TW559665B - Driving apparatus of measuring probe - Google Patents

Description

559665 A7 B7 五、發明說明（1 ) 〔發明之技術領域〕 本發明係有關一種測定用探針驅動裝置，用以驅動 供測定晶片狀電子零件之測定用探針，尤指一種可正確且 高速地驅動測定用探針之測定用探針驅動裝置。 〔習用技術〕 按，爲了測定晶片狀電子零件的電氣特性，係將測定 用探針接觸於電子零件進行測定。 此種測定用探針，係由測定用探針驅動裝置所驅動。 測定用探針驅動裝置，係由凸輪機構或汽缸等之驅動部、 測定用探針、以及使用承受大驅動力之滑動套筒或線性套 筒的測定用探針之長導件所構成，藉由此一驅動部之往復 運動，驅動測定用探針。 〔發明之解決課題〕 如上所述，驅動部係藉由往復運動驅動測定用探針， 因此，驅動部或導件之摩耗大。又，往復動部重量及支持 測定用探針之導件的重量或驅動部的摩擦力也大，因此會 有測定用探針高速驅動困難之問題。 本發明係考慮此等現狀開發而成者，其目的係在提供 一種可實現測定用探針之高速驅動，且摩耗少之測定用探 針驅動裝置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） -4 - i — r---^---------------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559665 A7 B7 五、發明說明（2 ) 〔課題之解決手段〕 本發明係一種測定用探針驅動裝置，其特徵係在具備 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :機架；擺動臂，擺動自如地設於上述機架，保持有細長 狀測定用探針；探針導件，設於上述機架之測定用探針前 端側’供引導測定用探針前端；及驅動機構，將上述擺動 臂擺動於上述測定用探針自上述探針導件之外表面突出的 突出位置與上述測定用探針自上述探針導件之外表面後退 的後退位置之間。 根據本發明，若以驅動機構將擺動臂擺動，測定用探 針將會由探針導件所引導。藉由擺動臂之擺動，測定用探 針會自探針導件之外表面突出或後退。此處，可將習用之 測定用探針的導件，形成爲與測定用探針前端側所設之習 用套筒相較，厚度較薄之探針導件，因此可實現測定用探 針之輕量化，伴隨著此一輕量化，也可將擺動臂重量形成 爲極度輕量，不僅可實現測定之高速化，同時可大幅降低 摩耗。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔發明之實施形態〕 以下，茲佐以圖面將本發明之實施形態說明之。圖1 〜圖4中所示的是，本發明測定用探針驅動裝置的一個實 施形態。 如圖2所示，晶片狀電子零件（工件）W係依序運送 至旋轉枱2 2。當工作W到達配置於旋轉枱2 2下方之本 發明測定用探針驅動裝置1 0時，藉由測定用探針驅動裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5 - 559665 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3 ) 置1 0所驅動之兩支測定用探針2 0會朝上方突出，而以 其前端與工件W接觸，而由測定用探針2 0進行工件W電 氣特性之測定。 其次，茲就本發明之測定用探針驅動裝置1 〇詳述之 。如圖1〜圖3所示，測定用探針驅動裝置1 0備有··一 機架1 1，以及一介以支點擺動自如地安裝於該機架1 1 上之擺動臂1 2 ;兩支之測定用探針2 0，係保持於擺動 臂1 2之前端。 又，測定用探針2 0在擺動臂1 2與探針導件1 8之 間’至少一部份具有柔軟性；由擺動臂1 2之轉動所產生 的測定用探針2 0在探針導件1 8面方向的位置偏移，係 可由測定用探針2 0之撓曲來吸收。又，機架1 1之測定 用探針2 0的前端側，設有用以引導測定用探針2 0前端 側之薄型探針導件1 8，此探針導件1 8之厚度，係較習 用套筒爲薄。又，此探針導件2 0之前端側，形成有貫通 狀之引導孔1 8 a。 擺動臂1 2係可在測定用探針2 0自探針導件1 8之 外表面朝上方突出的突出位置，與測定用探針2 0自探針 導件1 8之外表面朝下方後退的後退位置之間作擺動。 將此一形態以圖1說明之。機架1 1上固定有電磁線 圈1 9，另一方面，擺動臂1 2上設有在電磁線圈1 9通 電時會吸附於電磁線圈1 9之吸附板1 7，藉由對此等電 磁線圈1 9通電而吸附該吸附板1 7，將擺動臂1 2驅動 至突出位置，而構成驅動機構。此一場合下，吸附板1 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6 - -----Π--------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 559665 A7 B7 五、發明說明（4 ) 與電磁線圈1 9抵接之位置，即是擺動臂1 2之突出位置 0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，機架1 1上安裝有調整螺釘1 6，以該調整螺釘 1 6保持擋止件1 5。又，調整螺釘1 6之外周，壓縮自 如地安裝有位於機架1 1與擺動臂1 2之間的彈簧2 1。 此一彈簧2 1構成將擺動臂1 2驅動至後退位置之驅動機 構。擺動臂1 2之後退位置係由擋止件1 5所規制，藉由 將調整螺釘1 6相對機架1 1鎖緊或旋鬆，可改變擋止件 1 5之位置。 再者，如圖1所示，機架1 1上安裝有用以檢測擺動 臂1 2之突出位置的感測器1 4。 其次，茲就具有此一構成之本實施形態的作用說明之 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先，藉由旋轉枱2 2，工件W達於測定用探針驅動 裝置1 0之上方。此一場合下，電磁線圈1 9係無通電狀 態，擺動臂1 2係藉彈簧2 1之作用被壓向擋止件1 5側 ，而處於後退位置。亦即，測定用探針2 0之前端並未自 探針導件1 8之外表面突出，又，感測器1 4係與擺動臂 1 2相隔（參見圖1 )。 其次，以測定用探針2 0測定工件W之電氣特性的場 合，電磁線圈1 9係被通電，藉此，吸附板1 7將會吸附 於電磁線圈1 7，擺動臂1 2將會擺動至突出位置，亦即 測定用探針2 0之前端自探針導件1 8之外表面突出的突 出位置（參見圖4 )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -7 - 559665 A7 B7 五、發明說明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此一場合下，測定用探針2 0雖係循圓弧軌跡朝上方 移動，但其前端部受探針引導孔1 8 a之引導而可朝正上 方上昇。又，循圓弧軌道移動之測定用探針的橫向移動， 係可由測定用探針2 0之撓曲所吸收。 當擺動臂1 2來到突出位置，感測器1 4與擺動臂 1 2會抵接，而由該感測器1 4檢測出擺動臂1 2之突出 位置。其次，根據來自感測器1 4之檢測信號，開始測定 用探針2 0對於工件W之測定作業。 利用測定用探針2 0之對於工件W的電氣測定終了後 ，電磁線圈1 9係成爲無通電狀態，而擺動臂1 2係藉彈 簧2 1之作用回到後退位置。 而後，旋轉枱2 2迴轉，次一工作W達於測定用探針 驅動裝置1 0之上方。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上所述，根據本實施形態，藉由擺動臂1 2之擺動 運動，將測定用探針2 0大致直線地自探針導件1 8之外 表面突出或後退，因此，對於探針引導孔1 8 a不會施加 多餘的力量，此外，還可使測定用探針2 0、擺動臂1 2 均輕量化。是以，可抑制驅動機構之摩耗、達成輕量化， 並利用電磁線圈之高速吸附以高速驅動測定用探針2 〇。 又’右將探針導件1 8之材料使用適於滑動之滑動材 料的話，更可減少摩耗。 例如，將探針導件1 8以滑動材料構成之場合，作爲 此一滑動材料，可使用習用之金屬固體軸承或電絕緣用塑 膠材料。 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 559665 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6 ) 〔發明之效果〕 如上所述，根據本發明，可藉擺動臂之擺動運動令測 定用探針自探針導件之外表面直線地突出或後退，因此， 與往復動式驅動機構相較較爲輕量，且可抑制驅動機構之 摩耗。又，還可以電磁力高速地驅動測定用探針。 〔圖式簡單說明〕 圖1係本發明測定用探針驅動裝置的一個實施形態圖 〇 圖2係由旋轉枱所運送之工件的平面圖。 圖3係探針導件的擴大圖。 圖4係測定用探針驅動裝置的作用表示圖。 〔元件編號說明〕 10 測定用探針驅動裝置 11 機架 1 2 擺動臂 14 感測器 15 擋止件 16 調整螺釘 17 吸附板 18 探針導件 19 電磁線圈 2 0 測定用探針 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •9- -^1 ^1 ϋ |_1 ϋ 1^1 βϋ ϋ · ϋ ·1 iai ·1 I ^ tm. · I mb I I I —Bi ϋ ϋ 1 ϋ ϋ a^i ϋ «ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ι 言 矣r (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ， 559665 五、發明說明σ ) 2 1 彈簧 W 工件 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ---τ 丨---------------訂--------- 線I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） _ 10 -

Claims (1)

1. A8B8C8D8 559665 六、申請專利範圍 1 · 一種測定用探針驅動裝置，其特徵係在具備： 機架； 擺動臂，擺動自如地設於上述機架，保持有細長狀測 定用探針； 探針導件，設於上述機架之測定用探針前端側，供引 導測定用探針前端；及 驅動機構，將上述擺動臂擺動於上述測定用探針自上 述探針導件之外表面突出的突出位置與上述測定用探針自 上述探針導件之外表面後退的後退位置之間。 2 ·如申請專利範圍第1項之測定用探針驅動裝置， 其中該驅動機構具有將上述擺動臂擺動至突出位置之電磁 線II ’以及將該擺動臂擺動至後退位置之彈簧。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之測定用探針驅 動裝置’其中設有規制擺動臂的後退位置之擋止件。 4 ·如申請專利範圍第3項之測定用探針驅動裝置， 其中該擋止件係安裝於機架，藉由調整螺釘其位置係可調 整。 5 ·如申請專利範圍第1項或第2項之測定用探針驅 動裝置’其中設有檢測擺動臂的突出位置之感測器。 6 ·如申請專利範圍第1項或第2項之測定用探針驅 動裝置’其中該測定用探針之在擺動臂與探針導件間之至 少一部份係具有柔軟性。 7 ·如申請專利範圍第1項或第2項之測定用探針驅 動裝置，其中該探針導件係由滑動材所構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）-11 - ----4---^---------------訂---------線« (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製