JP2004354289A - 測定ヘッド - Google Patents
測定ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004354289A JP2004354289A JP2003154103A JP2003154103A JP2004354289A JP 2004354289 A JP2004354289 A JP 2004354289A JP 2003154103 A JP2003154103 A JP 2003154103A JP 2003154103 A JP2003154103 A JP 2003154103A JP 2004354289 A JP2004354289 A JP 2004354289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- measuring head
- feed screw
- probe
- nut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
Abstract
【解決手段】測定ヘッド10に、電動モータ駆動の送りネジ21と送りネジ21で移動されるナット22とナット22に形成された傾斜面23Aとで構成された触針15のリトラクト手段20を設け、傾斜面23Aの直線運動で触針15が取付けられたシーソー部材13を回動させ、触針15のリトラクト動作を行うようにし、触針15の逃がし速度と戻し速度を自由に制御することができるとともに、触針15の逃がし動作の途中停止ができ触針15の微細な位置決めを可能にした。また、電動モータ24に手動ツマミ26を設け、手動による触針15のリトラクト動作を可能にした。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定ヘッドに関するもので、特に表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機等に用いられ、触針を測定位置から所定の退避位置に移動するリトラクト手段を有する測定ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、ワークの表面粗さや輪郭形状を測定する表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機等は、先端に触針を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、支点部材を挟んで触針と反対側に設けられ、シーソー部材の変位を検出することによって触針の変位を検出する検出器とが設けられた測定ヘッドを有しており、この測定ヘッドをワークの測定面に沿ってトラバースさせ、触針で測定面をトレースすることによりワークの表面粗さや形状を測定していた。
【0003】
このような構造を有する測定ヘッドにおいては、ワークのセッティング時やワークの不連続面の測定時において触針を保護するために、触針を測定位置から所定の退避位置に移動し、又退避位置から測定位置に移動するリトラクト手段が設けられている。
【0004】
従来のリトラクト手段は、ソレノイドをシーソー部材の近傍に設け、ソレノイドへの通電のオン・オフによってシーソー部材を回動させて触針を退避位置に移動したり、退避位置から測定位置に移動する機構のものが用いられていた。
【0005】
また、電動モータでカムを回転させ、カムの揚程量によってシーソー部材を回動させ、これによって触針のリトラクト動作を行わせる機構のリトラクト手段もあった(例えば、特許文献1参照。)。
【0006】
【特許文献1】
実開平5−75606号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のソレノイドを用いたリトラクト手段は、ソレノイドのオン・オフによって一定角度シーソー部材を回動させるもので、微細な位置決めが不可能で、途中での停止もできないという問題があった。また、手動でのリトラクト動作も行うことができなかった。
【0008】
また、特許文献1に記載の電動モータとカムを用いたリトラクト手段は、手動ツマミを取付けることができるが、途中での停止は電動でのみ可能で、電動モータへの励磁を解除した手動動作ではどの位置でも途中停止が行えるとは限らず、微細な位置決めには向いていなかった。
【0009】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、触針の逃がし速度と戻し速度を自由に制御することができ、触針の逃がし動作の途中停止ができて微細な位置決めが可能で、手動による逃がし動作も行うことのできるリトラクト機構を有する、表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機等に用いられる測定ヘッドを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、先端に触針を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記触針と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位を検出することによって前記触針の変位を検出する検出器と、前記触針を測定位置から所定の退避位置に移動するリトラクト手段と、を有する測定ヘッドにおいて、前記リトラクト手段は、電動モータと、該電動モータによって回転駆動される送りネジと、該送りネジに螺合するとともに回り止めによって回転を阻止され、前記送りネジの回転によって送りネジに沿って直線移動するナットと、該ナットに形成され、或いはナットに結合され、前記支点部材を挟んで前記触針と反対側で前記シーソー部材に当接する傾斜面を有する傾斜部材と、から構成され、前記傾斜面の直線移動によって前記シーソー部材を回動させ、前記触針を測定位置から所定の退避位置に移動させることを特徴としている。
【0011】
請求項1の発明によれば、測定ヘッドの触針のリトラクト手段は、触針が取付けられたシーソー部材に当接する傾斜面を電動モータ駆動の送りネジで直線移動させてシーソー部材を回動させるので、触針の逃がし速度と戻し速度を自由に制御することができ、触針の逃がし動作の途中停止ができて微細な位置決めが可能である。
【0012】
請求項2に記載の発明は、請求項1の発明において、前記電動モータの軸の一方側は前記送りネジに連結されるとともに、他方側には手動ツマミが設けられていることを特徴としている。
【0013】
請求項2の発明によれば、手動による触針のリトラクト動作を行うことができるとともに、途中停止が可能で、触針の微細な位置決めも可能である。
【0014】
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2の発明において、前記送りネジに沿って直線移動するナットのストローク端を検出するセンサが設けられていることを特徴としている。
【0015】
