KR100698676B1 - 수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법 - Google Patents

수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법 Download PDF

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무네오 미우라
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토와 가부시기가이샤
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Abstract

기판 블록(5)을 갖는 하형(1)에는 포트 블록(pot block; 9)이 끼워 넣어져 있다. 포트 블록(9)은 기판 블록(5)에 대해 접촉하면서 이동하는 것이 가능하도록, 코일 스프링(21)에 의해 탄성적으로 지지되어 있다. 또한, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에서 기판(16)은 상형(2)과 기판 블록(5)에 의해 적당한 클램프압으로 끼워 지지되고, 포트 블록(9)은 코일 스프링(21)에 의해 상형(2)에 대해 적당한 압력으로 압착된다. 또한, 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 해제된 상태에서, 포트 블록(9)은 코일 스프링(21)이 신장함에 의해 기판 블록(5)에 접촉하면서 상승한다. 그 결과, 포트 블록(9)과 상형(2)의 사이에 수지 버르(resin burr)가 형성되는 것, 기판(16)의 손상이 발생하는 것 및 접시 스프링 등에 의한 기판(16)의 높이 위치의 조정이 필요해지는 것이 방지된 수지 밀봉장치를 얻을 수 있다.
수지, 밀봉

Description

수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법{Resin Sealing Apparatus and Resin Sealing Method}
도 1은 실시의 형태 1의 수지 밀봉장치의 클로징 직전의 상태를 도시한 단면도.
도 2는 실시의 형태 1의 수지 밀봉장치가 클로징된 후, 캐비티 내에 유동성 수지가 주입되고 있는 상태를 도시한 단면도.
도 3은 실시의 형태 2의 수지 밀봉장치의 클로징 전에 기판이 포트 블록에 접촉한 직후의 상태를 도시한 단면도.
도 4는 실시의 형태 2의 수지 밀봉장치가 클로징된 후, 캐비티 내에 유동성 수지가 주입되고 있는 상태를 도시한 단면도.
도 5는 실시의 형태 3의 수지 밀봉장치가 클로징되고, 또한, 기판이 포트 블록에 접촉한 후, 캐비티 내에 유동성 수지가 주입되고 있는 상태를 도시한 단면도.
도 6은 실시의 형태 3의 수지 밀봉장치가 오프닝된 상태를 도시한 단면도.
도 7은 종래의 수지 밀봉장치의 클로징 직전의 상태를 도시한 단면도.
도 8은 종래의 수지 밀봉장치가 클로징된 후 캐비티 내에 유동성 수지가 주입되고 있는 상태를 도시한 단면도.
도 9는 종래의 수지 밀봉장치에 있어서 유동성 수지가 간극에 침입한 상태를 도시한 단면도.
도 10은 간극에 침입한 유동성 수지가 경화함에 의해 기판 블록의 상승 및 하강을 저해하고 있는 상태를 도시한 단면도.
발명의 분야
본 발명은, 프린트 기판 등의 회로 기판(이하, 「기판」이라고 한다)에 장착된 칩형상 소자(이하, 적절히 「칩」이라고 한다)를 수지 밀봉함에 의해 전자 부품을 형성하는 수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법에 관한 것이다.
종래 기술
종래의 수지 밀봉장치를, 도 7 내지 도 10을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에 도시된 도면의 모두가 설명의 간편을 위해 과장하여 그려져 있다.
도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이 수지 밀봉장치에는 하형(1) 및 상형(2)을 갖는 수지 밀봉형(3)이 마련되어 있다. 또한, 하형(1)에는 오목부(4)가 마련되어 있다. 오목부(4)에는 하형(1)의 일부를 구성하는 기판 블록(5)이 설치되어 있다. 기판 블록(5)은 복수의 접시 스프링(6)으로 이루어지는 접시 스프링 유닛(7)에 의해 탄성적으로 지지되어 있다. 또한, 접시 스프링 유닛(7)과 오목부(4)의 저면과의 사이에는 소정의 두께를 갖는 스페이서(8)가 마련되어 있다. 또한, 오목부(4)에는 기판 블록(5)에 인접하도록 포트 블록(pot block; 9)이 고정되어 있다. 환언하 면, 기판 블록(5)은 포트 블록(9)의 측벽에 접촉하면서 상승 및 하강할 수 있도록, 접시 스프링 유닛(7)에 의해 탄성적으로 지지되어 있다. 또한, 포트 블록(9)에는 원통형상의 공간을 갖는 포트부(10)가 마련되어 있다. 포트부(10) 내에는 원주형의 플런저(11)가 상승 및 하강할 수 있도록 마련되어 있다. 플런저(11)상에는 유동성 수지의 원재료인 수지 태블릿(12)이 놓여있다.
한편, 상형(2)에는 포트부(10)에 대향하는 위치에 오목부 형상의 컬(cull; 13)이 마련되어 있다. 컬(13)에 연속하도록 홈형상의 러너(runner; 14)가 마련되어 있다. 또한, 러너(14)에 연속하도록 오목부인 캐비티(cavity; 15)가 마련되어 있다. 즉, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에 있어서는 컬(13)과 러너(14)로 이루어지는 수지 유로를 통하여 포트부(10)와 캐비티(15)가 연통하고 있다. 또한, 기판 블록(5)상에는 1개 또는 복수개의 칩(도시 생략)이 장착된 기판(16)이 그 단면(端面)(도면 중의 우측의 측면)과 기판 블록(5)의 단면(端面)(도면 중의 우측의 측면)이 동일 평면상에 포함되도록 설치되어 있다. 또한, 기판(16)은 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에 있어서 기판(16)에 장착된 칩이 캐비티(15)에 수용되도록, 설치되어 있다.
전술한 종래의 수지 밀봉장치는, 다음과 같은 동작을 한다. 우선, 도 7에 도시한 상태에 있어서 상형(2)이 하강한다. 그로 인해, 하형(1)중 포트 블록(9)의 윗면과 상형(2)의 하면이 다이 매칭면(P. L.)에 있어서 접촉하고, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된다. 그 클로징 상태에 있어서 기판(16)은 접시 스프링 유닛(7)에 의해 탄성적으로 지지된 기판 블록(5)과 상형(2)에 의해 소정의 클램프압으로 끼워진다. 또한, 포트 블록(9)은 상형(2)에 압착된다.
상형(2)과 하형(1)이 클로징될 때에, 기판 블록(5)은 포트 블록(9)의 측벽에 접촉하면서 하강한다. 다음에, 도 8에 도시된 바와 같이, 하형(1)에 마련된 히터(도시 생략)에 의해 수지 태블릿(12)이 가열되고, 그로 인해 용융한다. 그 결과, 유동성 수지(17)가 생성된다.
다음에, 플런저(11)가 상승한다. 그로 인해, 도 8에 도시된 바와 같이, 유동성 수지(17)는 플런저(11)로부터 받는 압력에 의해 컬(13) 및 러너(14)를 이 순번으로 경유하여 캐비티(15)에 주입된다. 다음에, 유동성 수지(17)는 더욱 가열되고, 그로 인해 경화한다. 그 결과, 경화 수지가 형성된다. 이와 같이 하여, 기판, 칩 및 경화 수지를 포함하는 수지 성형체가 완성된다. 그 후, 상형(2)과 하형(1)이 오프닝되고, 기판(16)과 경화 수지를 포함하는 수지 성형체가 취출된다. 상형(2)과 하형(1)이 오프닝될 때에는 기판 블록(5)은 포트 블록(9)의 측벽에 접촉하면서 상승한다.
그러나, 상술된 종래의 기술에 의하면, 이하와 같은 문제가 있다.
첫째, 도 9에 도시된 바와 같이, 기판(16)의 단면(도면 중의 우측의 측면)과 포트 블록(9)의 측벽(도면중 좌측의 측면)과의 사이에 빈틈이 생기는 것에 기인하는 문제가 있다. 종래의 수지 밀봉장치에 있어서는 기판 블록(5)의 측벽과 포트 블록(9)의 측벽 사이에 기판 블록(5)이 상승 및 하강하는 기능을 손상시키지 않도록 하기 위한 빈틈(18)이 마련되어 있다. 그 때문에, 유동성 수지(17)가 빈틈(18)에 침입하고, 그 후 경화한다. 그로 인해, 도 9에 도시된 바와 같이, 빈틈(18)에서 불 필요한 경화 수지(19)가 형성된다. 이 경우에는 불필요한 경화 수지(19)가 빈틈(18)에 있어서 기판 블록(5)과 포트 블록(9)에 의해 끼워져 있거나, 또는, 기판 블록(5)에 부착되어 있다. 그 때문에, 다음의 수지 밀봉 공정에 있어서는 경화 수지(19)가 기판 블록(5)의 상승 및 하강을 저해한다. 이로써, 우선, 도 10에 도시된 바와 같이, 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 불충분하게 되기 때문에 포트 블록(9)의 윗면과 상형(2)의 하면과의 사이에 빈틈(20)이 생긴다. 이 빈틈(20)에 유동성 수지(17)가 흘러 들어가고, 간극(20) 내에서 유동성 수지(17)가 경화하고, 그로 인해, 수지 버르(resin burr)가 형성된다. 그 결과, 수지 성형체가 불량품으로 된다. 또한, 전술한 바와 같이 수지 버르가 형성되어 있는 경우에는 기판 블록(5)의 하강이 저해된다. 그 때문에, 기판(16)이 상형(2)에 의해 과대한 클램프압으로 압착된다. 그 결과, 기판(16)의 특성에 따라서는 기판(16)에 손상이 생기거나, 또는, 기판(16)이 파손될 우려가 있다.
둘째, 접시 스프링 유닛(7)의 탄성력을 이용하여 기판(16)을 끼워 지지하는 것에 기인하는 문제가 있다. 우선, 기판(16)마다의 두께의 편차가 큰 경우에는, 상대적으로 큰 두께를 갖는 기판(16)은 과대한 클램프압으로 상형(2)에 대해 압착됨에 의해 손상될 우려가 있다. 다음에, 이 경우에 있어서도 포트 블록(9)의 윗면과 상형(2)의 하면과의 사이에 빈틈(20)이 생기고, 이 빈틈(20)에 수지 버르가 형성되고, 그 결과, 수지 성형체가 불량품으로 될 우려가 있다. 또한, 기판(16)의 종류를 변경하여 두께가 다른 별도 종류의 기판(16)이 사용되는 경우에도, 기판(16)의 종류를 변경하기 전의 접시 스프링 유닛(7)이 그대로 이용되기 때문에, 접시 스프링 유닛(7)이 기판(16)의 종류의 변경에 기인하는 두께의 차를 흡수할 수 없는 일이 있다. 따라서, 하형(1)을 분해함에 의해 접시 스프링(6)의 매수를 증가 또는 감소시키거나, 또는, 스페이서(8)를 두께가 다른 별도의 것으로 교환하거나 등의 조정이 필요해진다. 그 결과, 제조 공정이 증가한다는 문제가 생긴다. 이들의 문제는 적당한 클램프압에 의해 기판(16)을 끼워 지지하는 목적으로, 접시 스프링 유닛(7) 대신에 다른 종류의 스프링 또는 고분자 재료 등의 다른 탄성 부재가 사용되는 경우에도 생길 수 있다.
또한, 상술한 복수의 문제중 불필요한 경화 수지(19) 즉 수지 버르에 관한 문제는, 전자 부품을 얇게 하고 싶다는 필요에 대응하기 위해 점성이 낮은 유동성 수지가 널리 사용되게 됨에 따라, 한층 더 생기기 쉽게 되어 있다.
