JPH0732583B2 - リニアモ−タ - Google Patents
リニアモ−タInfo
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- JPH0732583B2 JPH0732583B2 JP60241144A JP24114485A JPH0732583B2 JP H0732583 B2 JPH0732583 B2 JP H0732583B2 JP 60241144 A JP60241144 A JP 60241144A JP 24114485 A JP24114485 A JP 24114485A JP H0732583 B2 JPH0732583 B2 JP H0732583B2
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- JP
- Japan
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- yoke
- coil
- yokes
- gap
- magnet
- Prior art date
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコイルが巻かれたヨークとマグネットとが相対
的に直線移動するように成されたリニアモータに関し、
特に電子機器の可動部等に用いて好適なものである。
的に直線移動するように成されたリニアモータに関し、
特に電子機器の可動部等に用いて好適なものである。
〔発明の概要〕 本発明は第１及び第２のヨークをギャップを介して基準
面に平行に並列配置すると共に、少くとも一方のヨーク
にコイルを巻回し、さらにマグネットを上記第１及び第
２のヨークとギャップを介して対向配置したことによ
り、第１及び第２のヨークとマグネットとを上記基準面
と平行に相対移動させるようにしたものである。
面に平行に並列配置すると共に、少くとも一方のヨーク
にコイルを巻回し、さらにマグネットを上記第１及び第
２のヨークとギャップを介して対向配置したことによ
り、第１及び第２のヨークとマグネットとを上記基準面
と平行に相対移動させるようにしたものである。
従来のリニアモータとして、第17図に示すようなコイル
可動型リニアモータが知られている。第17図において、
長方形の枠形に形成されたヨーク１の中央にはヨーク２
が架設されると共に、コイル３が巻装されたボビン４
が、このボビン４を上記ヨーク２が挿通されることによ
り矢印ａ、ｂの方向に移動自在に設けられている。また
ヨーク１の内側の対向する二つの面には、夫々厚さ方向
に着磁されたマグネット５、６が設けられている。上記
構成において、コイル３に通電することにより、コイル
３を流れる電流とマグネット５、６の磁束とが鎖交し
て、コイル３及びボビン４がａ方向又はｂ方向に移動す
る。このようなリニアモータは、例えば光ディスクプレ
ーヤにおける光学ピックアップの移動装置等に用いられ
ている。
可動型リニアモータが知られている。第17図において、
長方形の枠形に形成されたヨーク１の中央にはヨーク２
が架設されると共に、コイル３が巻装されたボビン４
が、このボビン４を上記ヨーク２が挿通されることによ
り矢印ａ、ｂの方向に移動自在に設けられている。また
ヨーク１の内側の対向する二つの面には、夫々厚さ方向
に着磁されたマグネット５、６が設けられている。上記
構成において、コイル３に通電することにより、コイル
３を流れる電流とマグネット５、６の磁束とが鎖交し
て、コイル３及びボビン４がａ方向又はｂ方向に移動す
る。このようなリニアモータは、例えば光ディスクプレ
ーヤにおける光学ピックアップの移動装置等に用いられ
ている。
上述した第17図のリニアモータには次のような欠点があ
る。
る。
（１）、マグネット５、６とヨーク２とで形成されるギ
ャップ中にコイル３が置かれるため、ギャップ長Lgとマ
グネット５、６の厚さLmとが近似して、ギャップの磁束
密度がマグネット５、６の残留磁束密度の1/3〜1/4程度
にしかならない。このためマグネット５、６の持ってい
る起磁力を充分に活かすことができない。
ャップ中にコイル３が置かれるため、ギャップ長Lgとマ
グネット５、６の厚さLmとが近似して、ギャップの磁束
密度がマグネット５、６の残留磁束密度の1/3〜1/4程度
にしかならない。このためマグネット５、６の持ってい
る起磁力を充分に活かすことができない。
（２）、磁束がヨーク１の４つのコータ部に集中するの
で、ヨーク１の厚さをコーナ部を基準として決めると、
ヨーク１が大型化する。
で、ヨーク１の厚さをコーナ部を基準として決めると、
ヨーク１が大型化する。
（３）、コイル３に流れる電流により発生する磁束が、
ヨーク１、２で形成される閉じたループを流れるため、
コイル３の自己インダクタンスが高くなる。このため、
高速動作を行おうとすると、電流が流れにくくなり、推
力が低下して応答性が悪くなる。
ヨーク１、２で形成される閉じたループを流れるため、
コイル３の自己インダクタンスが高くなる。このため、
高速動作を行おうとすると、電流が流れにくくなり、推
力が低下して応答性が悪くなる。
（４）、コイル３が中空のボビン４に巻かれており、こ
のボビン４は熱伝導性の良くない材質で作られているた
めに、コイル３で発生した熱の放熱性が悪い。
のボビン４は熱伝導性の良くない材質で作られているた
めに、コイル３で発生した熱の放熱性が悪い。
（５）、ボビン４にヨーク２が挿通する構造となってい
るため、組立てが困難である。
るため、組立てが困難である。
本発明は第１のヨーク、上記第１のヨークと所定のギャ
ップを介しかつ基準面と平行に並列装置された第２のヨ
ーク、上記第１及び第２のヨークのうちの少くとも一方
のヨークに巻回されるコイル、上記第１及び第２のヨー
クの面のうち上記基準面に平行な面と対向しかつこの基
準面に対して平行に移動ができるようにマグネットを保
持する第３のヨーク、夫々具備して成るリニアモータに
係るものである。
ップを介しかつ基準面と平行に並列装置された第２のヨ
ーク、上記第１及び第２のヨークのうちの少くとも一方
のヨークに巻回されるコイル、上記第１及び第２のヨー
クの面のうち上記基準面に平行な面と対向しかつこの基
準面に対して平行に移動ができるようにマグネットを保
持する第３のヨーク、夫々具備して成るリニアモータに
係るものである。
上記第１と第２のヨーク間のギャップによって、ヨーク
に対するマグネットの磁束変化を一定にすることがで
き、これによってヨークとマグネットとを相対的に移動
させる推力が発生する。
に対するマグネットの磁束変化を一定にすることがで
き、これによってヨークとマグネットとを相対的に移動
させる推力が発生する。
第１図及び第２図は本発明の第１の実施例を示す。本発
明によるリニアモータは、可動部11と固定部12とにより
可動マグネット型リニアモータに構成されている。
明によるリニアモータは、可動部11と固定部12とにより
可動マグネット型リニアモータに構成されている。
可動部11は、板状のヨーク13と、このヨーク13の下面に
固着され且つ厚さ方向に図示のように着磁された一対の
マグネット14、15とにより主として構成されている。上
記ヨーク13の両側には、ローラ16、17、18が回転自在に
設けられている。
固着され且つ厚さ方向に図示のように着磁された一対の
マグネット14、15とにより主として構成されている。上
記ヨーク13の両側には、ローラ16、17、18が回転自在に
設けられている。
上記固定部12は、一対のヨーク19、20と、ヨーク19に巻
回されたコイル21とから主として構成されている。上記
ヨーク19、20の両側には、上記ローラ16、17、18が転動
するガイドレール22、23が設けられている。尚、上記各
部材は基板24上に設けられている。
回されたコイル21とから主として構成されている。上記
ヨーク19、20の両側には、上記ローラ16、17、18が転動
するガイドレール22、23が設けられている。尚、上記各
部材は基板24上に設けられている。
上記ヨーク19、20はマグネット14、15と対向する巾ｌの
部分19a、19b、20a、20bと、これらの部分19aと19b、20
aと20bとを夫々連結する連結部19c、20cとが形成されて
いる。上記コイル21は上記連結部19cに巻装されてい
る。二つのヨーク19、20は、それらの部分19aと20a、19
bと20bとが夫々0.2〜0.5mm程度のエアギャップ25、26を
介して対向配置されている。また上記ローラ16、17、18
が上記ガイドレール22、23に転動可能に嵌合されること
によって、可動部11が固定部12上に載置されたときに形
成されるマグネット14、15とヨーク19、20の部分19a、2
0a、19b、20bとのエアギャップ27、28は0.2〜0.5mm程度
