JPH0594915A - 電磁式搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 磁気浮上された搬送台を所定位置で速やかに
停止せしめ、その位置において安定して保持することが
できる電磁式搬送装置を提供することを目的とする。 【構成】 搬送路１側に配置され断面形状が概略Ｃ字形
をした磁性材料２とＣ字形の開口部２ａを挟んで向かい
合う一対のコイル３，４とを含み、搬送台１０側には前
記コイル３，４の磁力が作用する磁極片５が固定されて
おり、該磁極片５は強磁性材料と、強磁性材料で挟持さ
れた非磁性良導電体とを有し、前記磁性材料２のＣ字形
の開口部２ａを通過するように配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電磁式搬送装置に係り、
特に磁力により搬送台が軌道から浮上して非接触状態で
移動する電磁式の非接触搬送装置であって、搬送台を所
定位置で速やかに停止せしめ、その位置において安定し
て保持することができる電磁式搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、電磁式非接触搬送装置におい
ては、搬送台の停止、保持、搬送台の移動等の各種作動
が、永久磁石或いはコイルを用いた電磁石等の磁気的な
手段により行われる。そして、磁気的手段により搬送台
が軌道から浮上して非接触状態を維持しつつ移動するの
で、埃塵の発生について非常に厳格な半導体製造設備に
おいて利用される場合が多い。

【０００３】従来の停止手段は電磁ブレーキ機構からな
り、一般に搬送路側に所定の間隔をおいて左右に対向配
置された停止用電磁石と、それら停止用電磁石の中心線
上に配置された搬送台側の磁性部材とからなっている。
そして、電磁石で磁性部材を吸引して搬送台を所定位置
に停止させるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電磁ブ
レーキ機構においては、磁気吸引力によるばね力のみで
あるので、搬送台を安定に停止させるのが困難であると
いう問題点があった。

【０００５】本発明は、上述の事情に鑑みなされたもの
で、その目的とする処は、磁気浮上された搬送台を所定
位置で速やかに停止せしめ、その位置において安定して
保持することができる電磁式搬送装置を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電磁式搬送装置は搬送路と、該搬送路上を
移動する搬送台と、該搬送台を軌道から浮上せしめて非
接触状態にするための磁力手段と、搬送台を駆動する手
段と、搬送台を所定の位置で停止して且つその位置で保
持する位置決め保持手段とを含む電磁式搬送装置におい
て、前記位置決め保持機構は、搬送路側に配置されてお
り、断面形状が概略Ｃ字形をした磁性材料及びＣ字形の
開口部を挟んで向かい合う一対のコイルを含み、前記搬
送台には前記コイルの磁力が作用する磁極片が固定され
ており、該磁極片は強磁性材料と、該強磁性材料で挟持
された非磁性良導電体とを有し、前記磁性材料のＣ字形
の開口部を通過するように配置されていることを特徴と
するものである。

【０００７】

【作用】本発明の電磁式搬送装置によれば、断面概略Ｃ
字形磁性材料とこのＣ字形開口部を挟んで向かい合う一
対のコイルとにより作られた磁界内に磁極片が侵入する
と、磁極片の強磁性材料が磁気的な吸引力を受けて磁極
片及び搬送台に制動力が付与される。これと同時に、前
記磁界内を磁極片の強磁性材料で挟まれた非磁性良導電
体が通過することにより非磁性良導電体内にうず電流が
発生し、このうず電流により減衰力が発生し、搬送台及
び磁極片の振動抑制が図られる。したがって、搬送台及
び磁極片をＣ字形磁性材料の開口部の中央部に速やかに
停止させるとともに、搬送台をこの位置で安定して保持
することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明に係る電磁式搬送装置の実施例
を図面を参照して説明する。

【０００９】図１及び図２において、本発明に係る電磁
式搬送装置は、搬送路１と、その搬送路１内に浮上して
収められた搬送台１０とからなり、両者のいずれか一方
には、図示しない浮上用電磁石、案内用電磁石が設けら
れ、他方には、それら電磁石に対向する磁性部材が設け
られている。

【００１０】電磁式搬送装置の搬送路１には磁性材料２
が配置されており、この磁性材料２の断面形状は、開口
部２ａが上方を向いている概略Ｃ字形をしている。

【００１１】磁性材料２の開口部２ａを挟んだ箇所に
は、相互に向かい合う様な態様で一対のコイル３，４が
巻き回されている。ここで、コイル３，４を巻く向き
は、電流を流した時に両者が発生する磁場が同一方向と
なる様に設定されている。

【００１２】図１及び図２において、磁性材料２の開口
部２ａには、搬送台１０に固着されたターゲットを構成
する磁極片５が存在する。なお、図１では磁極片５を搬
送台１０に固定する手段は示されていない。

【００１３】前記磁極片５は、図３に示されるように上
下部が強磁性材料５ａ，５ａからなり、この強磁性材料
５ａ，５ａにより挟持されたアルミニウム、銅等の非磁
性良導電体５ｂとからなっている。

【００１４】上述した様な構成を有する本発明の電磁式
搬送装置によれば、コイル３，４に通電すると、磁力線
が発生して磁界を構成する。

【００１５】矢印方向に移動する搬送台１０の磁極片５
がこの磁界内に入ると、断面Ｃ字形磁性材料２と磁極片
５の強磁性材料５ａとの間に働く磁気的な吸引力を受け
て制動力が付加されるが、搬送台１０の慣性力により磁
極片５は磁性材料２から離隔した位置まで動こうとす
る。ここで、磁極片５の移動方向は磁力線と直交する方
向、すなわち、磁束を剪断する方向である。そのため磁
束或いは磁力線は該剪断を抑制する方向に復元力を作用
せしめる。

【００１６】この復元力により、搬送台１０及び磁極片
５は磁性材料２の開口部２ａに向かって逆行する。この
逆行の際にも慣性力を生じるが、これも前記した復元力
により抑制される。従って、搬送台１０及び磁極片５は
磁性材料２の開口部２ａの中央において停止するのであ
る。そしてこの復元力は、搬送台１０及び磁極片５を開
口部２ａの中央に保持しておく作用をも奏するのであ
る。

【００１７】一方、前述した搬送台１０及び磁極片５が
磁性材料２の開口部２ａ内を通過する際、磁極片５を構
成する非磁性良導電体５ｂ内にはうず電流が発生する。
そして、このうず電流により減衰力が発生し、搬送台１
０及び磁極片５の振動抑制が図られ、搬送台１０及び磁
極片を開口部２ａの中央部に速やかに停止させるととも
に、搬送台１０をこの位置で安定して保持する。

【００１８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の電磁式搬送装置によれば、断面Ｃ字形磁性材料と磁極
片の強磁性材料との間に働く磁気的な吸引力と、磁極片
の非磁性良導電体内に生ずるうず電流により発生する減
衰力とにより、搬送台及び磁極片の振動の抑制が図られ
ている。したがって、搬送台を速やかに停止させること
ができるとともに、該搬送台をこの停止位置で安定して
保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例を示す斜
視図。

【図２】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例を示す平
面図。

【図３】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例における
磁極片の側面図。

【符号の説明】

１ 搬送路 ２ 磁性材料 ２ａ 開口部 ３，４ コイル ５ 磁極片 ５ａ 強磁性材料 ５ｂ 非磁性良導電体 １０ 搬送台

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送路と、該搬送路上を移動する搬送台
   と、該搬送台を軌道から浮上せしめて非接触状態にする
   ための磁力手段と、搬送台を駆動する手段と、搬送台を
   所定の位置で停止して且つその位置で保持する位置決め
   保持手段とを含む電磁式搬送装置において、前記位置決
   め保持機構は、搬送路側に配置されており、断面形状が
   概略Ｃ字形をした磁性材料及びＣ字形の開口部を挟んで
   向かい合う一対のコイルを含み、前記搬送台には前記コ
   イルの磁力が作用する磁極片が固定されており、該磁極
   片は強磁性材料と、該強磁性材料で挟持された非磁性良
   導電体とを有し、前記磁性材料のＣ字形の開口部を通過
   するように配置されていることを特徴とする電磁式搬送
   装置。