JPH03165272A - フライング・プローブ・ヘッド - Google Patents
フライング・プローブ・ヘッドInfo
- Publication number
- JPH03165272A JPH03165272A JP30562189A JP30562189A JPH03165272A JP H03165272 A JPH03165272 A JP H03165272A JP 30562189 A JP30562189 A JP 30562189A JP 30562189 A JP30562189 A JP 30562189A JP H03165272 A JPH03165272 A JP H03165272A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving coil
- magnetic circuit
- base
- inspected
- slide rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフライング・プローブ・ヘッド、特に半導体を
実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・プロ
ーブ・ヘッドに間する。
実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・プロ
ーブ・ヘッドに間する。
従来のフライング・プローブ・ヘッドは、一端にプロー
ブを取り付け、他端には永久磁石とヨークからなる磁気
回路の空隙内を磁束と直角な面内で直線運動するムービ
ングコイルを有し、フライング・プローブ・ヘッド全体
を保持するスライド・レールを含んで構成される。
ブを取り付け、他端には永久磁石とヨークからなる磁気
回路の空隙内を磁束と直角な面内で直線運動するムービ
ングコイルを有し、フライング・プローブ・ヘッド全体
を保持するスライド・レールを含んで構成される。
次に従来のフライング・プローブ・ヘッドについて図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
第２図は従来のフライング・プローブ・ヘッドの一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
フライング・プローブ・ヘッド本体１０１の一端に」よ
プローブ１０３、他端には箱型のムービングコイル１０
４が取り付けられている。
プローブ１０３、他端には箱型のムービングコイル１０
４が取り付けられている。
ヘッド本体１０１はスライド・レール１０２に従い図中
矢印Ａのように直線運動し、被検査物（多層配線基板〉
１０９のパッド１００に当たる。
矢印Ａのように直線運動し、被検査物（多層配線基板〉
１０９のパッド１００に当たる。
ヨーク１５２はＥの字の右側を上にした形状で、永久磁
石１５１はその両側の突起の上部の内側に位置して磁気
回路１０５を構成している。
石１５１はその両側の突起の上部の内側に位置して磁気
回路１０５を構成している。
箱型のムービングコイル１０４はヨーク１５２の中央の
突起を取り巻いていて、その両側のコイルは磁気回路１
０５の空隙内にあるため、ムービングコイル１０４に電
流を流すことによりヘッド本体１０１を駆動出来る。
突起を取り巻いていて、その両側のコイルは磁気回路１
０５の空隙内にあるため、ムービングコイル１０４に電
流を流すことによりヘッド本体１０１を駆動出来る。
上下速度を大きくするとパッド１００へ当たる衝撃が大
きくなりパッド１００が損傷するため、平行バネ１１１
を設けである。しかし、平行バネ１１１の力の強さは通
常固定でありパッド１００の損傷の度合を調整すること
は困難であった。
きくなりパッド１００が損傷するため、平行バネ１１１
を設けである。しかし、平行バネ１１１の力の強さは通
常固定でありパッド１００の損傷の度合を調整すること
は困難であった。
上述した従来のフライング・プローブ・ヘッドは、上下
速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、損傷
の度合を調整することが困難であるという欠点があった
。
速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、損傷
の度合を調整することが困難であるという欠点があった
。
本発明のフライング・プローブ・ヘッドは、−端にプロ
ーブを取り付け他端に磁気回路の空隙内にあって磁束と
直角な面を揺動面とする揺動アームと、揺動の中心に位
置する揺動軸と、揺動中心を扇の要とする略扇型に前記
揺動面に前記揺動面で渦巻状に巻いた第一のムービング
コイルと、前記第一のムービングコイルの位置を検出す
る位置検出器と、前記第一のムービングコイルに磁束を
与える第一の磁気回路と、前記揺動中心の軸受けと前記
第一の磁気回路とを保持する第一のベースと、前記第一
のベースを支えるスライド・レールと、前記第一のベー
スに設けられる第二のムービングコイルと、前記第二の
ムービングコイルに磁束を与える第二の磁束回路と、前
記スライド・レールと第二の磁気回路とを保持する第二
のベースとを含んで構成される。
ーブを取り付け他端に磁気回路の空隙内にあって磁束と
直角な面を揺動面とする揺動アームと、揺動の中心に位
置する揺動軸と、揺動中心を扇の要とする略扇型に前記
揺動面に前記揺動面で渦巻状に巻いた第一のムービング
コイルと、前記第一のムービングコイルの位置を検出す
る位置検出器と、前記第一のムービングコイルに磁束を
与える第一の磁気回路と、前記揺動中心の軸受けと前記
第一の磁気回路とを保持する第一のベースと、前記第一
のベースを支えるスライド・レールと、前記第一のベー
スに設けられる第二のムービングコイルと、前記第二の
ムービングコイルに磁束を与える第二の磁束回路と、前
記スライド・レールと第二の磁気回路とを保持する第二
のベースとを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示すフライング・プローブ・ヘッドにおいて、
揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのように揺
動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で検
出する。
揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのように揺
動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で検
出する。
揺動アーム１の一端にはプローブ３、揺動軸２を挟んで
他端には第一のムービングコイル４１が取り付けられて
いる。磁石５１は第一のムービングコイル４１の両側面
に位置し、ヨーク６１が各々の側の磁石５１を保持して
、第一の磁気回路５５を構成する。
他端には第一のムービングコイル４１が取り付けられて
いる。磁石５１は第一のムービングコイル４１の両側面
に位置し、ヨーク６１が各々の側の磁石５１を保持して
、第一の磁気回路５５を構成する。
揺動軸２と磁気回路５５（ヨーク６１）とを保持してい
るのが第一のベース６である。
るのが第一のベース６である。
第一のベース６は第二のムービングコイル４２を有しス
ライド・レール７によって第二のベース８に取り付けで
ある。
ライド・レール７によって第二のベース８に取り付けで
ある。
磁石５２は第二のムービングコイル４２の両側面に位置
し、Ｅ型のヨーク６２が各々の側の磁石５２を保持して
、第二の磁気回路５６を構成する。
し、Ｅ型のヨーク６２が各々の側の磁石５２を保持して
、第二の磁気回路５６を構成する。
第一のムービングコイル４１に流す電流は位置検出器５
により知り得た位置を保持する様、制御する。
により知り得た位置を保持する様、制御する。
第二のムービングコイル４２はスライド・レール７に従
い図中矢印のように直接運動し、被検査物（多層配線基
板）９のパッド１０に当たる。
い図中矢印のように直接運動し、被検査物（多層配線基
板）９のパッド１０に当たる。
この時、揺動アーム１は第一のムービングコイル４１に
流す電流は位置検出器５により知り得た位置を保持され
ており、この保持力の強さが第２の従来例に示した平行
バネ１１１の強さに相当する。
流す電流は位置検出器５により知り得た位置を保持され
ており、この保持力の強さが第２の従来例に示した平行
バネ１１１の強さに相当する。
本発明のフライング・プローブ・ヘッドは、プローブを
取り付けた揺動アームと、この揺動アームに保持力を与
える機構を有するため、上下速度を大きくしたさいにも
被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調整す
ることが可能であるという効果がある。
取り付けた揺動アームと、この揺動アームに保持力を与
える機構を有するため、上下速度を大きくしたさいにも
被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調整す
ることが可能であるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
−例の斜視図である。 １・・揺動アーム、２・・・揺動軸、３，１０３・・・
１０−ブ、４１，４２，１０４・・・ムービングコイル
、５・・・位置検出器、５５，５６．１０５・・・磁気
回路、６．８・・・ベース、７，１０２・・・スライド
レール、９，１０９・・・被検査物（多層配線基板）、
５１．５２，１５１・・・磁石、６１，６２．１５２・
・・ヨーク、１０，１００・・・パッド、１０１・・・
ヘッド本体、１１１・・・平行バネ。
−例の斜視図である。 １・・揺動アーム、２・・・揺動軸、３，１０３・・・
１０−ブ、４１，４２，１０４・・・ムービングコイル
、５・・・位置検出器、５５，５６．１０５・・・磁気
回路、６．８・・・ベース、７，１０２・・・スライド
レール、９，１０９・・・被検査物（多層配線基板）、
５１．５２，１５１・・・磁石、６１，６２．１５２・
・・ヨーク、１０，１００・・・パッド、１０１・・・
ヘッド本体、１１１・・・平行バネ。
Claims (1)
- 一端にプローブを取り付け他端に磁気回路の空隙内にあ
って磁束と直角な面を揺動面とする揺動アームと、揺動
の中心に位置する揺動軸と、揺動中心を扇の要とする略
扇型に前記揺動面に前記揺動面で渦巻状に巻いた第一の
ムービングコイルと、前記第一のムービングコイルの位
置を検出する位置検出器と、前記第一のムービングコイ
ルに磁束を与える第一の磁気回路と、前記揺動中心の軸
受けと前記第一の磁気回路とを保持する第一のベースと
、前記第一のベースを支えるスライド・レールと、前記
第一のベースに設けられる第二のムービングコイルと、
前記第二のムービングコイルに磁束を与える第二の磁束
回路と、前記スライド・レールと第二の磁気回路とを保
持する第二のベースとを含むことを特徴とするフライン
グ・プローブ・ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30562189A JP2881865B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | フライング・プローブ・ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30562189A JP2881865B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | フライング・プローブ・ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165272A true JPH03165272A (ja) | 1991-07-17 |
| JP2881865B2 JP2881865B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=17947345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30562189A Expired - Lifetime JP2881865B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | フライング・プローブ・ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881865B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5450766A (en) * | 1991-07-22 | 1995-09-19 | Intest Corporation | Test head manipulator |
| JP2001249167A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Tokyo Weld Co Ltd | 測定プローブ駆動装置 |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30562189A patent/JP2881865B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5450766A (en) * | 1991-07-22 | 1995-09-19 | Intest Corporation | Test head manipulator |
| JP2001249167A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Tokyo Weld Co Ltd | 測定プローブ駆動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2881865B2 (ja) | 1999-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6028069B2 (ja) | 対象位置決めする装置 | |
| JPH08327707A (ja) | 小型プローブ位置決めアクチュエータ | |
| JP3767273B2 (ja) | 回転振動試験機 | |
| JP2001124550A (ja) | 傾斜センサ | |
| JPS6348149A (ja) | 送り装置 | |
| JP2005156976A5 (ja) | ||
| JPH03165272A (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JP3008436B2 (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JP2881860B2 (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JPS6146901B2 (ja) | ||
| JPH08322235A (ja) | プローブ位置決めアクチュエータ | |
| JPH01231649A (ja) | 回転駆動装置 | |
| JP4581641B2 (ja) | 平面ステージ | |
| JPS60156584A (ja) | ２軸振動発生機 | |
| JPH03165271A (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JPH1055953A (ja) | 走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置 | |
| JPH0265647A (ja) | 磁気ディスク装置のボイスコイルモータ | |
| JPH038177A (ja) | リニアアクチュエータ機構 | |
| JPS6389047A (ja) | リニヤモ−タ | |
| JPH05108B2 (ja) | ||
| JP2562343Y2 (ja) | チャッキング用アクチュエータ | |
| JPS62111761A (ja) | ワイヤドツトヘツドのワイヤ駆動装置 | |
| JPS59156149A (ja) | リニヤモ−タ | |
| JP2704108B2 (ja) | 磁気ヘッド駆動装置の磁気回路 | |
| WO2022062149A1 (zh) | 一种线性振动马达 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080205 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090205 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |