JPH11190621A - 表面性状測定機 - Google Patents
表面性状測定機Info
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- JPH11190621A JPH11190621A JP9358885A JP35888597A JPH11190621A JP H11190621 A JPH11190621 A JP H11190621A JP 9358885 A JP9358885 A JP 9358885A JP 35888597 A JP35888597 A JP 35888597A JP H11190621 A JPH11190621 A JP H11190621A
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- stylus
- measurement
- measuring device
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定のための段取りや測定後の取り外し時等
において、測定表面や、検出器から突出しているノーズ
や、触針及びスキッドを保護する。 【解決手段】 検出器２００を限度一杯に後退させた退
避時に、コネクタハウジング１５０の膨らみ１５０Ａと
係合する係合部１４０Ａを有する検出器リフト板１４０
を、駆動部１００のフレーム１０２に固定して、退避時
に検出器２００の先端を持ち上げ、スキッド２０４と触
針２０２を測定表面から引き離す。
において、測定表面や、検出器から突出しているノーズ
や、触針及びスキッドを保護する。 【解決手段】 検出器２００を限度一杯に後退させた退
避時に、コネクタハウジング１５０の膨らみ１５０Ａと
係合する係合部１４０Ａを有する検出器リフト板１４０
を、駆動部１００のフレーム１０２に固定して、退避時
に検出器２００の先端を持ち上げ、スキッド２０４と触
針２０２を測定表面から引き離す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面粗さに代表さ
れる表面性状測定用の触針（スタイラスとも称する）と
スキッドが先端に備えられた検出器と、該検出器測定表
面に沿って進退させるための駆動部を含む表面性状測定
機に係り、特に、被測定物に対する測定機のセッティン
グや測定後の測定機取り外し時等の測定のための段取り
時等に、検出器から突出しているノーズや、触針及びス
キッドを保護することが可能な表面性状測定機に関す
る。
れる表面性状測定用の触針（スタイラスとも称する）と
スキッドが先端に備えられた検出器と、該検出器測定表
面に沿って進退させるための駆動部を含む表面性状測定
機に係り、特に、被測定物に対する測定機のセッティン
グや測定後の測定機取り外し時等の測定のための段取り
時等に、検出器から突出しているノーズや、触針及びス
キッドを保護することが可能な表面性状測定機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】被測定物の表面に粗さ測定用の触針を関
与させ、該触針を備えた検出器を、測定表面に沿って進
退させながら、前記触針の表面粗さ方向の変位を検出し
て電気信号に変換し、該電気信号を所定処理して表面粗
さを測定する表面粗さ測定機が広く利用されている。
与させ、該触針を備えた検出器を、測定表面に沿って進
退させながら、前記触針の表面粗さ方向の変位を検出し
て電気信号に変換し、該電気信号を所定処理して表面粗
さを測定する表面粗さ測定機が広く利用されている。
【０００３】該表面粗さ測定機の検出器は、種々提案さ
れており、例えば、特公平４−６０５２３には、図２２
に示す如く、駆動部３０のフレーム３２に配設された軸
受３３に保持され、検出器１０の進退方向（矢印Ａ方
向）に滑動する滑動軸３４と、該滑動軸３４に、移動ブ
ロック３６及び板ばね３８を介して取り付けられた駆動
側コネクタ４０と、前記滑動軸３４を矢印Ａ方向に進退
させるための、連結部４２により前記滑動軸３４に固定
された送り駒４４と、該送り駒４４と係合する送りねじ
４６と、カップリング４８を介して該送りねじ４６と連
結された減速機５０と、該減速機５０を回転駆動するた
めのモータ５２とを備えたものが記載されている。
れており、例えば、特公平４−６０５２３には、図２２
に示す如く、駆動部３０のフレーム３２に配設された軸
受３３に保持され、検出器１０の進退方向（矢印Ａ方
向）に滑動する滑動軸３４と、該滑動軸３４に、移動ブ
ロック３６及び板ばね３８を介して取り付けられた駆動
側コネクタ４０と、前記滑動軸３４を矢印Ａ方向に進退
させるための、連結部４２により前記滑動軸３４に固定
された送り駒４４と、該送り駒４４と係合する送りねじ
４６と、カップリング４８を介して該送りねじ４６と連
結された減速機５０と、該減速機５０を回転駆動するた
めのモータ５２とを備えたものが記載されている。
【０００４】図において、１４は、検出器１０のケース
１２の後端（図の右端）に取り付けられた、前記駆動側
コネクタ４０と係合する検出器側のコネクタピン、１８
は、先端（図の左端）に、測定面に追従して上下動する
触針１６が配設された、ケース１２内を支点（２０）を
中心として揺動する触針アーム、２０は、該触針アーム
１８の支点を構成する略Ｌ字状の板ばね、２２は、前記
触針アーム１８の後端近傍に配設され、該触針アーム１
８後端の上下動を検出するためのインダクタンス型変位
検出器、２４は、触針１６近傍の細かな凹凸を吸収し
て、安定した測定値が得られるようにするためのスキッ
ド、２６は、触針１６や触針アーム１８を保護するため
のノーズである。
１２の後端（図の右端）に取り付けられた、前記駆動側
コネクタ４０と係合する検出器側のコネクタピン、１８
は、先端（図の左端）に、測定面に追従して上下動する
触針１６が配設された、ケース１２内を支点（２０）を
中心として揺動する触針アーム、２０は、該触針アーム
１８の支点を構成する略Ｌ字状の板ばね、２２は、前記
触針アーム１８の後端近傍に配設され、該触針アーム１
８後端の上下動を検出するためのインダクタンス型変位
検出器、２４は、触針１６近傍の細かな凹凸を吸収し
て、安定した測定値が得られるようにするためのスキッ
ド、２６は、触針１６や触針アーム１８を保護するため
のノーズである。
【０００５】又、実開平５−７５６０６には、図２３に
示す如く、非測定時や測定のための準備操作時に、モー
タ６０で切欠６２Ａが設けられた円板６２を回転させ、
該切欠６２Ａにより、触針６４が先端に固定されたアー
ム６６の途中に設けられたバー６８を持ち上げることに
より、アーム６６を退避させるアーム退避機構が記載さ
れている。
示す如く、非測定時や測定のための準備操作時に、モー
タ６０で切欠６２Ａが設けられた円板６２を回転させ、
該切欠６２Ａにより、触針６４が先端に固定されたアー
ム６６の途中に設けられたバー６８を持ち上げることに
より、アーム６６を退避させるアーム退避機構が記載さ
れている。
【０００６】図において、７０は、アーム６６の支点、
７２は、アーム６６の後端の変位を検出する変位検出
器、７４は、モータ６０の回転を、所定以上の負荷に対
して滑りを生じさせ得る状態で前記円板６２に伝達する
ための摩擦伝導車てある。
７２は、アーム６６の後端の変位を検出する変位検出
器、７４は、モータ６０の回転を、所定以上の負荷に対
して滑りを生じさせ得る状態で前記円板６２に伝達する
ための摩擦伝導車てある。
【０００７】又、出願人は実開昭５８−７６１０７で、
測定圧加圧用ばねの付勢力に抗して触針突出用開口部か
ら突出した触針を保護ケース内に収納する、瞬時励磁の
ラッチ型機構からなる収納手段を設けることを提案して
いる。
測定圧加圧用ばねの付勢力に抗して触針突出用開口部か
ら突出した触針を保護ケース内に収納する、瞬時励磁の
ラッチ型機構からなる収納手段を設けることを提案して
いる。
【０００８】出願人は、更に、実公昭６３−１０４８１
で、測定圧加圧用ばねの付勢力に打ち勝つ付勢力で、且
つ、触針が保護ケース内に収納される方向へ触針アーム
を付勢する触針保護用ばねと、測定時の通電により該触
針保護用ばねを引き付けて、触針保護用ばねの付勢力か
ら触針アームを解放する電磁石を備えることを提案して
いる。
で、測定圧加圧用ばねの付勢力に打ち勝つ付勢力で、且
つ、触針が保護ケース内に収納される方向へ触針アーム
を付勢する触針保護用ばねと、測定時の通電により該触
針保護用ばねを引き付けて、触針保護用ばねの付勢力か
ら触針アームを解放する電磁石を備えることを提案して
いる。
【０００９】出願人は、又、実公昭６３−１０４８２
で、永久磁石とコイルを併用し、測定時には一対のコイ
ルの（永久）磁石片側端面をＮ極及びＳ極のいずれか一
方になるように瞬時励磁して磁石片を触針アームに対し
て離隔させると共に、非測定時には一対のコイルの磁石
片側端面をＮ極及びＳ極のいずれか他方になるように瞬
時励磁し、磁石片を介して触針アームを測定圧加圧用ば
ねの付勢方向とは反対方向へ押圧させる収納手段を備え
ることを提案している。
で、永久磁石とコイルを併用し、測定時には一対のコイ
ルの（永久）磁石片側端面をＮ極及びＳ極のいずれか一
方になるように瞬時励磁して磁石片を触針アームに対し
て離隔させると共に、非測定時には一対のコイルの磁石
片側端面をＮ極及びＳ極のいずれか他方になるように瞬
時励磁し、磁石片を介して触針アームを測定圧加圧用ば
ねの付勢方向とは反対方向へ押圧させる収納手段を備え
ることを提案している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、いずれ
の装置においても、モータや電磁石等の別体の動力源が
必要であり、機構が複雑であるだけでなく、動作の信頼
性にも問題を生じ易いという問題点を有していた。
の装置においても、モータや電磁石等の別体の動力源が
必要であり、機構が複雑であるだけでなく、動作の信頼
性にも問題を生じ易いという問題点を有していた。
【００１１】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、簡単な構成で、別体の動力源を必要
とすることなく、非測定時や測定準備時に、測定表面
や、検出器から突出しているノーズや触針及びスキッド
を保護することを課題とする。
くなされたもので、簡単な構成で、別体の動力源を必要
とすることなく、非測定時や測定準備時に、測定表面
や、検出器から突出しているノーズや触針及びスキッド
を保護することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、表面性状測定
用の触針とスキッドが先端に備えられた検出器と、該検
出器を測定表面に沿って進退させるための駆動部を含む
表面性状測定機において、前記検出器を限度一杯に後退
させた退避時に、少なくとも前記検出器の先端を持ち上
げて、スキッドと触針を測定表面から引き離す検出器リ
フト手段を設けることにより、前記課題を解決したもの
である。
用の触針とスキッドが先端に備えられた検出器と、該検
出器を測定表面に沿って進退させるための駆動部を含む
表面性状測定機において、前記検出器を限度一杯に後退
させた退避時に、少なくとも前記検出器の先端を持ち上
げて、スキッドと触針を測定表面から引き離す検出器リ
フト手段を設けることにより、前記課題を解決したもの
である。
【００１３】又、前記検出器リフト手段を、前記検出器
の進退と共に移動する部材の一部と係合して、該検出器
を持ち上げる検出器リフト板としたものである。
の進退と共に移動する部材の一部と係合して、該検出器
を持ち上げる検出器リフト板としたものである。
【００１４】又、前記検出器を、コネクタにより前記駆
動部に着脱自在とし、該コネクタの駆動部側ハウジング
の外側に、前記検出器リフト板と係合する山形状の膨ら
みを設けたものである。
動部に着脱自在とし、該コネクタの駆動部側ハウジング
の外側に、前記検出器リフト板と係合する山形状の膨ら
みを設けたものである。
【００１５】又、前記検出器リフト板の検出器進退方向
位置を、調整可能としたものである。
位置を、調整可能としたものである。
【００１６】又、前記駆動部を収容する電装部を備え、
前記検出器の全体が、退避時に、該電装部中に収容され
るようにしたものである。
前記検出器の全体が、退避時に、該電装部中に収容され
るようにしたものである。
【００１７】あるいは、前記検出器の全体を、退避時
に、前記駆動部内に収容するようにしたものである。
に、前記駆動部内に収容するようにしたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、載置型の携
帯型表面粗さ測定機に適用した本発明の実施形態を詳細
に説明する。
帯型表面粗さ測定機に適用した本発明の実施形態を詳細
に説明する。
【００１９】図１は、本発明の第１実施形態の要部構成
を示す斜視図、図２は、図１の矢印II方向から見た側面
図、図３は、検出器が取り付けられた駆動部を正面から
見た縦断面図、図４は、同じく上面から見た縦断面図、
図５は、同じく底面から見た縦断面図、図６は、図４の
VI−VI線に沿う横断面図、図７は、同じくVII −VII線
に沿う横断面図、図８は、同じくVIII−VIII線に沿う横
断面図である。
を示す斜視図、図２は、図１の矢印II方向から見た側面
図、図３は、検出器が取り付けられた駆動部を正面から
見た縦断面図、図４は、同じく上面から見た縦断面図、
図５は、同じく底面から見た縦断面図、図６は、図４の
VI−VI線に沿う横断面図、図７は、同じくVII −VII線
に沿う横断面図、図８は、同じくVIII−VIII線に沿う横
断面図である。
【００２０】本実施形態の駆動部１００は、そのフレー
ム１０２に固定されたメインシャフト１０４及びサブシ
ャフト１０６と、該シャフト１０４、１０６上を滑動す
る、検出器進退方向（矢印Ａ方向）に長い略Ｏ字状とさ
れ、その前後端２箇所に前記メインシャフト１０４が挿
通するようにされたスライドブロック１０８と、該スラ
イドブロック１０８を前記シャフト１０４、１０６に沿
って進退させるための連動ロッド１１０及び送りナット
１１２と、該送りナット１１２と螺合する送りねじ１１
４と、フレキシブルカップリング１１６を介して該送り
ねじ１１４を回動するためのギヤモータ１１８とを備え
ている。
ム１０２に固定されたメインシャフト１０４及びサブシ
ャフト１０６と、該シャフト１０４、１０６上を滑動す
る、検出器進退方向（矢印Ａ方向）に長い略Ｏ字状とさ
れ、その前後端２箇所に前記メインシャフト１０４が挿
通するようにされたスライドブロック１０８と、該スラ
イドブロック１０８を前記シャフト１０４、１０６に沿
って進退させるための連動ロッド１１０及び送りナット
１１２と、該送りナット１１２と螺合する送りねじ１１
４と、フレキシブルカップリング１１６を介して該送り
ねじ１１４を回動するためのギヤモータ１１８とを備え
ている。
【００２１】図２に詳細に示す如く、前記スライドブロ
ック１０８の後端には検出器取付台１０８Ａが形成され
ており、その下側には、検出器２００を収容するための
コネクタハウジング１５０の後端に取付けられた、スキ
ッド圧を付与するための板ばね１５２が、サブシャフト
１０６の下面を押えるためのシャフト支持板１２０と共
に、ボルト１２２で固定されている。又、該検出器取付
台１０８Ａの上側には、前記サブシャフト１０６の上側
を押えるためのすべり板１２４を固定した板ばね１２６
が、ボルト１２８で固定されている。
ック１０８の後端には検出器取付台１０８Ａが形成され
ており、その下側には、検出器２００を収容するための
コネクタハウジング１５０の後端に取付けられた、スキ
ッド圧を付与するための板ばね１５２が、サブシャフト
１０６の下面を押えるためのシャフト支持板１２０と共
に、ボルト１２２で固定されている。又、該検出器取付
台１０８Ａの上側には、前記サブシャフト１０６の上側
を押えるためのすべり板１２４を固定した板ばね１２６
が、ボルト１２８で固定されている。
【００２２】図５に示される如く、前記フレーム１０２
には、図９に示すようなＬ字形状の検出器リフト板１４
０が、ボルト１４２により固定されている。この検出器
リフト板１４０の係合部１４０Ａは、図３に破線で示す
如く、検出器２００の後退限界近傍の退避位置で、前記
コネクタハウジング１５０の外側側面に形成された山形
状の膨らみ１５０Ａと係合するようにされている。従っ
て、検出器２００の退避位置で、コネクタハウジング１
５０の膨らみ１５０Ａが前記検出器リフト板１４０の係
合部１４０Ａに乗り上げて、コネクタハウジング１５０
が板ばね１５２を中心として上方に持ち上げられ、検出
器２００先端の触針２０２とスキッド２０４が測定表面
から引き離され、駆動部１００の底面より下方に突出し
ないようにされる。
には、図９に示すようなＬ字形状の検出器リフト板１４
０が、ボルト１４２により固定されている。この検出器
リフト板１４０の係合部１４０Ａは、図３に破線で示す
如く、検出器２００の後退限界近傍の退避位置で、前記
コネクタハウジング１５０の外側側面に形成された山形
状の膨らみ１５０Ａと係合するようにされている。従っ
て、検出器２００の退避位置で、コネクタハウジング１
５０の膨らみ１５０Ａが前記検出器リフト板１４０の係
合部１４０Ａに乗り上げて、コネクタハウジング１５０
が板ばね１５２を中心として上方に持ち上げられ、検出
器２００先端の触針２０２とスキッド２０４が測定表面
から引き離され、駆動部１００の底面より下方に突出し
ないようにされる。
【００２３】前記検出器リフト板１４０固定用のボルト
穴１４０Ｂは、図９に示す如く、検出器進退方向に長い
長孔とされており、該検出器リフト板１４０の固定位置
を調整することによって、検出器退避時の検出器２００
の首上げ動作により、駆動部や電装部の検出器入口の天
井部分に頭をぶつけないように、首上げ開始位置が調整
可能とされている。
穴１４０Ｂは、図９に示す如く、検出器進退方向に長い
長孔とされており、該検出器リフト板１４０の固定位置
を調整することによって、検出器退避時の検出器２００
の首上げ動作により、駆動部や電装部の検出器入口の天
井部分に頭をぶつけないように、首上げ開始位置が調整
可能とされている。
【００２４】図において、１０１は、駆動部のケース、
１３０は、前記スライドブロック１０８に植立されたス
イッチピン、１３２、１３４は、該スイッチピン１３０
と係合して、前記ギヤモータ１１８を停止又は反転する
ための前端／後端スイッチ、１５４は、前記コネクタハ
ウジング１５０に収容された駆動側コネクタ、２０６
は、該駆動側コネクタ１５４に挿入される検出器側のコ
ネクタピン、２０８は、検出器のコネクタハウジング、
２１０は、同じくノーズである。
１３０は、前記スライドブロック１０８に植立されたス
イッチピン、１３２、１３４は、該スイッチピン１３０
と係合して、前記ギヤモータ１１８を停止又は反転する
ための前端／後端スイッチ、１５４は、前記コネクタハ
ウジング１５０に収容された駆動側コネクタ、２０６
は、該駆動側コネクタ１５４に挿入される検出器側のコ
ネクタピン、２０８は、検出器のコネクタハウジング、
２１０は、同じくノーズである。
【００２５】前記駆動部１００は、後出図１０乃至図１
２に示す如く、電装部３００に収容可能とされている。
該駆動部１００の後端には、前記電装部３００と電気的
に接続するための電装側コネクタ１３６が設けられてお
り、該電装側コネクタ１３６と前記駆動側コネクタ１５
４間は、例えば厚みが０．２ｍｍ程度の、薄く屈曲自在
なフレキシブル印刷回路基板（ＦＰＣ）１３８で配線さ
れている。
２に示す如く、電装部３００に収容可能とされている。
該駆動部１００の後端には、前記電装部３００と電気的
に接続するための電装側コネクタ１３６が設けられてお
り、該電装側コネクタ１３６と前記駆動側コネクタ１５
４間は、例えば厚みが０．２ｍｍ程度の、薄く屈曲自在
なフレキシブル印刷回路基板（ＦＰＣ）１３８で配線さ
れている。
【００２６】前記電装部３００は、図１０（正面図）、
図１１（平面図）、図１２（底面図）及び図１３（ブロ
ック線図）に示す如く、前記電装側コネクタ１３６と接
続されるケーブル３０２を介して、前記駆動部１００に
収容された検出器２００から与えられた信号を処理する
信号処理回路３０４と、該信号処理回路３０４からの信
号を基に、各種パラメータに対応した表面粗さを求める
測定回路３０６と、該測定回路３０６で得られた測定値
を表示するデジタル表示器３０８と、前記ケーブル３０
２を介して駆動部１００内のギヤモータ１１８を駆動す
る駆動回路３１０と、該駆動回路３１０、測定回路３０
６及びデジタル表示器３０８を制御する制御回路３１２
と、これら各回路に電力を供給する電源回路３１４とを
主に含んでいる。
図１１（平面図）、図１２（底面図）及び図１３（ブロ
ック線図）に示す如く、前記電装側コネクタ１３６と接
続されるケーブル３０２を介して、前記駆動部１００に
収容された検出器２００から与えられた信号を処理する
信号処理回路３０４と、該信号処理回路３０４からの信
号を基に、各種パラメータに対応した表面粗さを求める
測定回路３０６と、該測定回路３０６で得られた測定値
を表示するデジタル表示器３０８と、前記ケーブル３０
２を介して駆動部１００内のギヤモータ１１８を駆動す
る駆動回路３１０と、該駆動回路３１０、測定回路３０
６及びデジタル表示器３０８を制御する制御回路３１２
と、これら各回路に電力を供給する電源回路３１４とを
主に含んでいる。
【００２７】図中の実線は、測定時における検出器２０
０の先端位置、破線は、電装部３００内に退避した状態
での検出器２００の先端位置を示す。
０の先端位置、破線は、電装部３００内に退避した状態
での検出器２００の先端位置を示す。
【００２８】図において、３２０は電源スイッチ、３２
２はスタートスイッチ、３２４はパラメータ選択スイッ
チである。
２はスタートスイッチ、３２４はパラメータ選択スイッ
チである。
【００２９】前記駆動部１００の前端には、図１４に示
す如く、検出器２００の先端等を保護するためのノーズ
ピース１６０が設けられている。このノーズピース１６
０には、正面底部形状が、図１５に示すような凹形状の
円筒用ノーズピース１６０Ａと、図１６に示すような凸
形状の平面用ノーズピース１６０Ｂがあり、円筒用ノー
ズピース１６０Ａは、図１７（分解斜視図）及び図１８
（組付けた状態の斜視図）に示す如く、平面用ノーズピ
ース１６０Ｂは、図１９（分解斜視図）及び図２０（組
付けた状態の斜視図）に示す如く、ボルト１６２によ
り、駆動部１００の前側板１０３に取付けられている。
す如く、検出器２００の先端等を保護するためのノーズ
ピース１６０が設けられている。このノーズピース１６
０には、正面底部形状が、図１５に示すような凹形状の
円筒用ノーズピース１６０Ａと、図１６に示すような凸
形状の平面用ノーズピース１６０Ｂがあり、円筒用ノー
ズピース１６０Ａは、図１７（分解斜視図）及び図１８
（組付けた状態の斜視図）に示す如く、平面用ノーズピ
ース１６０Ｂは、図１９（分解斜視図）及び図２０（組
付けた状態の斜視図）に示す如く、ボルト１６２によ
り、駆動部１００の前側板１０３に取付けられている。
【００３０】このようなノーズピース１６０を取付けた
場合、測定時には、測定面以外からの外力の影響を受け
難く，検出器２００は十分に保護されるが、運搬時等
は、図１４に示した如く、測定面側から、検出器２００
の先端（スキッド２０４及び触針２０２）が出るため、
保護できず破損する恐れがある。これに対して、本発明
により検出器２００の先端を測定面から引き離して退避
するようにした場合には、測定面側から検出器２００の
先端が突出せず、ノーズピース１６０の内部に格納され
るため、運搬時等も含め、確実な保護が実現できる。
場合、測定時には、測定面以外からの外力の影響を受け
難く，検出器２００は十分に保護されるが、運搬時等
は、図１４に示した如く、測定面側から、検出器２００
の先端（スキッド２０４及び触針２０２）が出るため、
保護できず破損する恐れがある。これに対して、本発明
により検出器２００の先端を測定面から引き離して退避
するようにした場合には、測定面側から検出器２００の
先端が突出せず、ノーズピース１６０の内部に格納され
るため、運搬時等も含め、確実な保護が実現できる。
【００３１】測定に際しては、測定対象に応じて、図１
０乃至図１２に示す如く、駆動部１００を電装部３００
に収容した状態で使用するか、又は、駆動部１００を電
装部３００から分離して単独で使用するか、選択する。
例えば、小さな穴の内面等を測定する際には、電装部３
００が邪魔になるので、駆動部１００を外して測定し、
それ以外の状況では、一体とした状態で使用することが
できる。
０乃至図１２に示す如く、駆動部１００を電装部３００
に収容した状態で使用するか、又は、駆動部１００を電
装部３００から分離して単独で使用するか、選択する。
例えば、小さな穴の内面等を測定する際には、電装部３
００が邪魔になるので、駆動部１００を外して測定し、
それ以外の状況では、一体とした状態で使用することが
できる。
【００３２】具体的には、検出器２００の触針２０２を
測定面に接触させ、電源スイッチ３２０をオンとし、ス
タートスイッチ３２２を押す。すると、制御回路３１２
は、駆動回路３１０を通じてギヤモータ１１８を回転さ
せる。ギヤモータ１１８の回転に伴って送りねじ１１４
が回転すると、スライドブロック１０８が送りねじ１１
４の軸方向へ移動するので、検出器２００の触針２０２
は被測定物の表面粗さに応じて上下に変位する。
測定面に接触させ、電源スイッチ３２０をオンとし、ス
タートスイッチ３２２を押す。すると、制御回路３１２
は、駆動回路３１０を通じてギヤモータ１１８を回転さ
せる。ギヤモータ１１８の回転に伴って送りねじ１１４
が回転すると、スライドブロック１０８が送りねじ１１
４の軸方向へ移動するので、検出器２００の触針２０２
は被測定物の表面粗さに応じて上下に変位する。
【００３３】触針２０２の変位は、検出器２００で電気
信号に変換された後、ケーブル３０２を通じて信号処理
回路３０４へ与えられ、そこで処理され測定回路３０６
へ与えられる。測定回路３０６は、信号処理回路３０４
からの信号を基に、制御回路３１２から指令されたパラ
メータに従って表面粗さを求め、これをデジタル表示器
３０８に表示させる。
信号に変換された後、ケーブル３０２を通じて信号処理
回路３０４へ与えられ、そこで処理され測定回路３０６
へ与えられる。測定回路３０６は、信号処理回路３０４
からの信号を基に、制御回路３１２から指令されたパラ
メータに従って表面粗さを求め、これをデジタル表示器
３０８に表示させる。
【００３４】一方、測定前の退避中や測定終了後は、退
避指令により、コネクタハウジング１５０と、これに接
続された検出器２００を、駆動部１００の最奥部まで後
退させる。すると、コネクタハウジング１５０の外側に
設けられた膨らみ１５０Ａが、検出器リフト板１４０の
係合部１４０Ａに乗り上げることにより、板ばね１５２
を中心として、検出器２００の先端が上方に持ち上げら
れ、触針２０２及びスキッド２０４が測定表面から引き
離される。従って、触針が常時測定表面に接触すること
によって、被測定物の表面に疵がついたりすることがな
い。又、粗さ測定機による粗さ測定のための段取りや測
定後の粗さ測定機取り外し時において、不用意に検出器
のノーズ２１０や触針２０２及びスキッド２０４が被測
定物に衝突して、これらや被測定物を破損することもな
い。
避指令により、コネクタハウジング１５０と、これに接
続された検出器２００を、駆動部１００の最奥部まで後
退させる。すると、コネクタハウジング１５０の外側に
設けられた膨らみ１５０Ａが、検出器リフト板１４０の
係合部１４０Ａに乗り上げることにより、板ばね１５２
を中心として、検出器２００の先端が上方に持ち上げら
れ、触針２０２及びスキッド２０４が測定表面から引き
離される。従って、触針が常時測定表面に接触すること
によって、被測定物の表面に疵がついたりすることがな
い。又、粗さ測定機による粗さ測定のための段取りや測
定後の粗さ測定機取り外し時において、不用意に検出器
のノーズ２１０や触針２０２及びスキッド２０４が被測
定物に衝突して、これらや被測定物を破損することもな
い。
【００３５】本実施形態においては、退避指令により、
検出器２００が駆動部１００の最奥部まで後退し、退避
した状態において、検出器全体が電装部３００内に収納
されるようにしているので、測定機を誤って何かに衝突
させたり、落下させた場合でも、検出器のノーズやスキ
ッド及び触針を保護できる。
検出器２００が駆動部１００の最奥部まで後退し、退避
した状態において、検出器全体が電装部３００内に収納
されるようにしているので、測定機を誤って何かに衝突
させたり、落下させた場合でも、検出器のノーズやスキ
ッド及び触針を保護できる。
【００３６】本実施形態においては、検出器全体を、駆
動部内でなく、電装部３００内に収納するようにしてい
るので、この収納構造によって、駆動部が大型化するこ
とはない。
動部内でなく、電装部３００内に収納するようにしてい
るので、この収納構造によって、駆動部が大型化するこ
とはない。
【００３７】次に、駆動部内に検出器全体が収納される
ようにした、本発明の第２実施形態を詳細に説明する。
ようにした、本発明の第２実施形態を詳細に説明する。
【００３８】この第２実施形態は、第１実施形態と同様
の表面粗さ測定機において、図２１に示す如く、駆動部
１００のケース１０１を前方に延長し、検出器先端の触
針２０２及びスキッド２０４が、退避位置で、駆動部１
００内に完全に収容されるようにしたものである。
の表面粗さ測定機において、図２１に示す如く、駆動部
１００のケース１０１を前方に延長し、検出器先端の触
針２０２及びスキッド２０４が、退避位置で、駆動部１
００内に完全に収容されるようにしたものである。
【００３９】本実施形態においては、駆動部１００を単
体で移動中に誤って何かに衝突させたり、落下させた場
合でも、検出器のノーズ２１０や触針２０２及びスキッ
ド２０４を保護できる。
体で移動中に誤って何かに衝突させたり、落下させた場
合でも、検出器のノーズ２１０や触針２０２及びスキッ
ド２０４を保護できる。
【００４０】前記実施形態においては、いずれも、検出
器リフト板１４０とコネクタハウジング１５０の外側に
形成した山形状の膨らみ１５０Ａの組み合せで、板ばね
１５２を中心として検出器２００を持ち上げるようにし
ているので、構成が簡略である、なお、検出器退避時に
検出器を持ち上げる構成は、これに限定されない。
器リフト板１４０とコネクタハウジング１５０の外側に
形成した山形状の膨らみ１５０Ａの組み合せで、板ばね
１５２を中心として検出器２００を持ち上げるようにし
ているので、構成が簡略である、なお、検出器退避時に
検出器を持ち上げる構成は、これに限定されない。
【００４１】又、前記実施形態においては、いずれも、
本発明が、載置型の携帯型表面粗さ測定機に適用されて
いたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、例えば
輪郭形状測定機や、三次元座標測定機に使用される表面
粗さ測定プローブにも適用可能である。
本発明が、載置型の携帯型表面粗さ測定機に適用されて
いたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、例えば
輪郭形状測定機や、三次元座標測定機に使用される表面
粗さ測定プローブにも適用可能である。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、触針が、常時測定表面
に接触していることによって、測定表面に疵が付くこと
がない。又、被測定物と測定機のセッティングを行う段
取り時や測定後の測定機取り外し時等において、不用意
に、検出器のノーズや触針及びスキッドが被測定物に衝
突して、これらや被測定物が破損することがない。更
に、測定機を誤って落下させた場合でも、検出器のノー
ズやスキッド及び触針が保護される。
に接触していることによって、測定表面に疵が付くこと
がない。又、被測定物と測定機のセッティングを行う段
取り時や測定後の測定機取り外し時等において、不用意
に、検出器のノーズや触針及びスキッドが被測定物に衝
突して、これらや被測定物が破損することがない。更
に、測定機を誤って落下させた場合でも、検出器のノー
ズやスキッド及び触針が保護される。
【図１】本発明の第１実施形態における要部構成を示す
斜視図
斜視図
【図２】図１の矢印II方向から見た側面図
【図３】第１実施形態の検出器が取付けられた駆動部を
正面から見た縦断面図
正面から見た縦断面図
【図４】同じく上面から見た縦断面図
【図５】同じく底面から見た縦断面図
【図６】図４のVI−VI線に沿う横断面図
【図７】同じくVII −VII 線に沿う横断面図
【図８】同じくVIII−VIII線に沿う横断面図
【図９】第１実施形態で用いられている検出器リフト板
の形状を示す斜視図
の形状を示す斜視図
【図１０】第１実施形態の駆動部を電装部に収納した状
態を示す正面図
態を示す正面図
【図１１】同じく平面図
【図１２】同じく底面図
【図１３】前記電装部の構成を示すブロック線図
【図１４】第１実施形態のノーズピース取付け状態を示
す正面図
す正面図
【図１５】同じく円筒用ノーズピースの正面形状を示す
左側面図
左側面図
【図１６】同じく平面用ノーズピースの正面形状を示す
左側面図
左側面図
【図１７】同じく円筒用ノーズピースの分解斜視図
【図１８】同じく組付けた状態の斜視図
【図１９】同じく平面用ノーズピースの分解斜視図
【図２０】同じく組付けた状態の斜視図
【図２１】本発明の第２実施形態の駆動部を正面から見
た縦断面図
た縦断面図
【図２２】特公平４−６０５２３で提案されている載置
型表面粗さ測定機の構成を示す断図面
型表面粗さ測定機の構成を示す断図面
【図２３】実開平５−７５６０６で提案されているアー
ム退避機構を示す斜視図
ム退避機構を示す斜視図
１００…駆動部 １０１…ケース １０２…フレーム １０３…前側板 １０４…メインシャフト １０６…サブシャフト １０８…スライドブロック １０８Ａ…検出器取付台 １１０…連動ロッド １１２…送りナット １１４…送りねじ １１８…ギヤモータ １２６、１５２…板ばね １３６…電装側コネクタ １４０…検出器リフト板 １４０Ａ…係合部 １４０Ｂ…ボルト穴 １４２…ボルト １５０…コネクタハウジング １５０Ａ…膨らみ １５４…駆動側コネクタ １６０、１６０Ａ、１６０Ｂ…ノーズピース ２００…検出器 ２０２…触針 ２０４…スキッド ２０６…コネクタピン ２０８…コネクタハウジング ２１０…ノーズ ３００…電装部 ３０２…ケーブル ３０４…信号処理回路 ３０６…測定回路 ３０８…デジタル表示器 ３１０…駆動回路 ３１２…制御回路 ３１４…電源回路 ３２０…電源スイッチ ３２２…スタートスイッチ ３４４…パラメータ選択スイッチ
Claims (6)
- 【請求項１】表面性状測定用の触針とスキッドが先端に
備えられた検出器と、該検出器を測定表面に沿って進退
させるための駆動部を含む表面性状測定機において、 前記検出器を限度一杯に後退させた退避時に、少なくと
も前記検出器の先端を持ち上げて、スキッドと触針を測
定表面から引き離す検出器リフト手段を設けたことを特
徴とする表面粗さ測定機。 - 【請求項２】請求項１において、前記検出器リフト手段
が、前記検出器の進退と共に移動する部材の一部と係合
して、該検出器を持ち上げる検出器リフト板であること
を特徴とする表面性状測定機。 - 【請求項３】請求項２において、前記検出器が、コネク
タにより前記駆動部に着脱自在とされ、該コネクタの駆
動部側ハウジングの外側に、前記検出器リフト板と係合
する山形状の膨らみが設けられていることを特徴とする
表面性状測定機。 - 【請求項４】請求項１又は２において、前記検出器リフ
ト板の検出器進退方向位置が、調整可能とされているこ
とを特徴とする表面性状測定機。 - 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか一項において、
更に、前記駆動部を収容する電装部が備えられ、前記検
出器の全体が、退避時に、該電装部内に収容されること
を特徴とする表面性状測定機。 - 【請求項６】請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記検出器の全体が、退避時に、前記駆動部内に収容さ
れることを特徴とする表面性状測定機。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35888597A JP3640201B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 表面性状測定機 |
| US09/210,933 US6164124A (en) | 1997-12-26 | 1998-12-15 | Surface property measuring device |
| EP98310342A EP0926465B1 (en) | 1997-12-26 | 1998-12-16 | Stylus surface property measuring device with detector lifting |
| DE69813751T DE69813751T2 (de) | 1997-12-26 | 1998-12-16 | Oberflächentaster mit Detektoranhebung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35888597A JP3640201B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 表面性状測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11190621A true JPH11190621A (ja) | 1999-07-13 |
| JP3640201B2 JP3640201B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=18461608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35888597A Expired - Fee Related JP3640201B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 表面性状測定機 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6164124A (ja) |
| EP (1) | EP0926465B1 (ja) |
| JP (1) | JP3640201B2 (ja) |
| DE (1) | DE69813751T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6446496B1 (en) | 1999-11-01 | 2002-09-10 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring instrument |
| EP2722644A1 (en) | 2012-10-18 | 2014-04-23 | Mitutoyo Corporation | Surface roughness measuring unit and coordinate measuring apparatus |
| DE10054113B4 (de) * | 1999-11-01 | 2015-01-08 | Mitutoyo Corp. | Antriebseinheit |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6954987B2 (en) * | 2003-05-22 | 2005-10-18 | Powerwave Technologies, Inc. | Method of interconnecting a circuit board to a substrate |
| DE102005035786B3 (de) * | 2005-07-27 | 2007-01-04 | Carl Mahr Holding Gmbh | Rauheitstaster |
| JP5331645B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-10-30 | 株式会社ミツトヨ | 検出器、及び測定機 |
| US8413492B1 (en) | 2009-10-23 | 2013-04-09 | Honda Motor Co., Ltd. | Cylinder sleeve surface measurement assembly |
| JP5846462B1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-01-20 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
| JP7167948B2 (ja) * | 2018-02-09 | 2022-11-09 | コニカミノルタ株式会社 | 倣い装置 |
| KR101888466B1 (ko) * | 2018-02-12 | 2018-08-16 | 황재은 | 형상측정기 |
