KR100384357B1 - 측정 탐침 구동장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 측정 탐침의 구동 기구의 마모를 억제하고, 측정 탐침을 고속으로 구동시킬 수 있는 측정 탐침 구동장치를 제공하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 측정 탐침 구동장치(10)는, 프레임(11)과, 프레임(11)에 스윙이 자유롭게 설치되어 측정 탐침(20)을 지지하는 스윙 아암(12)을 구비하고 있고, 프레임(11)에 측정 탐침(20)의 선단을 안내하는 탐침 가이드(18)가 설치되어 있으며, 스윙 아암(12)의 요동 운동에 의해, 측정 탐침(20)은 탐침 가이드(18)의 겉표면으로부터 돌출되거나 후퇴한다.

Description

측정 탐침 구동장치 {APPARATUS FOR DRIVING A MEASURING PROBE}

본 발명은 칩 형상의 전자 부품을 측정하기 위한 측정 탐침(probe)을 구동시키는 측정 탐침 구동장치에 관한 것으로, 특히 정확하고도 고속으로 측정 탐침을 구동시킬 수 있는 측정 탐침 구동장치에 관한 것이다.

칩 형상의 전자 부품의 전기적 특성을 측정하기 위해, 전자 부품에 측정 탐침을 접촉시켜서 측정하는 방법이 행해지고 있다.

이러한 측정 탐침은, 측정 탐침 구동장치에 의해 구동된다. 측정 탐침 구동장치는, 캠 기구 혹은 에어 실린더 등의 구동부와, 측정 탐침과, 커다란 구동력을 받는 슬라이드 부시나 리니어 부시를 이용한 길다란 측정 탐침 가이드로 이루어지며, 이 구동부의 왕복 운동에 의해 측정 탐침을 구동시키고 있다.

상술한 바와 같이 구동부는 왕복 운동에 의해 측정 탐침을 구동시키기 때문에, 구동부 또는 가이드의 마모가 커진다. 또한 왕복 운동부의 중량 및 측정 탐침을 지지하는 가이드의 중량이나 구동부의 마찰력이 크며, 따라서 측정 탐침의 고속 구동이 어려운 문제도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 측정 탐침 구동장치의 일 실시의 형태를 도시하는 도면.

도 2는 턴테이블에 의해 반송되는 피가공재를 도시하는 평면도.

도 3은 탐침 가이드를 도시하는 확대도.

도 4는 측정 탐침 구동장치의 작용을 나타내는 도면.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 측정 탐침 구동장치 11 : 프레임

12 : 스윙 아암 14 : 센서

15 : 스토퍼 16 : 조정 나사

17 : 흡착판 18 : 탐침 가이드

19 : 전자 코일 20 : 측정 탐침

21 : 스프링 W : 피가공재

본 발명은 이러한 점을 고려해서 이루어진 것으로, 측정 탐침의 고속 구동을 실현할 수 있으며, 마모가 적은 측정 탐침 구동장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 프레임과, 프레임에 스윙이 자유롭게 설치되고 길고 가느다란 형상의 측정 탐침을 지지하는 스윙 아암과, 프레임의 측정 탐침 선단측에 설치되고 측정 탐침 선단을 안내하는 탐침 가이드와, 스윙 아암을 측정 탐침이 탐침 가이드의 겉표면으로부터 돌출된 돌출 위치와 측정 탐침이 탐침 가이드의 겉표면으로부터 후퇴한 후퇴 위치와의 사이에서 스윙시키는 구동 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치이다.

본 발명에 따르면, 구동 기구에 의해 스윙 아암을 스윙시키면, 측정 탐침이 탐침 가이드에 의해 안내된다. 스윙 아암의 스윙에 의해 측정 탐침이 탐침 가이드의 겉표면으로부터 돌출되거나 후퇴한다. 여기에서, 종래의 측정 탐침의 가이드를, 측정 탐침 선단측에 설치한 종래의 부시에 비해 두께가 얇은 탐침 가이드로 할 수 있기 때문에, 측정 탐침의 경량화를 실현할 수 있고, 이러한 경량화에 따라 스윙 아암의 중량을 매우 가볍게 할 수 있기 때문에, 측정의 고속화를 실현함과 동시에, 마모도 상당히 줄일 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시의 형태에 대해 설명한다. 도 1 내지 도 4는 본 발명에 따른 측정 탐침 구동장치의 일 실시의 형태를 도시하는 도면이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 칩 형상의 전자 부품(피가공재; W)이 턴테이블(22)에 의해 순차적으로 반송된다. 피가공재(W)가 턴테이블(22) 하방에 배치된 본 발명에 따른 측정 탐침 구동장치(10)까지 도달하면, 측정 탐침 구동장치(10)에 의해 구동된 2개의 측정 탐침(20)이 상방으로 돌출되고, 측정 탐침(20)의 선단이 피가공재(W)에 접촉하여, 피가공재(W)의 전기적 특성이 측정 탐침(20)에 의해 측정된다.

