 설정된 유량의 측정값보다 측정된 유량의 측정값이 적게 되어 있는 「행」과 「열」이 교차하는 교점에 위치하는 게이트(24)를 특정할 수 있다. 이 교점에 위치하는 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있다고 판단할 수 있다. 이와 같이 하면, 20개의 게이트(24) 중, 어떤 위치에 형성된 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

덧붙여, 각 흡인부(27)에 대응하여 독립된 흡인 통로(28)를 각각 마련할 수 있다. 이 경우에는, 각각의 흡인 통로(28)에 대응하여 독립된 유량 센서(31)를 각각 마련한다. 따라서, 하나의 흡인부(27)에 대응하여 하나의 유량 센서(31)가 독립적으로 마련된다. 합계로 20개의 유량 센서(31)가 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 각각의 흡인 통로(28)에 접속된다. 이 경우라면, 게이트(24)의 각각에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를, 각각의 유량 센서(31)에 공기가 흐르고 있는지의 여부에 따라, 개별로 판단할 수 있다. 이와 같이 하면, 20개의 게이트(24) 중, 어느 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 직접 특정할 수 있다.

여기까지는, 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여, 중간형(10)[도 3의 (a) 참조]에 마련된 모든 게이트(24)에 대응하는 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 총유량을 일괄하여[1개의 유량 센서(31)에 의해] 또는 분할하여[복수의 유량 센서(31)에 의해] 측정하는 경우를 나타내었다. 이에 한정되지 않고, 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 「행」 또는 「열」을 따라 마련된 복수 개의 게이트(24)를 각각 대상으로 하여, 게이트 흡인 기구(26)를 마련할 수 있다.

예컨대, 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 1행째에 마련된 4개의 흡인부(27)와, 이들 흡인부(27)를 접속하는 흡인 통로(28)를 구성 단위로 하는 게이트 흡인 기구(26)를 마련한다. 흡인 통로(28)에 흡인 기구(30)와 유량 센서(31)를 접속한다. 이 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여, 우선 중간형(10)의 1행째에 마련된 4개의 게이트(24)에 대응하여 4개의 흡인부(27)로부터 흡인한 공기의 유량을 유량 센서(31)에 의해 측정한다. 다음에, 2행째에 마련된 4개의 게이트(24)에 대응하여 흡인한 공기의 유량을 측정한다. 순차, 각 행에 마련된 4개의 게이트(24)에 대응하여 흡인한 공기의 유량을 각각 측정한다. 이와 같이 하여, 모든 「행」에 마련된 게이트(24)에 대응하여 흡인한 공기의 유량을 측정한다. 이에 의해, 어느 「행」에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