請求項3の発明によれば、傾斜面を有するナットのストローク端がセンサによって検出されるので、触針が取付けられたシーソー部材を稼動範囲以上に回動させることがなく、触針を損傷させることがない。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る測定ヘッドの好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
【0017】
図1は、本発明に係る測定ヘッドを用いた輪郭形状測定機を表わす正面図である。輪郭形状測定機100は、定盤101、定盤101上に立設されたコラム102、触針15 を有する測定ヘッド10、測定ヘッド10を測定方向に送る駆動部103、測定ヘッド10及び駆動部103を傾斜させる手動傾斜部104、測定ヘッド10と駆動部103及び手動傾斜部104を上下移動する電動上下部105等からなる測定部、測定動作を制御するとともに測定データを解析する管制部110、及び測定結果を記録するXYレコーダ120等で構成されている。
【0018】
被測定物であるワークWは定盤101上に載置される。測定は触針がワークWに接触した状態で測定ヘッド10全体が水平方向に直線送りされ、触針の変位量が測定ヘッド10内の検出器によって検出される。
【0019】
なお、ワークWの傾斜面を測定する場合は、手動傾斜部104で測定ヘッド10及び駆動部103を傾斜させて行う。検出データは管制部110に送られ、データ解析が行われて測定値が記録される。
【0020】
図2は、測定ヘッド10の構成を表わす側断面図である。測定ヘッド10は、図2に示すように、本体11、支点部材12、シーソー部材13、検出器である差動トランス14、触針15、付勢部材としての引張りバネ16、リトラクト手段20等から構成されている。
【0021】
シーソー部材13は、シーソーブロック13A、アーム13B、ピン13C、ウエイト13D、板バネ13Eからなっている。アーム13Bの先端には触針15が取付けられており、アーム13Bの基端部はシーソーブロック13Aに設けられた図示しない取付け穴に挿入され、板バネ13Eによって挿入方向に付勢されている。
【0022】
また、アーム13Bにはウエイト13Dが取付けられており、その取付け位置は調整可能となっている。シーソーブロック13Aのアーム13Bが取付けられた位置と反対側にピン13Cが取付けられている。
【0023】
支点部材12は、シーソーブロック13Aに固定された支点軸と本体11に取付けられた図示しないベアリングとからなり、シーソー部材13を回動自在に支持している。
【0024】
シーソー部材13は、本体11とシーソーブロック13Aとの間に張設された付勢部材としての引張りバネ16によって、先端が下方向に付勢され、触針15に測定圧が付与されるようになっている。この測定圧はアーム13Bに設けられたウエイト13Dの位置を移動することで調節される。即ちウエイト13Dをアーム13Bの先端側に移動すると測定圧が高くなり、基端側に移動すると低くなる。
【0025】
触針15の変位を検出する検出器としては差動トランス14が用いられている。差動トランス14のコイル14Aは本体11に設けられ、差動トランス14のコア14Bはシーソーブロック13Aに取付けられている。その取付け位置は、支点部材12を挟んで触針15と反対側になっているので、触針15の動きがコア14Bの動きに変換され、差動トランス14の電気信号として検出されるようになっている。
【0026】
本体11のシーソーブロック13Aの上部には下側ストッパ17と上側ストッパ18とが設けられ、シーソー部材13のシーソー動作のストローク端を規制するようになっている。
【0027】
測定ヘッド10には、ワークのセッティング時やワークの不連続面の測定時において触針を保護するために、触針を測定位置から所定の退避位置に移動し、又退避位置から測定位置に戻するリトラクト手段20が組込まれている。
【0028】
リトラクト手段20は、送りネジ21、送りネジ21に螺合するナット22、ナット22に形成された傾斜部材23、送りネジ21を駆動する電動モータ24等から構成されている。
【0029】
送りネジ21は、一端が図示しないベアリングで本体11に支持され、他端はカップリング29を介して減速器25の組込まれた電動モータ24の軸24Aに接続されている。電動モータ24の軸24Aの反対側には手動ツマミ26が取付けられている。
【0030】
ナット22には回り止め27が取付けられており、回り止め27は本体に形成された長穴に緩く嵌合しているので、送りネジ21を回転駆動することによりナット22は送りネジ21に沿って直線移動する。ナット22のストローク両端位置を検出するセンサとして、2個の近接スイッチ28、28が本体11に設けられ、回り止め27の近接で作動し、ストローク端を検出する。
【0031】
測定ヘッド10はカバー11Aで覆われているが、触針15、アーム13B、ウエイト13D、及び手動ツマミ26はカバー11Aの外側に露出している。
【0032】
次に、このように構成された測定ヘッド10の作用について説明する。触針15は図2に示す測定位置MでワークWの被測定面に接触し、測定ヘッド10全体が駆動部103によって測定方向(図のX−X方向)に送られ、触針15の先端でワークWの被測定面をトレースする。触針15の上下方向の変位量は、シーソー部材13によって差動トランス14のコア14Bの移動量に変換され、電気信号として出力される。この時の測定圧は引張りバネ16とウエイト13Dの調整により適宜の圧力に設定される。
【0033】
触針15を測定位置Mから退避位置Rにリトラクトする時は、電動モータ24又は手動ツマミ26で送りネジ21を回転させ、ナット22を図の左方向に移動させる。ナット22が図の左方向に移動されると、ナット22に形成された傾斜部材23の傾斜面23Aがシーソー部材13のピン13Cに接触し、ナット22がなおも送られるとピン13Cが傾斜面23Aに押されてシーソー部材13が回動し、図の左側の近接スイッチ28が回り止め27を検出した時点でナット22の送りが停止される。
【0034】
これにより触針15の先端は図3に示す退避位置Rまで退避する。送りネジ21が逆回転され、ナット22が図の右方向に戻されると触針15の先端は図2に示す測定位置Mに戻される。
【0035】
このように触針15のリトラクト手段20は、電動モータ24で駆動される送りネジ21で傾斜面23Aを移動させて行うので、触針15のリトラクトスピード及び戻しスピードは電動モータ24の回転速度を制御することにより任意のスピードに設定することができる。即ちリトラクトスピードを高速で行わせ、戻しスピードを低速で行わせるようにしたり、また、動作の初期を高速で、終期を低速にしたりすることも可能である。
【0036】
また、測定位置Mと退避位置Rとの間の任意の中間位置で停止させることも可能である。図4は触針15の先端を測定位置Mと退避位置Rとの間の中間位置Pで停止させた状態を表わしている。
【0037】
このように触針15の先端を任意の位置に微細位置決めできるので、従来不可能であった細穴の内面の測定が可能になった。
【0038】
また、リトラクト手段20は手動ツマミ26を有しているので、手動で任意の位置に触針先端をリトラクトさせたり、微細な位置決めをさせたりできるので、複雑な形状測定も容易に行うことができる。
【0039】
