JP2001249167A - 測定プローブ駆動装置 - Google Patents

測定プローブ駆動装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定プローブの駆動機構の摩耗を抑え、かつ
測定プローブを高速で駆動させることができる測定プロ
ーブの駆動装置を提供する。 【解決手段】 測定プローブ駆動装置１０は、フレーム
１１と、フレーム１１に揺動自在に設けられ測定プロー
ブ２０を保持する揺動アーム１２とを備えている。フレ
ーム１１に測定プローブ２０の先端を案内するプローブ
ガイド１８が設けられている。揺動アーム１２の揺動運
動により、測定プローブ２０はプローブガイド１８の外
表面から突出したり、後退する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はチップ状の電子部品
の測定を行うための測定プローブを駆動させる測定プロ
ーブ駆動装置に係り、とりわけ正確かつ高速で測定プロ
ーブを駆動させることができる測定プローブ駆動装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】チップ状の電子部品の電気的特性を測定
するため、電子部品に測定プローブを接触させて測定す
ることが行われている。
【０００３】このような測定プローブは、測定プローブ
駆動装置により駆動される。測定プローブ駆動装置は、
カム機構或いはエアシリンダー等の駆動部と、測定プロ
ーブと、大きな駆動力を受けるすべりブシュやリニアブ
シュを用いた測定プローブの長いガイドとからなり、こ
の駆動部の往復運動により測定プローブを駆動させてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように駆動部は
往復運動により測定プローブを駆動させるため、駆動部
やガイドの摩耗が大きくなっている。また往復動部重量
および測定プローブを支持するガイドの重量や駆動部の
摩擦力が大きく、従って測定プローブの高速駆動がむず
かしいという問題もある。
【０００５】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、測定プローブの高速駆動を実現することが
でき、かつ摩耗の少ない測定プローブ駆動装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、フレームと、
フレームに揺動自在に設けられ、細長状測定プローブを
保持する揺動アームと、フレームの測定プローブ先端側
に設けられ、測定プローブ先端を案内するプローブガイ
ドと、揺動アームを測定プローブがプローブガイドの外
表面から突出する突出位置と、測定プローブがプローブ
ガイドの外表面から後退する後退位置との間で揺動させ
る駆動機構と、を備えたことを特徴とする測定プローブ
駆動装置である。
【０００７】本発明によれば、駆動機構により揺動アー
ムを揺動させると、測定プローブがプローブガイドによ
り案内される。揺動アームの揺動により測定プローブが
プローブガイドの外表面から突出したり後退したりす
る。ここにおいて、従来の測定プローブのガイドを、測
定プローブ先端側に設けた従来のブシュに比べ厚さの薄
いプローブガイドとすることができるため、測定プロー
ブの軽量化が実現でき、この軽量化に伴い揺動アーム重
量を極めて計量にすることができるから、測定の高速化
を実現できると共に摩耗も極めて低減できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図４は本発明によ
る測定プローブ駆動装置の一実施の形態を示す図であ
る。
【０００９】図２に示すように、チップ状の電子部品
（ワーク）Ｗがターンテーブル２２により順次搬送され
る。ワークＷがターンテーブル２２下方に配置された本
発明による測定プローブ駆動装置１０まで達すると、測
定プローブ駆動装置１０により駆動された２本の測定プ
ローブ２０が上方へ突出し、測定プローブ２０の先端が
ワークＷに接触して、ワークＷの電気的特性が測定プロ
ーブ２０により行われる。
【００１０】次に本発明による測定プローブ駆動装置１
０につき、詳述する。図１乃至図３に示すように、測定
プローブ駆動装置１０は、フレーム１１と、フレーム１
１に支点１３を介して揺動自在に取り付けられた揺動ア
ーム１２とを備え、２本の測定プローブ２０は揺動アー
ム１２の先端に保持されている。
【００１１】この場合、測定プローブ２０は揺動アーム
１２とプローブガイド１８との間の少なくとも一部が柔
軟性を有しており、揺動アーム１２の回動により発生す
る測定プローブ２０に対する、プローブガイド１８の面
方向の位置ずれを測定プローブ２０の撓みにより吸収す
ることができるようになっている。またフレーム１１の
測定プローブ２０の先端側に、測定プローブ２０の先端
側を案内する従来のブシュに比べ厚さの薄いプローブガ
イド１８が設けられ、このプローブガイド１８には測定
プローブ２０の先端側が貫通するガイド穴１８ａが形成
されている。
【００１２】揺動アーム１２は測定プローブ２０がプロ
ーブガイド１８の外表面から上方へ突出する突出位置
と、測定プローブ２０がプローブガイド１８の外表面か
ら下方へ後退する後退位置との間で揺動可能となってい
る。
【００１３】このことを図１により説明するとフレーム
１１には電磁コイル１９が固着され、一方、揺動アーム
１２には電磁コイル１９の通電時に電磁コイル１９に吸
着される吸着板１７が設けられ、これら電磁コイル１９
に通電され吸着板１７が吸着されるとにより、揺動アー
ム１２を突出位置まで駆動する駆動機構が構成されてい
る。この場合、吸着板１７と電磁コイル１９とが当接し
た位置が、揺動アーム１２の突出位置となる。
【００１４】またフレーム１１には、調整ねじ１６が取
り付けられ、この調整ねじ１６によりストッパ１５が保
持されている。また調整ねじ１６の外周には、フレーム
１１と揺動アーム１２との間に位置するスプリング２１
が押付け勝手に取り付けられている。このスプリング２
１は揺動アーム１２を後退位置まで駆動する駆動機構を
構成する。揺動アーム１２の後退位置はストッパ１５に
よって規制されるが、調整ねじ１６をフレーム１１に対
して締め込んだり緩めることにより、ストッパ１５の位
置は可変となっている。
【００１５】さらに図１に示すように、フレーム１１に
は揺動アーム１２の突出位置を検出するセンサ１４が取
り付けられている。
【００１６】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
【００１７】まずターンテーブル２２によりワークＷが
測定プローブ駆動装置１０の上方まで達する。この場
合、電磁コイル１９は無通電状態となっており、揺動ア
ーム１２はスプリング２１の作用によりストッパ１５側
へ押付けられ揺動アーム１２は後退位置にある。すなわ
ち測定プローブ２０の先端はプローブガイド１８の外表
面から突出せず、またセンサ１４は揺動アーム１２と離
れている（図１参照）。
【００１８】次にワークＷの電気的特性を測定プローブ
２０により測定する場合、電磁コイル１９が通電され、
これにより電磁コイル１９に吸着板１７が吸着されて、
揺動アーム１２は突出位置、すなわち測定プローブ２０
の先端がプローブガイド１８の外表面から突出する突出
位置まで揺動する（図４参照）。
【００１９】この場合、測定プローブ２０は円弧軌道を
描いて上方へ移動するが、測定プローブ２０の先端はプ
ローブガイド穴１８ａにより案内されて真上へ上昇する
ことができる。また、円弧軌道を描く測定プローブ２０
の横方向の動きは、測定プローブ２０の撓みにより吸収
される。
【００２０】揺動アーム１２が突出位置までくると、セ
ンサ１４と揺動アーム１２とが当接し、揺動アーム１２
の突出位置をセンサ１４が検出する。次にセンサ１４か
らの検出信号に基づいて、測定プローブ２０のワークＷ
に対する測定作業が開始される。
【００２１】測定プローブ２０によるワークＷに対する
電気的測定が終了した後、電磁コイル１９は無通電状態
となり、揺動アーム１２はスプリング２１の作用により
後退位置まで戻る。
【００２２】その後ターンテーブル２２が回転し、次の
ワークＷが測定プローブ駆動装置１０の上方へ達する。
【００２３】以上のように本実施の形態によれば、揺動
アーム１２の揺動運動により、ほぼ直線的に測定プロー
ブ２０をプローブガイド１８の外表面から突出させたり
後退させたりするので、プローブガイド穴１８ａに余分
な力が加わらず、又測定プローブ２０，揺動アーム１２
とも軽量とすることができる。従って駆動機構の摩耗を
抑え、軽量化かつ電磁コイルの高速吸着を利用して、高
速で測定プローブ２０を駆動させることができる。
【００２４】また、プローブガイド１８の材料が摺動に
適した摺動材であれば更に摩耗を低減させることができ
る。
【００２５】例えば、プローブガイド１８を摺動材によ
り構成する場合、このような摺動材として従来の金属固
体軸受または電気絶縁用のプラスチック材を用いること
ができる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、揺動アー
ムの揺動運動により測定プローブをプローブガイドの外
表面から直線的に突出させたり後退させることができる
ので、往復動する駆動機構に比べて軽量となり、駆動機
構の摩耗を抑えることができる。また測定プローブを電
磁力により高速で駆動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による測定プローブ駆動装置の一実施の
形態を示す図。
【図２】ターンテーブルにより搬送されるワークを示す
平面図。
【図３】プローブガイドを示す拡大図。
【図４】測定プローブ駆動装置の作用を示す図。
【符号の説明】
１０ 測定プローブ駆動装置 １１ フレーム １２ 揺動アーム １４ センサ １５ ストッパ １６ 調整ねじ １７ 吸着板 １８ プローブガイド １９ 電磁コイル ２０ 測定プローブ ２１ スプリング Ｗ ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 千 葉 實 東京都大田区北馬込二丁目28番１号 株式 会社東京ウエルズ内 Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AB01 AB03 AB04 AB05 AB06 AB07 AC01 AC02 AC06 AE22 AF06 2G032 AB01 AE01 AF04 AK01 2G036 AA19 BB12 CA03 9A001 KK37 LZ05

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】フレームと、 フレームに揺動自在に設けられ、細長状測定プローブを
    保持する揺動アームと、 フレームの測定プローブ先端側に設けられ、測定プロー
    ブ先端を案内するプローブガイドと、 揺動アームを測定プローブがプローブガイドの外表面か
    ら突出する突出位置と、測定プローブがプローブガイド
    の外表面から後退する後退位置との間で揺動させる駆動
    機構と、を備えたことを特徴とする測定プローブ駆動装
    置。
  2. 【請求項２】駆動機構は、揺動アームを突出位置まで揺
    動させる電磁コイルと、揺動アームを後退位置まで揺動
    させるスプリングとを有することを特徴とする請求項１
    記載の測定プローブ駆動装置。
  3. 【請求項３】揺動アームの後退位置を規制するストッパ
    を設けたことを特徴とする請求項１または２のいずれか
    に記載の測定プローブ駆動装置。
  4. 【請求項４】ストッパはフレームに取り付けられ、調整
    ねじによりその位置調整が可能となっていることを特徴
    とする請求項３記載の測定プローブ駆動装置。
  5. 【請求項５】揺動アームの突出位置を検出するセンサを
    設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記
    載の測定プローブ駆動装置。
  6. 【請求項６】測定プローブは、揺動アームとプローブガ
    イドとの間の少なくとも一部が柔軟性を有していること
    を特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載の測定プロ
    ーブ駆動装置。
  7. 【請求項７】プローブガイドは摺動材からなることを特
    徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の測定プロー
    ブ駆動装置。
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