또한, 중간형(10)에 마련된 1개의 게이트(24)에 대응하는 게이트 흡인 기구(26)를 마련할 수 있다. 이 경우에는, 게이트 흡인 기구(26)에 1개의 흡인부(27)와 1개의 흡인 통로(28)가 마련된다. 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여, 중간형(10)에 마련된 모든 게이트(24)에 대응하여 흡인한 공기의 유량을 순차 측정한다. 모든 게이트(24)를 흡인함으로써, 어느 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 흡인부(27)를, 중간형(10)에 마련된 게이트(24)의 개구(24b)의 주위에 밀착시킨 상태로, 흡인 기구(30)를 사용하여 게이트(24)로부터 대기 중의 공기를 흡인한다. 흡인한 공기의 총유량을 유량 센서(31)에 의해 측정한다. 측정된 공기의 총유량을, 수지 잔류가 없는 정상적인 상태에서 흡인한 공기의 총유량의 측정값과 비교하여, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 수지 잔류를 검출하는 수단으로서, 대기 중으로부터 흡인한 공기의 유량을 측정한다. 미리, 흡인 기구(30)에 의해 소정의 유량의 측정값이 얻어지도록 설정한다. 흡인 기구(30)를 사용하여 흡인을 시작한 시점으로부터 시간이 경과하여도, 흡인하는 공기의 유량은 항상 일정하며, 시간에 대한 의존성이 없다. 따라서, 흡인하는 공기의 유량을 엄밀하게 감시할 필요가 없어, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 용이하게 판단할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 유량을 유량 센서(31)에 의해 측정한다. 유량의 변화를 검출함으로써, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다. 미리, 수지 잔류가 없는 정상적인 상태에서, 흡인 기구(30)를 이용하여 소정의 유량의 측정값이 얻어지도록 설정한다. 따라서, 1개당의 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 유량을 임의로 결정할 수 있다. 수지 잔류가 발생하여 완전히 게이트(24)를 막고 있는 경우에는, 그 게이트에 대응하는 흡인부(27)로부터는 공기가 흡인되지 않는다. 따라서, 그 만큼만 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 총유량이 감소하게 된다. 1개당의 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 유량을 수지 잔류를 검출하는 감도로서 설정할 수 있기 때문에, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 정밀도 좋게 판단할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 중간형(10)에 마련된 게이트(24)의 수에 대응하여, 게이트 흡인 기구(26)에 접속하는 유량 센서(31)를 가로 방향 또는 세로 방향을 따라 복수 개 마련할 수 있다. 따라서, 중간형(10)에 마련된 게이트(24)의 수가 매우 많아진 경우라도, 1개당의 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 유량을 최적의 값으로 설정할 수 있다. 수지 잔류를 검출하는 수단으로서, 대기 중으로부터 흡인하는 공기의 유량을 이용하기 때문에, 제품에 따라 수지 잔류를 검출하는 감도를 최적으로 할 수 있다.

또한, 게이트 흡인 기구(26)의 가로 방향 및 세로 방향을 따라, 모든 「행」 및 「열」에 마련된 흡인 통로(28)에 대하여 유량 센서(31)를 접속할 수도 있다. 이와 같이 하면, 가로 방향 및 세로 방향의 전부에 마련된 유량 센서(31)의 유량을 측정함으로써, 수지 잔류가 발생하고 있는 게이트(24)를 특정하는 것도 가능하다.

또한, 본 실시예에 따르면, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 각 흡인부(27)에 대응하여 독립된 흡인 통로(28) 및 유량 센서(31)를 각각 마련할 수 있다. 이와 같이 하면, 모든 게이트(24)에 대응하여 마련된 유량 센서(31)에 공기가 흐르고 있는지의 여부에 따라, 수지 잔류가 발생하고 있는 게이트(24)를 직접 특정할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 「행」 또는 「열」을 따라 마련된 복수 개의 게이트(24)를 대상으로 하여, 게이트 흡인 기구(26)를 마련할 수 있다. 이 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여, 모든 「행」 또는 「열」에 마련된 게이트(24)에 순차 대응하여 흡인한 공기의 유량을 측정한다. 이에 의해, 어느 「행」 또는 「열」에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 확인할 수 있다.

또한, 1개의 게이트(24)에 대응하는 게이트 흡인 기구(26)를 마련할 수 있다. 이 경우에는, 1개의 흡인부(27)를 이용하여, 중간형(10)에 마련된 모든 게이트(24)에 순차 대응하여 흡인한 공기의 유량을 측정한다. 모든 게이트(24)를 흡인함으로써, 어느 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 흡인부(27)를 게이트(24)의 개구(24b)의 주위에 밀착시키고, 대기 중으로부터 게이트(24)를 경유하여 흡인하는 공기의 유량을 측정한다. 대기 중의 공기를 흡인하기 때문에, 간단한 장치 구성으로, 또한 간단한 검출 방법으로 수지 잔류를 검출할 수 있다. 따라서, 수지 성형 장치(1)의 비용을 저렴하게 할 수 있다.

(실시예 2)

도 7을 참조하여, 실시예 2에 있어서의 게이트 흡인 기구(26)의 구성에 대해서 설명한다. 실시예 1과의 차이는, 게이트 흡인 기구(26)에 있어서, 흡인부(27)를 지지하는 탄성 부재를 마련한 것이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 게이트 흡인 기구(26)에 있어서, 흡인부(27)를 삽입하는 오목부(32)가 마련된다. 오목부(32) 내에는, 예컨대 탄성 부재인 스프링(33) 등이 삽입되고, 그 위에 흡인부(27)가 배치된다.

탄성 부재로 형성된 흡착 패드(27b)에 더하여, 흡인부(27)도 스프링(33)에 의해 탄성 지지된다. 이에 의해, 게이트(24)의 개구(24b)[도 3의 (b) 참조]의 주위에 흡착 패드(27b)를 밀착시키는 것을, 더욱 높일 수 있다. 이 경우에는, 흡인부(27)를 탄성 지지하도록 오목부(32) 속에, 스프링(33)을 마련하였다. 이에 한정되지 않고, 흡인부 본체(27a)의 내부에 탄성 부재인 스프링을 삽입하는 구성으로 할 수도 있다.

(실시예 3)

도 8∼도 12를 참조하여, 본 발명에 따른 수지 성형 장치(1)에 있어서, 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여 수지 밀봉을 행하는 구성 및 동작에 대해서 설명한다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 수지 성형 장치(1)가 갖는 로더(13)는, 본 발명에 따른 게이트 흡인 기구(26)가 종래의 반송 기구에 추가되어 일체화되어 구성되어 있다. 따라서, 로더(13)는, 칩(14)이 장착된 기판(15)을 하형(9)의 오목부(19)에 배치하는 기능과, 수지 타블렛(16)을 포트(18)에 공급하는 기능과, 대기 중의 공기를 흡인하여 수지 잔류를 검출하기 위해 게이트(24)를 흡인하는 기능을 포함하고 있다. 도 8에 있어서는, 로더(13)에 게이트 흡인 기구(26)를 내장하여, 로더(13)와 게이트 흡인 기구(26)가 일체화된 구성을 나타내었다. 이에 한정되지 않고, 로더(13)와 게이트 흡인 기구(26)를, 각각 구성하여 조립할 수도 있다.

수지 성형 장치(1)에 있어서, 게이트 흡인 기구(26)를 이용하여 수지 밀봉을 행하는 동작을 설명한다. 우선, 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)을 형 개방한다. 다음에, 중간형(10)과 하형(9) 사이의 소정 위치까지, 로더(13)를 이동시킨다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 로더(13)를 상방 이동시켜, 흡인부(27)의 선단에 부착된 흡착 패드(27b)를, 게이트(24)의 개구(24b)의 주위에 밀착시킨다. 다음에, 흡인 기구(30)를 사용하여, 미리 수지 잔류가 없는 상태(정상적인 상태)에 있어서 설정된 조건으로, 게이트(24)를 경유하여 대기 중의 공기를 흡인한다. 흡인 기구(30)에 의해 흡인된 공기의 총유량을 유량 센서(31)로 측정한다.