본 발명은 상술한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 수지 버르가 형성되는 것, 수지 성형품이 손상되는 것 및 수지 성형품의 높이를 조정하는 수고가 증가하는 것이 방지된 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 한 양상에 따른 수지 밀봉장치는, 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형을 구비하고 있다. 하형에는 포트 블록이 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어져 있다. 포트 블록은 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖고 있다. 포트부에는 플런저가 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어져 있다. 플런저는 유동성 수지를 압출한다. 또한, 하형에 대향하도록 상형이 마련되어 있다. 상형은 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 포트부와 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖고 있다. 이 수지 밀봉장치에서는 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 칩형상 소자가 수지 밀봉된다.
또한, 이 수지 밀봉장치는, 포트 블록을 승강시키는 승강 수단을 또한 구비하고 있다. 상형과 하형이 클로징된 상태에서는, 상형과 하형에 의해 적당한 압력으로 기판이 끼워 지지됨과 함께, 승강 수단에 의해 포트 블록이 상형에 압착된다. 한편, 상형과 하형의 클로징이 해제된 상태에서는, 승강 수단에 의해 포트 블록이 하형에 접촉하면서 상승한다.
또한, 본 발명의 다른 양상에 따른 수지 밀봉장치는, 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형을 구비하고 있다. 하형에는 포트 블록이 끼워 넣어져 있다. 포트 블록은 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖고 있다. 포트부에는, 상승 및 하강하는 것이 가능하는 플런저가 끼워 넣어져 있다. 플런저는 유동성 수지를 압출한다. 또한, 하형에 대향하도록 상형이 마련되어 있다. 상형은, 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 포트부와 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖고 있다. 또한, 이 수지 밀봉장치에서는 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 칩형상 소자가 수지 밀봉된다.
이 수지 밀봉장치는, 상형과 하형의 클로징이 완료하기 전에 포트 블록의 측벽에 대해 기판을 압착하는 가동부재를 또한 구비하고 있다. 이 수지 밀봉장치에 있어서는, 포트 블록과 하형이 상대적으로 상승 및 강하하는 것이 가능하고, 포트 블록의 측벽에 대해 기판이 압착된 상태에서 유동성 수지가 캐비티에 주입된다.
또한, 본 발명의 한 양상에 따른 수지 밀봉 방법에 있어서는, 다음의 수지 밀봉장치가 이용된다.
그 수지 밀봉장치는, 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형을 구비하고 있다. 하형에는 상승 및 하강하는 것이 가능하게 포트 블록이 끼워 넣어져 있다. 포트 블록은 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖고 있다. 포트부에는 상승 및 하강하는 것이 가능하게 플런저가 끼워 넣어져 있다. 플런저는, 유동성 수지를 압출한다. 또한, 하형에 대향하도록 상형이 마련되어 있다. 상형은, 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 포트와 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖고 있다.
본 발명의 한 양상에 따른 수지 밀봉 방법에서는, 전술한 수지 밀봉장치를 사용하여, 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 칩형상 소자가 수지 밀봉된다.
또한, 이 수지 밀봉 방법에 있어서는, 우선, 상형과 하형이 적당한 압력으로 기판을 끼워 지지한다. 다음에, 상형에 대해 포트 블록이 압착된다. 전술한 기판을 끼워 지지하는 스텝 및 포트 블록을 압착하는 스텝에 의해 상형과 하형이 클로징된다. 또한, 전술한 수지 밀봉 방법에 있어서는, 플런저에 의해 캐비티에 유동성 수지가 주입되고, 그 후, 유동성 수지가 경화한다. 다음에, 상형과 하형의 클로징이 해제된 후에 포트 블록이 하형에 접촉하면서 상승한다.
또한, 본 발명의 다른 양상에 따른 수지 밀봉 방법에 있어서는, 다음의 수지 밀봉장치가 이용된다.
그 수지 밀봉장치는 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형을 구비하고 있다. 하형에는 상승 및 하강하는 것이 가능하게 포트 블록이 끼워 넣어져 있다. 포트 블록은 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖고 있다. 포트부에는 상승 및 하강하는 것이 가능하게 플런저가 끼워 넣어져 있다. 플런저는 유동성 수지를 압출한다. 또한, 하형에 대향하도록 상형이 마련되어 있다. 상형은, 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 포트와 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖고 있다.
본 발명의 다른 양상에 따른 수지 밀봉 방법에 있어서는, 전술한 수지 밀봉장치를 사용하여, 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 칩형상 소자가 수지 밀봉된다.
이 수지 밀봉 방법에 있어서는, 우선, 상형과 하형이 기판을 끼워 지지한다. 다음에, 상형에 대해 포트 블록이 압착된다. 이 기판을 끼워 지지하는 스텝과, 포트 블록을 압착하는 스텝에 의해 상형과 하형이 클로징된다. 또한, 전술한 수지 밀봉 방법에 있어서는, 상형과 하형의 클로징이 완료하기 전에 포트 블록의 측벽에 대해 기판이 압착되고, 그 상태에서 플런저에 의해 캐비티에 유동성 수지가 주입되고, 그 후 유동성 수지가 경화한다. 다음에 상형과 하형이 오프닝된다.
본 발명의 한 양상에 따른 수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법에 의하면, 상형과 하형의 클로징이 해제된 상태에 있어서, 포트 블록이 하형에 접촉하면서 상승한다. 이로써, 빈틈에 침입한 유동성 수지가 경화한 불필요한 경화 수지가 형성된 경우라도, 포트 블록의 상승에 의해 그 불필요한 경화 수지를 치우기 시작한다. 따라서, 하형과 포트 블록과의 매끈한 활주가 확보된다. 이로써, 우선, 포트 블록의 윗면과 상형의 하면과의 사이에서 빈틈의 형성이 방지되기 때문에, 이 빈틈에서의 수지 버르의 발생이 방지된다. 또한, 기판에서 손상이 발생하는 것이 방지된다.
또한, 접시 스프링 유닛을 개재시키는 일 없이, 하형과 상형에 의해 적당한 클램프압으로 기판이 끼워 지지된다. 이로써, 접시 스프링 유닛의 탄성을 사용하여 기판을 끼워 지지하는 경우에 비교하여, 하형 또는 상형의 동작을 제어함에 의해 적당한 클램프압으로 기판이 끼워 지지된다. 따라서 기판마다 두께의 편차 및 기판마다 규격의 상위(相違)가 있는 경우에도 기판에 있어서의 손상의 발생이 방지됨과 함께 접시 스프링 또는 스페이서 등을 개재시킨 기판의 높이 위치의 조정이 불필요해진다.
또한, 상형과 하형이 클로징된 상태에서, 승강 수단에 의해 포트 블록이 상형에 대해 압착된다. 이로써, 포트 블록의 윗면과 상형의 하면과의 사이에서의 빈틈의 발생이 방지되기 때문에, 이 빈틈에서의 수지 버르의 발생이 방지된다.
본 발명의 다른 양상에 따른 수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법에 의하면, 상형과 하형이 클로징되고, 포트 블록의 측벽에 대해 기판이 압착된 상태에서, 즉, 포트 블록의 측벽과 기판의 단면(端面)의 사이에 빈틈이 생기지 않은 상태에서, 유동성 수지가 캐비티에 주입된다. 이로써, 하형과 포트 블록과의 사이에 마련된 빈틈에 유동성 수지가 침입하는 것이 방지된다. 따라서 이 빈틈에 불필요한 경화 수지가 형성되지 않기 때문에, 하형과 포트 블록의 매끈한 활주가 확보된다. 이로써, 포트 블록의 윗면과 상형의 하면과의 사이의 빈틈에 있어서의 수지 버르의 발생이 방지됨과 함께 기판에 있어서의 손상의 발생이 방지된다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 양상 및 이점은 첨부한 도면과 관련하 여 이해되는 본 발명에 관한 다음의 상세한 설명으로부터 분명하게 될 것이다.
양호한 실시예의 상세한 설명
이하, 본 발명의 각 실시 형태의 수지 밀봉장치가 도면을 참조하면서 설명된다. 본 발명의 각 실시 형태의 수지 밀봉장치의 기본적인 구조는 종래의 수지 밀봉장치의 기본적인 구조와 거의 같다. 또한, 도 7 내지 도 10에 도시된 종래 기술의 수지 밀봉장치 및 도 1 내지 도 6에 도시된 실시 형태의 수지 밀봉장치의 각각에 있어서는 같은 구조 및 기능을 갖고 있는 부위에 동일한 부호가 붙여져 있다.
실시의 형태 1
우선, 본 발명의 실시의 형태 1의 수지 밀봉장치가 도 1 및 도 2를 참조하면서 설명된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치에 있어서는 하형(1)에 오목부(4)가 마련되어 있다. 오목부(4)에는 그 저면에 접하도록 하형(1)의 일부를 구성하는 기판 블록(5)이 마련되어 있다. 즉, 기판 블록(5)은 접시 스프링 유닛 등의 탄성 부재를 개재시키는 일 없이 하형(1)의 오목부(4)에 직접 접촉하도록 마련되어 있다. 또한, 본 실시의 형태에서는 포트 블록(9)은 하형(1)에 지지되어 있는 코일 스프링(21)에 의해 탄성적으로 지지되어 있다, 보다 구체적으로 말하면, 포트 블록(9)의 하면에 설치되는 끼워맞춤 구멍(22)과, 하형(1)의 오목부(4)의 저면으로부터 소정의 깊이까지의 위치에 마련되고, 또한, 끼워맞춤 구멍(22)에 대향하는 끼워맞춤 구멍(23)의 각각에 코일 스프링(21)이 끼워 넣어져 있다.
다음에, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치의 동작이 설명된다. 우선, 도 1에 도시된 바와 같이 상형(2)과 하형(1)이 오프닝된 상태에서는 포트 블록(9)의 윗면이 기판(16)의 윗면으로부터 돌출하고 있다.
다음에, 상형(2)의 형면이 포트 블록(9)의 윗면과 기판(16)의 윗면에 이 순번으로 접촉한다. 그로 인해, 도 2에 도시된 바와 같이, 상형(2)이 소정의 클램프압으로, 포트 블록(9) 및 기판(16)의 각각에 압착된다. 이로써, 포트 블록(9)의 하강에 의해 코일 스프링(21)이 수축됨과 함께 상형(2)과 하형(1)이 클로징된다. 다음에, 유동성 수지(17)가 캐비티(15) 내에 주입되고, 그 후 경화한다. 그 결과, 경화 수지(도시 생략)가 형성된다.
본 실시의 형태에 있어서는 상형(2)이 포트 블록(9)과 기판(16)을 압착하는 클램프압은 다음 2개의 조건을 충족시키도록 미리 정해진다.
첫째, 클램프압은, 기판(16)의 특성에 따라, 기판(16)에 손상이 생기지 않을 정도의 값으로 정해진다. 또한, 이 클램프압은 하형(1) 또는 상형(2)의 동작을 제어함에 의해 변경될 수 있다. 환언하면, 이 클램프압은 그 값을 검출하는 압력 센서와, 압력 센서에 의해 검출된 값에 의거하여 상형(2) 또는 하형(1)(도 1에서는 상형(2))의 상승 및 하강을 제어하는 제어 수단에 의해 조정된다.