である。
部分19a、19b、20a、20bと、これらの部分19aと19b、20
aと20bとを夫々連結する連結部19c、20cとが形成されて
いる。上記コイル21は上記連結部19cに巻装されてい
る。二つのヨーク19、20は、それらの部分19aと20a、19
bと20bとが夫々0.2〜0.5mm程度のエアギャップ25、26を
介して対向配置されている。また上記ローラ16、17、18
が上記ガイドレール22、23に転動可能に嵌合されること
によって、可動部11が固定部12上に載置されたときに形
成されるマグネット14、15とヨーク19、20の部分19a、2
0a、19b、20bとのエアギャップ27、28は0.2〜0.5mm程度
である。
第３図は上記構成によるリニアモータを原理的に示すも
ので、可動部11がスタート位置にある状態を示してい
る。このときマグネット14（15）の大部分はヨーク19と
対向しているが、その先端部14a（15a）はギャップ25
（26）を越えてヨーク20の一部と対向している。従って
この状態においては、マグネット14から出た磁束の大部
分はギャップ27からヨーク19を通り、さらに反対側のギ
ャップ28を通ってマグネット15に達するが、上記磁束の
一部は、ギャップ27、ヨーク20の一部及びギャップ28を
通ってマグネット15に達している。
ので、可動部11がスタート位置にある状態を示してい
る。このときマグネット14（15）の大部分はヨーク19と
対向しているが、その先端部14a（15a）はギャップ25
（26）を越えてヨーク20の一部と対向している。従って
この状態においては、マグネット14から出た磁束の大部
分はギャップ27からヨーク19を通り、さらに反対側のギ
ャップ28を通ってマグネット15に達するが、上記磁束の
一部は、ギャップ27、ヨーク20の一部及びギャップ28を
通ってマグネット15に達している。
この第３図の状態において、可動部11は矢印で示す方向
に移動する。このとき、可動部11がΔｘの距離を移動す
ると、マグネット14、15とヨーク19との対向面積が減少
すると共に、マグネット14、15とヨーク20との対向面積
が増加する。従って、ヨーク19を通過する磁束が減少す
ると共に、ヨーク20を通過する磁束が増大する。ヨーク
19、20の磁束の漏れが小さいとすると、可動部11の移動
に伴うヨーク19を通過する磁束の変化分ΔΦは、マグネ
ット14、15の磁束をＢとすれば、 ΔΦ＝ＢΔxl となる。そして の磁束変化があるときに、 （但し、N:コイル21の巻き数） の力がマグネット14、15とヨーク19との間に働く。さら
に の磁束変化は、マグネット14、15がコイル21が外れる位
置に移動する迄は略一定なので、マグネット14、15とヨ
ーク19との間には、 の力Ｆが発生することになる。また電流Ｉの方向を逆に
すれば、力Ｆの方向を逆にすることができる。
に移動する。このとき、可動部11がΔｘの距離を移動す
ると、マグネット14、15とヨーク19との対向面積が減少
すると共に、マグネット14、15とヨーク20との対向面積
が増加する。従って、ヨーク19を通過する磁束が減少す
ると共に、ヨーク20を通過する磁束が増大する。ヨーク
19、20の磁束の漏れが小さいとすると、可動部11の移動
に伴うヨーク19を通過する磁束の変化分ΔΦは、マグネ
ット14、15の磁束をＢとすれば、 ΔΦ＝ＢΔxl となる。そして の磁束変化があるときに、 （但し、N:コイル21の巻き数） の力がマグネット14、15とヨーク19との間に働く。さら
に の磁束変化は、マグネット14、15がコイル21が外れる位
置に移動する迄は略一定なので、マグネット14、15とヨ
ーク19との間には、 の力Ｆが発生することになる。また電流Ｉの方向を逆に
すれば、力Ｆの方向を逆にすることができる。
以上によれば、ヨーク19に対してヨーク20をギャップ2
5、26を介して設けたことにより、ヨーク19を通過する
磁束変化を、可動部11の移動に拘らず、常に略一定とす
ることができ、この磁束変化により力Ｆを発生させて、
可動部11を移動させることができる。尚、ヨーク20を省
略してもヨーク19に対する磁束変化は一定となるが、そ
のようにすると、可動部11の移動に伴ってヨーク19とマ
グネット14、15間の吸引力により可動部11は力Ｆの方向
と逆方向に引き戻されてしまう。本発明ではヨーク20を
ヨーク19に対しギャップ25、26を介して設けているの
で、ヨーク19に対する磁束変化を略一定にしながら、ヨ
ーク19、20に対するマグネット14、15の吸引力を一定に
している。このため可動部11は上記吸引力の影響を受け
ることなく、移動することができる。
5、26を介して設けたことにより、ヨーク19を通過する
磁束変化を、可動部11の移動に拘らず、常に略一定とす
ることができ、この磁束変化により力Ｆを発生させて、
可動部11を移動させることができる。尚、ヨーク20を省
略してもヨーク19に対する磁束変化は一定となるが、そ
のようにすると、可動部11の移動に伴ってヨーク19とマ
グネット14、15間の吸引力により可動部11は力Ｆの方向
と逆方向に引き戻されてしまう。本発明ではヨーク20を
ヨーク19に対しギャップ25、26を介して設けているの
で、ヨーク19に対する磁束変化を略一定にしながら、ヨ
ーク19、20に対するマグネット14、15の吸引力を一定に
している。このため可動部11は上記吸引力の影響を受け
ることなく、移動することができる。
本実施例によれば、次の効果を得ることができる。
（１）、マグネット14、15とヨーク19、20とのギャップ
27、28を小さくして、ギャップの磁束密度を高め、マグ
ネット14、15の起磁力を有効に利用することができる。
27、28を小さくして、ギャップの磁束密度を高め、マグ
ネット14、15の起磁力を有効に利用することができる。
（２）、磁束が集中する部分がないので、ヨーク19、20
の厚さを特に大きくする必要はなく、可動部11及び固定
部12を小型にすることができる。
の厚さを特に大きくする必要はなく、可動部11及び固定
部12を小型にすることができる。
（３）、コイル21が巻かれている連結部19cを、飽和し
ない程度に細くすることにより、コイル21の巻き数Ｎを
変えないで、コイル21の抵抗値Rmを小さくすることがで
きる。このため同一の入力電力Pin（＝Rm×I2）に対し
て大きな推力（トルク）を得ることができる。
ない程度に細くすることにより、コイル21の巻き数Ｎを
変えないで、コイル21の抵抗値Rmを小さくすることがで
きる。このため同一の入力電力Pin（＝Rm×I2）に対し
て大きな推力（トルク）を得ることができる。
（４）、コイル21の作る磁束の磁路入にエアギャップが
含まれるため、第17図の可動コイル型に比べてコイル21
の自己インダクタンスを小さくすることができ、高速応
答性を高めることができる。
含まれるため、第17図の可動コイル型に比べてコイル21
の自己インダクタンスを小さくすることができ、高速応
答性を高めることができる。
（５）、コイル21はヨーク19の一部である連結部19cに
巻かれているため、放熱性が良く、このため、多くの電
力の入力が可能となり、高推力を得ることができる。
巻かれているため、放熱性が良く、このため、多くの電
力の入力が可能となり、高推力を得ることができる。
（６）、組立てを容易に行うことができる。
第４図及び第５図はギャップ25（26）の形状の他の実施
例を示す。
例を示す。
ギャップ25（26）は、ヨーク19、20間の磁束の漏れを極
力小さくして、磁束変化 を一定にする必要がある。このために第４図及び第５図
に示すように、ヨーク19、20の一部のみを近接させ他の
部分を遠ざけるようにギャップ25（26）を形成して、磁
束変化を略一定にすると共に吸引力の影響を受けないよ
うにしている。第６図は本発明の第２の実施例を原理的
示すもので、ヨーク19、20の両方にコイル21、29を設け
た場合である。上記コイル29はヨーク20の連結部20cに
コイル１と同様にして巻回されている。この実施例の場
合は、可動部11はＦ＝2NBIlの力を受ける。
力小さくして、磁束変化 を一定にする必要がある。このために第４図及び第５図
に示すように、ヨーク19、20の一部のみを近接させ他の
部分を遠ざけるようにギャップ25（26）を形成して、磁
束変化を略一定にすると共に吸引力の影響を受けないよ
うにしている。第６図は本発明の第２の実施例を原理的
示すもので、ヨーク19、20の両方にコイル21、29を設け
た場合である。上記コイル29はヨーク20の連結部20cに
コイル１と同様にして巻回されている。この実施例の場
合は、可動部11はＦ＝2NBIlの力を受ける。
第７図は第３の実施例を示すもので、３個のヨーク19、
20、30をギャップ25、31を介して設けると共に、ヨーク