| GB2582375B (en) * | 2019-03-22 | 2022-07-06 | Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus and method of manufacture |
| JP7448323B2 (ja) | 2019-09-06 | 2024-03-12 | 株式会社ミツトヨ | 粗さ測定機 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2654421C2 (de) * | 1976-12-01 | 1985-06-27 | Hommelwerke GmbH, 7730 Villingen-Schwenningen | Meßvorrichtung zur Messung der Oberflächenbeschaffenheit eines Werkstücks |
| JPS5876107A (ja) * | 1981-10-31 | 1983-05-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 軟泥沈降処理装置 |
| GB2192062B (en) * | 1986-06-27 | 1990-02-28 | Rank Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus |
| JPS6310482A (ja) * | 1986-06-28 | 1988-01-18 | 富士通株式会社 | コネクタの接続方法 |
| JPS6310481A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | ヒロセ電機株式会社 | コンデンサ入り電気コネクタ |
| JP2675179B2 (ja) * | 1990-06-29 | 1997-11-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 偏光子 |
| DE4129687C2 (de) * | 1991-09-08 | 2002-11-14 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten |
| JPH0575606A (ja) * | 1991-09-17 | 1993-03-26 | Nec Corp | 相手先アドレス集約登録方式 |
| GB2281779B (en) * | 1993-09-14 | 1997-04-23 | Rank Taylor Hobson Ltd | Metrological instrument |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP35888597A patent/JP3640201B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-12-15 US US09/210,933 patent/US6164124A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-16 DE DE69813751T patent/DE69813751T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-16 EP EP98310342A patent/EP0926465B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6446496B1 (en) | 1999-11-01 | 2002-09-10 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring instrument |
| DE10053939B4 (de) * | 1999-11-01 | 2014-05-15 | Mitutoyo Corp. | Instrument zum Messen der Oberflächenbeschaffenheit |
| DE10054113B4 (de) * | 1999-11-01 | 2015-01-08 | Mitutoyo Corp. | Antriebseinheit |
| EP2722644A1 (en) | 2012-10-18 | 2014-04-23 | Mitutoyo Corporation | Surface roughness measuring unit and coordinate measuring apparatus |
| CN103776415A (zh) * | 2012-10-18 | 2014-05-07 | 株式会社三丰 | 表面粗糙度测量单元和坐标测量设备 |
| JP2014081324A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定ユニット、三次元測定装置 |
| US9250053B2 (en) | 2012-10-18 | 2016-02-02 | Mitutoyo Corporation | Surface roughness measuring unit and coordinate measuring apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0926465A3 (en) | 1999-10-13 |
| JP3640201B2 (ja) | 2005-04-20 |
| EP0926465B1 (en) | 2003-04-23 |
| EP0926465A2 (en) | 1999-06-30 |
| DE69813751D1 (de) | 2003-05-28 |
| US6164124A (en) | 2000-12-26 |
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