TWI834055B - 樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法 Download PDF

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Abstract

本發明的樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力，且是利用柱塞（421）將收容於槽（41a）中的樹脂材料（J）擠出並注入至模腔（2a）的樹脂成形裝置（100），且包括運算部（71），所述運算部（71）基於在使柱塞（421）向擠出方向移動時施加至柱塞（421）的第一載荷（P1）及在使柱塞（421）向與擠出方向相反的一側移動時施加至柱塞（421）的第二載荷（P2），來運算槽（41a）與柱塞（421）之間的摩擦力（F）。

Description

樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法
本發明是有關於樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法。
以往，例如如專利文獻1所示，考慮在利用柱塞對槽內的樹脂進行加壓並注入至模具內的模腔來進行樹脂成形的半導體樹脂密封裝置中，在柱塞的下部設置負荷感測器，測定柱塞上升時的滑動阻力，並與預定的滑動閾值進行比較，由此判定裝置異常來對裝置進行控制。
再者，在專利文獻1中，在利用應變儀檢測施加至柱塞的力的情況下，測定柱塞的上升時的滑動阻力並與預定的滑動閾值進行比較，及在柱塞的加工時測定滑動阻力並與預定的滑動閾值進行比較，判定裝置異常來對裝置進行控制。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開平11-260844號公報
[發明所要解決的問題] 然而，在所述半導體樹脂密封裝置中，柱塞的上升時及下降時分別檢測出的滑動阻力值中，不僅包含槽與柱塞之間的摩擦力，還包含施加至柱塞的其他載荷。即，在所述半導體樹脂密封裝置中，無法高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力。
另一方面，本申請發明人考慮了以下結構：在未將樹脂材料收容於槽中的狀態下，測定停止的柱塞的載荷，並以此為基準測定使柱塞上下移動時的柱塞的載荷，來測定槽與柱塞之間的摩擦力。
但是，在所述結構中，可知根據使柱塞上升時的載荷求出的摩擦力與根據使柱塞下降時的載荷求出的摩擦力產生偏差。可認為所述偏差的原因是，例如在使下降的柱塞停止並作為基準的情況下，柱塞受到來自槽的向上的摩擦力而停止。即，停止狀態的柱塞的摩擦力並非零的狀態，因此可認為即便作為基準使用也無法準確地求出摩擦力。
因此，本發明是為了解決所述問題點而成，其主要問題在於高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力。 [解決問題的技術手段]
即，本發明樹脂成形裝置利用柱塞將收容於槽中的樹脂材料擠出並注入至模腔，且所述樹脂成形裝置包括運算部，所述運算部基於在使所述柱塞向擠出方向移動時施加至所述柱塞的第一載荷、及在使所述柱塞向與所述擠出方向相反的一側移動時施加至所述柱塞的第二載荷，來運算所述槽與所述柱塞之間的摩擦力。
進而，本發明的樹脂成形品的製造方法是使用所述樹脂成形裝置的樹脂成形品的製造方法。 [發明的效果]
根據如此構成的本發明，可高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力。
接著，列舉例子對本發明進行更詳細說明。但是，本發明並不受以下的說明限定。
如上所述，本發明的樹脂成形裝置利用柱塞將收容於槽中的樹脂材料擠出並注入至模腔，且所述樹脂成形裝置包括運算部，所述運算部基於在使所述柱塞向擠出方向移動時施加至所述柱塞的第一載荷、及在使所述柱塞向與所述擠出方向相反的一側移動時施加至所述柱塞的第二載荷，來運算所述槽與所述柱塞之間的摩擦力。 若為所述樹脂成形裝置，則基於在使柱塞向擠出方向移動時施加至柱塞的第一載荷、及在使柱塞向與擠出方向相反的一側移動時施加至柱塞的第二載荷，來運算槽與柱塞之間的摩擦力，且未將停止狀態的柱塞的載荷作為基準，因此可高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力。
作為摩擦力的具體的運算方法，考慮所述運算部基於所述第一載荷的最大值及所述第二載荷的最小值來運算所述摩擦力。