둘째, 클램프압은 그 클램프압과 코일 스프링(21)에 의해 포트 블록(9)이 상형(2)을 누른 압력과의 합이, 포트 블록(9)과 상형(2)과의 사이에 빈틈(도 1O의 빈틈(20)을 참조)이 생기지 않을 정도로, 즉, 유동성 수지(17)의 누출이 발생하지 않을 정도로 충분히 큰 값으로 설정되어 있다. 또한, 기판(16)은 상형(2)과, 탄성 부재를 개재시키는 일 없이 하형(1)상에 설치된 기판 블록(5)에 의해 끼워 지지된다. 따라서, 이 공정에서는 우선, 상형(2)에 의해 기판(16)의 특성에 따른 적당한 클램 프압이 기판(16)에 직접 걸리기 때문에 기판(16)의 손상이 방지된다. 또한, 포트 블록(9)과 상형(2)과의 빈틈의 발생이 방지되기 때문에, 수지 버르의 발생이 방지된다. 따라서 수지 성형체의 불량품의 발생이 방지된다.
다음에, 상형(2)이 상승하여, 상형(2)과 하형(1)이 오프닝된다. 이때, 상형(2)이 상승하기 시작하면, 즉, 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 해제된 상태가 되면, 포트 블록(9)은 코일 스프링(21)이 신장함에 의해 승압되고, 그로 인해 도 1에 도시된 위치로 되돌아온다. 또한, 이에 수반하여 포트 블록(9)이 기판 블록(5)에 접촉하면서 상승한다. 이로써, 포트 블록(9)과 기판 블록(5)과의 사이의 빈틈(18)에 침입한 유동성 수지(17)가 경화하고, 불필요한 경화 수지(도 10의 불필요한 경화 수지(19)를 참조)가 형성된 경우라도, 상승하는 포트 블록(9)에 의해 그 불필요한 경화 수지를 치우기 시작한다. 따라서 포트 블록(9)의 매끈한 상승 및 하강의 기능이 손상되는 일은 없다. 다음에, 하형(1)에 마련된 이젝트 핀(도시 생략)이 하형(1)으로부터 수지 성형체를 밀어내고, 그 후, 반송 기구(도시 생략)가 그 수지 성형체를 송출한다.
본 실시 형태의 수지 밀봉장치에 의하면, 포트 블록(9)과 기판 블록(5)과의 사이의 빈틈(18)에 형성된 불필요한 경화 수지가 포트 블록(9)의 상승에 의해 치우기 시작한다. 따라서, 하형(1)의 기판 블록(5)과 포트 블록(9)과의 매끈한 활주가 확보된다. 또한, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에서 포트 블록(9)이 적당한 압력으로 상형(2)에 압착된다. 따라서 포트 블록(9)의 윗면과 상형(2)의 하면과의 빈틈의 형성이 방지되기 때문에, 이 빈틈에 있어서의 수지 버르의 발생이 방지된 다. 또한, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에 있어서 기판(16)이 적당한 클램프압으로 상형(2)과 하형(1)에 의해 끼워 지지된다. 따라서 기판(16)의 손상이 방지됨과 함께, 기판(16)마다 두께의 편차 및 기판(16)마다 규격의 상위가 있는 경우에 있어서도, 접시 스프링 또는 스페이서 등(도 7 내지 도 10의 접시 스프링(6) 및 스페이서(8)를 참조)을 이용한 기판의 높이 위치의 조정이 불필요하게 된다.
또한, 본 실시의 형태에서는, 탄성 부재인 코일 스프링(21)이 포트 블록(9)을 상승 및 하강시키는 승강 수단으로서 기능한다. 즉, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 때에는, 상형(2)이 포트 블록(9)을 가압하고, 이로써, 코일 스프링(21)이 수축되고, 포트 블록(9)이 하강한다. 또한, 상형(2)과 하형(1)이 오프닝될 때는 코일 스프링(21)이 늘어나서 포트 블록(9)이 상승한다.
실시의 형태 2
본 발명의 실시의 형태 2의 수지 밀봉장치가, 도 3 및 도 4를 참조하면서 설명된다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치는 실시의 형태 1의 수지 밀봉장치에 더하여, 유동성 수지(17)가 캐비티(15)에 주입될 때에 기판(16)이 포트 블록(9)에 압착된다. 구체적으로는 수평 방향으로 전진 및 후퇴하는 것이 가능한 가동 부재, 즉, 핀(24)이 상형(2)에 마련되어 있다. 또한, 하형(1)의 핀(24)에 대향하는 위치에는 핀(24)이 동작하는 범위에 대응하는 폭을 갖는 홈(25)이 마련되어 있다. 따라서 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에서 핀(24)이 홈(25)에 수용된다.
본 실시 형태의 수지 밀봉장치는, 다음과 같은 동작을 한다. 우선, 도 3의 화살표로 나타나는 방향으로, 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 완료하기 전에, 핀(24)을 사용하여 기판(16)이 포트 블록(9)에 적당한 힘으로 압착된다. 다음에, 상형(2)이 하강하여 상형(2)과 하형(1)이 클로징된다. 이 과정에서 핀(24) 및 포트 블록(9)은 각각 기판(16)에 접촉하면서 하강한다.
다음에, 도 3에 도시된 바와 같이, 상형(2)과 하형(1)이 클로징되고, 또한, 핀(24)에 의해 기판(16)이 포트 블록(9)에 적당한 압력으로 압착된 상태에서, 유동성 수지(17)가 캐비티(15)에 주입되고, 그 후 경화한다. 이 공정에서는 기판(16)이 포트 블록(9)에 압착되어 있기 때문에 , 기판(16)의 단면(도면에서는 우측)과 포트 블록(9)의 측벽과의 사이에 빈틈이 생기는 것이 방지된다. 따라서 기판 블록(5)의 측벽과 포트 블록(9)의 측벽과의 사이에 형성된 빈틈(18)에 유동성 수지(17)가 침입하지 않는다. 그 결과, 빈틈(18)에서의 불필요한 경화 수지(도 10의 불필요한 경화 수지(19)를 참조)의 형성이 방지된다.
전술한 바와 같이, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치에 의하면, 실시의 형태 1의 수지 밀봉장치에 의해 얻어지는 효과에 더하여 다음의 효과를 얻을 수 있다. 즉, 기판 블록(5)과 포트 블록(9)과의 사이에 형성된 빈틈(18)에서의 불필요한 경화 수지의 형성이 방지된다. 따라서 하형(1)과 포트 블록(9)의 매끈한 활주가 확보된다.
또한, 상술한 설명에서는, 기판(16)을 포트 블록(9)에 압착하는 핀(24)이 상형(2)에 마련되어 있는 수지 밀봉장치가 이용되고 있다. 그러나, 본 발명은, 전술한 구성으로 한정되지 않고, 핀(24)이 하형(1)에 마련되어 있는 수지 밀봉장치라도 좋다. 또한, 본 발명은 핀(24)이 하형(1) 및 상형(2)으로부터 독립하고, 하형(1)의 측방에 마련되어 있는 수지 밀봉장치라도 좋다. 또한, 상술한 어느 구성에 있어서도, 핀(24)은 상형(2)과 하형(1)이 클로징되기 전에, 포트 블록(9)에 대해 기판(16)을 압착하도록 전진한 것이며, 또한, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 후에 포트 블록(9)으로부터 떨어지도록 후퇴하는 것이라도 좋다. 또한, 핀(24)은 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에서 기판(16)을 포트 블록(9)에 계속 압착하는 것이라도 좋다.
또한, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치에서는 기판 블록(5)은 하형(1)의 오목부(4)의 저면에 직접 접하도록 마련되어 있다. 그러나, 본 발명은 이 구성으로 한정되지 않고, 기판 블록(5)이 탄성 부재(도 7 내지 도 10의 접시 스프링 유닛(7)을 참조)에 의해 탄성적으로 지지된 상태에서 핀(24)이 기판(16)을 포트 블록(9)에 압착하는 것이라도 좋다. 이 구성에 의해서도, 기판 블록(5)과 포트 블록(9)의 사이의 빈틈(18)에서의 불필요한 경화 수지의 형성이 방지되기 때문에, 기판 블록(5) 및 포트 블록(9)의 각각의 매끈한 활주가 확보된다. 또한, 오목부(4)의 저면에 포트 블록(9)이 직접 설치됨과 함께, 기판 블록(5)이 어떠한 탄성 부재에 의해 탄성적으로 지지되는 구성이 채용되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 빈틈(18)에서 불필요한 경화 수지의 형성이 방지되기 때문에, 기판 블록(5) 및 포트 블록(9)의 각각이 매끈한 활주가 확보된다. 또한, 전술한 구성의 어느 것에 있어서도, 탄성 부재로서 다른 형식의 스프링, 예를 들면, 금속재료, 금속을 포함하는 복합 재료, 또는 고분자 재료 등이 이용된 스프링이 사용되어도 좋다.
실시의 형태 3
다음에, 본 발명의 실시의 형태 3의 수지 밀봉장치가, 도 5 및 도 6을 참조하면서 설명된다. 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치는 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 해제된 후에, 코일 스프링(21)과는 다른 승강 수단으로서 마련된 밀어 올리는 바(26)가 동작한다. 이 밀어 올리는 바(26)는 통형상 부재 또는 복수의 판형상 부재로서, 플런저(11)의 축을 지지하는 지지 부재(27)의 외측에 마련되어 있다. 또한, 밀어 올리는 바(26)는 적당한 밀어 올리는 힘을 갖는 구동 수단(도시 생략)에 접속되고, 그 구동 수단의 구동에 의해 상승 및 하강한다. 또한, 밀어 올리는 바(26)에 의해 밀어 올린 포트 블록(9)은 코일 스프링(21)에 의해 가압된 경우에 코일 스프링(21)이 완전히 신장한 시점에서 도달하는 위치보다도 상측의 위치까지 상승한다.
본 실시 형태의 수지 밀봉장치는, 다음과 같은 동작을 한다. 우선, 상형(2)과 하형(1)이 오프닝된 상태에서 밀어 올리는 바(26)는 포트 블록(9)과는 간격을 두고, 초기 위치에 대기한다.
다음에, 도 5에 도시된 바와 같이, 상형(2)이 하강함에 의해 도 2에 도시된 구조와 마찬가지로, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된다. 다음에, 그 상태에서 코일 스프링(21)이 포트 블록(9)을 적당한 힘으로 상형(2)에 압착한다. 또한, 실시의 형태 2의 수지 밀봉장치와 마찬가지로, 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 완료하기 전에 핀(24)을 사용하여 기판(16)이 포트 블록(9)에 적당한 힘으로 압착된다. 또한, 이 공정 이후에 있어서, 핀(24)은 실시의 형태 2와 같은 동작을 행하지만, 본 발명에 서는 핀(24)이 마련되어 있지 않은 구성이 사용되어도 좋다.
다음에, 유동성 수지(17)가 캐비티(15) 내에 주입되고, 그 후, 경화함에 의해 기판(16)과 경화 수지(28)를 포함한 수지 성형체(29)가 완성된다. 다음에, 상형(2)이 상승한다. 본 실시의 형태에서는 상형(2)이 상승하기 시작하면, 즉, 상형(2)과 하형(1)의 클로징이 해제된 상태가 되면, 코일 스프링(21)이 신장함에 의해 포트 블록(9)이 하형(1)에 대해 상대적으로 밀어 올려지고, 포트 블록(9)이 초기 위치(도 1을 참조)까지 복귀한다. 또한, 이 공정 이후에서는 포트 블록(9)의 상승과 함께 하형(1)에 설치된 이젝트 핀(30)이 하형(1)(기판 블록(5))으로부터 상방을 향하여 수지 성형체(29)를 밀어낸다. 또한, 상형(2)에 마련된 이젝트 핀(도시 생략)이 상형(2)으로부터 아래쪽을 향하여 수지 성형체(29)를 밀어낸다.
다음에, 도 6에 도시된 바와 같이, 밀어 올리는 바(26)가 상승하여, 포트 블록(9)이 더욱 밀어 올려진다. 그 후에, 이젝트 핀(30)에 의해 하형(1)으로부터 밀어내여진 수지 성형체(29)를 반송 기구(도시 생략)가 송출한다.
본 실시 형태의 수지 밀봉장치에 의하면, 코일 스프링(21)의 신장에 의해 포트 블록(9)이 상승할 수 있는 위치보다도 상측의 위치까지, 밀어 올리는 바(26)가 포트 블록(9)을 상승시킨다. 이로써, 포트 블록(9)과 기판 블록(5)과의 빈틈(18)의 아래쪽에 불필요한 경화 수지가 형성된 경우라도, 밀어 올리는 바(26)가 포트 블록(9)을 상승시킴에 의해 그 불필요한 경화 수지를 치우기 시작한다. 또한, 빈틈(18)에서, 불필요한 경화 수지가 포트 블록(9) 및 기판 블록(5)의 쌍방에 강고하게 부착하고 있는 경우라도, 큰 밀어 올리는 힘으로 밀어 올리는 바(26)를 상승시킴에 의해, 그 불필요한 경화 수지를 치우기 시작한다. 따라서, 빈틈(18)에 불필요한 경화 수지가 형성된 경우라도, 하형(1)과 포트 블록(9)과의 매끈한 활주가 더욱 효과적으로 확보된다.
또한, 본 실시의 형태에 있어서는, 승강 수단으로서 코일 스프링(21)과 밀어 올리는 바(26)의 쌍방이 이용되는 구성이 채용되고 있지만, 이 구성 대신에 밀어 올리는 바(26)만이 이용되는 구성이 채용되어도 좋다. 이 경우에는 밀어 올리는 바(26)가 포트 블록(9)을 승강시키는 승강 수단으로서 기능한다. 또한, 이 경우에는, 상형(2)과 하형(1)이 클로징된 상태에서 밀어 올리는 바(26)에 의해 포트 블록(9)이 적당한 압력으로 상형(2)에 대해 압착되는 것이 바람직하다. 따라서 포트 블록(9)이 상형(2)에 대해 압착될 때의 압력을 검출하는 압력 센서와, 압력 센서의 검출치에 따라 밀어 올리는 바(26)의 승강을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상술한 본 실시 형태의 수지 밀봉장치에 있어서는 하형(1)의 일부를 구성하는 기판 블록(5)이 하형(1)에 마련된 오목부(4)의 저면에 접하도록 마련되어 있다. 그러나, 본 발명에서는 전술한 구성 이외에 기판 블록(5)이 하형(1)에 일체화된 구성이 채용되어도 좋다.
또한, 본 실시 형태의 수지 밀봉장치에 있어서는, 포트 블록(9)을 지지한 탄성 부재로서, 코일 스프링(21)이 사용되고 있다. 그러나, 코일 스프링(21)을 대신하여 탄성 부재로서 다른 형식의 스프링이 사용되어도 좋다. 또한, 소정의 탄성, 내구성 및 내열성을 갖는 재료라면, 탄성 부재로서 금속재료, 금속을 포함하는 복 합 재료 및 고분자 재료 등이 사용되어도 좋다.
또한, 본 실시의 형태에 있어서는, 상형(2)을 하강시킴에 의해 상형(2)과 하형(1)을 클로징하는 방법이 채용되고 있다. 그러나, 본 발명에서는 이 방법 이외에 하형(1)을 상승시키거나 또는 상형(2)과 하형(1)을 상대적으로 이동시킴에 의해 상형(2)과 하형(1)을 클로징하는 방법이 채용되어도 좋다.
또한, 본 발명은 도 1 내지 도 6에 있어서, 포트 블록(9)의 양 측방의 각각에 기판(16)이 설치되고, 2개 기판(16)의 각각에 하나씩 장착된 2개의 칩형상 소자의 쌍방이 동시에 수지 밀봉되는 수지 밀봉장치에 있어서도 사용될 수 있다. 이 수지 밀봉장치에 의하면 수지 밀봉 공정의 효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
본 발명을 상세히 설명하고 도시하여 왔지만, 이것은 예시를 위함일 뿐, 한정으로 해서는 안되며 발명의 정신과 범위는 첨부의 청구의 범위에 의해서만 한정되는 것이 분명하게 이해될 것이다.
본 발명의 한 양상에 따른 수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법에 의하면, 상형과 하형의 클로징이 해제된 상태에 있어서, 포트 블록이 하형에 접촉하면서 상승한다. 이로써, 빈틈에 침입한 유동성 수지가 경화한 불필요한 경화 수지가 형성된 경우라도, 포트 블록의 상승에 의해 그 불필요한 경화 수지를 치우기 시작한다. 따라서, 하형과 포트 블록과의 매끈한 활주가 확보된다. 이로써, 우선, 포트 블록의 윗면과 상형의 하면과의 사이에서 빈틈의 형성이 방지되기 때문에, 이 빈틈에서의 수지 버르의 발생이 방지된다. 또한, 기판에서 손상이 발생하는 것이 방지된다.
또한, 접시 스프링 유닛을 개재시키는 일 없이, 하형과 상형에 의해 적당한 클램프압으로 기판이 끼워 지지된다. 이로써, 접시 스프링 유닛의 탄성을 사용하여 기판을 끼워 지지하는 경우에 비교하여, 하형 또는 상형의 동작을 제어함에 의해 적당한 클램프압으로 기판이 끼워 지지된다. 따라서 기판마다 두께의 편차 및 기판마다 규격의 상위(相違)가 있는 경우에도 기판에 있어서의 손상의 발생이 방지됨과 함께 접시 스프링 또는 스페이서 등을 개재시킨 기판의 높이 위치의 조정이 불필요해진다.
또한, 상형과 하형이 클로징된 상태에서, 승강 수단에 의해 포트 블록이 상형에 대해 압착된다. 이로써, 포트 블록의 윗면과 상형의 하면과의 사이에서의 빈틈의 발생이 방지되기 때문에, 이 빈틈에서의 수지 버르의 발생이 방지된다.
본 발명의 다른 양상에 따른 수지 밀봉장치 및 수지 밀봉 방법에 의하면, 상형과 하형이 클로징되고, 포트 블록의 측벽에 대해 기판이 압착된 상태에서, 즉, 포트 블록의 측벽과 기판의 단면(端面)의 사이에 빈틈이 생기지 않은 상태에서, 유동성 수지가 캐비티에 주입된다. 이로써, 하형과 포트 블록과의 사이에 마련된 빈틈에 유동성 수지가 침입하는 것이 방지된다. 따라서 이 빈틈에 불필요한 경화 수지가 형성되지 않기 때문에, 하형과 포트 블록의 매끈한 활주가 확보된다. 이로써, 포트 블록의 윗면과 상형의 하면과의 사이의 빈틈에 있어서의 수지 버르의 발생이 방지됨과 함께 기판에 있어서의 손상의 발생이 방지된다.

Claims (4)

  1. 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형과,
    해당 하형에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 유동성 수지가 저장되는 포트부(pot portion)를 갖는 포트 블록(pot block)과,
    해당 포트부에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 또한, 상기 유동성 수지를 압출하는 플런저와,
    상기 하형에 대향하도록 마련되고, 상기 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 상기 포트부에 상기 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖는 상형을 구비하고,
    상기 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 상기 칩형상 소자를 수지 밀봉하는 수지 밀봉장치로서,
    상기 포트 블록을 승강시키는 탄성 부재를 더 구비하고,
    상기 상형과 상기 하형이 클로징된 상태에 있어서는, 상기 상형과 상기 하형에 의해 적당한 압력으로 상기 기판이 끼워 지지됨과 함께, 상기 탄성 부재에 의해 상기 포트 블록이 상기 상형에 압착되어 있고, 또한,
    상기 상형과 상기 하형의 클로징이 해제된 상태에 있어서는, 상기 탄성 부재에 의해 상기 포트 블록이 상기 하형에 접촉하면서 상승하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉장치.
  2. 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형과,
    해당 하형에 끼워 넣어지고, 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖는 포트 블록과,
    해당 포트부에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 상기 유동성 수지를 압출하는 플런저와,
    상기 하형에 대향하도록 마련되고, 상기 칩형상 소자가 수용되는 캐비티, 및 상기 포트와 상기 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖는 상형을 구비하고,
    상기 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 상기 칩형상 소자를 수지 밀봉하는 수지 밀봉장치로서,
    상기 상형과 상기 하형의 클로징이 완료하기 전에 상기 포트 블록의 측벽에 대해 상기 기판을 압착하는 가동부재를 더 구비하고,
    탄성 부재에 의해 상기 하형에 대해 상기 포트 블록을 상승 및 하강시키는 것이 가능하고,
    상기 기판이 상기 포트 블록의 측벽에 대해 압착된 상태에서 상기 유동성 수지가 상기 캐비티에 주입되는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉장치.
  3. 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형과,
    해당 하형에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖는 포트 블록과,
    해당 포트부에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 상기 유동성 수지를 압출하는 플런저와,
    상기 하형에 대향하도록 마련되고, 상기 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 상기 포트와 상기 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖는 상형을 구비한 수지 밀봉장치를 사용하여, 상기 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 상기 칩형상 소자를 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법으로서,
    상기 상형과 상기 하형이 적당한 압력으로 상기 기판을 끼워 지지하는 스텝과,
    상기 상형에 대해 상기 포트 블록을 압착하는 스텝을 구비하고,
    상기 기판을 끼워 지지하는 스텝과 상기 포트 블록을 압착하는 스텝에 의해 상기 상형과 상기 하형이 클로징되고,
    상기 플런저에 의해 상기 캐비티에 상기 유동성 수지를 주입하는 스텝과,
    상기 유동성 수지를 경화시키는 스텝과,
    상기 상형과 상기 하형의 클로징이 해제된 후에 상기 포트 블록을 상기 하형에 접촉시키면서 상승시키는 스텝을 또한 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
  4. 칩형상 소자가 장착된 기판이 설치되는 하형과,
    해당 하형에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 유동성 수지가 저장되는 포트부를 갖는 포트 블록과,
    해당 포트부에 상승 및 하강하는 것이 가능하게 끼워 넣어지고, 상기 유동성 수지를 압출하는 플런저와,
    상기 하형에 대향하도록 마련되고, 상기 칩형상 소자가 수용되는 캐비티 및 상기 포트와 상기 캐비티를 연통시키는 수지 유로를 갖는 상형을 구비하는 수지 밀봉장치를 사용하여, 상기 캐비티에 주입된 유동성 수지가 경화한 경화 수지에 의해 상기 칩형상 소자를 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법으로서,
    상기 상형과 상기 하형이 상기 기판을 끼워 지지하는 스텝과,
    상기 상형에 대해 상기 포트 블록을 압착하는 스텝을 구비하고,
    상기 기판을 끼워 지지하는 스텝과 상기 포트 블록을 압착하는 스텝에 의해 상기 상형과 상기 하형이 클로징되고,
    상기 상형과 상기 하형의 클로징이 완료하기 전에 상기 포트 블록의 측벽에 대해 상기 기판을 압착하는 스텝과,
    상기 포트 블록의 측벽에 대해 상기 기판이 압착된 상태에서 상기 플런저에 의해 상기 캐비티에 상기 유동성 수지를 주입하는 스텝과,
    상기 유동성 수지를 경화시키는 스텝과,
    상기 상형과 상기 하형을 오프닝하는 스텝을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
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