JPH04222451A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JPH04222451A
JPH04222451A JP8462991A JP8462991A JPH04222451A JP H04222451 A JPH04222451 A JP H04222451A JP 8462991 A JP8462991 A JP 8462991A JP 8462991 A JP8462991 A JP 8462991A JP H04222451 A JPH04222451 A JP H04222451A
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JP
Japan
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linear
yoke
magnetic
magnetic circuit
magnet
Prior art date
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Pending
Application number
JP8462991A
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English (en)
Inventor
Kouichi Yamazaki
山 崎 綱 市
Kazuo Noda
野 田 和 男
Eiichi Nakamura
中 村 栄 一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Conlux Co Ltd
Original Assignee
Nippon Conlux Co Ltd
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Publication date
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  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光カード等のカードを
搬送するためのカード駆動用リニアモータに関するもの
である。
【0002】
【従来の技術、および発明が解決しようとする課題】従
来、例えば光カード等のカード搬送または光ヘッド等の
駆動にリニアモータが利用されている。
【0003】このリニアモータは、固定子が、中央にリ
ニアヨークが配され、このリニアヨークを挟んで両側に
一対のリニア空隙を形成するように一対のリニア磁石が
配され、リニアヨークとリニア磁石の反空隙側の面とは
もう1つのヨークによって磁気的に結合されてなる磁気
回路として構成され、また可動子が、磁気回路における
リニアヨークに装着され、通電されることにより磁気回
路と電磁作用を行ってリニアヨークに沿って移動する可
動コイルとして構成されている。
【0004】従来のリニアモータを示す図21、図22
において、1および2はそれぞれ厚さ方向に着磁された
リニア磁石であって、両端が曲折したヨーク3および4
の内側にそれぞれ逆向きの極性で取り付けられる。リニ
アヨーク5および6は可動コイル7が巻装されたボビン
8内に挿通されると共に、ヨーク3および4と一体化さ
れて横長状に形成される。
【0005】これらの要素の上部に配されたシャトル1
1は、その下面に保持部材9を介して可動コイル7が取
り付けられる。シャトル11の両側には軸受12および
13と、その案内軸14および15が係合されている。
【0006】これらの構成において、リニア磁石1、2
のN極から出た磁束は可動コイル7を横切るようにして
内側のリニアヨーク5,6に向かい、このリニアヨーク
5、6を経た磁束は外側のヨーク3,4を通り、リニア
磁石1、2のS極側へ戻ることになる。従って可動コイ
ル7に直流電流を流すと、この電流とリニア磁石1,2
の磁束が鎖交して電磁作用を行い、リニア磁石1、2と
可動コイル7との間に機械的作用力が生じるから可動コ
イル7が移動する。
【0007】ここで、可動コイル7が受ける推力Fは、
一般にF=Bil(但し、Bはコイルに作用する磁束密
度、iはコイル電流、lは磁界が作用するコイルの有効
長)で与えられる。また、シャトル11(可動コイル7
)を逆方向に移動させるには、可動コイル7に印加する
電流の向きを逆にすればよい。
【0008】上記のようなリニアモータを利用した光カ
ード等の搬送装置においては、光カードを高速度で往復
運動させる必要があり、限られた距離あるいは時間内に
減速、停止および加速を行わせる必要がある。
【0009】しかしながら、これら従来の駆動装置では
、リニア空隙に同一方向の磁界を形成するための永久磁
石の磁束が均一なため、つまり単一の磁路であるために
、加速度(減速)を上げようとするとリニアヨーク5,
6の両端部及びヨーク3,4の両端部で磁気飽和を起こ
し、加速度領域における磁束密度が減少し必要とする加
減速が実現できない問題点を有する。
【0010】また、従来のリニアモータにおける磁気回
路として図23に示すような単一の磁石を用いたものが
ある。これは磁束密度分布がモータの長手方向に沿って
なだらかに変化するため、加速度領域での推力を十分な
ものにするにはコイルに非常に大きな電流を流すことが
必要である。これはコイル線径を大にし、駆動系の重量
を大にすることになる。
【0011】さらに、従来のリニアモータは図24に示
すように、磁気回路におけるヨーク3、4、5および6
をそれら自体で磁気抵抗が十分に低くなるように構成し
ている。
【0012】これは、磁気特性上はよいのであるが、ヨ
ークの厚みを増す結果となり、磁気回路を大型化してい
る。
【0013】本発明は、このような問題点に着目してな
されたもので、カード駆動装置のコンパクト化を図ると
共に、適切な加減速が行えるようなカード駆動用のリニ
アモータを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、中央にリニアヨークが配され、このリ
ニアヨークを両側から挟んで該リニアヨークとの間に一
対のリニア空隙を形成するように一対のリニア磁石が配
され、前記リニア空隙に磁界を形成する磁気回路と、こ
の磁気回路における前記リニアヨークに装着され、通電
されることにより前記磁気回路と電磁作用を行って前記
リニアヨークに沿って移動する可動コイルとを有するリ
ニアモータにおいて、前記リニア磁石は、長手方向の各
端部の磁力が中間部より大であることを特徴とするリニ
アモータ、リニアヨーク、および前記リニアヨークに並
列に配され該リニアヨークとの間にリニア空隙を形成す
るリニア磁石を有し、前記リニア空隙に磁界を形成する
磁気回路と、この磁気回路における前記リニアヨークに
装着され、通電されることにより前記磁気回路と電磁作
用を行って前記リニアヨークに沿って移動する可動コイ
ルとを有するリニアモータにおいて、前記リニア磁石は
、長手方向の中間部の磁力を各端部の磁力より格段に小
さくし、かつ前記磁気回路の磁気抵抗を大きくして前記
可動コイルが前記リニア磁石の中間部を通るときの通電
電流を前記磁気抵抗に対応した値にすることを特徴とす
るリニアモータ、およびリニアヨーク、およびこのリニ
アヨークに並列に配され該リニアヨークとの間にリニア
空隙を形成するリニア磁石を有し、前記リニア空隙に磁
界を形成する磁気回路と、この磁気回路における前記リ
ニアヨークに装着され、通電されることにより前記磁気
回路と電磁作用を行って前記リニアヨークに沿って移動
する可動コイルとを有するリニアモータにおいて、前記
磁気回路は、前記ヨークと同様の磁気抵抗を有する材料
によって構成された台上に取り付けられたことを特徴と
するリニアモータ、を提供するものである。
【0015】
【作用】このような構成において、磁気回路ではリニア
空隙における磁束密度が両端部では大で中間部では小と
なる。したがって可動コイルに電流を流した場合、可動
コイルがリニア空隙の中間部にあるときよりも両端部に
あるときの方が電磁作用が強くなり大きな機械的作用力
を生じる。この結果、リニア空隙の両端部すなわち可動
コイルの移動経路両端部では、可動コイルに対して大き
な加減速の力が働く。
【0016】また、前記磁気回路の長手方向中間部にお
ける前記リニア磁石の磁力を両端部のそれより格段に小
さくして、両端部の磁束密度を制限し磁気回路が小型で
も磁気飽和を生じなくなるような動作点を選ぶ。そして
、磁束量が減少した結果、推力が低下することを防ぐた
めに可動コイルの通電電流を増す。
【0017】さらに、磁気回路をヨークと同様の磁気抵
抗を有する材料によって構成された台上に取り付けると
台が磁気回路の一部となって磁束を通す。
【0018】
【発明の効果】本発明は上述のように、リニア空隙両端
部の磁力を中間部の磁力よりも大としたため、可動コイ
ルがリニア空隙の両端部にあるとき大きな加減速を行う
ことができる。この結果、可動コイルを加減速する時間
が短くて済み、加速および減速制御を能率的に行うこと
ができるとともに、ヨークの両端部における磁気飽和を
防止できるので、ヨークを小型に構成でき、しかも簡単
かつ安価に製作できる。
【0019】また、磁気回路の長手方向中間部における
前記リニア磁石の磁力を両端部のそれより格段に小さく
して動作点を移動させ、可動コイルの通電電流を増すこ
とにより小型の磁気回路を構成しても磁気飽和を生じる
ことがない。したがって、小型のリニアモータを提供す
ることができる。
【0020】さらに、磁気回路をヨークと同様の磁気抵
抗を有する材料によって構成された台上に取り付けるこ
とにより台による磁路の分だけ磁気回路を小形化できる
【0021】
【実施例】図1、図2、図3および図4は、本発明の一
実施例としての光カード記録・再生装置におけるリニア
モータ部を示す斜視図および断面図である。
【0022】図1および図2に示す実施例において、光
カードがシャトル20に対して自動的に挿脱されるよう
に記録・再生装置が構成されている。このシャトル20
は、シャトル20の両側に、互いに平行に固定された両
摺動軸21,22に摺動自在に保持できるようになって
いる。
【0023】光カードは、図示しないカード挿入口側の
カード引き込み機構により、このシャトル20上面に引
き込まれて載置されるようになっている。また、このシ
ャトル20の両側端には、シャトル20を摺動軸21,
22に沿って往復移動させるために、並設されたリニア
ヨーク25a,25bに可動コイル28が移動可能に遊
嵌した状態で設けられる。
【0024】ここでは、可動コイル28は特にボビンを
使用せずに、コイル自体をボビン形状に巻回したものを
利用している。その場合、コイル巻線同士を接着する方
法を採る。無論、所定のボビンを使用してこれにコイル
を巻装する方法を採ってもよい。
【0025】このリニアヨーク25a,25bをリニア
空隙を介して挟むように、両端に曲折部が形成されて全
体形状がほぼコ字状のヨーク25a′,25b′をそれ
ぞれ設ける。このコ字状のヨーク25a′,25b′は
その中央部の直線部分がリニアヨーク25a,25bと
平行に伸びるように配される。
【0026】コ字状のヨーク25a′,25b′の内側
には、可動コイル28を横切る磁束を発生させるように
、リニア空隙を同一方向に向かう磁界を形成するための
永久磁石26、27をそれぞれ設けてリニアモータを構
成する。
【0027】そして、可動コイル28に電流を流すと、
その極性に応じてシャトル20を両摺動軸21,22に
沿って往復移動させることができる。
【0028】ここで、永久磁石26および27の部分に
おいては、その両端部261 ,263 および271
 ,273 を中央部の磁石262 および272 よ
りもエネルギー積の大きい磁石(例えばサマリウムコバ
ルト磁石)で構成し、中央部の磁石262 ,272 
を両端部の磁石261 ,263 または271 ,2
73 よりもエネルギー積の小さい安価な磁石(例えば
フェライト磁石)で構成したもの、つまり磁力の強さの
相違する磁石を組み合わせて1個の永久磁石26および
27として構成したものを利用する。
【0029】さらに、図示しないが、シャトル20の位
置を検出するために、シャトルの下方に遮光板を設けて
、この遮光板による光の遮光、非遮光により、シャトル
の位置を検出するようになっている。また、シャトル2
0の下方にはその移動方向に沿って、印刷等によりクロ
ック用パターンを設けたスケールが、リニアエンコーダ
センサで検出されエンコーダパルスとして利用されるよ
うになっている。
【0030】ここで、これらリニアモータを利用したシ
ャトル20の往復移動に際しては、移動方向を反転する
リニア空隙の両端部において、加速、減速あるいは停止
を行う。この加減速領域においてはその磁界の強い磁気
作用を必要とするが、両端部を除く中間部分の定速度領
域ではそれほど磁界の強い磁気作用は必要としない。例
えば単一の磁気回路で、加速度を上げようとすると定速
度領域で磁力が強過ぎる磁気回路となり、そのリニアヨ
ーク両端部及びヨーク両端部で磁気飽和を起さないよう
にするために、所定の外形寸法が必要となる。つまり、
その分外形寸法が大きくなるし、コスト高にもなる。す
なわち、磁力の弱い永久磁石(フェライト)のみで単一
の磁気回路を形成すると、必要な加減速を得るために強
い磁力を必要とし、そのために磁石の面積およびヨーク
の外形が大きくなり、その分価格も高価になる。
【0031】これに対して、本発明のように、永久磁石
26の両端部261,263 を例えばフェライト磁石
よりも磁力の強いサマリウムコバルト磁石等で構成する
ことにより、両端部での加速(減速)に対して強い推力
(逆推力)が得られ、中央部での定速度部分については
、サマリウムコバルトよりも磁力の弱いフェライト磁石
262 で構成すれば、従来のものよりヨークの外形寸
法が小さくでき、その分リニアモータを安価に製作でき
るし、これらの構成で十分効率的に必要な推力が得られ
ることとなるメリットがある。
【0032】また、前記中央部分でのフェライト磁石2
62 は、両端部261 ,263 の永久磁石と厚み
方向の幅が同一寸法として一体に接合されているが、前
記磁石262 を両端部261 ,263 の幅より小
さくして、その中央部の磁石262 の空隙磁束密度を
調整できるように構成することもできる。
【0033】図3、図4は、本発明の他の実施例のリニ
アモータ部分の構成を示す。ここでは、図1と同様の部
分については同一符号で表す。これは、図1、図2で示
したリニアモータの構成が、1つの可動コイルが中央の
リニアヨークに沿って移動するようにしたのに対し、図
1、図2における中央のリニアヨークを2分割、つまり
リニアヨーク25a,ヨーク25a′,永久磁石26お
よびリニアヨーク25b,ヨーク25b′,永久磁石2
7を2分割したものに、それぞれ可動コイル281 ,
282 を設けてその推力を得ようとした構成である。 従って、それぞれの可動コイル281 ,282 は、
シャトルの両側端に配設されて、それぞれのリニアヨー
ク25a,25bを取り囲むように設けられており、こ
れらリニアヨーク25a,25bに沿って移動できるよ
うになっている。
【0034】図5は、リニアモータの概念構成図を示し
たものである。この図5において、空隙を介して平行に
伸びたヨーク25a′とリニアヨーク25aとで一組の
ヨーク体を構成し、ヨーク25a´の内側にコイル28
1 を横切る磁束を発生する永久磁石26を設ける。こ
の永久磁石26の両端部はエネルギー積の大きい、例え
ばサマリウムコバルト磁石261 ,263を用い、中
央部はエネルギー積の小さいフェライト磁石262 で
構成する。これらの磁石は互いに接着等により固着され
て1個の永久磁石26として構成される。
【0035】図6は、図5の構成における永久磁石とヨ
ークとの間の空隙における空隙磁束密度を示したもので
、両端部では例えば4,000ガウス程度の磁束密度、
定速度領域ではその半分以下の磁束密度の値を示す。
【0036】図7は、横軸に移動距離を取ったときの速
度の値を示したものである。この加減速特性から分かる
ように短時間での加速および減速すなわち急加速、急減
速が実現されている。
【0037】図8は、本発明の他の実施例の磁気回路構
成およびその磁束密度分布を示したものである。この図
8において、空隙を介して平行に伸びたヨーク25a′
とリニアヨーク25aとで一組のヨーク体を構成し、ヨ
ーク25a´の内側にコイル281 を横切る磁束を発
生する永久磁石26を設ける。この永久磁石26の両端
部はエネルギー積の大きい、例えばサマリウムコバルト
磁石261 ,263 を用い、中央部は格段にエネル
ギー積の小さいフェライト磁石262 で構成する。こ
れらの磁石は互いに接着等により固着されて1個の永久
磁石26として構成される。これにより、磁気回路の動
作点が変化する。
【0038】図9は、この磁気回路の動作点移動の様子
を示したもので、動作点移動前に磁束密度Bd、保磁力
Hdを動作点(P)としていたのに対し、移動後は磁束
密度Bd´、保磁力Hd´を動作点(P)とすることを
示している。
【0039】図10は、図8の実施例に流す電流の波形
を示したもので、磁気回路両端の加減速領域では最大値
Iaなる加速パルス、減速パルスは動作点の移動前後に
拘らず同じであるが、定速走行領域では破線で示すIb
であったのを実線で示すIcに増加している。
【0040】図11および図12は、図8の実施例を用
いたカード搬送装置の一構成例を示す平面図および側断
面図であり、図8の実施例をカード搬送台20の両側に
配しカード搬送台20をガイド軸22に沿って移動させ
るようにしたものである。
【0041】図13ないし図15は、図8の実施例を用
いたカード搬送装置のもう一つの構成例の平面図、側面
図および底面図であり、図8の実施例をカード搬送台2
0の底部に取り付けている。この場合、カード搬送台2
0は、ヨーク25aの長手方向すなわち図13、図14
では図における上下方向に移動する。
【0042】図16ないし図18は、図8の実施例を用
いた構成例を示す正面図、側断面図および底面図である
。この場合、磁気回路を磁気抵抗の小さな台上に取り付
けているから磁気回路を小型に構成できる。
【0043】図19および図20は、リニア磁石126
1 、1263 を磁気特性の異なるものを用いて両者
を同じ厚さに構成したため、磁気回路を小型つまり薄く
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成を示す斜視図。
【図2】シャトルに可動コイルを取り付けた状態の断面
図。
【図3】本発明の他の実施例の構成を示す斜視図。
【図4】シャトルに可動コイルを取り付けた状態の断面
図。
【図5】リニアモータ部分の概念構成図。
【図6】ギャップ間に作用する磁束密度を表すグラフ。
【図7】カード移動経路中のカード搬送の速度の大きさ
を表すグラフ。
【図8】本発明の他の実施例の磁気回路構成およびその
磁束密度分布を示す図。
【図9】図8の実施例における磁気動作点を示す特性図
【図10】図8の実施例における通電電流を説明する波
形図。
【図11】図8の実施例を用いたカード搬送装置の一構
成例を示す平面図。
【図12】図8の実施例を用いたカード搬送装置の一構
成例を示す側面図。
【図13】図8の実施例を用いたカード搬送装置の他の
構成例を示す平面図。
【図14】図8の実施例を用いたカード搬送装置の他の
構成例を示す側面図。
【図15】図8の実施例を用いたカード搬送装置の他の
構成例を示す底面図。
【図16】図8の実施例を用いたカード搬送装置のさら
に他の構成例を示す正面図。
【図17】図16の実施例を用いた構成例を示す側面図
【図18】図16の実施例を用いた構成例を示す底面図
【図19】本発明のさらに別の実施例の磁気回路構成を
示す正面図。
【図20】図19に示す実施例の平面図。
【図21】従来のリニアモータの構成を示す斜視図。
【図22】従来のリニアモータの構成を示す断面図。
【図23】従来のリニアモータの磁気回路における磁束
分布を示す図。
【図24】従来のリニアモータの磁気回路の断面形状を
示す図である。
【符号の説明】
20  シャトル 21  摺動軸 22  摺動軸 23  可動コイル 28  可動コイル 25  ヨーク 26  永久磁石 27  永久磁石。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】中央にリニアヨークが配され、このリニア
    ヨークを両側から挟んで該リニアヨークとの間に一対の
    リニア空隙を形成するように一対のリニア磁石が配され
    、前記リニア空隙に磁界を形成する磁気回路と、この磁
    気回路における前記リニアヨークに装着され、通電され
    ることにより前記磁気回路と電磁作用を行って前記リニ
    アヨークに沿って移動する可動コイルとを有するリニア
    モータにおいて、前記リニア磁石は、長手方向の各端部
    の磁力が中間部より大であることを特徴とするリニアモ
    ータ。
  2. 【請求項2】請求項1の装置において、前記リニア磁石
    は、長手方向の両端部がエネルギー積の大きな磁石で構
    成され、中間部がエネルギー積の小さい磁石で構成され
    たリニアモータ。
  3. 【請求項3】請求項1の装置において、前記磁気回路は
    、前記リニアヨークの長手方向中心線を境に二分割され
    るように構成されたリニアモータ。
  4. 【請求項4】リニアヨーク、および前記リニアヨークに
    並列に配され該リニアヨークとの間にリニア空隙を形成
    するリニア磁石を有し、前記リニア空隙に磁界を形成す
    る磁気回路と、この磁気回路における前記リニアヨーク
    に装着され、通電されることにより前記磁気回路と電磁
    作用を行って前記リニアヨークに沿って移動する可動コ
    イルとを有するリニアモータにおいて、前記リニア磁石
    は、長手方向の中間部の磁力を各端部の磁力より格段に
    小さくし、かつ前記磁気回路の磁気抵抗を大きくして前
    記可動コイルが前記リニア磁石の中間部を通るときの通
    電電流を前記磁気抵抗に対応した値にすることを特徴と
    するリニアモータ。
  5. 【請求項5】リニアヨーク、およびこのリニアヨークに
    並列に配され該リニアヨークとの間にリニア空隙を形成
    するリニア磁石を有し、前記リニア空隙に磁界を形成す
    る磁気回路と、この磁気回路における前記リニアヨーク
    に装着され、通電されることにより前記磁気回路と電磁
    作用を行って前記リニアヨークに沿って移動する可動コ
    イルとを有するリニアモータにおいて、前記磁気回路は
    、前記ヨークと同様の磁気抵抗を有する材料によって構
    成された台上に取り付けられたことを特徴とするリニア
    モータ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0574069A (ja) * 1991-09-11 1993-03-26 Alps Electric Co Ltd 光ピツクアツプ用リニアモータ
JP2004336857A (ja) * 2003-05-06 2004-11-25 Sony Corp 電磁駆動装置、レンズ駆動装置及び撮像装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0574069A (ja) * 1991-09-11 1993-03-26 Alps Electric Co Ltd 光ピツクアツプ用リニアモータ
JP2004336857A (ja) * 2003-05-06 2004-11-25 Sony Corp 電磁駆動装置、レンズ駆動装置及び撮像装置

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