도 9에 있어서, 측정한 공기의 총유량이 정상적인 상태에 있어서 측정된 기준 유량값과 상이한 경우(적은 경우)에는, 어느 하나의 게이트(24)에 수지 잔류가 발생하고 있다고 판단한다. 그 경우에는, 수지 밀봉 공정을 일단 중지한다. 그리고, 중간형(10)을 수지 성형 장치(1)로부터 제거하고, 게이트(24)를 세정한다. 세정함으로써, 경화 수지의 수지 잔류를 게이트(24)로부터 제거한다. 다음에, 세정한 중간형(10)을 수지 성형 장치(1)에 부착하여, 흡인 기구(30)에 의해 흡인되는 공기의 총유량의 측정값이 정상인지의 여부를 확인한다. 총유량의 측정값이 정상이면, 수지 밀봉 공정을 재개한다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 측정된 공기의 총유량이, 정상적인 상태에 있어서 측정된 기준 유량값(기준 유량 정보)과 동일하면, 게이트(24)에 수지 잔류는 발생하고 있지 않다고 판단한다. 수지 잔류가 없는 정상적인 상태라고 판단한 경우에는, 칩(14)이 장착된 기판(15)을 하형(9)의 오목부(19)에 배치한다. 다음에, 수지 타블렛(16)을 포트(18)에 공급한다. 다음에, 로더(13)를 소정 위치로부터 후퇴시킨다. 다음에, 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)을 형 체결한다. 형 체결을 한 후에, 수지 타블렛(16)을 압박하며 가열한다. 가열함으로써 수지 타블렛(16)을 용융시켜, 유동성 수지를 생성한다. 다음에, 플런저(20)에 의해, 유동성 수지를 압박한다. 압박된 유동성 수지를, 포트(18)로부터, 관통 구멍(25), 컬(21), 러너(22), 게이트(24)를 순차 경유하여, 캐비티(23)에 주입한다. 캐비티(23)에 주입된 유동성 수지를, 소정 시간 가열함으로써 경화 수지(34)를 형성한다. 이 상태로, 칩(14)은 경화 수지(34)에 의해 수지 밀봉된다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 중간형(10)과 하형(9)이 형 체결된 상태로, 중간형(10) 및 하형(9)을 상형(6)으로부터 하강시킨다. 이에 의해, 경화 수지(34)에 의해 수지 밀봉된 성형품(35)은 디게이트된다. 디게이트됨으로써, 컬(21), 러너(22), 게이트(24)에 있어서 형성된 경화 수지는, 불필요 수지(36)로서, 성형품(35)과 분리된다. 분리된 불필요 수지(36)는 상형(6)에 남는다. 다음에, 언로더(37)를 상형(6)과 중간형(10) 사이의 소정 위치로 이동시킨다. 언로더(37)를 사용하여, 불필요 수지(36)를 상형(6)으로부터 취출한다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 중간형(10)과 하형(9)을 형 개방한다. 이 상태로, 상형(6)과 하형(9)과 중간형(10)을 완전히 형 개방한다. 성형품(35)은, 하형의 오목부(19)에 남는다. 다음에, 언로더(37)를 재차 중간형(10)과 하형(9) 사이의 소정 위치로 이동시킨다. 그리고, 언로더(37)를 사용하여, 성형품(35)을 취출한다. 이와 같이 하여, 수지 밀봉을 완료한다.

본 실시예에 따르면, 로더(13)에 게이트 흡인 기구(26)가 일체화되어 구성된다. 따라서, 로더(13)는, 칩(14)이 장착된 기판(15) 및 수지 타블렛(16)을 반송하는 기능과, 수지 잔류를 검출하기 위해 게이트(24)를 흡인하는 기능을 포함한다. 따라서, 수지 밀봉 공정에 있어서, 수지 밀봉을 행하기 직전에 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 검사할 수 있다. 수지 밀봉을 행하기 직전에 수지 잔류를 검사하기 때문에, 만약에 수지 잔류를 검출한 경우에는, 그 시점에서 생산을 멈출 수 있다. 따라서, 수지 잔류에 의한 성형 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 로더(13)에 일체화된 게이트 흡인 기구(26)를 사용하여, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 판단한다. 흡인 기구(30)를 사용하여, 게이트(24)로부터 대기 중의 공기를 흡인한다. 흡인한 공기의 총유량을 유량 센서(31)에 의해 측정하고, 수지 잔류가 없는 정상적인 상태에 있어서 측정된 기준 유량값과 비교한다. 유량 센서(31)에 의해 측정되는 공기의 총유량은 시간 의존성이 없어 일정한 유량으로 된다. 흡인을 시작한 시점에서 시간이 경과하여도 측정하는 공기의 총유량은 일정값으로 변동하지 않는다. 따라서, 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 용이하게 판단할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 수지 잔류가 없는 정상적인 상태에서, 흡인 기구(30)를 이용하여 1개당의 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 유량값을 미리 설정해 둔다. 따라서, 1개당의 흡인부(27)로부터 흡인하는 공기의 유량을, 수지 잔류를 검출하는 감도로서 설정할 수 있다. 수지 잔류가 발생하고 있는 경우에는, 그 흡인부(27)로부터는 공기가 흡인되지 않기 때문에, 그 만큼만 측정하는 공기의 유량이 감소한다. 따라서, 측정한 총유량이, 미리 설정해 둔 총유량의 측정값보다 적은 경우는, 수지 잔류가 발생하고 있다고 판단할 수 있다. 또한, 감소한 유량에 의해, 수지 잔류가 발생하고 있는 게이트(24)의 수를 추정할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 로더(13)에 마련된 흡인부(27)를 게이트(24)의 개구(24b)의 주위에 밀착시키고, 대기 중으로부터 게이트(24)를 경유하여 흡인하는 공기의 유량을 측정한다. 따라서, 간단한 장치 구성으로, 또한 간단한 검출 방법으로 수지 잔류를 검출할 수 있다. 따라서, 수지 성형 장치(1)의 비용을 저렴하게 할 수 있다.

또한, 각 실시예에 있어서는, 중간형(10)의 하면측에 캐비티(23), 및, 중간형(10)의 상면측에 게이트(24)를 마련하였다. 이에 한정되지 않고, 캐비티(23)를 중간형(10)의 상면측, 및, 게이트(24)를 중간형(10)의 하면측에 마련한 경우라도, 동일한 효과를 발휘한다.

또한, 실시예 3에 있어서는, 게이트 흡인 기구(26)를 수지 성형 장치(1)의 로더(13)에 내장한 경우를 나타내었다. 이에 한정되지 않고, 게이트 흡인 기구(26)를 로더(13)와는 별도로 하여, 수지 성형 장치(1)에 마련할 수 있다. 또한, 게이트 흡인 기구(26)를 수지 성형 장치(1)와는 분리하여 별개로 구성할 수도 있다. 이 경우에는, 동일한 중간형(10)을 사용하는 수지 성형 장치군이나 동일한 중간형(10)을 사용하는 성형 모듈군에 있어서, 게이트 흡인 기구(26)를 사용하여 수지 잔류가 발생하고 있는지의 여부를 검출할 수 있다.

전술한 각 실시예에 있어서는, 수지 잔류의 경우, 즉, 게이트(24)에 있어서 남은 경화 수지가 완전히 게이트(24)를 막은 상태에 대해서 설명하였다. 이에 한정되지 않고, 게이트(24)에 있어서 남은 경화 수지가 불완전하게 게이트(24)를 막은 경우, 즉, 게이트(24)에 있어서 유동성 수지가 유동하는 공간의 단면적이 좁아진 경우에 있어서도, 본 발명을 적용할 수 있다.

각 실시예에 있어서는, 흡인 기구(30)를 사용하여, 게이트 흡인 기구(26)에 마련된 소정의 개수의 흡인부(27)로부터 대기 중의 공기를 흡인한다. 이에 한정되지 않고, 상형(6)과 중간형(10)이 형 체결된 상태로, 소정의 개수의 흡인부(27)로부터, 게이트(24)의 내부에 존재하는 기체를 흡인하여도 좋다. 이 경우에는, 흡인을 시작한 후에 유량이 과도적으로 변화하기 때문에, 측정된 유량의 변화의 양태에 기초하여 수지 잔류가 발생하였는지의 여부를 판단할 수 있다. 이 경우에는, 상형(6)과 중간형(10) 사이에 시일 부재를 마련하여 게이트(24)의 내부를 완전히 폐쇄 공간으로 하는 것이 바람직하다.

각 실시예에 있어서는, 트랜스퍼 성형을 사용하는 수지 성형 장치로서, 기판(15)에 장착된 칩(14)을 수지 밀봉하는 수지 성형 장치에 대해서 설명하였다. 수지 밀봉하는 대상은 IC, LED, 트랜지스터 등의 반도체 칩이어도 좋고, 수동 소자여도 좋다. 리드 프레임, 프린트 기판, 세라믹스 기판 등의 기판에 장착된 1개 또는 복수 개의 전자 부품을 수지 밀봉할 때에 본 발명을 적용할 수 있다.

전자 부품을 수지 밀봉하는 경우에 한정되지 않고, 렌즈, 도광판, 반사 부재(리플렉터), 광학 모듈 등의 광학 부품, 그 외의 일반적인 수지 제품을 수지 성형에 의해 제조하는 경우에, 본 발명을 적용할 수 있다.

3개의 성형틀을 사용하는 수지 성형 장치에 한정되지 않고, 2개의 성형틀을 사용하는 수지 성형 장치도 본 발명의 대상이 된다. 이 경우에는, 상형과 하형 중 어느 한쪽이, 도 2에 나타낸 도면 부호 10에 상당한다.

또한, 트랜스퍼 성형에 한정되지 않고, 사출 성형을 행하는 수지 성형 장치에 대하여 본 발명을 적용할 수 있다. 「사출 성형」이라고 하는 용어는, 「재료를 가열 실린더로부터 탕구(러너, 게이트)를 통하여 폐쇄한 금형의 캐비티 속에 가압 하에 주입하여 성형하는 공정」을 의미한다(JIS K 6900 참조).

본 발명은 전술한 각 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 필요에 따라, 임의로 또한 적절하게 조합하고, 변경하여, 또는 선택하여 채용할 수 있는 것이다.

1 : 수지 성형 장치 2 : 기반
3 : 타이 바 4 : 고정반
5 : 상형 플레이트 6 : 상형(성형틀군)
7 : 가동반 8 : 하형 플레이트
9 : 하형(제2 성형틀, 성형틀군) 10 : 중간형(제1 성형틀, 성형틀군)
11 : 구동 기구(형 체결 기구) 12 : 형 체결 기구
13 : 로더(반송 기구) 14 : 칩
15 : 기판 16 : 수지 타블렛
17 : 와이어 18 : 포트
19 : 오목부 20 : 플런저
21 : 컬 22 : 러너
23 : 캐비티 24 : 게이트
24a : 개구 24b : 개구
25 : 관통 구멍 26 : 게이트 흡인 기구
27 : 흡인부 27a : 흡인부 본체(흡인부)
27b : 흡착 패드(흡인부) 28 : 흡인 통로
29 : 배관 30 : 흡인 기구
31 : 유량 센서(유량 측정 수단) 32 : 오목부
33 : 스프링(탄성체) 34 : 경화 수지
35 : 성형품 36 : 불필요 수지
37 : 언로더(반송 기구) CTL : 판단 수단

Claims (14)

1. 제1 성형틀과,
   상기 제1 성형틀에 서로 대향하여 마련된 제2 성형틀과,
   상기 제1 성형틀의 상기 제2 성형틀에 대향하는 부위에 마련되고, 주입된 유동성 수지가 경화하여 경화 수지가 형성되는 캐비티와,
   상기 제1 성형틀에 마련되고 상기 캐비티의 천장면에 접속되는 게이트, 그리고
   상기 제1 성형틀과 상기 제2 성형틀을 적어도 갖는 성형틀군을 형 체결하는 형 체결 기구
   를 구비하여 상기 경화 수지를 갖는 성형품을 성형하는 수지 성형 장치로서,
   상기 제1 성형틀과 상기 제2 성형틀 사이에, 상기 캐비티에 중첩되도록 배치된 게이트 흡인 기구와,
   상기 게이트 흡인 기구에 마련된 흡인부와,
   상기 게이트 흡인 기구에 마련되어 상기 흡인부에 이어지는 흡인 통로와,
   상기 흡인 통로에 접속된 배관과,
   상기 배관에 접속된 흡인 기구와,
   상기 배관에 마련되어 상기 배관을 통과하는 기체의 유량에 따른 측정 유량 정보를 생성하는 유량 측정 수단, 그리고
   상기 유량 측정 수단으로부터 수취한 상기 측정 유량 정보에 기초하여 상기 유량을 산출하고, 상기 유량에 기초하여 미리 정해진 판단을 행하는 판단 수단
   을 구비하고,
   상기 유량 측정 수단은, 상기 흡인부의 선단이 상기 게이트의 개구의 주위에 있어서의 상기 제1 성형틀의 틀면에 밀착하며, 또한 상기 흡인 기구에 의해 상기 게이트 내에 존재하는 상기 기체가 흡인되고 있는 상태에 있어서 상기 측정 유량 정보를 생성하고,
   상기 미리 정해진 판단은, 상기 게이트에 상기 경화 수지가 잔류하고 있지 않은 상태에서 미리 측정하여 기억해 둔 상기 기체의 기준 유량 정보와 상기 측정 유량 정보를 비교함으로써, 상기 게이트에 있어서 상기 경화 수지가 잔류하고 있는지의 여부를 판단하는 것인 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 게이트가 복수 개 마련되고, 복수 개의 상기 게이트에 각각 대응하여 복수 개의 상기 흡인부가 마련되는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
3. 제2항에 있어서, 복수 개의 상기 게이트에 각각 대응하여 복수 개의 상기 캐비티가 마련되는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),
   상기 게이트 흡인 기구는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하는 n개의 상기 흡인 통로를 가지며, 상기 흡인 통로 각각은, 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하고 있고,
   n개의 상기 흡인 통로는, 공통으로 되는 상기 배관의, 상기 유량 측정 수단에서 보아 상기 흡인 기구와는 반대측에 위치하는 배관 부위에 각각 접속되는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 흡인 기구에 접속된 n개의 상기 배관을 구비하며,
   복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),
   상기 게이트 흡인 기구는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하는 n개의 상기 흡인 통로를 가지며, 상기 흡인 통로 각각은, 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하고 있고,
   n개의 상기 흡인 통로는, n개의 상기 배관에 각각 접속되는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 흡인부를 각각 지지하는 탄성체를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 성형품을 성형하기 위한 재료를 반입하여 상기 성형틀군에 전달하는 동작과 상기 성형품을 상기 성형틀군으로부터 취출하는 동작 중 적어도 한쪽을 행하는 반송 기구를 더 구비하고,
   상기 게이트 흡인 기구는 상기 반송 기구에 마련되는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
8. 유동성 수지가 경화하여 경화 수지가 형성되는 캐비티를 갖는 제1 성형틀과, 상기 제1 성형틀의 상기 캐비티 형성 부위에 서로 대향하여 마련된 제2 성형틀을 적어도 갖는 성형틀군을 준비하는 공정과,
   상기 성형틀군을 형 체결하는 공정과,
   상기 제1 성형틀에 마련되어 상기 캐비티의 천장면에 접속되는 게이트를 경유하여 상기 캐비티에 상기 유동성 수지를 주입하는 공정과,
   상기 유동성 수지를 경화시켜 상기 경화 수지를 형성하는 공정과,
   상기 성형틀군을 형 개방하는 공정, 그리고
   상기 경화 수지를 갖는 성형품을 상기 성형틀군으로부터 취출하는 공정
   을 포함하는 수지 성형 방법으로서,
   흡인부를 준비한 뒤에 상기 흡인부의 선단을, 상기 게이트의 개구의 주위에 있어서의 상기 제1 성형틀의 틀면에 밀착시키는 공정과,
   흡인 기구를 준비한 뒤에, 상기 게이트에 상기 경화 수지가 잔류하고 있지 않은 상태에서, 상기 흡인 기구를 사용하여 상기 흡인부를 경유하여 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하면서 상기 흡인부에 이어지는 배관을 통과하는 상기 기체의 유량을, 기준 유량으로서 미리 측정하는 공정과,
   상기 기준 유량에 기초하여 기준 유량 정보를 생성하며, 생성한 기준 유량 정보를 기억하는 공정과,
   상기 흡인 기구를 사용하여, 상기 흡인부를 경유하여 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하면서 상기 배관을 통과하는 상기 기체의 유량을 측정하는 공정과,
   상기 유량에 기초하여 측정 유량 정보를 생성하는 공정, 그리고
   상기 기준 유량 정보와 상기 측정 유량 정보를 비교함으로써, 상기 게이트에 있어서 상기 경화 수지가 잔류하고 있는지의 여부를 판단하는 공정
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
9. 제8항에 있어서,
   상기 게이트와 상기 게이트에 대응하는 상기 흡인부가 각각 복수 개 마련되고,
   상기 흡인부의 선단을 밀착시키는 공정에서는, 복수 개의 상기 게이트의 개구의 주위에 있어서의 상기 제1 성형틀의 틀면에, 복수 개의 상기 흡인부의 선단을 각각 밀착시키며,
   상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, 복수 개의 상기 흡인부를 각각 경유하여 복수 개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
10. 제9항에 있어서,
    복수 개의 상기 게이트에 각각 대응하여 상기 캐비티가 복수 개 마련되고,
    상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, 복수 개의 상기 흡인부를 각각 경유하여 복수 개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),
    상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하여 n개 마련되며 또한 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하는 흡인 통로를 준비한 뒤에, 상기 흡인 통로를 경유하여 복수 개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 일괄하여 흡인하고,
    상기 측정 유량 정보를 생성하는 공정에서는, n개의 상기 흡인 통로에 공통하여 접속된 상기 배관의 n개의 상기 흡인 통로보다 상기 흡인 기구에 가까운 배관 부위에 있어서, 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에 있어서 상기 기체를 일괄하여 흡인할 때에, 상기 유량을 측정하여 상기 측정 유량 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
12. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    복수 개의 상기 흡인부는, 평면에서 본 경우에 제1 방향을 따라 배열된 m개의 흡인부로 이루어지는 흡인부의 열이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 n행 배열된 m×n개의 흡인부이고(m, n은 모두 플러스의 정수),
    상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정에서는, n행 배열된 상기 흡인부의 열 각각에 대응하여 n개 마련되며 또한 상기 흡인부의 열 각각을 구성하는 m개의 상기 흡인부 각각에 연통하는 흡인 통로를 준비한 뒤에, 상기 흡인 통로를 각각 경유하여, 상기 n행의 흡인부의 열 각각이 갖는 상기 m개의 흡인부에 대응하는 m개의 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 각각 흡인하고,
    상기 측정 유량 정보를 생성하는 공정에서는, n행 배열된 상기 흡인부의 열의 각각에 대응하는 상기 배관에 있어서의 상기 유량을 각각 측정하여 n개의 상기 측정 유량 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
13. 제8항에 있어서, 상기 흡인부의 선단을 밀착시키는 공정에서는 탄성체에 의해 상기 흡인부를 지지하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
14. 제8항에 있어서,
    상기 흡인부가 마련된 반송 기구를 준비하는 공정과,
    상기 성형품을 성형하기 위한 재료를 반입하여 상기 성형틀군에 전달하는 공정, 그리고
    상기 성형품을 상기 성형틀군으로부터 취출하는 공정
    을 더 포함하고,
    상기 전달하는 공정과 상기 취출하는 공정 중 적어도 한쪽을, 상기 반송 기구를 사용하여 행하며,
    적어도 상기 흡인부의 선단을 밀착시키는 공정과 상기 게이트 내에 존재하는 기체를 흡인하는 공정과 상기 유량을 측정하는 공정을, 상기 전달하는 공정 또는 상기 취출하는 공정에 있어서 행하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.

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