30にコイル32を巻回した場合である。ヨーク30はヨーク
19、20と同一形状のものが用いられ、その連結部にコイ
ル32が巻回されている。
20、30をギャップ25、31を介して設けると共に、ヨーク
30にコイル32を巻回した場合である。ヨーク30はヨーク
19、20と同一形状のものが用いられ、その連結部にコイ
ル32が巻回されている。
図において、可動部11はＡ点からＢ点まではコイル21の
力によって移動され、Ｂ点からＣ点までのコイル32の力
によって移動する。従って、推力はコイル21、３による
力の合成力となる。本実施例の場合は、可動部11の可動
範囲は、第１及び第２の実施例の場合の２倍弱の長さと
なる。第８図及び第９図は第４の実施例を示すものであ
る。
力によって移動され、Ｂ点からＣ点までのコイル32の力
によって移動する。従って、推力はコイル21、３による
力の合成力となる。本実施例の場合は、可動部11の可動
範囲は、第１及び第２の実施例の場合の２倍弱の長さと
なる。第８図及び第９図は第４の実施例を示すものであ
る。
図において、ヨーク33、34をギャップ35を介して配する
と共に、断面コ字形を成すヨーク36を設け、その下部36
aと上記ヨーク33、34とを連結部36b、36cを介して一体
的に連結している。この連結部36b、36cにコイル37、38
が巻回されている。またヨーク36の上部36dと上記ヨー
ク33、34との間にはマグネット39が所定のギャップを介
して配され、矢印ｃ方向に往復動可能に成されている。
上記構成によれば、前記第１〜第３の実施例の場合と同
様の原理により、マグネット39をｃ方向に移動させるこ
とができる。
と共に、断面コ字形を成すヨーク36を設け、その下部36
aと上記ヨーク33、34とを連結部36b、36cを介して一体
的に連結している。この連結部36b、36cにコイル37、38
が巻回されている。またヨーク36の上部36dと上記ヨー
ク33、34との間にはマグネット39が所定のギャップを介
して配され、矢印ｃ方向に往復動可能に成されている。
上記構成によれば、前記第１〜第３の実施例の場合と同
様の原理により、マグネット39をｃ方向に移動させるこ
とができる。
第10図は第５の実施例を示すもので、上記第８図のヨー
ク36にギャップ40を、上記ギャップ35と対向して設けた
場合である。
ク36にギャップ40を、上記ギャップ35と対向して設けた
場合である。
第11図及び第12図は第６の実施例を示すもので、第８図
及び第９図と対応する部分には同一符号を付してある。
及び第９図と対応する部分には同一符号を付してある。
本実施例においては、ヨーク36は第８図の上部36dの無
いものが用いられ、またマグネット39はヨーク41に固着
されている。
いものが用いられ、またマグネット39はヨーク41に固着
されている。
第13図は第７の実施例を示すもので、上記ヨーク36にギ
ャップ40を設けた場合である。第14図及び第15図は、第
８の実施例を示すものである。
ャップ40を設けた場合である。第14図及び第15図は、第
８の実施例を示すものである。
図において、２個のヨーク42、43がギャップ44を介して
且つ非磁性材から成る部材45により一体的に連結されて
設けられている。ヨーク42、43と対向してマグネット46
が配され、このマグネット46はヨーク47に固着されてい
る。このヨーク47のコイル巻回部47a、47bにはコイル4
8、49が巻回されている。本実施例の場合は、上記ヨー
ク42、43及び部材45により可動部50が構成されて矢印ｄ
方向に往復移動する。
且つ非磁性材から成る部材45により一体的に連結されて
設けられている。ヨーク42、43と対向してマグネット46
が配され、このマグネット46はヨーク47に固着されてい
る。このヨーク47のコイル巻回部47a、47bにはコイル4
8、49が巻回されている。本実施例の場合は、上記ヨー
ク42、43及び部材45により可動部50が構成されて矢印ｄ
方向に往復移動する。
第16図は第９の実施例を示すもので２個のヨーク51、52
をギャップ53を介して配すると共に、これと対向して他
の２個のヨーク54、55をギャップ56を介して配し、これ
らのヨーク51、52、54、55を断面コ字形を成す非磁性材
から成る連結部材57により連結している。またマグネッ
ト58の両端にコイル59、60を非磁性部材61、62を介して
