JP2562343Y2 - チャッキング用アクチュエータ - Google Patents
チャッキング用アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2562343Y2 JP2562343Y2 JP7044992U JP7044992U JP2562343Y2 JP 2562343 Y2 JP2562343 Y2 JP 2562343Y2 JP 7044992 U JP7044992 U JP 7044992U JP 7044992 U JP7044992 U JP 7044992U JP 2562343 Y2 JP2562343 Y2 JP 2562343Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- center yoke
- chucking
- coil
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、スパッタリング装置等
において、半導体ウェハー（以下ウェハーと称す）等を
把持搬送する時、ウェハーをウェハーの面方向の平行移
動によりチャッキングして使用するチャッキング用アク
チュエータに関するものである。
において、半導体ウェハー（以下ウェハーと称す）等を
把持搬送する時、ウェハーをウェハーの面方向の平行移
動によりチャッキングして使用するチャッキング用アク
チュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハーの面方向に移動してウェ
ハーの周囲を把持するチャッキング用アクチュエータ
は、図２に示すような電磁ソレノイドが使用されてお
り、チャッキング時のオン、オフはソレノイド用コイル
３に電流を通電してプランジャー２を引き込み、図２の
（ｂ）に示す先端に爪１ａを有するチャッキング用爪１
をウェハーから離してオフ動作をし、ソレノイド用コイ
ル３に流す電流を切った時にばね５のばね力によりプラ
ンジャー２を押し出してチャッキング用爪１でウェハー
を把持している。従って、ウェハーのチャッキングは、
ばね５のばね力とソレノイド用コイル３の電磁吸引力で
行われているため、チャッキング用爪１の送り速度の制
御ができず、そのためストロークエンドでの衝突により
粉じんが発生し、装置内の真空度を下げたり、又は衝撃
によりウェハーが所定の場所から位置ずれを起こし、ウ
ェハー表面へのスパッタリング時にスパッタリング不良
を発生する等の問題があった。
ハーの周囲を把持するチャッキング用アクチュエータ
は、図２に示すような電磁ソレノイドが使用されてお
り、チャッキング時のオン、オフはソレノイド用コイル
３に電流を通電してプランジャー２を引き込み、図２の
（ｂ）に示す先端に爪１ａを有するチャッキング用爪１
をウェハーから離してオフ動作をし、ソレノイド用コイ
ル３に流す電流を切った時にばね５のばね力によりプラ
ンジャー２を押し出してチャッキング用爪１でウェハー
を把持している。従って、ウェハーのチャッキングは、
ばね５のばね力とソレノイド用コイル３の電磁吸引力で
行われているため、チャッキング用爪１の送り速度の制
御ができず、そのためストロークエンドでの衝突により
粉じんが発生し、装置内の真空度を下げたり、又は衝撃
によりウェハーが所定の場所から位置ずれを起こし、ウ
ェハー表面へのスパッタリング時にスパッタリング不良
を発生する等の問題があった。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、これらの欠
点を除去するため、永久磁石を用いた磁気回路とリニア
アクチュエータ用コイルを組合わせたリニアアクチュエ
ータの構成とすることにより、リニアアクチュエータ用
コイルに流す電流を変えて、先端にチャッキング用爪を
取り付けたセンターヨークの移動速度を変えられるよう
に構成した速度制御可能なウェハーチャッキング用アク
チュエータを提供することを目的とする。
点を除去するため、永久磁石を用いた磁気回路とリニア
アクチュエータ用コイルを組合わせたリニアアクチュエ
ータの構成とすることにより、リニアアクチュエータ用
コイルに流す電流を変えて、先端にチャッキング用爪を
取り付けたセンターヨークの移動速度を変えられるよう
に構成した速度制御可能なウェハーチャッキング用アク
チュエータを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は、固定用ベース
（以下ベースと称す）上に固定された磁気回路を駆動す
る制御電流を流すリニアアクチュエータ用コイル（以下
コイルと称す）と、レール上にベアリングで保持された
リニアガイドを有するバックヨーク及び前記コイルを貫
通するセンターヨークからなる磁気回路と、センターヨ
ークを中心にしてコイルの外側とバックヨークとの間の
空隙にコイルを間にコイル方向に同極に着磁した永久磁
石を配置した磁気回路により構成され、磁気回路はリニ
アガイドにより固定用ベース上に支持された構造である
ので、チャッキング用爪をウェハー面方向に移動するチ
ャッキング時のオン、オフ動作時に衝撃の生ずることの
ないチャッキング用アクチュエータを形成する。
（以下ベースと称す）上に固定された磁気回路を駆動す
る制御電流を流すリニアアクチュエータ用コイル（以下
コイルと称す）と、レール上にベアリングで保持された
リニアガイドを有するバックヨーク及び前記コイルを貫
通するセンターヨークからなる磁気回路と、センターヨ
ークを中心にしてコイルの外側とバックヨークとの間の
空隙にコイルを間にコイル方向に同極に着磁した永久磁
石を配置した磁気回路により構成され、磁気回路はリニ
アガイドにより固定用ベース上に支持された構造である
ので、チャッキング用爪をウェハー面方向に移動するチ
ャッキング時のオン、オフ動作時に衝撃の生ずることの
ないチャッキング用アクチュエータを形成する。
【０００５】即ち本考案は、固定用ベース上に固定され
たリニアアクチュエータ用コイルと、該リニアアクチュ
エータ用コイルの内部に貫入するセンターヨークと、セ
ンターヨークを中心にセンターヨークの両側に配置され
たセンターヨークと閉磁路を形成するバックヨークと、
センターヨークとバックヨークの間に、前記リニアアク
チュエータ用コイルとの間に空隙を形成してセンターヨ
ーク対向面が同極に着磁されバックヨークに固着された
永久磁石とからなる磁気回路を、センターヨークの長軸
方向に案内可動するよう磁気回路と固定ベースとの間に
リニアガイドを設け、センターヨーク先端にチャッキン
グ用爪を取り付けてなるチャッキング用アクチュエータ
である。
たリニアアクチュエータ用コイルと、該リニアアクチュ
エータ用コイルの内部に貫入するセンターヨークと、セ
ンターヨークを中心にセンターヨークの両側に配置され
たセンターヨークと閉磁路を形成するバックヨークと、
センターヨークとバックヨークの間に、前記リニアアク
チュエータ用コイルとの間に空隙を形成してセンターヨ
ーク対向面が同極に着磁されバックヨークに固着された
永久磁石とからなる磁気回路を、センターヨークの長軸
方向に案内可動するよう磁気回路と固定ベースとの間に
リニアガイドを設け、センターヨーク先端にチャッキン
グ用爪を取り付けてなるチャッキング用アクチュエータ
である。
【０００６】
【作用】ウェハーをチャッキングするチャッキング用爪
を取り付けた駆動電流を流すベースに固定したコイルを
貫通するセンターヨーク、及びセンターヨークと一体の
バックヨークと、バックヨーク内面のコイルに対向した
面に、センターヨーク側が同極になるようバックヨーク
に永久磁石を固定した磁気回路をベース上にリニアガイ
ドにより保持した構造のチャッキング用アクチュエータ
であるので、コイルに流す電流の値と電流方向を制御す
ることにより、磁気回路の前後方向と移動速度を制御で
きるチャッキング用アクチュエータが形成される。
を取り付けた駆動電流を流すベースに固定したコイルを
貫通するセンターヨーク、及びセンターヨークと一体の
バックヨークと、バックヨーク内面のコイルに対向した
面に、センターヨーク側が同極になるようバックヨーク
に永久磁石を固定した磁気回路をベース上にリニアガイ
ドにより保持した構造のチャッキング用アクチュエータ
であるので、コイルに流す電流の値と電流方向を制御す
ることにより、磁気回路の前後方向と移動速度を制御で
きるチャッキング用アクチュエータが形成される。
【０００７】
【実施例】以下、本考案の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１は本考案によるチャッキング用アクチュ
エータで、図１の（ａ）は平面図、図１の（ｂ）は側面
図である。固定用ベース１３上に固定されたリニアアク
チュエータ用コイル８にはセンターヨーク９が貫入さ
れ、センターヨーク９の両側にはバックヨーク１０が配
置され、センターヨークとその両端で接続して閉磁気回
路が形成されており、センターヨーク９とバックヨーク
１０との間には永久磁石７がコイルに対向して空隙を形
成してコイルに対向した面が互いに同極となるように着
磁され、バックヨーク１０に接着等により固定される。
バックヨークとセンターヨークはセンターヨークを中央
にして閉磁気回路を形成しており、センターヨーク９及
びバックヨーク１０は高い磁気飽和磁束密度を有する軟
磁性材で作られている。リニアガイド１１はバックヨー
ク１０に固定され、ベース１３との間で磁気回路が滑ら
かに可動できるように構成されており、可動する磁気回
路はベース上に立てたストッパー１２によりベース１３
上よりはみ出すことなく止められる。又センターヨーク
９の先端にはウェハー等を支持する爪付きのチャック、
即ちチャッキング用爪１がネジ止め等により固定されて
いる。このように構成されたリニアアクチュエータ用コ
イル８に通電すると、磁気回路全体がリニアガイドによ
りコイルに加えられる電流方向と大きさにより左右に速
度を変えて移動し、リニアアクチュエータ用コイル８に
流す電流の方向、及び電流の値を変えることによりチャ
ッキングのオン、オフ時の制御を行う。速度はコイルの
通電電圧、又は電流値により制御できるため、ストロー
クエンドでの衝撃や発じんが防止できる。なお、ウェハ
ーのチャッキング時のセンターヨークの移動距離は、現
在実用されているものでは±１０ｍｍ以内であり、磁気
回路の可動範囲は±１０ｍｍもあればよい。
説明する。図１は本考案によるチャッキング用アクチュ
エータで、図１の（ａ）は平面図、図１の（ｂ）は側面
図である。固定用ベース１３上に固定されたリニアアク
チュエータ用コイル８にはセンターヨーク９が貫入さ
れ、センターヨーク９の両側にはバックヨーク１０が配
置され、センターヨークとその両端で接続して閉磁気回
路が形成されており、センターヨーク９とバックヨーク
１０との間には永久磁石７がコイルに対向して空隙を形
成してコイルに対向した面が互いに同極となるように着
磁され、バックヨーク１０に接着等により固定される。
バックヨークとセンターヨークはセンターヨークを中央
にして閉磁気回路を形成しており、センターヨーク９及
びバックヨーク１０は高い磁気飽和磁束密度を有する軟
磁性材で作られている。リニアガイド１１はバックヨー
ク１０に固定され、ベース１３との間で磁気回路が滑ら
かに可動できるように構成されており、可動する磁気回
路はベース上に立てたストッパー１２によりベース１３
上よりはみ出すことなく止められる。又センターヨーク
９の先端にはウェハー等を支持する爪付きのチャック、
即ちチャッキング用爪１がネジ止め等により固定されて
いる。このように構成されたリニアアクチュエータ用コ
イル８に通電すると、磁気回路全体がリニアガイドによ
りコイルに加えられる電流方向と大きさにより左右に速
度を変えて移動し、リニアアクチュエータ用コイル８に
流す電流の方向、及び電流の値を変えることによりチャ
ッキングのオン、オフ時の制御を行う。速度はコイルの
通電電圧、又は電流値により制御できるため、ストロー
クエンドでの衝撃や発じんが防止できる。なお、ウェハ
ーのチャッキング時のセンターヨークの移動距離は、現
在実用されているものでは±１０ｍｍ以内であり、磁気
回路の可動範囲は±１０ｍｍもあればよい。
【０００８】
【考案の効果】本考案によるチャッキング用アクチュエ
ータは、コイルに流す電流の向き、及び大きさにより、
速度と方向の制御が可能であることから、ストロークエ
ンドでの衝撃が防止できるため、スパッタリング装置の
チャッキング用アクチュエータとして用いて、ウェハー
等のチャッキング時に衝突等の生ずることのない信頼性
の高いチャッキング機構が得られるようになった。
ータは、コイルに流す電流の向き、及び大きさにより、
速度と方向の制御が可能であることから、ストロークエ
ンドでの衝撃が防止できるため、スパッタリング装置の
チャッキング用アクチュエータとして用いて、ウェハー
等のチャッキング時に衝突等の生ずることのない信頼性
の高いチャッキング機構が得られるようになった。
【図１】本考案によるチャッキング用アクチュエータを
示す図で、図１の（ａ）は平面図、図１の（ｂ）は側面
図。
示す図で、図１の（ａ）は平面図、図１の（ｂ）は側面
図。
【図２】従来のチャッキング用アクチュエータを示す図
で、図２の（ａ）は平面図、図２の（ｂ）はチャッキン
グ先端を示す側面図。
で、図２の（ａ）は平面図、図２の（ｂ）はチャッキン
グ先端を示す側面図。
１ チャッキング用爪 １ａ 爪 ２ プランジャー ３ ソレノイド用コイル ４ 外周ヨーク ５ ばね ６ リニアガイド ７ 永久磁石 ８ リニアアクチュエータ用コイル ９ センターヨーク １０ バックヨーク １１ リニアガイド １２ ストッパー １３ 固定用ベース
Claims (1)
- 【請求項１】 固定用ベース上に固定されたリニアアク
チュエータ用コイルと、該リニアアクチュエータ用コイ
ルの内部に貫入するセンターヨークと、センターヨーク
を中心にセンターヨークの両側に配置されたセンターヨ
ークと閉磁路を形成するバックヨークと、センターヨー
クとバックヨークの間に、前記リニアアクチュエータ用
コイルとの間に空隙を形成してセンターヨーク対向面が
同極に着磁されバックヨークに固着された永久磁石とか
らなる磁気回路を、センターヨークの長軸方向に案内可
動するよう磁気回路と固定ベースとの間にリニアガイド
を設け、センターヨーク先端にチャッキング用爪を取り
付けてなるチャッキング用アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7044992U JP2562343Y2 (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | チャッキング用アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7044992U JP2562343Y2 (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | チャッキング用アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629108U JPH0629108U (ja) | 1994-04-15 |
| JP2562343Y2 true JP2562343Y2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=13431832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7044992U Expired - Lifetime JP2562343Y2 (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | チャッキング用アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2562343Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107571123B (zh) * | 2017-10-25 | 2024-08-16 | 东莞市瑞众电子科技有限公司 | 一种用于玻璃研磨机的夹紧结构 |
-
1992
- 1992-09-14 JP JP7044992U patent/JP2562343Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629108U (ja) | 1994-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |