TW201545287A

TW201545287A - 樹脂成形裝置及樹脂成形方法

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Publication number: TW201545287A
Application number: TW104107841A
Authority: TW
Inventors: Hiroki Owari; Shin Takeuchi
Original assignee: Towa Corp
Priority date: 2014-03-27
Filing date: 2015-03-12
Publication date: 2015-12-01
Also published as: KR20150112809A; KR101667874B1; CN104943111A; JP6087859B2; JP2015186885A; CN104943111B; TWI559467B

Abstract

本發明提供一種樹脂成形裝置及樹脂成形方法。藉由簡單的裝置結構和簡單的方法來判斷在澆口中是否產生樹脂殘留。與連接到模腔的頂面的澆口對應地，在澆口吸引機構設置有吸引部和與吸引部相連的吸引通道。吸引通道藉由配管與吸引機構連接。在配管上設置有測定所吸引空氣的流量的流量感測器。收集所測定出的流量值並進行資料處理的控制機構與流量感測器連接。使吸附部緊貼於澆口的開口周圍，並使用吸引機構經由澆口吸引大氣中的空氣。藉由對由流量感測器測定出的流量值和預先存儲在控制機構中的基準流量值進行比較，來判斷在澆口中是否產生樹脂殘留。

Description

樹脂成形裝置及樹脂成形方法

本發明係關於一種對由安裝在基板上的積體電路(Integrated Circuit：IC)等晶片構成的電子零件進行樹脂密封的情況等中所使用的樹脂成形裝置及樹脂成形方法。

自以往，使用轉移模具法、壓縮成形法(壓縮模塑法)、射出成形法(注射模塑法)等樹脂成形技術，並使用硬化樹脂對安裝於導線框或印刷基板等構成的基板上的IC等電子零件進行樹脂密封。

例如，在使用轉移模具法的樹脂成形裝置中，以如下方式進行樹脂密封。對作為成形模的上模和下模進行開模。有時也根據裝置的結構，在上模和下模之間設置中間模。接著，使用運送機構，在下模的型面中的既定位置配置成形前基板，並且向下模上設置的料槽的內部供給樹脂塊。接著，使下模向上移動，對上模和下模進行合模。此時，電子零件和其周邊的基板被收容在設置於上模與下模中至少一個中的模腔的內部。接著，使用柱塞按壓料槽內的樹脂塊並進行加熱使其熔融。使用柱塞進一步按壓熔融后的流動性樹脂，並經由被稱作主流道(Cull)、横澆道和澆口的樹脂通道向模腔內注入流動性樹脂。接下來，藉由對流動性樹脂進行加熱硬化所需要的所需時間，從而使流動性樹脂硬化以形成硬化樹脂。由此，將模腔內的電子零件與其周邊的基板樹脂密封在對應於模腔的形狀而成形的硬化樹脂內。接著，對上模和下模進行開模，使已密封基板脫模。此外，在本案的全文中，所謂“澆口”這一用語表示「將材料從直澆道(或者在複數個安裝金屬模中為橫澆道)注入到金屬模模腔中的流道或鉸孔」(參照JISK6900)。

但是，在模腔的側面或頂面(內底面)中的任一面上設置有用於注入流動性樹脂的注入口。在成形模上設置有由與該注入口相連的空間構成的澆口。形成於作為樹脂通道的主流道、橫澆道和澆口的硬化樹脂為不需要樹脂，藉由打澆口從已密封基板分離不需要樹脂。就澆口來說，與模腔連接的前端相對於橫澆道側較細而傾斜地形成，以便容易分離不需要樹脂。但是，當分離不需要樹脂時，有時形成於澆口前端部的硬化樹脂被折斷。即使廢棄形成於主流道、橫澆道和澆口的不需要樹脂，該被折斷的硬化樹脂也會殘留在澆口前端部。若在保持澆口中殘留有硬化樹脂的狀態下進行樹脂密封，則該殘留的硬化樹脂部分或完全堵塞澆口。當繼續進行樹脂密封時，殘留的硬化樹脂會阻擋流動性樹脂向模腔的注入。由此會產生硬化樹脂未被填充於模腔中等的成形不良。因此，檢測出在澆口中是否殘留有硬化樹脂，換言之在澆口中是否產生硬化樹脂的殘留(以下，稱作「樹脂殘留」)是很重要的。

作為樹脂成形金屬模的澆口堵塞檢測裝置，提出有如下澆口堵塞檢測裝置(例如，專利文獻1的第二頁及圖1和圖2)：該澆口堵塞檢測裝置在具有使橫澆道和模腔連通的澆口的樹脂成形金屬模中具備：空氣供給通道，將從空氣供給源供給的澆口堵塞檢測用空氣向上述橫澆道內匯出；開閉閥，開閉該空氣供給通道；和壓力檢測機構，在打開該開閉閥的狀態下檢測出經上述空氣供給通道供給到橫澆道內的空氣的壓力，並且該澆口堵塞檢測裝置被構成為根據由該壓力檢測機構檢測出的空氣壓力的變化狀態來判別在上述澆口內是否產生成形材料殘留的澆口堵塞。

專利文獻1：日本特開平2-289325號公報

然而，在專利文獻1中所公開的澆口堵塞檢測裝置(以下，稱作習知例)中，發生如下的問題。如專利文獻1的圖1和圖2所示，在習知例中，在進行射出成形之前將上模1和下模2合模的狀態下，從空氣供給源向連通管6內供給既定壓力的空氣。在因發生澆口堵塞而潛伏澆口被成形材料16閉塞的情況下，從橫澆道3向模腔4的空氣流入會受到阻礙，因此空氣的壓力提前上升至空氣供給源的輸出壓力。於是，在習知例中，藉由判別機構15對基於壓力檢測機構14的檢測值求出的空氣壓力的上升速度和預先根據計算等求出的基準速度進行比較，來判別是否產生澆口堵塞。

如此，在習知例中藉由檢測出空氣壓力的上升速度，換言之藉由測定到達空氣供給源的輸出壓力為止的時間來計算空氣壓力的上升速度，並且基於該計算結果判別是否產生澆口堵塞。空氣壓力隨著時間的流逝而上升，最終到達既定壓力而成為恒定的壓力。因此，在習知例中，正確監視直至到達恒定的壓力的時間是很重要的。由於最終收斂在恒定壓力內，因此必需藉由嚴密監視由時間引起的壓力變化來正確判斷何時到達既定壓力。然而，在剛供給空氣之後的壓力變化較大，但是靠近既定壓力則壓力變化非常小。而且，由於壓力逐漸變化而到達既定壓力。因此，難以正確判斷到達該既定壓力的時間為何時。如果無法正確判斷到達既定壓力的時間，則難以判別是否產生澆口堵塞。

另外，在習知例中，暫且停止成形步驟，使樹脂成形金屬模為合模後的狀態來判別是否產生澆口堵塞。因此，無法在即將實施成形步驟之前檢測出是否產生澆口堵塞。假如在成形步驟中產生澆口堵塞，也無法檢測出澆口堵塞，因此進行下一個射出成形。其結果，產生由澆口堵塞引起的成形不良。因此，也具有如下的問題：無法在射出成形產品之前判別是否產生澆口堵塞。

本發明是為了解決上述問題而提出的，其目的在於提供一種樹脂成形裝置及樹脂成形方法，該樹脂成形裝置及樹脂成形方法能夠藉由簡單的裝置結構和簡單的方法來正確判斷在澆口中是否產生樹脂殘留。

為了解決上述問題，本發明的樹脂成形裝置具備：第一成形模；第二成形模，與上述第一成形模相對設置；模腔，設置於上述第一成形模中的與上述第二成形模相對的部位，所注入的流動性樹脂在上述模腔內硬化而形成硬化樹脂；澆口，設置於上述第一成形模且與上述模腔的頂面連接；以及合模機構，對至少具有上述第一成形模和上述第二成形模的成形模組進行合模，上述樹脂成形裝置成形具有上述硬化樹脂的成形品，其特徵在於，具備：澆口吸引機構，以與上述模腔重合的方式配置在上述第一成形模與上述第二成形模之間；吸引部，設置於上述澆口吸引機構；吸引通道，設置於上述澆口吸引機構並與上述吸引部相連；配管，連接到上述吸引通道；吸引機構，連接到上述配管；流量測定機構，設置於上述配管，用於生成與通過上述配管的氣體的流量相應的測定流量資訊；以及判斷機構，基於從上述流量測定機構接收的上述測定流量資訊計算出上述流量，並且基於該流量進行既定的判斷，在上述吸引部的前端與上述澆口的開口周圍的上述第一成形模的型面緊貼，並且由上述吸引機構吸引存在於上述澆口內的上述氣體的狀態下，上述流量測定機構生成測定流量資訊，上述既定的判斷為，藉由對在上述硬化樹脂未殘留在上述澆口中的狀態下預先測定並存儲的上述氣體的基準流量資訊和上述測定流量資訊進行比較，來判斷在上述澆口中是否殘留有上述硬化樹脂。

另外，本發明的樹脂成形裝置具有如下的方式：設置有複數個上述澆口，與複數個上述澆口分別對應地設置有複數個上述吸引部。

另外，本發明的樹脂成形裝置具有如下的方式：與複數個上述澆口分別對應地設置有複數個上述模腔。

另外，本發明的樹脂成形裝置具有如下的方式：複數個上述吸引部為俯視觀察時由沿第一方向排列的m個吸引部構成的吸引部列沿與上述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n個吸引部，其中，m和n均為正整數，上述澆口吸引機構具有與排列成n行的上述吸引部列中的每一列對應的n個上述吸引通道，每一個上述吸引通道分別與構成上述吸引部列中的每一列的上述m個吸引部連通，n個上述吸引通道分別連接到共用的上述配管上的、從上述流量測定機構觀察時位於上述吸引機構的相反側的配管部位。

另外，本發明的樹脂成形裝置具有如下的方式：具備連接到上述吸引機構的n條上述配管，複數個上述吸引部為俯視觀察時由沿第一方向排列的m個吸引部構成的吸引部列沿與上述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n個吸引部，其中，m和n均為正整數，上述澆口吸引機構具有與排列成n行的上述吸引部列中的每一列對應的n個上述吸引通道，每一個上述吸引通道分別與構成上述吸引部列中的每一列的上述m個吸引部連通，n個上述吸引通道分別與n條上述配管連接。

另外，本發明的樹脂成形裝置具有如下的方式：進一步具備分別支撐上述吸引部的彈性體。

另外，本發明的樹脂成形裝置具有如下的方式：進一步具備運送機構，上述運送機構進行運送用於成形上述成形品的材料並移交給上述成形模組的動作和將上述成形品從上述成形模組取出的動作中的至少一個動作，上述澆口吸引機構設置於運送機構。

為了解決上述問題，本發明的樹脂成形方法包括：準備至少具有第一成形模和第二成形模的成形模組的步驟，上述第一成形模具有供流動性樹脂硬化而形成硬化樹脂的模腔，上述第二成形模與上述第一成形模的上述模腔形成部位相對設置；對上述成形模組進行合模的步驟；經由設置於上述第一成形模且與上述模腔的頂面連接的澆口向上述模腔注入上述流動性樹脂的步驟；藉由使上述流動性樹脂硬化而形成硬化樹脂的步驟；對上述成形模組進行開模的步驟；以及將具有上述硬化樹脂的成形品從上述成形模組取出的步驟，上述樹脂成形方法包括：在準備吸引部後，使該吸引部的前端緊貼於上述澆口的開口周圍的上述第一成形模的型面上的步驟；在準備吸引機構後，在上述硬化樹脂未殘留在上述澆口的狀態下，使用上述吸引機構且經由上述吸引部吸引存在於上述澆口內的氣體的同時，將通過與上述吸引部相連的配管的上述氣體的流量作為基準流量來預先測定的步驟；基於上述基準流量生成基準流量資訊，並存儲所生成的基準流量資訊的步驟；使用上述吸引機構且經由上述吸引部吸引存在於上述澆口內的氣體的同時，測定通過上述配管的上述氣體的流量的步驟；基於上述流量生成測定流量資訊的步驟；以及藉由對上述基準流量資訊與上述測定流量資訊進行比較，來判斷在上述澆口中是否殘留有上述硬化樹脂的步驟。

另外，本發明的樹脂成形方法具有如下的方式：分別設置有複數個上述澆口和對應該澆口的上述吸引部，在使上述吸引部的前端緊貼的步驟中，使複數個上述吸引部的前端分別緊貼於複數個上述澆口的開口周圍的上述第一成形模的型面上，在吸引存在於上述澆口內的氣體的步驟中，分別經由複數個上述吸引部來吸引存在於複數個上述澆口內的氣體。

另外，本發明的樹脂成形方法具有如下的方式：與複數個上述澆口分別對應地設置有複數個上述模腔，在吸引存在於上述澆口內的氣體的步驟中，分別經由複數個上述吸引部吸引存在於複數個澆口內的氣體。

另外，本發明的樹脂成形方法具有如下的方式：複數個上述吸引部為俯視觀察時由沿第一方向排列的m個吸引部構成的吸引部列沿與上述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n個吸引部(m和n均為正整數)，在吸引存在於上述澆口內的氣體的步驟中，在準備吸引通道後，經由該吸引通道一併吸引存在於複數個上述澆口內的氣體，其中，上述吸引通道與排列成n行的上述吸引部列中的每一列對應地設置為n個，且分別與構成上述吸引部列中的每一列的m個上述吸引部中的每一個吸引部連通，在生成上述測定流量資訊的步驟中，在吸引存在於上述澆口內的氣體的步驟中一併吸引上述氣體時，在共同連接於n個上述吸引通道的上述配管上的與n個上述吸引通道相比更加靠近上述吸引機構的配管部位測定上述流量，從而生成上述測定流量資訊。

另外，本發明的樹脂成形方法具有如下的方式：複數個上述吸引部為俯視觀察時由沿第一方向排列的m個吸引部構成的吸引部列沿與上述第一方向交叉的第二方向排列n行而形成的m×n個吸引部，其中，m和n均為正整數，在吸引存在於上述澆口內的氣體的步驟中，在準備吸引通道後，分別經由該吸引通道，分別吸引存在於與上述n行吸引部列中的每一列所具有的上述m個吸引部對應的m個上述澆口內的氣體，其中，上述吸引通道與排列成n行的上述吸引部列中的每一列對應地設置為n個，且分別與構成上述吸引部列中的每一列的m個上述吸引部連通，在生成上述測定流量資訊的步驟中，藉由分別測定與排列成n行的上述吸引部列中的每一列對應的上述配管中的上述流量而生成n個上述測定流量資訊。

另外，本發明的樹脂成形方法具有如下的方式：在使上述吸引部的前端緊貼的步驟中，使用彈性體支撐上述吸引部。

另外，本發明的樹脂成形方法具有如下的方式：進一步包括：準備設置有上述吸引部的運送機構的步驟；運送用於成形上述成形品的材料並移交給上述成形模組的步驟；以及將上述成形品從上述成形模組取出的步驟，使用上述運送機構執行上述移交步驟和上述取出步驟中的至少一個步驟，在上述移交步驟或上述取出步驟中，至少執行使上述吸引部的前端緊貼的步驟、吸引存在於上述澆口內的氣體的步驟和測定上述流量的步驟。

根據本發明，在澆口吸引機構設置吸引部和與吸引部相連的吸引通道，並藉由配管連接吸引通道和吸引機構。在配管具備流量測定機構和進行測定流量資訊的判斷的判斷機構。使澆口吸引機構上設置的吸附部緊貼於連接到模腔的頂面的澆口的開口周圍，並使用吸引機構吸引澆口記憶體在的氣體。由此，能夠藉由對吸引並測定的測定流量資訊和預先測定並存儲的基準流量資訊進行比較來判斷在澆口中是否殘留有硬化樹脂。因此，能夠藉由所謂測定吸引後的氣體的流量這種簡單的裝置結構及簡單的方法容易判斷是否產生殘留樹脂。

1‧‧‧樹脂成形裝置

2‧‧‧基盤

3‧‧‧拉桿

4‧‧‧固定盤

5‧‧‧上模板

6‧‧‧上模(成形模組)

7‧‧‧可動盤

8‧‧‧下模板

9‧‧‧下模(第二成形模、成形模組)

10‧‧‧中間模(第一成形模、成形模組)

11‧‧‧驅動機構(合模機構)

12‧‧‧合模機構

13‧‧‧裝載器(運送機構)

14‧‧‧晶片

15‧‧‧基板

16‧‧‧樹脂塊

17‧‧‧導線

18‧‧‧料槽

19‧‧‧凹部

20‧‧‧柱塞

21‧‧‧主流道

22‧‧‧橫澆道

23‧‧‧模腔

24‧‧‧澆口

24a‧‧‧開口

24b‧‧‧開口

25‧‧‧貫通孔

26‧‧‧澆口吸引機構

27‧‧‧吸引部

27a‧‧‧吸引部主體(吸引部)

27b‧‧‧吸附盤(吸引部)

28‧‧‧吸引通道

29‧‧‧配管

30‧‧‧吸引機構

31‧‧‧流量感測器(流量測定機構)

32‧‧‧凹部

33‧‧‧彈簧(彈性體)

34‧‧‧硬化樹脂

35‧‧‧成形品

36‧‧‧不需要樹脂

37‧‧‧卸載器(運送機構)

CTL‧‧‧判斷機構

圖1是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例1中裝置的大致結構的前視圖。

圖2是表示在圖1所示的樹脂成形裝置中的成形模結構的概略部分剖面圖。

圖3是表示在圖2所示的成形模中的中間模結構的示意圖。圖3的(a)是俯視圖，圖3的(b)是從A-A線觀察的剖面圖。

圖4是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例1中對應圖3所示澆口的澆口吸引機構的第一結構的概略圖。圖4的(a)是俯視圖，圖4的(b)是從A-A線觀察的澆口吸引機構的剖面圖。

圖5是表示在圖4所示的澆口吸引機構中吸引機構的結構的概略圖。圖5的(a)是表示設置有一個流量感測器的吸引機構結構的概略圖，圖5的(b)是表示設置有複數個流量感測器的吸引機構的結構的概略圖。

圖6是表示使用圖4所示的澆口吸引機構檢測出中間模的澆口中的樹脂殘留狀態的概略部分剖面圖。圖6的(a)是表示澆口吸引機構與中間模的澆口緊貼之前的狀態的概略部分剖面圖，圖6的(b)是表示澆口吸引機構與中間模的澆口緊貼之後的狀態的概略部分剖面圖。

圖7是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例2中對應圖3所示澆口的澆口吸引機構的第二結構的概略圖。圖7的(a)是俯視圖，圖7的(b)是從A-A線觀察的剖面圖。

圖8是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例3中一體化地構成有澆口吸引機構的裝載器被配置在成形模的既定位置上的狀態的概略部分剖面圖。

圖9是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例3中使用裝載器檢測出中間模的澆口中樹脂殘留狀態的概略部分剖面圖。

圖10是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例3中生成有硬化樹脂狀態的概略部分剖面圖。

圖11是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例3中使用卸載器取出藉由打澆口來殘留的不需要樹脂的狀態的概略部分剖面圖。

圖12是表示在本發明的樹脂成形裝置的實施例樹脂3中使用卸載器取出完成樹脂密封的成形品的狀態的概略部分剖面圖。

如圖4所示，在本發明的各實施例中，在澆口吸引機構26設置吸引部27和與吸引部27相連的吸引通道28，並使之對應連接到模腔23的頂面的澆口24。將吸引通道28藉由配管29與吸引機構30連接。在配管29上設置用於測定吸引後的空氣的流量的流量感測器31。將收集由流量感測器31測定的流量值並進行資料處理的控制機構CTL與流量感測器31連接。使吸引部27的前端緊貼於澆口24的開口24b周圍，並使用吸引機構30經由澆口24吸引大氣中的空氣。藉由對由流量感測器31測定的流量值和預先存儲到控制機構CTL的基準流量值進行比較，來判斷是否在澆口24中產生樹脂殘留。

(實施例1)

參照圖1至圖6，對本發明的樹脂成形裝置的實施例1進行說明。本案中的任一圖均為了易於理解而進行適當省略或誇張以示意性地繪製。對相同的結構要素使用相同的附圖標記，並適當省略說明。

如圖1所示，在本實施例的樹脂成形裝置1中設置有基盤2、設置於基盤2上的四個角部的拉桿3和固定在拉桿3的上端部的固定盤4。在固定盤4的下表面設置有上模板5，在上模板5內設置有樹脂成形用的上模6。可動盤7安裝在拉桿3上，並且相對於固定盤4能夠升降。在可動盤7的上表面，與上模板5相對地設置有下模板8，在下模板8內設置有樹脂成形用的下模9。上模6和下模9相對地設置，並在上模6與下模9之間設置有中間模10。上模6、下模9和中間模10一起構成成形模。

驅動機構11為使中間模10在上模6與下模9之間升降的驅動機構。例如，可藉由由齒軌和小齒輪(rack and pinion)機構構成的驅動機構11使中間模10升降。藉由使用驅動機構11使中間模11升降，從而在上模5與中間模11之間以及中間模10與下模9之間進行局部合模和開模。中間模10的合模和開模並不僅限定於使用驅動機構11的情況。也可以藉由設置於上模板5和下模板8的夾鉗機構，將中間模10固定在上模板7或下模板 8上。

在上模板5和下模板8中內裝有用於加熱上模6和下模9的加熱器(未圖示)。上模板5和上模6以及下模板8和下模9被加熱至170℃左右。上模6、下模9和中間模10構成為能夠分別根據樹脂密封的物件在樹脂成形裝置1內簡單地更換。

合模機構12是為了徹底進行合模和開模而使可動盤7升降的機構，例如，由肘節機構和液壓缸等構成。藉由使用合模機構12以使可動盤7升降，從而以上模6、下模9和中間模10為物件進行合模和開模。在對上模6、下模9和中間模10開始進行合模或開模的時刻，中間模10可以已經與上模6或下模9合模，也可以是藉由夾鉗機構被固定在上模6或下模9的狀態。

此外，在實際的樹脂成形裝置1中，上模6和下模9一般由被稱作模套架的外側部分、被稱作模套的內側部分和設置有被稱作陰模的模腔部分構成。在圖1中，省略關於這些結構要素的圖示。

參照圖2，對本實施例的樹脂成形裝置1中的上模6、下模9和中間模10的結構進行說明。如圖2所示，上模6、下模9和中間模10處於開模後的狀態。裝載器13為將安裝有半導體晶片14的基板15和作為樹脂材料的樹脂塊16運送至上模6與下模9之間的既定位置的運送機構。晶片14的端子和基板15的端子藉由導線17電連接。此時，藉由裝載器13同時運送基板15和樹脂塊16。還可以分別運送基板15和樹脂塊16。

在下模9設置有收容藉由裝載器13供給的樹脂塊16的料槽18和將藉由裝載器13供給的基板15配置的下模9的既定位置上的凹部19。在料槽18內設置有按壓已收容的樹脂塊16的柱塞20。在上模6設置有樹脂塊16經加熱而熔融後的流動性樹脂的通道--主流道21和橫澆道22。

在中間模10設置有用於收容安裝於基板15上的晶片14且作為形成硬化樹脂的空間的模腔23和向模腔23供給流動性樹脂的澆口24。另外，在中間模10設置有作為從料槽18向主流道21抽送流動性樹脂的樹脂通道的貫通孔25。在對上模6、下模9和中間模10進行合模的狀態下，連通料槽18、貫通孔25、主流道21、橫澆道22、澆口24和模腔23，向模腔23注入流動性樹脂。

參照圖3，對圖2所示的中間模10中的模腔23及澆口24的結構的一例進行說明。如圖3的(a)所示，例如，模腔23和澆口24沿橫向及縱向設置成格子狀(矩陣狀)。將沿橫向(X方向)的排列稱作“行”，沿縱向(Y方向)的排列稱作“列”。此時，在中間模10沿橫向(X方向)設置有四個模腔23和澆口24，並且沿縱向(Y方向)設置有五個模腔23和澆口24，總計設置有20個模腔23和澆口24。可根據產品任意確定設置於中間模10的模腔23和澆口24的數量。

如圖3的(b)所示，與各個模腔23對應地在模腔23的頂面(圖中為上表面)中的既定的位置(例如，中央位置)連接有澆口24的前端。澆口24為筒狀的空間，被形成為圓錐狀的形狀。澆口24被形成為與橫澆道22(參照圖2)連接的一側的開口24a的直徑較大，並且與模腔23連接的一側的開口24b的直徑較小。如此，藉由使與模腔23連接的一側的澆口較細，從而能夠容易對模腔23內成形的成形品進行打澆口。然而，在藉由使與模腔23連接的一側的澆口較細來進行打澆口時，容易產生因形成於澆口前端部的硬化樹脂被折斷而該硬化樹脂作為樹脂殘留而殘留在澆口中的弊病。

參照圖4，對檢測出在圖3的(a)所示的澆口24中是否產生樹脂殘留的澆口吸引機構26的結構進行說明。如圖4的(a)所示，在澆口吸引機構26分別設置有吸引空氣的吸引部27，吸引部27對應圖3的(a)所示的各個澆口24的位置。如圖3的(a)和圖4的(a)所示，與澆口24對應地在澆口吸引機構26沿橫向(X方向)設置有四個吸引部27，並且沿縱向(Y方向)設置有五個吸引部27，總計設置有20個吸引部27。在此，空氣為在澆口24中流通的氣體的一例，但是也可以是空氣之外的氣體。例如，當在由空氣之外的氣體(氮氣等)置換包括澆口24的內部空間的裝置配置環境的狀態下使用該樹脂成形裝置時，被置換的氣體為本實施例中的氣體。

例如，在從第一行至第五行的各行中，沿橫向(X方向)配置的四個吸引部27分別藉由沿橫向(X方向)延伸的吸引通道28而連接。沿橫向配置的四個吸引部27經由吸引通道28與外部連接。因此，將從第一行至第五行的各行上設置的四個吸引部27與外部連接的吸引通道28沿縱向(Y方向)設置為五個。不限於此，也可以沿縱向(Y方向)設置吸引通道28。此時，沿縱向配置的五個吸引部27分別藉由沿縱向(Y方向)延伸的吸引通道28而連接。將從第一列至第四列的各列上設置的五個吸引部27與外部連接的吸引通道28沿橫向(X方向)設置為四個。

如圖4的(b)所示，吸引部27由吸引部主體27a和吸附盤27b構成，其中，上述吸附盤27b由安裝在吸引部主體27a的前端上的彈性構件構成。吸附盤27b具有筒狀的形狀或前端擴展的錐狀的剖面形狀。作為吸附盤27b，例如使用丁腈橡膠、矽橡膠和氟橡膠等。由於在樹脂成形裝置1中，藉由將上模6和下模9加熱至170℃左右而進行樹脂密封，因此作為吸附盤27b，較佳為使用具有耐熱性的矽橡膠或氟橡膠。

在澆口吸引機構26上設置的各個吸引通道28藉由由撓性管、氟樹脂管和尼龍管等構成的配管29與吸引機構30連接。較佳為配管29具有柔軟性和耐熱性等。作為吸引機構30，使用真空噴射器或真空泵等。在各個吸引通道28與吸引機構30之間，設置有用於測定由所有的五個吸引通道28吸引的空氣的總流量的流量感測器31。用於收集藉由流量感測器31測定的流量值，並進行資料的保存和計算等資料處理的控制機構CTL與流量感測器31連接。使用吸引機構30，從澆口吸引機構26上設置的20個吸引部27吸引存在於澆口24內的氣體。由於在本實施例中，澆口24開放於大氣中，因此從20個吸引部27吸引大氣中的空氣。

如圖5所示，可以與澆口吸引機構26上設置的吸引部27的數量對應地設置一個或複數個流量感測器31。圖5的(a)表示對應澆口吸引機構26上設置的20個吸引部27設置一個流量感測器31和與一個流量感測器31對應的控制機構CTL的情況。沿橫向設置的五個吸引通道28藉由配管29且經由一個流量感測器31與吸引機構30連接。因此，流量感測器31測定從澆口吸引機構26上設置的20個吸引部27吸引的空氣的總流量。

圖5的(b)表示與連接澆口吸引機構26中的第一行至第五行的各行上分別設置的四個吸引部27的各個吸引通道28對應地分別設置有一個流量感測器31的情況。此時，藉由五個流量感測器31分別測定從連接到各吸引通道28的四個吸引部27吸引的空氣的總流量。以與五個流量感測器31對應的方式設置有控制機構CTL。因此，控制機構CTL收集所有的藉由五個流量感測器31測定的流量值，並進行資料的保存和計算等處理。可根據澆口吸引機構26上設置的吸引部27的數量或吸引通道28的數量、所吸引的空氣的總流量等任意確定流量感測器31的數量。

在圖5的(a)、(b)中的任一種情況下，都使用澆口吸引機構26預先測定在沒有樹脂殘留的正常狀態下吸引的空氣的總流量，並將該總流量作為基準流量資訊存儲在控制機構CTL中。而且，由控制機構CTL對與實際上使用澆口吸引機構26測定的總流量對應的測定流量資訊和預先存儲的基準流量資訊進行比較。由此，能夠判斷在澆口24中是否產生樹脂殘留。因此，控制機構CTL作為判斷機構發揮功能。

參照圖3至圖6，對使用澆口吸引機構26，檢測出在圖3所示的中間模10上設置的澆口24中是否產生樹脂殘留的動作進行說明。首先，如圖6的(a)所示，使澆口吸引機構26移動至中間模10的下方的既定位置，使得澆口吸引機構26上設置的吸引部27分別對應中間模10上設置的各個澆口24的位置。

接著，如圖6的(b)所示，藉由使澆口吸引機構26向上移動，以使吸附盤27b緊貼於與模腔23連接的澆口24的開口24b周圍。吸附盤27b具有前端擴展的錐狀的剖面形狀。由於吸附盤27b由矽橡膠或氟橡膠等彈性構件形成，因此能夠使吸附盤27b完全緊貼於開口24b周圍。如此，防止澆口24記憶體在的空氣從澆口24的開口24b向模腔23中洩漏。

接著，使用吸引機構30，吸引存在於澆口24內的空氣。澆口24內的空間處於與中間模10的外部連通的狀態，換言之處於與大氣連通的狀態。因此，吸引機構30吸引大氣中的空氣。從大氣中吸引的空氣從中間模10上設置的澆口24，依次經由澆口吸引機構26上設置的吸附盤27b、吸引部主體27a、吸引通道28以及連接到吸引通道28的配管29和流量感測器31，從吸引機構30排出。藉由流量感測器31測定從澆口24吸引的空氣的總流量。藉由控制機構CTL對與已測定的總流量對應的測定流量資訊和預先存儲的基準流量資訊進行比較。如此，能夠判斷在澆口24中是否產生樹脂殘留。

就圖3的(a)所示的中間模10來說，使20個澆口24都處於沒有樹脂殘留的正常的狀態。在該正常的狀態下，如圖5的(a)所示，使用吸引機構30，並藉由一個流量感測器31測定從20個澆口24吸引的空氣的總流量。

設定吸引機構30的吸引量，使得從20個澆口24吸引的空氣的總流量的測定值為適當的值，例如為2L/min。換言之，將2L/min設為作為空氣的總流量的測定值的設定值。如果是沒有樹脂殘留的正常的狀態，則從每一個澆口24吸引的空氣流量都相同，因此從每一個澆口24吸引的空氣的流量為0.1L/min(=2L/min÷20)。如此，在沒有樹脂殘留的正常狀態下，預先設定吸引機構30的吸引量，使得從每一個澆口24吸引的空氣的流量的測定值為恒定值(0.1L/min)。因此，能夠藉由對該已設定的空氣的總流量的測定值(2L/min)和由澆口吸引機構26實際吸引的空氣的總流量的測定值進行比較，來判斷是否產生樹脂殘留。

例如，假設如下的狀態：在圖3的(a)所示的中間模10上設置的20個澆口24中的一個澆口24殘留有硬化樹脂，並且樹脂殘留完全堵塞澆口24。在該狀態下，使用澆口吸引機構26，從澆口24吸引大氣中的空氣。藉由流量感測器31測定從20個澆口24吸引的空氣的總流量。由於無法從20個澆口24中的因樹脂殘留完全被堵塞的一個澆口24吸引空氣，因此藉由流量感測器31測定的總流量為從沒有樹脂殘留的19(20-1)個澆口24吸引的空氣的總流量。因此，從19個澆口24吸引的空氣的總流量為1.9L/min(=2L/min-0.1L/min)。當測定出的總流量少於作為被設定為正常狀態下測定值的總流量的2L/min時，能夠判斷在某一個澆口24中產生樹脂殘留。如此，能夠使用澆口吸引機構26來判斷是否產生樹脂殘留。

在上述的實施例中，設定吸引機構30的吸引量，使得從20個澆口24吸引的空氣的總流量的測定值為2L/min。從每一個澆口24吸引的空氣的流量為0.1L/min(=2L/min÷20)。因此，在兩個澆口24具有完全的樹脂殘留的情況下的總流量為1.8L/min(=2L/min-0.2L/min)，並且在三個澆口24具有樹脂殘留的情況下的總流量為1.7L/min(=2L/min-0.3L/min)。如此，能夠藉由設定從每一個澆口24吸引的空氣的流量的測定值，來判斷產生樹脂殘留的澆口24的數量。然而，還不能判斷在20個澆口24中的哪一澆口24中產生樹脂殘留。

對於如圖5的(b)所示那樣與第一行至第五行的各吸引通道28上設置的四個吸引部27對應地分別設置流量感測器31的情況進行說明。此時，與各吸引通道28對應地連接有五個流量感測器31。各吸引通道28經由五個流量感測器31與吸引機構30連接。與圖5的(a)的情況相同地，將藉由吸引機構30吸引的空氣的總流量的測定值設定為2L/min。因此，藉由各流量感測器31測定的空氣的總流量的測定值為0.4L/min(=2L/min÷5)。因此，當在與連接到各吸引通道28的四個吸引部27對應的澆口24中的一個澆口24中產生樹脂殘留時，測定出的總流量為0.3L/min(=0.4L/min-0.1L/min)。另外，當在兩個澆口24中產生樹脂殘留時，測定出的總流量為0.2L/min(=0.4L/min-0.2L/min)。如果是該情況，則能夠判斷在五個吸引通道28中的某一吸引通道28上設置的吸引部27中是否產生樹脂殘留。

進一步，可沿橫向(X方向)和縱向(Y方向)，在所有的“行”和“列”上設置吸引通道28。與沿橫向和縱向設置的所有的吸引通道28對應地設置流量感測器31。具體來講，與從第一行至第五行上設置的五個吸引通道28對應地設置五個流量感測器31以及與從第一列至第四列上設置的四個吸引通道28對應地設置四個流量感測器31，總計設置九個流量感測器31。如果是該情況，則能夠獨立測定分別從沿橫向和縱向設置的所有的吸引通道28吸引的空氣的流量。因此，能夠確定位於所測定出的流量的測定值少於預先設定的流量的測定值的“行”和“列”相交的交點上的澆口24。能夠判斷在位於該交點的澆口24中產生樹脂殘留。如此，能夠判斷在20個澆口24中的某一位置上形成的澆口24中是否產生樹脂殘留。

此外，能夠與各吸引部27對應地分別設置獨立的吸引通道28。此時，與各個吸引通道28對應地分別設置獨立的流量感測器31。因此，與一個吸引部27對應地獨立設置一個流量感測器31。總計20個流量感測器31與設置在澆口吸引機構26上的各個吸引通道28連接。如果是該情況，則能夠藉由在各個流量感測器31中是否有空氣流動，來分別判斷在各個澆口24中是否產生樹脂殘留。如此，能夠直接確定在20個澆口24中的某一澆口24中是否產生樹脂殘留。

目前為止示出了使用澆口吸引機構26一併(藉由一個流量感測器31)或分開(藉由複數個流量感測器31)測定從與在中間模(參照圖3的(a))上設置的所有的澆口24對應的吸引部27吸引的空氣的總流量的情況。不限於此，如圖3的(a)所示，可以沿“行”或“列”設置的複數個澆口24分別為對象來設置澆口吸引機構26。

例如，如圖4的(a)所示，設置以第一行上設置的四個吸引部27和連接這些吸引部27的吸引通道28為結構單位的澆口吸引機構26。在吸引通道28上連接吸引機構30和流量感測器31。使用該澆口吸引機構26，首先，藉由流量感測器31測定與中間模10中的第一行上設置的四個澆口24對應地從四個吸引部27吸引的空氣的流量。接著，測定對應於在第二行上設置的四個澆口24而吸引的空氣的流量。依次分別吸引對應於在各行上設置的四個澆口24而吸引的空氣的流量。如此，測定對應於在所有的“行”上設置的澆口24而吸引的空氣的流量。由此，能夠判斷在某一“行”上是否產生樹脂殘留。

進一步，可設置與中間模10上設置的一個澆口24對應的澆口吸引機構26。此時，在澆口吸引機構26設置有一個吸引部27和一個吸引通道28。使用澆口吸引機構26，依次測定對應於在中間模10上設置的所有的澆口24而吸引的空氣的流量。藉由吸引所有的澆口24，能夠判斷在某一澆口24中是否產生樹脂殘留。

根據本實施例，在使澆口吸引機構26上設置的吸引部27緊貼於中間模10上設置的澆口24的開口24b周圍的狀態下，使用吸引機構30從澆口24吸引大氣中的空氣。藉由流量感測器31測定已吸引的空氣的總流量。能夠藉由對測定出的空氣的總流量和在沒有樹脂殘留的正常的狀態下吸引的空氣的總流量的測定值進行比較，來判斷是否產生樹脂殘留。

另外，根據本實施例，作為檢測出樹脂殘留的方法，測定從大氣中吸引的空氣的流量。預先設定成能夠藉由吸引機構30來取得既定流量的測定值。即使從使用吸引機構30開始吸引的時刻時間流逝，所吸引的空氣的流量總是恒定，沒有對時間的依賴性。因此，無需嚴格監視所吸引空氣的流量，能夠容易判斷是否產生樹脂殘留。

另外，根據本實施例，藉由流量感測器31測定從澆口吸引機構26上設置的吸引部27吸引的空氣的流量。藉由檢測出流量的變化，能夠判斷是否產生樹脂殘留。預先設定成在沒有樹脂殘留的正常狀態下能夠使用吸引機構30來取得既定流量的測定值。因此，能夠任意確定從每一個吸引部27吸引的空氣的流量。當因產生樹脂殘留而完全堵塞澆口24時，無法從與該澆口對應的吸引部27吸引空氣。因此，從吸引部27吸引的空氣的總流量減少與其相應的量。由於可將從每一個吸引部27吸引的空氣的流量設定成檢測樹脂殘留的靈敏度，因此能夠高精度地判斷是否產生樹脂殘留。

另外，根據本發明，可與中間模10上設置的澆口24的數量對應地沿橫向或縱向設置複數個與澆口吸引機構26連接的流量感測器31。因此，即使在中間模10上設置的澆口24的數量非常多的情況下，也能夠將從每一個吸引部27吸引的空氣的流量設定成最佳的值。由於作為檢測出樹脂殘留的方法，利用從大氣中吸引的空氣的流量，因此能夠根據產品將檢測出樹脂殘留的靈敏度設為最佳。

進一步，也可以沿澆口吸引機構26的橫向和縱向，與所有的“行”和“列”上設置的吸引通道28對應地連接流量感測器31。如此，也能夠藉由測定所有橫向和縱向上設置的流量感測器31的流量，來確定產生樹脂殘留的澆口24。

另外，根據本實施例，可以與澆口吸引機構26上設置的各吸引部27對應地分別設置獨立的吸引通道28和流量感測器31。如此，能夠藉由在對應於所有的澆口24而設置的流量感測器31中是否有空氣流動，來直接確定產生樹脂殘留的澆口24。

另外，根據本實施例，可以沿“行”或“列”設置的複數個澆口24為對象，設置澆口吸引機構26。使用該澆口吸引機構26，測定依次對應於在所有的“行”或“列”上設置的澆口24而吸引的空氣的流量。由此，能夠確認在某一“行”或“列”上是否產生樹脂殘留。

進一步，可設置與一個澆口24對應的澆口吸引機構26。此時，使用一個吸引部27，依次對應於在中間模10上設置的所有的澆口24而吸引的空氣的流量。能夠藉由吸引所有的澆口24，來判斷在某一澆口24中是否產生樹脂殘留。

另外，根據本實施例，使吸引部27緊貼於澆口24的開口24b周圍，從而測定經由澆口24從大氣中吸引的空氣的流量。由於吸引大氣中的空氣，因此能夠以簡單的裝置結構和簡單的檢測方法檢測出樹脂殘留。因此，能夠降低樹脂成形裝置1的費用。

(實施例2)

參照圖7，對實施例2中的澆口吸引機構26的結構進行說明。與實施例1的區別為在澆口吸引機構26中設置有支撐吸引部27的彈性構件。如圖7所示，在澆口吸引機構26中設置有插入吸引部27的凹部32。在凹部32內插入有例如作為彈性構件的彈簧33等，並在該彈簧33上配置有吸引部27。

除了由彈性構件形成的吸附盤27b之外，吸引部27也被彈簧33彈性支撐。由此，能夠進一步提高吸附盤27b緊貼於澆口24的開口24b周圍(參照圖3的(b))的程度。在該情況下，在凹部32中設置彈簧33，以此彈性支撐吸引部27。不限於此，也可以設定為在吸引部主體27a的內部嵌入作為彈性構件的彈簧的結構。

(實施例3)

參照圖8至圖12，關於在本發明的樹脂成形裝置1中使用澆口吸引機構26進行樹脂密封的結構和動作進行說明。

如圖8所示，在習知的運送機構中增加本發明的澆口吸引機構26並一體化而構成樹脂成形裝置1所具有的裝載器13。因此，裝載器13具備將安裝有晶片14的基板15配置在下模9的凹部19中的功能、將樹脂塊16供給到料槽18中的功能和為了吸引大氣中的空氣以檢測出樹脂殘留而吸引澆口24的功能。圖8中示出了在裝載器13內裝有澆口吸引機構26，從而裝載器13和澆口吸引機構26一體化而成的結構。不限於此，也可以藉由分別構成裝載器13和澆口吸引機構26來裝配。

對在樹脂成形裝置1中使用澆口吸引機構26進行樹脂密封的動作進行說明。首先，對上模6、下模9和中間模10進行開模。接著，使裝載器13移動至中間模10與下模9之間的既定位置。

如圖9所示，藉由使裝載器13向上移動，來使安裝在吸引部27的前端的吸附盤27b緊貼於澆口24的開口24b周圍。接著，使用吸引機構30，在沒有樹脂殘留的狀態(正常狀態)下預先設定的條件下，經由澆口24吸引大氣中的空氣。藉由流量感測器31測定由吸引機構30吸引的空氣的總流量。

在圖9中所測定出的空氣的總流量與在正常狀態下測定出的基準流量值不同的情況(少的情況)下，判斷為在任一個澆口24中產生樹脂殘留。此時，暫且中止樹脂密封步驟。而且，從樹脂成形裝置1拆卸中間模10，清洗澆口24。藉由清洗，從澆口24去除硬化樹脂的樹脂殘留。接著，將清洗後的中間模10安裝到樹脂成形裝置1，確認藉由吸引機構30吸引的空氣的總流量的測定值是否正常。如果總流量的測定值正常，則重新進行樹脂密封步驟。

如圖10所示，如果測定出的空氣的總流量與在正常狀態下測定出的基準流量值(基準流量資訊)相同，則判斷為在澆口24中沒有產生樹脂殘留。當判斷為沒有樹脂殘留的正常狀態時，將安裝有晶片14的基板15配置在下模9的凹部19中。接著，將樹脂塊16供給到料槽18。接著，使裝載器13從既定位置後退。接著，對上模6、下模9和中間模10進行合模。在合模之後，按壓樹脂塊16的同時加熱該樹脂塊16。藉由加熱而使樹脂塊16熔融，從而生成流動性樹脂。接著，使用柱塞20按壓流動性樹脂。從料槽18依次經由貫通孔25、主流道21、橫澆道22和澆口24，向模腔23注入被按壓的流動性樹脂。藉由以既定時間加熱被注入到模腔23的流動性樹脂而形成硬化樹脂34。在該狀態下，晶片15被硬化樹脂34樹脂密封。

如圖11所示，在中間模10和下模9合模的狀態下，使中間模10和下模9從上模6下降。由此，對由硬化樹脂34樹脂密封的成形品35進行打澆口。藉由打澆口，在主流道21、橫澆道22和澆口24中形成的硬化樹脂作為不需要樹脂36而與成形品35分離。經分離的不需要樹脂36殘留在上模6中。接著，使卸載器37移動至上模6與中間模10之間的既定位置。使用卸載器37從上模6取出不需要樹脂36。

如圖12所示，對中間模10和下模9進行開模。在該狀態下，對上模6、下模9和中間模10進行完全的開模。成形品35殘留在下模的凹部19中。接著，使卸載器37再次移動至中間模10與下模9之間的既定位置。而且，使用卸載器37取出成形品35。如此，完成樹脂密封。

根據本實施例，在裝載器13中一體地構成有澆口吸引機構26。因此，裝載器13具備運送安裝有晶片14的基板15和樹脂塊16的功能及為了檢測出樹脂殘留而吸引澆口24的功能。因此，在樹脂密封步驟中，能夠在即將進行樹脂密封之前檢查是否產生樹脂殘留。由於在即將進行樹脂密封之前檢查樹脂殘留，因此如果檢測出樹脂殘留，則能夠在該時刻停止生產。因此，能夠防止由樹脂殘留引起的成形不良。

另外，根據本實施例，使用與裝載器13一體化的澆口吸引機構26，判斷是否產生樹脂殘留。使用吸引機構30從澆口24吸引大氣中的空氣。藉由流量感測器31測定吸引後的空氣的總流量，並且和在沒有樹脂殘留的正常狀態下測定出的基準流量值進行比較。藉由流量感測器31測定出的空氣的總流量沒有時間依賴性，為恒定流量。即使從開始吸引的時刻時間流逝，所測定的空氣的總流量也為恒定值且不會變動。因此，能夠容易判斷是否產生樹脂殘留。

另外，根據本實施例，預先在沒有樹脂殘留的正常狀態下，設定使用吸引機構30從每一個吸引部27吸引的空氣的流量值。因此，能夠將從每一個吸引部27吸引的空氣的流量設定為檢測出樹脂殘留的靈敏度。當產生樹脂殘留時，無法從該吸引部27吸引空氣，因此所測定的空氣的總流量減少與其相應的量。因此，在測定出的總流量少於預先設定的總流量的測定值的情況下，能夠判斷為產生樹脂殘留。另外，能夠根據減少的流量，推算產生樹脂殘留的澆口24的數量。

另外，根據本實施例，使裝載器13上設置的吸引部27緊貼於澆口24的開口24b周圍，並且測定從大氣中經由澆口24吸引的空氣的流量。因此，能夠以簡單的裝置結構和簡單的檢測方法檢測出樹脂殘留。因此，能夠降低樹脂成形裝置1的費用。

此外，在各實施例中，在中間模10的下表面側設置有模腔23且在中間模10的上表面側設置有澆口24。不限於此，在中間模10的上表面側設置有模腔23且在中間模20的下表面側設置有澆口24的情況下，也取得相同的效果。

另外，在實施例3中示出了將澆口吸引機構26裝配在樹脂成形裝置1的裝載器13上的情況。不限於此，可以將澆口吸引機構26獨立於裝載器13而設置於樹脂成形裝置1上。進而，也可以將澆口吸引機構26與樹脂成形裝置1分開而分別構成。此時，就使用相同的中間模10的樹脂成形裝置組或使用相同的中間模10的成形模組組來說，能夠使用澆口吸引機構26來檢測是否產生樹脂殘留。

在上述的各實施例中，對樹脂殘留的情況進行了說明，即，對殘留在澆口24中的硬化樹脂完全堵塞澆口24的狀態進行了說明。不限於此，在殘留在澆口24中的硬化樹脂不完全堵塞澆口24的情況，即，流動性樹脂在澆口24中流動的空間的剖面面積變窄的情況下，也能夠適用本發明。

在各實施例中，使用吸引機構30，從澆口吸引機構26上設置的既定個數的吸引部27吸引大氣中的空氣。不限於此，也可以在上模6和中間模10合模的狀態下，從既定個數的吸引部27，吸引澆口24的內部存在的氣體。此時，由於在開始吸引之後流量有過渡性的變化，因此可基於測定出的流量的變化形式來判斷是否產生樹脂殘留。此時，較佳為在上模6與中間模10之間設置密封構件以使澆口24的內部完全成為密閉空間。

在各實施例中說明了一種使用轉移模具的樹脂成形裝置，上述樹脂成形裝置對基板15上安裝的晶片14進行樹脂密封。樹脂密封物件可以是IC、LED和電晶體等半導體晶片，還可以是無源元件。當對安裝於導線框、印刷基板和陶瓷基板等基板上的一個或複數個電子零件進行樹脂密封時，可適用本發明。

不限於對電子零件進行樹脂密封的情況，在藉由樹脂成形來製造透鏡、導光板、反射件(反射器)、光學模組等光學零件和其他通常的樹脂產品的情況下，可適用本發明。

不限於使用三個成形模的樹脂成形裝置，使用兩個成形模的樹脂成形裝置也為本發明的對象。此時，上模和下模中的任一個模相當於圖2所示的中間模10。

進一步，不限於轉移模具，可以對進行射出成形的樹脂成形裝置適用本發明。所謂“射出成形”這一用語意味著“在加壓下從加熱氣缸經過直澆道(橫澆道、澆口)向封閉的金屬模的模腔中注入材料來進行成形的步驟”(參照JISK6900)。

本發明並不限定於上述的各實施例，在不脫離本發明的主旨的範圍內，可按照需要，任意並且適當組合而進行變更，或選擇性地採用。