設けることにより、可動部63を構成し、この可動部63を
上記ヨーク51、52とヨーク54、55との間に矢印ｅ方向に
往復可能に配している。
をギャップ53を介して配すると共に、これと対向して他
の２個のヨーク54、55をギャップ56を介して配し、これ
らのヨーク51、52、54、55を断面コ字形を成す非磁性材
から成る連結部材57により連結している。またマグネッ
ト58の両端にコイル59、60を非磁性部材61、62を介して
設けることにより、可動部63を構成し、この可動部63を
上記ヨーク51、52とヨーク54、55との間に矢印ｅ方向に
往復可能に配している。
上述した第４〜第８の実施例は、第１〜第３の実施例と
同様の原理により、夫々可動部を移動させることができ
ると共に、前記（１）〜（５）で述べた効果と同様の効
果を得ることができる。
同様の原理により、夫々可動部を移動させることができ
ると共に、前記（１）〜（５）で述べた効果と同様の効
果を得ることができる。
ギャップの磁束密度を高くすることができると共に、磁
束の集中を避けて平均化することができるので、ヨーク
の厚さを薄くして小型、軽量化をはかることができ、且
つ高推力を得ることができる。またコイルのインダクタ
ンスが小さく、高速応答性を得ることができ、さらにコ
イルの利用率、放熱性を高くして、小型、高推力、消費
電力の低減に有利となり、また組立てが容易となる。
束の集中を避けて平均化することができるので、ヨーク
の厚さを薄くして小型、軽量化をはかることができ、且
つ高推力を得ることができる。またコイルのインダクタ
ンスが小さく、高速応答性を得ることができ、さらにコ
イルの利用率、放熱性を高くして、小型、高推力、消費
電力の低減に有利となり、また組立てが容易となる。
第１〜第３図は本発明の第１の実施例を示すもので、第
１図は分解斜視図、第２図は外観斜視図、第３図は原理
的な側面図、第４図及び第５図はギャップの形状の実施
例を示す側面図、第６図及び第７図は第２及び第３の実
施例を原理的に示す側面図、第８図及び第９図は第４の
実施例を示すもので、第８図は外観斜視図、第９図は原
理的な側面図、第10図は第５の実施例を示す斜視図、第
11図及び第12図は第６の実施例を示すもので、第11は外
観斜視図、第12図は原理的な側面図、第13図は第７の実
施例を示す斜視図、第14図及び第15図は第８の実施例を
示すもので、第14図は外観斜視図、第15図は原理的な側
面図、第16図は第９の実施例を示す斜視図、第17図は従
来例を示す斜視図である。 なお図面に用いた符号において、 11……可動部 12……固定部 13……ヨーク（第３のヨーク） 14,15……マグネット 19……ヨーク（第１のヨーク） 20……ヨーク（第２のヨーク） 21……コイル 24……基板（基準面） 25,26,27,28……エアギャップ である。
１図は分解斜視図、第２図は外観斜視図、第３図は原理
的な側面図、第４図及び第５図はギャップの形状の実施
例を示す側面図、第６図及び第７図は第２及び第３の実
施例を原理的に示す側面図、第８図及び第９図は第４の
実施例を示すもので、第８図は外観斜視図、第９図は原
理的な側面図、第10図は第５の実施例を示す斜視図、第
11図及び第12図は第６の実施例を示すもので、第11は外
観斜視図、第12図は原理的な側面図、第13図は第７の実
施例を示す斜視図、第14図及び第15図は第８の実施例を
示すもので、第14図は外観斜視図、第15図は原理的な側
面図、第16図は第９の実施例を示す斜視図、第17図は従
来例を示す斜視図である。 なお図面に用いた符号において、 11……可動部 12……固定部 13……ヨーク（第３のヨーク） 14,15……マグネット 19……ヨーク（第１のヨーク） 20……ヨーク（第２のヨーク） 21……コイル 24……基板（基準面） 25,26,27,28……エアギャップ である。
Claims (1)
- 【請求項１】第１のヨーク、 上記第１のヨークと所定のギャップを介しかつ基準面と
平行に並列配置された第２のヨーク、 上記第１及び第２のヨークのうちの少くとも一方のヨー
クに巻回されるコイル、上記第１及び第２のヨークの面
のうち上記基準面に平行な面と対向しかつこの基準面に
対して平行に移動ができるようにマグネットを保持する
第３のヨーク、を夫々具備して成るリニアモータ。
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