なお、前述の実施の形態では、傾斜部材23は1個の傾斜面23Aを有していたが、シーソー部材13のピン13Cを挟んで上下に2面の傾斜面23A、23Aを設けるようにしてもよい。この場合は、上側の傾斜面23Aで触針15を上方向にリトラクトし、下側の傾斜面23Aで触針15を下方向にリトラクトすることができる。下方向のリトラクトは、触針15を上向きに取付け、穴の上面を測定する時等に用いられる。
【0040】
また、触針15のリトラクトスピード及び戻しスピードは電動モータ24の回転速度を制御することにより設定される旨説明したが、送りネジ21のリードや傾斜面23Aの傾斜角の変更により速度設定するようにしてもよく、更に送りネジ21のリードや傾斜面23Aの傾斜角の変更と電動モータ24の回転速度の制御とを組み合わせてもよい。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の測定ヘッドによれば、触針のリトラクト手段は、電動モータ駆動の送りネジと送りネジで移動される傾斜面を有しており、傾斜面の直線運動で触針が取付けられたシーソー部材を回動させ、触針のリトラクト動作を行うので、触針の逃がし速度と戻し速度を自由に制御することができるとともに、触針の逃がし動作の途中停止ができ触針の微細な位置決めが可能である。
【0042】
また、電動モータに手動ツマミが設けられるので、手動による触針のリトラクト動作を行うことができるとともに、途中停止が可能で、触針の微細な手動位置決めも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の測定ヘッドを備えた輪郭形状測定機を表わす正面図
【図2】本発明の実施の形態に係る測定ヘッドの触針が測定位置に位置する状態を表わす側断面図
【図3】本発明の実施の形態に係る測定ヘッドの触針が退避位置にリトラクトされた状態を表わす側断面図
【図4】本発明の実施の形態に係る測定ヘッドの触針の途中停止状態を表わす側断面図
【符号の説明】
10…測定ヘッド、12…支点部材、13…シーソー部材、14…差動トランス(検出器)、15…触針、16…引張りバネ(付勢部材)、20…リトラクト手段、21…送りネジ、22…ナット、23…傾斜部材、23A…傾斜面、24…電動モータ、24A…軸、26…手動ツマミ、27…回り止め、28…近接スイッチ(センサ)、M…測定位置、P…中間位置、R…退避位置
Claims (3)
- 先端に触針を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記触針と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位を検出することによって前記触針の変位を検出する検出器と、前記触針を測定位置から所定の退避位置に移動するリトラクト手段と、を有する測定ヘッドにおいて、
前記リトラクト手段は、
電動モータと、
該電動モータによって回転駆動される送りネジと、
該送りネジに螺合するとともに回り止めによって回転を阻止され、前記送りネジの回転によって送りネジに沿って直線移動するナットと、
該ナットに形成され、或いはナットに結合され、前記支点部材を挟んで前記触針と反対側で前記シーソー部材に当接する傾斜面を有する傾斜部材と、から構成され、
前記傾斜面の直線移動によって前記シーソー部材を回動させ、前記触針を測定位置から所定の退避位置に移動させることを特徴とする測定ヘッド。 - 前記電動モータの軸の一方側は前記送りネジに連結されるとともに、他方側には手動ツマミが設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の測定ヘッド。
- 前記送りネジに沿って直線移動するナットのストローク端を検出するセンサが設けられていることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の測定ヘッド。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003154103A JP3834817B2 (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 測定ヘッド |
EP04253047A EP1482272A3 (en) | 2003-05-30 | 2004-05-24 | Measuring head |
US10/855,965 US6901678B2 (en) | 2003-05-30 | 2004-05-28 | Measuring head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003154103A JP3834817B2 (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 測定ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004354289A true JP2004354289A (ja) | 2004-12-16 |
JP3834817B2 JP3834817B2 (ja) | 2006-10-18 |
Family
ID=33128298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003154103A Expired - Fee Related JP3834817B2 (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 測定ヘッド |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6901678B2 (ja) |
EP (1) | EP1482272A3 (ja) |
JP (1) | JP3834817B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007024895A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定器を保持するための測定スタンド |
US20110083335A1 (en) * | 2009-10-13 | 2011-04-14 | Mitutoyo Corporation | Detector and measuring device |
JP2012189361A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2012225743A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2018163094A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社東京精密 | 検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
JP2020071117A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
CN112345320A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-02-09 | 江南大学 | 一种基于半自动探针台微控二维材料的方法 |
JP2021081444A (ja) * | 2021-02-26 | 2021-05-27 | 株式会社東京精密 | 検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
DE102016220706B4 (de) | 2015-10-22 | 2022-04-21 | Mitutoyo Corporation | Steuerverfahren für eine Formmessvorrichtung |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1299902B1 (it) * | 1998-03-13 | 2000-04-04 | Marposs Spa | Testa, apparecchiatura e metodo per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici. |
JP4568621B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2010-10-27 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機 |
US7243437B1 (en) * | 2006-03-13 | 2007-07-17 | Armando Estrada | Decoding device for double-sided keys |
FR2972526B1 (fr) * | 2011-03-10 | 2016-05-20 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de mesure de l'etat de surface d'une surface |
JP5823266B2 (ja) * | 2011-11-29 | 2015-11-25 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
CN102654395A (zh) * | 2012-04-26 | 2012-09-05 | 华中科技大学 | 一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法 |
JP6282517B2 (ja) * | 2014-04-09 | 2018-02-21 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
JP5846462B1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-01-20 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
CN104567792A (zh) * | 2015-01-28 | 2015-04-29 | 李彦荣 | 一种手持式智能化岩体结构面粗糙度系数测量仪 |
US11806867B2 (en) * | 2018-02-09 | 2023-11-07 | Konica Minolta, Inc. | Profiling apparatus |
KR102180526B1 (ko) * | 2019-08-16 | 2020-11-18 | 한양대학교 산학협력단 | 휴대용 표면 측정 장치 및 제어 방법 |
CN113418485B (zh) * | 2021-06-08 | 2023-10-13 | 深圳市大族数控科技股份有限公司 | 测厚装置以及测厚方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4187614A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-12 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Tracer head |
JPS58169001A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-05 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 2方向タツチセンサ |
DE3740070A1 (de) * | 1987-11-26 | 1989-06-08 | Zeiss Carl Fa | Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten |
JPH0236083A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-06 | Kiyouhou Seisakusho:Kk | パンタグラフ型ロボットアーム |
US5189806A (en) * | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
DE3843125A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
JPH0575606A (ja) | 1991-09-17 | 1993-03-26 | Nec Corp | 相手先アドレス集約登録方式 |
JP2525087Y2 (ja) | 1992-03-18 | 1997-02-05 | 株式会社東京精密 | 形状測定機用アーム退避機構 |
JP2860890B2 (ja) * | 1995-08-25 | 1999-02-24 | 株式会社電元社製作所 | 電動加圧式ガンの加圧駆動装置 |
JPH1125436A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Sony Tektronix Corp | ディスク検査装置のヘッド移動ステージ機構 |
IT1299902B1 (it) * | 1998-03-13 | 2000-04-04 | Marposs Spa | Testa, apparecchiatura e metodo per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici. |
JP3273026B2 (ja) * | 1998-09-02 | 2002-04-08 | 株式会社ミツトヨ | 表面追従型測定機 |
JP3992853B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2007-10-17 | 株式会社ミツトヨ | 表面追従型測定機 |
US6765334B1 (en) * | 1999-09-21 | 2004-07-20 | Seiko Instruments Inc. | Linear or pivotal motion mechanism using ultrasonic motor and electronic device equipped with linear or pivotal motion mechanism |