作為更詳細的摩擦力的運算方法，考慮所述運算部基於所述第一載荷的最大值與所述第二載荷的最小值的差值來運算所述摩擦力。
為了高精度地對樹脂材料的注入壓力進行控制，理想的是包括調整部，所述調整部使用由所述運算部獲得的摩擦力來調整利用所述柱塞擠出所述樹脂材料的力。
理想的是包括判斷部，所述判斷部基於由所述運算部獲得的摩擦力與預先設定的基準值的比較結果來判斷可否進行裝置運轉。 若為所述結構，則例如在判斷為無法進行裝置運轉的情況下，可在適當的時機停止運轉並進行維護。
樹脂成形裝置有時在樹脂成形後，進行使用所述柱塞將附著於所述槽內的樹脂扒出至所述槽的外部的清潔動作。 在此情況下，理想的是所述運算部在所述清潔動作中獲取所述第一載荷及所述第二載荷。 若為所述結構，則通過利用樹脂成形裝置的現有的動作，不需要另外進行用以獲取第一載荷及第二載荷的動作。
具體而言，所述清潔動作是通過使所述柱塞在規定的扒出位置與用以收容所述樹脂材料的裝載位置之間移動來進行。 在所述清潔動作中，所述運算部在使所述柱塞從所述裝載位置移動至所述扒出位置時獲取所述第一載荷，在使所述柱塞從所述扒出位置移動至所述裝載位置時獲取所述第二載荷。
本發明的樹脂成形裝置考慮設為進行邊緣澆口型的傳遞成形。具體而言，本發明的樹脂成形裝置考慮包括：第一模，形成有模腔；第二模，與所述第一模相向，且設置有包括所述槽及所述柱塞的樹脂注入部；以及合模機構，將所述第一模與所述第二模合模，所述樹脂注入部包括：槽塊，形成有所述槽，設置成能夠經由彈性構件相對於所述第二模進退，且包括在所述第二模的模面上伸出的伸出部；以及傳遞機構，包括所述柱塞，且使所述柱塞移動而從所述槽向所述模腔注入所述樹脂材料。
理想的是在所述合模機構將所述第一模與所述第二模開模的開模動作中，所述傳遞機構使所述柱塞向所述第一模移動，而將所述第二模的模面上的樹脂成形品與所述槽塊上的不需要的樹脂分離。 若為所述結構，則槽塊上的不需要的樹脂被柱塞向第一模按壓，因此可在不會增大使槽塊進退的彈性構件的彈力的情況下，可靠地將樹脂成形品與不需要的樹脂分離。另外，不需要增大彈性構件的彈力，因此防止彈性構件的大型化，進而也不會導致成形模的大型化或不需要的樹脂的大型化。 特別是在本發明中，可高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力，因此可高精度地對利用柱塞按壓不需要的樹脂的力進行控制，從而可以可靠地進行使用柱塞將樹脂成形品與不需要的樹脂分離的動作。
理想的是本發明的樹脂成形裝置包括在樹脂成形後將所述槽塊上的不需要的樹脂搬出的搬送機構，所述搬送機構包括用以吸附所述不需要的樹脂的不需要的樹脂用吸附部，在所述搬送機構使所述不需要的樹脂用吸附部與所述槽塊上的不需要的樹脂接觸之後，所述傳遞機構使所述柱塞向所述第一模移動而從所述槽塊剝離所述不需要的樹脂，其後，所述搬送機構利用所述不需要的樹脂用吸附部吸附所述不需要的樹脂並將所述不需要的樹脂搬出。 若為所述結構，則在使不需要的樹脂用吸附部與槽塊上的不需要的樹脂接觸之後，使柱塞向第一模移動而從槽塊剝離不需要的樹脂，其後，利用不需要的樹脂用吸附部吸附不需要的樹脂，因此可穩定地回收槽塊上的不需要的樹脂。 具體而言，在利用不需要的樹脂用吸附部吸附不需要的樹脂之前，利用柱塞將不需要的樹脂從槽塊剝離，因此即便增大不需要的樹脂與槽塊的接觸面積，也可從槽塊可靠地回收由不需要的樹脂用吸附部吸附的不需要樹脂。另外，在利用柱塞將不需要的樹脂從槽塊剝離時，不需要的樹脂用吸附部與不需要的樹脂接觸，因此可防止由於不需要的樹脂在槽塊上傾斜等而產生的吸附不良。通過以上內容，可穩定地回收槽塊上的不需要的樹脂。 特別是在本發明中，可高精度地求出槽與柱塞之間的摩擦力，因此可高精度地控制利用柱塞按壓不需要的樹脂的力，從而可以可靠地進行使用柱塞從槽塊剝離不需要的樹脂的動作。
另外，使用所述樹脂成形裝置的樹脂成形品的製造方法也為本發明的一方式。
＜本發明的一實施方式＞ 以下，參照圖式對本發明的樹脂成形裝置的一實施方式進行說明。再者，為了容易理解，對以下所示的任一個圖均適宜省略或者誇張地示意性地描繪。對同一構成元件標註同一符號並適宜省略說明。
＜樹脂成形裝置的整體結構＞ 本實施方式的樹脂成形裝置100是通過使用樹脂材料J的傳遞成形來對連接有電子零件Wx的成形對象物W1進行樹脂成形。
此處，作為成形對象物W1，例如為金屬製基板、樹脂製基板、玻璃製基板、陶瓷製基板、電路基板、半導體製基板、配線基板、引線框架等，且不論有無配線。另外，用以樹脂成形的樹脂材料J例如是包含熱硬化性樹脂的複合材料，且樹脂材料J的方式為顆粒狀、粉末狀、液狀、片材狀或小片狀等。進而，作為與成形對象物W1的上表面連接的電子零件Wx，例如為裸晶片或經樹脂密封的晶片。
具體而言，如圖1所示，樹脂成形裝置100分別包括以下構件作為構成元件：供給模組100A，供給成形前的成形對象物W1及樹脂材料J；成形模組100B，進行樹脂成形；以及收納模組100C，收容成形後的成形對象物W2（以下為樹脂成形品W2）。再者，供給模組100A、成形模組100B及收納模組100C分別相對於其他構成元件可相互裝卸，且可更換。另外，還可將成形模組100B設為兩個或者三個等，增加各構成元件。
在供給模組100A設置有以下構件：成形對象物供給部11，供給成形對象物W1；樹脂材料供給部12，供給樹脂材料J；以及搬送裝置13（以下為裝載機13），從成形對象物供給部11接收成形對象物W1並搬送至成形模組100B，從樹脂材料供給部12接收樹脂材料J並搬送至成形模組100B。
裝載機13在供給模組100A與成形模組100B之間往返，且沿著遍及供給模組100A與成形模組100B而設置的軌道（未圖示）移動。
如圖2所示，成形模組100B包括：第一模2（以下為上模2），為形成有供樹脂材料J注入的模腔2a的成形模的其中一個；第二模3（以下為下模3），為與上模2相向地配置且設置有向模腔2a注入樹脂材料J的樹脂注入部4的成形模的另一個；以及合模機構5，將上模2與下模3合模。上模2由上模固持器101保持，且所述上模固持器101固定於上壓板102。另外，上模2經由上模基底板103安裝於上模固持器101。下模3由下模固持器104保持，且所述下模固持器104固定於利用合模機構5升降的可動壓板105。另外，下模3經由下模基底板106安裝於下模固持器104。
樹脂注入部4包括：槽塊41，形成有收容樹脂材料J的槽41a；以及傳遞機構42，包括設置於槽41a內的柱塞421。再者，槽41a例如由呈圓筒狀的筒狀構件410形成。所述筒狀構件410嵌入至槽塊41上所形成的貫通孔中。
槽塊41由彈性構件43彈性支撐，以便能夠相對於下模3升降。即，槽塊41設置成能夠經由彈性構件43相對於下模3升降。再者，彈性構件43設置於槽塊41的下側。
另外，在槽塊41的上端部，形成有在作為下模3的上表面的模面上伸出的伸出部411。進而，在槽塊41的上表面，形成有將從槽41a注入的樹脂材料J導入至模腔2a的作為樹脂流路的剔料池部41b及澆口部41c。另外，伸出部411在將上模2與下模3合模的狀態下，其上表面與上模2接觸，並且其下表面在與下模3的模面之間夾著成形對象物W1。
傳遞機構42在上模2與下模3合模的狀態下使柱塞421移動而從槽41a向模腔2a注入樹脂材料J。具體而言，傳遞機構42包括用以壓送在槽41a中被加熱而熔融的樹脂材料J的柱塞421、以及對所述柱塞421進行驅動的柱塞驅動部422。
在上模2形成有模腔2a，所述模腔2a收容成形對象物W1的電子零件Wx並且供熔融的樹脂材料J注入。另外，在上模2，在與槽塊41相向的部分形成有凹部2b，並且形成有將槽塊41的剔料池部41b及澆口部41c與模腔2a連接的流道部2c。再者，雖未圖示，但在上模2，在與槽塊41相反的一側形成有排氣口。另外，也可省略流道部2c，經由澆口部41c將剔料池部41b與模腔2a直接連接。
另外，在上模2設置有多個頂出銷61，所述多個頂出銷61用以使樹脂成形後的成形對象物W2從上模2脫模。這些頂出銷61設置成貫通上模2的所需部位並能夠相對於上模2升降，且固定於上模2的上側所設置的頂出板62。頂出板62經由彈性構件63設置於上壓板102等，且包括回位銷64。在合模時，回位銷64與下模3中的成形對象物W1的載置區域外接觸，由此使頂出板62相對於上模2上升。由此，在合模時，頂出銷61成為縮進上模2的模面的狀態。另一方面，在開模時，隨著下模3下降，頂出板62相對於上模2下降，頂出銷61利用彈性構件63的彈力將樹脂成形品W2從上模2脫模。
而且，當利用合模機構5將上模2與下模3合模時，包括剔料池部41b、澆口部41c、凹部2b及流道部2c的樹脂流路將槽41a與模腔2a連通（參照圖4）。另外，當將上模2與下模3合模後，成形對象物W1的槽側端部會夾在槽塊41的伸出部411的下表面與下模3的模面之間。當在所述狀態下利用柱塞421將熔融的樹脂材料J注入至模腔2a時，成形對象物W1的電子零件Wx被樹脂密封。
如圖1所示，在收納模組100C設置有收納樹脂成形品W2的收納部14、以及從成形模組100B接收樹脂成形品W2並搬送至收納部14的搬送裝置15（以下為卸載機15）。
卸載機15在成形模組100B與收納模組100C之間往返，且沿著遍及成形模組100B與收納模組100C而設置的軌道（未圖示）移動。
＜槽41a與柱塞421之間的摩擦力測定功能＞ 而且，本實施方式的樹脂成形裝置100具有測定槽41a與柱塞421之間產生的摩擦力（滑動阻力值）的功能。再者，所述摩擦力運算測定功能例如由設置於供給模組100A的控制部COM發揮。
具體而言，在樹脂成形裝置100中，如圖3所示，設置有測定施加至柱塞421的載荷的力感測器PS，且使用由所述力感測器PS獲得的載荷來運算槽41a與柱塞421之間的摩擦力F。
在本實施方式中，在柱塞421與柱塞驅動部422之間設置有力感測器PS，作為力感測器，例如考慮使用拉伸壓縮型負載感測器。除此以外，作為力感測器PS，還可使用重量感測器、載荷感測器等。
另外，控制部COM包括運算部71，所述運算部71在槽41a內未收容有樹脂材料J的狀態下，運算槽41a與柱塞421之間的摩擦力F。
所述運算部71從力感測器PS獲取在使柱塞421向擠出方向移動時（柱塞421的上升時）施加至柱塞421的第一載荷P1、及在使柱塞421向與擠出方向相反的一側移動時（柱塞421的下降時）施加至柱塞421的第二載荷P2，並基於所獲取的第一載荷P1及第二載荷P2來運算槽41a與柱塞421之間的摩擦力F。
具體而言，運算部71基於第一載荷P1的最大值P1max 及第二載荷P2的最小值P2min 來運算摩擦力F。
此處，第一載荷P1的最大值P1max 是根據摩擦力（F）及摩擦力以外的載荷（L）求出（P1max =F+L）。此處，由於使柱塞421上升，因此摩擦力為正值。
另外，第二載荷P2的最小值P2min 是根據摩擦力（-F）及摩擦力以外的載荷（L）求出（P2min =-F+L）。此處，由於使柱塞421下降，因此摩擦力為負值。
而且，運算部71根據以下的式[1]，基於第一載荷P1的最大值P1max 與第二載荷P2的最小值P2min 的差值（P1max -P2min ）來運算摩擦力F。 P1max -P2min =（F+L）-（-F+L）=2F F=（P1max -P2min ）/2  [1] 通過以上內容，可求出摩擦力F。再者，關於獲取第一載荷P1及第二載荷P2的時機、及求出摩擦力F的時機，將在後面敘述。
而且，控制部COM包括調整部72，所述調整部72使用由運算部71獲得的摩擦力F來調整利用柱塞421擠出樹脂材料J的力。
所述調整部72使用由運算部71獲得的摩擦力F來對柱塞驅動部422進行控制，以使其成為預先設定的注入壓力。由此，可無論摩擦力F無如何，均將樹脂材料J的注入壓力控制為所期望的值。例如，在將注入壓力的設定值設為Pset 的情況下，受到摩擦力F的影響，而實際的注入壓力成為Pset -F。因此，調整部72通過對柱塞驅動部422進行控制，考慮到摩擦力F，而使柱塞421所擠出的力成為Pset +F。
另外，控制部COM包括判斷部73，所述判斷部73基於由運算部71獲得的摩擦力F與預先設定的基準值的比較結果來判斷可否進行裝置運轉。
所述判斷部73將由運算部71獲得的摩擦力F與預先設定的基準值進行比較，若摩擦力F為基準值以上，則例如發出用以促使維護的警報，或者停止樹脂成形裝置100。
＜樹脂成形裝置100的動作＞ 參照圖4～圖15對所述樹脂成形裝置100的動作進行簡單說明。再者，圖4～圖15僅示出了槽塊41的其中一側（左側），省略了另一側（右側），但在各圖中另一側的狀態與其中一側的狀態相同。另外，在圖4～圖16中，省略了力感測器PS的圖示。以下的動作例如是通過設置於供給模組100A的控制部COM對各部進行控制來進行。
如圖4所示，在上模2與下模3開模的狀態下，由裝載機13搬送成形前的成形對象物W1，交給下模3並載置。此時，上模2及下模3被升溫至可使樹脂材料J熔融、硬化的溫度。其後，由裝載機13搬送樹脂材料J並收容於槽塊41的槽41a內。
在所述狀態下，當利用合模機構5使下模3上升時，如圖5所示，槽塊41碰觸上模2且相對於下模3下降，而伸出部411的下表面與成形對象物W1的槽側端部接觸。另外，上模2的下表面接觸伸出部411所不接觸的成形對象物W1的外周部。由此將上模2與下模3合模。在所述合模後，當傳遞機構42利用柱塞驅動部422使柱塞421上升時，如圖6所示，槽41a內的熔融的樹脂材料J穿過樹脂通路而注入至模腔2a內。然後，在經過規定的成形時間且樹脂材料J在模腔2a內硬化之後，合模機構5將上模2與下模3開模。
此處，本實施方式的樹脂成形裝置100在合模機構5將上模2與下模3開模的開模動作中，進行將樹脂成形品W2與不需要的樹脂K分離的動作（澆口斷開動作）。再者，不需要的樹脂K是殘留於槽塊41上並硬化的樹脂。
例如在即將經過所述成形時間之前（開模動作的開始前），如圖7所示，傳遞機構42使柱塞421按壓不需要的樹脂K的力降低至規定值的力（例如在柱塞421與不需要的樹脂K不剝離的情況下可維持接觸狀態的程度的比較小的值的力）。此處，利用所述運算部71高精度地求出槽41a與柱塞421之間的摩擦力F，因此可高精度地進行柱塞421按壓不需要的樹脂K的力的控制。再者，柱塞421所按壓的力是通過力感測器PS測定。
然後，控制部COM將成為所述規定值的力時的柱塞421的位置作為基準位置X存儲（參照圖7）。所述基準位置X是成為後述的澆口斷開動作及不需要的樹脂K的脫模/回收的基準的位置。再者，基準位置X不限於柱塞421的位置，也可設為與所述柱塞421連接的柱塞驅動部422的驅動軸（傳遞軸）等其他構件的位置。
然後，在開模動作的開始前，如圖8所示，傳遞機構42使柱塞421向與上模2相反的一側下降，並下降至規定的剝落位置Y。通過使柱塞421下降至剝落位置Y，柱塞421的上表面與不需要的樹脂K的下表面剝離。在所述剝落動作後，傳遞機構42使柱塞421上升至所述基準位置X。此時，柱塞421的上表面與不需要的樹脂K的下表面接觸（圖7的狀態）。
接著，如圖9所示，利用合模機構5開始下模3的下降，開始開模動作。在合模機構5開始開模動作且夾緊力降低至規定值（與所述傳遞機構42中的規定值不同）的時機，如圖10所示，傳遞機構42使柱塞421向上模2上升。由此，槽塊41上的不需要的樹脂K被柱塞421向上模2按壓。再者，夾緊力是通過設置於合模機構5的夾緊軸等的未圖示的負荷感測器等力感測器（包括重量感測器、載荷感測器等）測定。
另外，當傳遞機構42使柱塞421向上模2上升時，如圖10所示，槽塊41受到壓縮的彈性構件43的復原力即彈力而從下模3向上模2上升。即，在開模動作中，在槽塊41受到彈性構件43的彈力而從下模3向上模2上升的同時，傳遞機構42使柱塞421從下模3向上模2上升。
再者，在開模動作中，槽塊41受到彈性構件43的彈力而從下模3向上模2開始上升的時機、與利用傳遞機構42使柱塞421從下模3向上模2開始上升的時機可一致，也可不同。
通過利用所述傳遞機構42的柱塞421的上升及利用彈性構件43的彈力的槽塊41的上升，如圖11所示，下模3的模面上的樹脂成形品W2與槽塊41上的不需要的樹脂K分離（澆口斷開）。
此時，下模3上的樹脂成形品W2被設置於上模2的頂出銷61向下模3的模面按壓，樹脂成形品W2的下表面為與下模3的模面密接的狀態（參照圖10）。所述頂出銷61作為在將樹脂成形品W2與不需要的樹脂K分離時將樹脂成形品W2按壓於下模3的模面的按壓構件發揮功能。由於如上所述那樣利用按壓構件將樹脂成形品W2按壓於下模3的模面，因此容易對樹脂成形品W2與不需要的樹脂K之間施加剪切應力，容易澆口斷開。
此處，作為按壓構件的頂出銷61至少在樹脂成形品W2與不需要的樹脂K分離之前的期間，將樹脂成形品W2向下模3的模面按壓。換言之，在開模動作中，在頂出銷61按壓樹脂成形品W2的期間，通過所述槽塊41的上升及柱塞421的上升，樹脂成形品W2與不需要的樹脂K的分離完成。
在所述澆口斷開中，不需要的樹脂K為夾在通過彈性構件43的彈力被向上側按壓的槽塊41的上表面與上模2的下表面之間的狀態（參照圖10及圖11）。即，槽塊41在從開模動作的開始起規定期間中，成為利用彈性構件43的彈力而在與上模2之間夾著不需要的樹脂K的狀態。再者，所謂規定期間，是至少包含直至澆口斷開完成的期間，且是直至下模3下降以成為彈性構件43復原的初始狀態（被上模2按壓而壓縮之前的狀態）的期間。
然後，在經過規定期間後、即利用合模機構5進一步使下模3下降，如圖12所示，槽塊41在保持不需要的樹脂K的同時使不需要的樹脂K從上模2剝離。此處，在槽塊41形成有剔料池部41b及澆口部41c，且槽塊41與不需要的樹脂K的接觸面積比上模2與不需要的樹脂K的接觸面積大，因此不需要的樹脂K不從槽塊41剝離，而是從上模2剝離。由此，可不需要用以與不需要的樹脂K接觸並將所述不需要的樹脂K從上模2剝離的頂出銷。
另外，隨著傳遞機構42使柱塞421向上模2上升，槽塊41的伸出部411從在與下模3的模面之間夾著樹脂成形品W2的狀態變為與樹脂成形品W2不接觸的狀態。
再者，除所述澆口斷開以外，傳遞機構42使柱塞421向上模2上升，直至成為槽塊41的下側的彈性構件43復原的合模前的初始狀態（參照圖12）。由此，在下一次樹脂成形中，在將成形對象物W1載置於伸出部411的下側時，伸出部411不會成為障礙。
在進行以上那樣的開模動作並將樹脂成形品W2與不需要的樹脂K分離之後，利用卸載機15將樹脂成形品W2與不需要的樹脂K搬出。
如圖13所示，卸載機15包括成形品用吸附部15a及不需要的樹脂用吸附部15b。成形品用吸附部15a及不需要的樹脂用吸附部15b均包括樹脂製的吸附墊，特別是不需要的樹脂用吸附部15b例如為波紋管型，且伸縮性比成形品用吸附部15a優異。另外，成形品用吸附部15a及不需要的樹脂用吸附部15b設置於基底構件151，且連接於未圖示的抽吸源。進而，至少成形品用吸附部15a構成為能夠相對於基底構件151在左右方向及上下方向上移動。而且，在卸載機15設置有保持爪152，所述保持爪152用以保持由成形品用吸附部15a吸附的樹脂成形品W2。
在所述開模動作結束後，使卸載機15進入至上模2與下模3之間。然後，如圖13所示，使成形品用吸附部15a與樹脂成形品W2的上表面接觸，並且使不需要的樹脂用吸附部15b與不需要的樹脂K的上表面接觸。
在所述狀態下，如圖14所示，傳遞機構42使柱塞421上升而將不需要的樹脂K從槽塊41抬起。此處，在包括不需要的樹脂K殘留於槽41a內的殘留部K1的情況下，所述殘留部K1上升至不會妨礙不需要的樹脂K的回收的程度。由此，不需要的樹脂K從槽塊41脫模，並且與不需要的樹脂用吸附部15b密接。此時，不需要的樹脂用吸附部15b為彈性變形而收縮的狀態。此處，利用所述運算部71高精度地求出槽41a與柱塞421之間的摩擦力F，因此可高精度地對利用柱塞421按壓不需要的樹脂K的力進行控制。
在設為不需要的樹脂用吸附部15b收縮的狀態之後，開始不需要的樹脂用吸附部15b的吸附，而使不需要的樹脂用吸附部15b吸附不需要的樹脂K。另外，開始成形品用吸附部15a的吸附，而使成形品用吸附部15a吸附樹脂成形品W2。
然後，如圖15所示，使吸附有樹脂成形品W2的成形品用吸附部15a向從槽塊41離開的方向移動，而使樹脂成形品W2移動至伸出部411之外。其後，在使卸載機15上升之後，從上模2及下模3退出。由此，利用卸載機15進行樹脂成形品W2及不需要的樹脂K的搬出。
此處，有時在卸載機15包括用以清潔上模2及下模3的清掃機構（未圖示）。再者，作為清掃機構，考慮包括旋轉刷及抽吸塵埃並排出的抽吸部。
在此情況下，吸附有樹脂成形品W2及不需要的樹脂K的卸載機15停留於上模2與下模3之間，並進行清潔動作。另外，在所述清潔動作中，控制部COM發揮摩擦力運算功能。
此處，首先，傳遞機構42進行將附著於槽41a內的樹脂扒出的動作。即，如圖16所示，傳遞機構42使柱塞421上升至規定的扒出位置。此處，規定的扒出位置例如是柱塞421的上表面成為比槽41a的開口位置更靠上側處的位置。
然後，傳遞機構42從規定的扒出位置下降至用以收容樹脂材料J的裝載位置。如圖17所示，在使所述柱塞421從扒出位置下降至裝載位置的下降動作（區間a）中，運算部71從負載感測器等力感測器PS獲取第二載荷P2。
其後，傳遞機構42再次使柱塞421上升至規定的扒出位置。由此，將附著於槽內的樹脂扒出至槽41a外。如圖17所示，在使所述柱塞421從裝載位置上升至扒出位置的上升動作（區間b）中，運算部71從負載感測器等力感測器PS獲取第一載荷P1。
其後，利用設置於卸載機15的清掃機構來清潔上模2、下模3、槽塊41及柱塞421。另外，運算部71使用在區間a獲取的第二載荷P2的最小值P2min 及在區間b獲取的第一載荷的最大值P1max ，通過所述式[1]運算摩擦力F。
再者，在清潔動作中，從所述扒出位置下降至裝載位置的下降動作及從裝載位置上升至扒出位置的上升動作也可分別進行多次。
另外，也可在分別進行多次柱塞421的下降動作及上升動作的情況下，在下降動作中（區間a）分別獲取第二載荷P2，在上升動作中（區間b）分別獲取第一載荷P1。在此情況下，考慮對所獲取的多個第二載荷P2的最小值P2min 進行平均化，對所獲取的多個第一載荷P1的最大值P1max 進行平均化，並根據所述式[1]來運算摩擦力F。另外，也可使用一個第二載荷P2的最小值P2min 及一個第一載荷P1的最大值P1max ，根據所述式[1]來運算摩擦力F，並對由此獲得的多個摩擦力F進行平均化。除此以外，也可構成為在通過一次上下移動獲得的摩擦力F為規定值以上的情況下，判斷是否使柱塞421進一步上下移動。
在所述清潔動作結束之後，卸載機15從上模2及下模3退出，而進行樹脂成形品W2及不需要的樹脂K的搬出。
另外，在清潔動作中運算部71所運算出的摩擦力F被發送至調整部72。然後，調整部72在下一次的樹脂成形中使用所運算出的摩擦力F來對柱塞驅動部422進行控制，以使樹脂材料J的注入壓力成為預定的設定值。
進而，在清潔動作中運算部71所運算出的摩擦力F被發送至判斷部73。然後，判斷部73將所運算出的摩擦力F與預先設定的基準值進行比較，若摩擦力為基準值以上，則例如發出用以促使維護的警報，或者停止樹脂成形裝置100。
＜本實施方式的效果＞ 根據本實施方式的樹脂成形裝置100，基於在柱塞421的上升時施加至柱塞421的第一載荷P1、及在柱塞421的下降時施加至柱塞421的第二載荷P2，來運算槽41a與柱塞412之間的摩擦力F，且未將停止狀態的柱塞的載荷作為基準，因此可高精度地求出槽41a與柱塞421之間的摩擦力。
另外，在樹脂成形後的清潔動作中獲取第一載荷P1及第二載荷P2，因此可利用樹脂成形裝置100的現有的動作，從而不需要另外進行用以獲取第一載荷P1及第二載荷P2的動作。
＜其他變形實施方式＞ 再者，本發明並不限於所述實施方式。
在所述實施方式中，為在清潔動作中獲取第一載荷P1及第二載荷P2來運算摩擦力F的結構，但也可設為以下結構：在清潔動作以外的時機獲取第一載荷P1及第二載荷P2來運算摩擦力F。例如，也可在樹脂材料J收容於槽41a中之前，使柱塞421升降並獲取第一載荷P1及第二載荷P2來運算摩擦力F。
另外，使柱塞421升降的範圍不限於如所述實施方式那樣在扒出位置與裝載位置之間，例如能夠在樹脂材料J的注入完成的注入完成位置與裝載位置之間等適宜設定。
進而，所述實施方式的運算部71使用第一載荷P1的最大值P1max 及第二載荷P2的最小值P2min 來求出摩擦力F，但也可使用第一載荷P1中的最大值P1max 以外的值及第二載荷P2中的最小值P2min 以外的值來求出摩擦力F。另外，也可使用第一載荷P1的區間a的平均值及第二載荷P2的區間b的平均值來求出摩擦力F。
所述實施方式的樹脂成形裝置通過槽塊41包括伸出部411來進行邊緣澆口型的傳遞成形，但也可進行側緣澆口型的傳遞成形。
本發明的樹脂成形裝置不限於通常的傳遞成形，只要為包括傳遞機構的結構即可。
除此以外，本發明不限於所述實施方式，當然能夠在不脫離其主旨的範圍內進行各種變形。
2:第一模（上模） 2a:模腔 2b:凹部 2c:流道部 3:第二模（下模） 4:樹脂注入部 5:合模機構 11:成形對象物供給部 12:樹脂材料供給部 13:搬送裝置（裝載機） 14:收納部 15:搬送機構（搬送裝置、卸載機） 15a:成形品用吸附部 15b:不需要的樹脂用吸附部 41:槽塊 41a:槽 41b:剔料池部 41c:澆口部 42:傳遞機構 43:彈性構件 61:頂出銷 62:頂出板 63:彈性構件 64:回位銷 71:運算部 72:調整部 73:判斷部 100:樹脂成形裝置 100A:供給模組 100B:成形模組 100C:收納模組 101:上模固持器 102:上壓板 103:上模基底板 104:下模固持器 105:可動壓板 106:下模基底板 151:基底構件 152:保持爪 410:筒狀構件 411:伸出部 421:柱塞 422:柱塞驅動部 a、b:區間 COM:控制部 J:樹脂材料 K:不需要的樹脂 K1:殘留部 P1:第一載荷 P1max :最大值 P2:第二載荷 P2min :最小值 PS:力感測器 W1:成形對象物 W2:樹脂成形品（成形對象物） Wx:電子零件 X:基準位置 Y:剝落位置
圖1是表示本發明一實施方式的樹脂成形裝置的結構的示意圖。 圖2是表示所述實施方式的成形模組的結構的示意圖。 圖3是表示用以實現所述實施方式的摩擦力測定功能的結構的示意圖。 圖4是表示所述實施方式的成形模組的基板載置狀態及樹脂材料裝填狀態的示意圖。 圖5是表示所述實施方式的成形模組的合模狀態的示意圖。 圖6是表示所述實施方式的成形模組的樹脂注入狀態的示意圖。 圖7是表示所述實施方式的成形模組的基準位置X的示意圖。 圖8是表示所述實施方式的成形模組的剝落狀態的示意圖。 圖9是表示所述實施方式的成形模組的開模動作開始時的狀態的示意圖。 圖10是表示所述實施方式的成形模組的開模動作中的澆口斷開（gate break）動作的示意圖。 圖11是表示所述實施方式的成形模組的開模動作中的澆口斷開後的狀態的示意圖。 圖12是表示所述實施方式的成形模組的開模狀態的示意圖。 圖13是表示所述實施方式的卸載機的各吸附部與樹脂成形品及不需要的樹脂接觸的狀態的示意圖。 圖14是表示在所述實施方式中不需要的樹脂上升而不需要的樹脂用吸附部收縮的狀態的示意圖。 圖15是表示所述實施方式的卸載機吸附樹脂成形品及不需要的樹脂並予以搬出的狀態的示意圖。 圖16是表示所述實施方式的扒出動作中的（a）扒出位置及（b）裝載位置的示意圖。 圖17是表示所述實施方式的清潔動作中的第一載荷P1及第二載荷P2的測定區間的示意圖。
41:槽塊
41a:槽
42:傳遞機構
71:運算部
72:調整部
73:判斷部
421:柱塞
422:柱塞驅動部
COM:控制部
PS:力感測器

Claims (8)

  1. 一種樹脂成形裝置，利用柱塞將收容於槽中的樹脂材料擠出並注入至模腔，且所述樹脂成形裝置中，包括：第一模，形成有所述模腔；第二模，與所述第一模相向，且設置有包括所述槽及所述柱塞的樹脂注入部；合模機構，將所述第一模與所述第二模合模；以及運算部，所述運算部基於在使所述柱塞向擠出方向移動時施加至所述柱塞的第一載荷、及在使所述柱塞向與所述擠出方向相反的一側移動時施加至所述柱塞的第二載荷，來運算所述槽與所述柱塞之間的摩擦力，所述樹脂注入部包括：槽塊，形成有所述槽，設置成能夠經由彈性構件相對於所述第二模進退，且包括在所述第二模的模面上伸出的伸出部；以及傳遞機構，包括所述柱塞，且使所述柱塞移動而從所述槽向所述模腔注入所述樹脂材料，所述合模機構將所述第一模與所述第二模開模前，所述傳遞機構使所述柱塞向與所述第一模相反的一側移動而使所述柱塞與所述槽塊上的不需要的樹脂剝離，並再次使所述柱塞向所述第一模移動而使所述柱塞與所述不需要的樹脂接觸，之後，所述合模機構開始所述第一模及所述第二模的開模，在開模動作中，所述傳遞機構使所述柱塞向所述第一模移動，而將所述第二模的模面 上的樹脂成形品與所述不需要的樹脂分離，所述樹脂成形裝置還包括在樹脂成形後將所述不需要的樹脂搬出的搬送機構，所述搬送機構包括用以吸附所述不需要的樹脂的不需要的樹脂用吸附部，在所述搬送機構使所述不需要的樹脂用吸附部與所述不需要的樹脂接觸之後，在使所述不需要的樹脂用吸附部接觸所述不需要的樹脂的狀態下，基於由所述運算部獲得的摩擦力進行所述柱塞的驅動的控制，藉此所述傳遞機構使所述柱塞向所述第一模移動而從所述槽塊剝離所述不需要的樹脂，將該經剝離的所述不需要的樹脂所接觸的所述不需要的樹脂用吸附部設為彈性變形而收縮的狀態後，所述搬送機構利用所述不需要的樹脂用吸附部吸附所述不需要的樹脂並將所述不需要的樹脂搬出。
  2. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，其中，所述運算部基於所述第一載荷的最大值及所述第二載荷的最小值來運算所述摩擦力。
  3. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，其中，所述運算部基於所述第一載荷的最大值與所述第二載荷的最小值的差值來運算所述摩擦力。
  4. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，包括調整部，所述調整部使用由所述運算部獲得的摩擦力來調整利用所述柱塞擠出所述樹脂材料的力。
  5. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，包括判斷部，所述判斷部基於由所述運算部獲得的摩擦力與預先設定的基準值的比較結果來判斷可否進行裝置運轉。
  6. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，其中，進行使用所述柱塞將附著於所述槽內的樹脂扒出至所述槽的外部的清潔動作，所述運算部在所述清潔動作中獲取所述第一載荷及所述第二載荷。
  7. 如請求項6所述的樹脂成形裝置，其中，所述清潔動作是通過使所述柱塞在規定的扒出位置與用以收容所述樹脂材料的裝載位置之間移動來進行，所述運算部在使所述柱塞從所述裝載位置移動至所述扒出位置時獲取所述第一載荷，在使所述柱塞從所述扒出位置移動至所述裝載位置時獲取所述第二載荷。
  8. 一種樹脂成形品的製造方法，是使用如請求項1至請求項7中任一項所述的樹脂成形裝置製造樹脂成形品的樹脂成形品的製造方法，包括：合模步驟，在將成形對象物及樹脂材料供給至所述第一模與所述第二模的狀態下，將所述第一模與所述第二模合模以進行樹脂成形；以及 搬出步驟，將所述第一模與所述第二模開模並將經樹脂成形的所述成形對象物及所述不需要的樹脂從所述第一模與所述第二模搬出。
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