다음으로, 본 발명에 따른 측정 탐침 구동장치(10)에 대해 상세히 설명한다.도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 측정 탐침 구동장치(10)는, 프레임(11)과, 프레임(11)에 지지점(13)을 통해서 스윙이 자유롭게 부착된 스윙 아암(12)을 구비하며, 2개의 측정 탐침(20)은 스윙 아암(12)의 선단에 의해 지지되어 있다.

이 경우, 측정 탐침(20)은 스윙 아암(12)과 탐침 가이드(18) 사이의 적어도 일부가 유연성을 가지고 있어, 스윙 아암(12)의 회전 운동에 의해 발생하는 측정 탐침(20)에 대한 탐침 가이드(18)의 표면 방향의 위치 어긋남을 측정 탐침(20)이 휘어짐으로써 흡수할 수 있게 되어 있다. 또한 프레임(11)의 측정 탐침(20)의 선단측에, 측정 탐침(20)의 선단측을 안내하는 종래의 부시에 비해 두께가 얇은 탐침 가이드(18)가 설치되고, 이러한 탐침 가이드(18)에는 측정 탐침(20)의 선단측이 관통하는 가이드 구멍(18a)이 형성되어 있다.

스윙 아암(12)은 측정 탐침(20)이 탐침 가이드(18)의 겉표면에서부터 위쪽으로 돌출되는 돌출 위치와, 측정 탐침(20)이 탐침 가이드(18)의 겉표면에서부터 아래쪽으로 후퇴하는 후퇴 위치 사이에서 스윙할 수 있게 되어 있다.

이것을 도 1에 의해 설명하면, 프레임(11)에는 전자 코일(19)이 고정 부착되는 한편, 스윙 아암(12)에는 전자 코일(19)의 통전시에 전자 코일(19)에 흡착되는 흡착판(17)이 설치되며, 이들 전자 코일(19)에 통전되어 흡착판(17)이 흡착됨으로써, 스윙 아암(12)을 돌출 위치까지 구동시키는 구동 기구가 구성되어 있다. 이 경우, 흡착판(17)과 전자 코일(19)이 맞닿은 위치가 스윙 아암(12)의 돌출 위치가 된다.

또한 프레임(11)에는 조정 나사(16)가 부착되며, 이 조정 나사(16)에 의해 스토퍼(15)가 지지되어 있다. 그리고 조정 나사(16)의 바깥 둘레에는, 프레임(11)과 스윙 아암(12) 사이에 위치하는 스프링(21)이 압착 가능하게 부착되어 있다. 이러한 스프링(21)은 스윙 아암(12)을 후퇴 위치까지 구동시키는 구동 기구를 구성한다. 스윙 아암(12)의 후퇴 위치는 스토퍼(15)에 의해 규제되는데, 조정 나사(16)를 프레임(11)에 대해 꽉 조이거나 느슨하게 풀음으로써, 스토퍼(15)의 위치는 바뀔 수 있다.

더욱이, 도 1에 도시한 바와 같이 프레임(11)에는 스윙 아암(12)의 돌출 위치를 검출하는 센서(14)가 부착되어 있다.

이하, 이러한 구성으로 이루어진 본 실시의 형태의 작용에 대해 설명한다.

먼저, 턴테이블(22)에 의해 피가공재(W)가 측정 탐침 구동장치(10)의 위까지 도달한다. 이 경우, 전자 코일(19)은 무통전 상태로 되어 있고, 스윙 아암(12)은 스프링(21)의 작용에 의해 스토퍼(15)측으로 압착되어 스윙 아암(12)은 후퇴 위치에 있다. 즉, 측정 탐침(20)의 선단은 탐침 가이드(18)의 겉표면으로부터 돌출되지 않고, 또한 센서(14)는 스윙 아암(12)과 떨어져 있다(도 1 참조).

다음으로 피가공재(W)의 전기적 특성을 측정 탐침(20)에 의해 측정할 경우, 전자 코일(19)이 통전되고, 이로써 전자 코일(19)에 흡착판(17)이 흡착되어, 스윙 아암(12)은 돌출 위치, 즉 측정 탐침(20)의 선단이 탐침 가이드(18)의 겉표면으로부터 돌출되는 돌출 위치까지 스윙한다(도 4 참조).

이 경우, 측정 탐침(20)은 원호 궤도를 그리며 상방으로 이동하는데, 측정 탐침(20)의 선단은 탐침 가이드 구멍(18a)에 의해 안내되어 바로 위로 상승할 수있다. 또한 원호 궤도를 그리는 측정 탐침(20)의 가로 방향의 움직임은, 측정 탐침(20)의 휨에 의해 흡수된다.

스윙 아암(12)이 돌출 위치까지 오면, 센서(14)와 스윙 아암(12)이 맞닿아, 스윙 아암(12)의 돌출 위치를 센서(14)가 검출한다. 그 다음에, 센서(14)로부터의 검출 신호에 근거하여, 측정 탐침(20)의 피가공재(W)에 대한 측정 작업이 시작된다.

측정 탐침(20)에 의한 피가공재(W)에 대한 전기적 측정이 종료된 후, 전자 코일(19)은 무통전 상태가 되며, 스윙 아암(12)은 스프링(21)의 작용에 의해 후퇴 위치까지 되돌아온다.

그 후, 턴테이블(22)이 회전하여, 다음의 피가공재(W)가 측정 탐침 구동장치(10)의 상방에 도달한다.

이상과 같이 본 실시의 형태에 따르면, 스윙 아암(12)의 요동 운동에 의해, 거의 직선적으로 측정 탐침(20)을 탐침 가이드(18)의 겉표면으로부터 돌출시키거나 후퇴시키기 때문에, 탐침 가이드 구멍(18a)에 필요 이상의 힘이 가해지지 않으며, 또한 측정 탐침(20), 스윙 아암(12) 모두를 경량으로 할 수 있다. 따라서, 구동 기구의 마모를 억제시키고, 경량화 및 전자 코일의 고속 흡착을 이용하여, 고속으로 측정 탐침(20)을 구동시킬 수 있다.

또한, 탐침 가이드(18)의 재료가 슬라이드에 적합한 미끄럼재료일 경우에는 더욱 더 마모를 줄일 수 있다.

예를 들어, 탐침 가이드(18)를 미끄럼재료에 의해 구성할 경우, 이와 같은 미끄럼재료로서 종래의 금속 고체 축받이 또는 전기 절연용 플라스틱재를 사용할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 스윙 아암의 요동 운동에 의해 측정 탐침을 탐침 가이드의 겉표면으로부터 직선적으로 돌출시키거나 후퇴시킬 수 있기 때문에, 왕복 운동하는 구동 기구에 비해 가벼워지고, 구동 기구의 마모를 억제할 수 있다. 또한, 측정 탐침을 전자력에 의해 고속으로 구동시킬 수 있다.

Claims (7)

1. 프레임과,

   상기 프레임에 스윙이 자유롭게 설치되며, 길고 가느다란 형상의 측정 탐침을 지지하는 스윙 아암과,

   상기 프레임의 측정 탐침 선단측에 설치되며, 상기 측정 탐침 선단을 안내하는 탐침 가이드와,

   상기 측정 탐침이 탐침 가이드의 겉표면으로부터 돌출된 돌출 위치와 상기 측정 탐침이 탐침 가이드의 겉표면으로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 스윙아암을 스윙시키는 구동 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 구동 기구는 스윙 아암을 돌출 위치까지 스윙시키는 전자 코일과, 상기 스윙 아암을 후퇴 위치까지 스윙시키는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 스윙 아암의 후퇴 위치를 규제하는 스토퍼를 설치한 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 스토퍼는 프레임에 부착되며 조정 나사에 의해 위치 조정이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 스윙 아암의 돌출 위치를 검출하는 센서를 설치한 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.
6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 측정 탐침은 상기 스윙 아암과 탐침 가이드 사이의 적어도 일부가 유연성을 지닌 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.
7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 탐침 가이드는 미끄럼 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 측정 탐침 구동장치.