US6678964B2 (en) * | 2001-10-11 | 2004-01-20 | Robert Bosch Gmbh | Tracer device |
JP3967274B2 (ja) * | 2003-02-27 | 2007-08-29 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置 |
-
2003
- 2003-05-30 JP JP2003154103A patent/JP3834817B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-24 EP EP04253047A patent/EP1482272A3/en not_active Withdrawn
- 2004-05-28 US US10/855,965 patent/US6901678B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007024895A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定器を保持するための測定スタンド |
US20110083335A1 (en) * | 2009-10-13 | 2011-04-14 | Mitutoyo Corporation | Detector and measuring device |
US8302322B2 (en) * | 2009-10-13 | 2012-11-06 | Mitutoyo Corporation | Detector and measuring device |
JP2012189361A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
US8915124B2 (en) | 2011-03-09 | 2014-12-23 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring apparatus |
JP2012225743A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
DE102016220706B4 (de) | 2015-10-22 | 2022-04-21 | Mitutoyo Corporation | Steuerverfahren für eine Formmessvorrichtung |
JP2018163094A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社東京精密 | 検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
JP2020071117A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
JP7261560B2 (ja) | 2018-10-31 | 2023-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
CN112345320A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-02-09 | 江南大学 | 一种基于半自动探针台微控二维材料的方法 |
JP2021081444A (ja) * | 2021-02-26 | 2021-05-27 | 株式会社東京精密 | 検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
JP7050251B2 (ja) | 2021-02-26 | 2022-04-08 | 株式会社東京精密 | 検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050011078A1 (en) | 2005-01-20 |
EP1482272A2 (en) | 2004-12-01 |
JP3834817B2 (ja) | 2006-10-18 |
US6901678B2 (en) | 2005-06-07 |
EP1482272A3 (en) | 2008-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004354289A (ja) | 測定ヘッド | |
JP5485676B2 (ja) | 表面性状測定機 | |
JP5331645B2 (ja) | 検出器、及び測定機 | |
WO2006050653A1 (fr) | Fraiseuse electrique a bois | |
JP6093506B2 (ja) | 表面性状測定機および表面性状測定方法 | |
JP3928544B2 (ja) | ねじ特性の測定方法および測定装置 | |
JP2525087Y2 (ja) | 形状測定機用アーム退避機構 | |
JP2007260789A (ja) | 定寸検出方法及び定寸装置 | |
JP2017129461A (ja) | 形状測定機 | |
JP2004144682A (ja) | 変位測定器の測定子駆動機構 | |
KR100384357B1 (ko) | 측정 탐침 구동장치 | |
JPH045322B2 (ja) | ||
JP2001048436A (ja) | エレベータ上下終点スイッチ間隙測定装置 | |
CN212721311U (zh) | 一种小型电子设备检测装置 | |
SU1392343A1 (ru) | Устройство дл измерени размеров | |
JPS63100135U (ja) | ||
JPS63109956A (ja) | Xyテ−ブル | |
JPH02221807A (ja) | 寸法測定装置 | |
JP2004132764A (ja) | 表面形状測定装置用アーム退避機構 | |
JPH11214343A (ja) | 半導体基板のブラシ洗浄装置および洗浄方法 | |
JPH0559225U (ja) | 触針の位置決め装置 | |
JPS6266102A (ja) | 工作物下面の傾斜角を測定する装置 | |
JP3071629B2 (ja) | 自動寸法測定器 | |
JPH02221801A (ja) | 寸法測定機 | |
JPH0575605U (ja) | 表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050407 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060616 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060716 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130804 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |