JPH07156091A - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH07156091A JPH07156091A JP29994793A JP29994793A JPH07156091A JP H07156091 A JPH07156091 A JP H07156091A JP 29994793 A JP29994793 A JP 29994793A JP 29994793 A JP29994793 A JP 29994793A JP H07156091 A JPH07156091 A JP H07156091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center yoke
- yoke
- linear actuator
- fixed coil
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャッキング用爪の送り速度を制御できると
共に、ストロークエンドでの衝撃の発生を回避し得るリ
ニアアクチュエータを提供すること。 【構成】 リニアアクチュエータは一端側にチャッキン
グ用爪１０を有し、且つその長軸方向に往復動可能なセ
ンターヨーク１３と、センターヨーク１３の他端側より
センターヨーク１３を長軸方向にて付勢するバネ７と、
センターヨーク１３の外周に装着された永久磁石１４
と、センターヨーク１３を駆動させるための制御電流を
通電させる固定コイル１７と、固定コイル１７の内部に
装填されたサイドヨーク１５とを有しており、固定コイ
ル１７に流す電流の向き及び大きさの制御とバネ７の付
勢力との相互作用によってセンターヨーク１３の移動に
際しての速度及び方向を制御し、ストロークエンド近傍
でセンターヨーク１３を減速させる。
共に、ストロークエンドでの衝撃の発生を回避し得るリ
ニアアクチュエータを提供すること。 【構成】 リニアアクチュエータは一端側にチャッキン
グ用爪１０を有し、且つその長軸方向に往復動可能なセ
ンターヨーク１３と、センターヨーク１３の他端側より
センターヨーク１３を長軸方向にて付勢するバネ７と、
センターヨーク１３の外周に装着された永久磁石１４
と、センターヨーク１３を駆動させるための制御電流を
通電させる固定コイル１７と、固定コイル１７の内部に
装填されたサイドヨーク１５とを有しており、固定コイ
ル１７に流す電流の向き及び大きさの制御とバネ７の付
勢力との相互作用によってセンターヨーク１３の移動に
際しての速度及び方向を制御し、ストロークエンド近傍
でセンターヨーク１３を減速させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウエハー
をスパッタリング装置等に把持搬送する際にチャッキン
グする目的で使用されるリニアアクチュエータに関す
る。
をスパッタリング装置等に把持搬送する際にチャッキン
グする目的で使用されるリニアアクチュエータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のリニアアクチュエータ
は、図２（ａ）に示すような構成になっている。このリ
ニアアクチュエータでは、一端側にチャッキング用爪１
０が設けられたプランジャ５をその長軸方向に立設保持
した接続ボス６とベース１のストッパ３との間に設けた
バネ７によって、プランジャ５をその他端側より長軸方
向に付勢している。プランジャ５の外周にはソレノイド
用コイル８及び外周ヨーク９が離間囲繞されて設けら
れ、ベース１に設けられたリニアガイド１１はプランジ
ャ５の長軸方向への移動を案内すると共に、その移動時
の振れを規制する。
は、図２（ａ）に示すような構成になっている。このリ
ニアアクチュエータでは、一端側にチャッキング用爪１
０が設けられたプランジャ５をその長軸方向に立設保持
した接続ボス６とベース１のストッパ３との間に設けた
バネ７によって、プランジャ５をその他端側より長軸方
向に付勢している。プランジャ５の外周にはソレノイド
用コイル８及び外周ヨーク９が離間囲繞されて設けら
れ、ベース１に設けられたリニアガイド１１はプランジ
ャ５の長軸方向への移動を案内すると共に、その移動時
の振れを規制する。
【０００３】このリニアアクチュエータにおいて、ソレ
ノイド用コイル８に通電してプランジャ５をバネ７の付
勢力に抗して引き込むと、図２（ｂ）に示すようにプラ
ンジャ５の一端側に設けられたチャッキング用爪１０の
係合爪１０ａが半導体ウエハー（図示せず）から離れ
る。又、ソレノイド用コイル８への通電を停止したとき
にはプランジャ５はバネ７の付勢力によってプランジャ
５を押し出し、チャッキング用爪１０で半導体ウエハー
（図示せず）を把持する。
ノイド用コイル８に通電してプランジャ５をバネ７の付
勢力に抗して引き込むと、図２（ｂ）に示すようにプラ
ンジャ５の一端側に設けられたチャッキング用爪１０の
係合爪１０ａが半導体ウエハー（図示せず）から離れ
る。又、ソレノイド用コイル８への通電を停止したとき
にはプランジャ５はバネ７の付勢力によってプランジャ
５を押し出し、チャッキング用爪１０で半導体ウエハー
（図示せず）を把持する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したリニアアクチ
ュエータの場合、半導体ウエハーのチャッキング動作を
バネの付勢力とソレノイド用コイルの電磁吸引力との相
関作用で行うため、プランジャ一端側に設けられたチャ
ッキング用爪の送り速度の制御を行うことができないと
いう問題がある。又、これによってプランジャが急激に
ストロークエンドに達して衝撃が発生する。こうした場
合、更に衝撃によって粉塵が発生し、スパッタリング装
置内での真空度が下ったり、半導体ウエハーが位置ずれ
してスパッタリング不良を引き起こすことがある。
ュエータの場合、半導体ウエハーのチャッキング動作を
バネの付勢力とソレノイド用コイルの電磁吸引力との相
関作用で行うため、プランジャ一端側に設けられたチャ
ッキング用爪の送り速度の制御を行うことができないと
いう問題がある。又、これによってプランジャが急激に
ストロークエンドに達して衝撃が発生する。こうした場
合、更に衝撃によって粉塵が発生し、スパッタリング装
置内での真空度が下ったり、半導体ウエハーが位置ずれ
してスパッタリング不良を引き起こすことがある。
【０００５】本発明は、かかる問題点を解決すべくなさ
れたもので、その技術的課題は、チャッキング用爪の送
り速度を制御できると共に、ストロークエンドでの衝撃
の発生を回避し得るリニアアクチュエータを提供するこ
とにある。
れたもので、その技術的課題は、チャッキング用爪の送
り速度を制御できると共に、ストロークエンドでの衝撃
の発生を回避し得るリニアアクチュエータを提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一端側
にチャッキング用爪を有し、且つその長軸方向に往復動
可能なセンターヨークと、センターヨークの移動を案内
するリニアガイドと、センターヨークの他端側より該セ
ンターヨークを長軸方向にて付勢する付勢部材と、セン
ターヨークに装着された永久磁石と、センターヨークを
駆動させるための制御電流が通電される固定コイルと、
固定コイルの内部に装填されたサイドヨークとを有する
リニアアクチュエータが得られる。
にチャッキング用爪を有し、且つその長軸方向に往復動
可能なセンターヨークと、センターヨークの移動を案内
するリニアガイドと、センターヨークの他端側より該セ
ンターヨークを長軸方向にて付勢する付勢部材と、セン
ターヨークに装着された永久磁石と、センターヨークを
駆動させるための制御電流が通電される固定コイルと、
固定コイルの内部に装填されたサイドヨークとを有する
リニアアクチュエータが得られる。
【０００７】
【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明のリニアアクチ
ュエータについて、図面を参照して詳細に説明する。
ュエータについて、図面を参照して詳細に説明する。
【０００８】図１は、本発明の一実施例に係るリニアア
クチュエータの基本構成を側面断面図により示したもの
である。
クチュエータの基本構成を側面断面図により示したもの
である。
【０００９】このリニアアクチュエータでは、従来技術
で説明したものに備えられたプランジャ５に代えてセン
ターヨーク１３を用いている。このセンターヨーク１３
は一端側にチャッキング用爪１０を有し、且つその長軸
方向に往復動可能となっている。又、リニアアクチュエ
ータは、センターヨーク１３に装着された永久磁石１４
と、センターヨーク１３を駆動させるための制御電流が
通電される設けられた固定コイル１７と、固定コイル１
７の内部に装填されたサイドヨーク１５とを有してい
る。更に、リニアアクチュエータは、センターヨーク１
３の移動を案内するリニアガイド１１と、センターヨー
ク１３の他端側よりセンターヨーク１３を長軸方向にて
付勢する付勢部材としてのバネ７とを有している。
で説明したものに備えられたプランジャ５に代えてセン
ターヨーク１３を用いている。このセンターヨーク１３
は一端側にチャッキング用爪１０を有し、且つその長軸
方向に往復動可能となっている。又、リニアアクチュエ
ータは、センターヨーク１３に装着された永久磁石１４
と、センターヨーク１３を駆動させるための制御電流が
通電される設けられた固定コイル１７と、固定コイル１
７の内部に装填されたサイドヨーク１５とを有してい
る。更に、リニアアクチュエータは、センターヨーク１
３の移動を案内するリニアガイド１１と、センターヨー
ク１３の他端側よりセンターヨーク１３を長軸方向にて
付勢する付勢部材としてのバネ７とを有している。
【００１０】このリニアアクチュエータにおける細部構
造は、ベース１に固定された固定コイル１７の内部にサ
イドヨーク１５が挿入され、固定コイル１７で画定され
た内部空間の中央部に接続ボス６に対してその長軸方向
に向けてセンターヨーク１３が立設保持されている。セ
ンターヨーク１３の先端側には半導体ウエハー等を支持
するチャッキング用爪１０がネジ止め等によって取り付
けられている。このチャッキング用爪１０の一端側にも
従来技術で説明したものと同様な係合爪１０ａが設けら
れている。ストッパ３と接続ボス６との間に装填された
バネ７は、センターヨーク１３をその他端側より長軸方
向に付勢している。因みに、センターヨーク１３及びサ
イドヨーク１５は高い磁気飽和密度を有する軟磁性体か
ら成っている。
造は、ベース１に固定された固定コイル１７の内部にサ
イドヨーク１５が挿入され、固定コイル１７で画定され
た内部空間の中央部に接続ボス６に対してその長軸方向
に向けてセンターヨーク１３が立設保持されている。セ
ンターヨーク１３の先端側には半導体ウエハー等を支持
するチャッキング用爪１０がネジ止め等によって取り付
けられている。このチャッキング用爪１０の一端側にも
従来技術で説明したものと同様な係合爪１０ａが設けら
れている。ストッパ３と接続ボス６との間に装填された
バネ７は、センターヨーク１３をその他端側より長軸方
向に付勢している。因みに、センターヨーク１３及びサ
イドヨーク１５は高い磁気飽和密度を有する軟磁性体か
ら成っている。
【００１１】又、センターヨーク１３の外周には４つの
永久磁石１４が取り付けられており、磁束線Ｘによる磁
気回路が形成されるようになっている。ここでは、チャ
ッキング用爪１０側に位置する永久磁石１４が内周側に
Ｎ極を外周側にＳ極を有するように構成されており、接
続ボス側の永久磁石１４がこれとは反対に内周側にＳ極
を、外周側にＮ極を有するように構成されている。
永久磁石１４が取り付けられており、磁束線Ｘによる磁
気回路が形成されるようになっている。ここでは、チャ
ッキング用爪１０側に位置する永久磁石１４が内周側に
Ｎ極を外周側にＳ極を有するように構成されており、接
続ボス側の永久磁石１４がこれとは反対に内周側にＳ極
を、外周側にＮ極を有するように構成されている。
【００１２】このリニアアクチュエータも従来のものと
同様に、ベース１に設けられたリニアガイド１１の案内
によって、接続ボス６を介してセンターヨーク１３がそ
の長軸方向に滑らかに移動できるようになっているが、
動作は幾分異なる。そこで、以下はこのリニアアクチュ
エータの動作について説明する。
同様に、ベース１に設けられたリニアガイド１１の案内
によって、接続ボス６を介してセンターヨーク１３がそ
の長軸方向に滑らかに移動できるようになっているが、
動作は幾分異なる。そこで、以下はこのリニアアクチュ
エータの動作について説明する。
【００１３】このリニアアクチュエータでは、固定コイ
ル１７に通電すると、チャッキング用爪１０を固定した
センターヨーク１３が永久磁石１４から発生する推力に
よって電流の方向及び大きさに応じて長軸方向に速度を
変えて移動することになる。従って、このリニアアクチ
ュエータの場合、固定コイル１７に流す電流の制御とバ
ネ７の付勢力との相関作用によってストロークエンド近
傍でセンターヨーク１３を減速させて衝撃の発生やこれ
に伴う発塵を防止することができる。又、半導体ウエハ
ー等のチャッキング時におけるチャッキング用爪１０の
保持はバネ７の付勢力を用いて行い得るため、固定コイ
ル１７に連続して通電させておく必要がなくなり、余分
な発熱が防止される。
ル１７に通電すると、チャッキング用爪１０を固定した
センターヨーク１３が永久磁石１４から発生する推力に
よって電流の方向及び大きさに応じて長軸方向に速度を
変えて移動することになる。従って、このリニアアクチ
ュエータの場合、固定コイル１７に流す電流の制御とバ
ネ７の付勢力との相関作用によってストロークエンド近
傍でセンターヨーク１３を減速させて衝撃の発生やこれ
に伴う発塵を防止することができる。又、半導体ウエハ
ー等のチャッキング時におけるチャッキング用爪１０の
保持はバネ７の付勢力を用いて行い得るため、固定コイ
ル１７に連続して通電させておく必要がなくなり、余分
な発熱が防止される。
【００１４】尚、本発明のリニアアクチュエータは、実
施例で説明した半導体ウエハー等を把持搬送する際にウ
エハーをチャッキングする用途に限定されるものでな
く、他の用途のアクチュエータにも応用可能である。
施例で説明した半導体ウエハー等を把持搬送する際にウ
エハーをチャッキングする用途に限定されるものでな
く、他の用途のアクチュエータにも応用可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のリニア
アクチュエータによれば、固定コイルに流す電流の向き
及び大きさを制御することによって、センターヨークの
移動に際しての速度及び方向を制御することができるの
で、チャッキング用爪の送り速度を制御できると共に、
ストロークエンドでの衝撃の発生を回避し得るようにな
る。又、このリニアアクチュエータの場合、ベースに固
定された固定コイルが磁石駆動方式であるため、コイル
に断線が発生することが無く、しかも駆動部がセンター
ヨークとこれに取付けられた永久磁石のみであるので、
駆動部の重量が軽く、駆動部の制御を行い易いという長
所がある。更に、このリニアアクチュエータをスパッタ
リング装置のウエハーチャッキング用として用いると、
ウエハーのチャッキング時に、チャッキング用爪がウエ
ハーに急激に衝突することが無くなるので、衝撃による
発塵や位置ずれ等のトラブルが発生しなくなる。これに
より、スパッタリング不良の発生が防止され、スパッタ
リング作業において信頼性が保証されるようになる。
アクチュエータによれば、固定コイルに流す電流の向き
及び大きさを制御することによって、センターヨークの
移動に際しての速度及び方向を制御することができるの
で、チャッキング用爪の送り速度を制御できると共に、
ストロークエンドでの衝撃の発生を回避し得るようにな
る。又、このリニアアクチュエータの場合、ベースに固
定された固定コイルが磁石駆動方式であるため、コイル
に断線が発生することが無く、しかも駆動部がセンター
ヨークとこれに取付けられた永久磁石のみであるので、
駆動部の重量が軽く、駆動部の制御を行い易いという長
所がある。更に、このリニアアクチュエータをスパッタ
リング装置のウエハーチャッキング用として用いると、
ウエハーのチャッキング時に、チャッキング用爪がウエ
ハーに急激に衝突することが無くなるので、衝撃による
発塵や位置ずれ等のトラブルが発生しなくなる。これに
より、スパッタリング不良の発生が防止され、スパッタ
リング作業において信頼性が保証されるようになる。
【図１】本発明の一実施例に係るリニアアクチュエータ
の基本構成を示した断面側面図である。
の基本構成を示した断面側面図である。
【図２】従来のリニアアクチュエータの基本構成を示し
たもので、（ａ）は断面側面図、（ｂ）はその要部の拡
大図である。
たもので、（ａ）は断面側面図、（ｂ）はその要部の拡
大図である。
１ ベース ３ ストッパ ６ 接続ボス ７ バネ ８ ソレノイド用コイル ９ 外周ヨーク １０ チャッキング用爪 １０ａ 係合爪 １１ リニアガイド １３ センターヨーク １４ 永久磁石 １５ サイドヨーク １７ 固定コイル Ｘ 磁束線
Claims (1)
- 【請求項１】 一端側にチャッキング用爪を有し、且つ
その長軸方向に往復動可能なセンターヨークと、前記セ
ンターヨークの移動を案内するリニアガイドと、前記セ
ンターヨークの他端側より該センターヨークを前記長軸
方向にて付勢する付勢部材と、前記センターヨークに装
着された永久磁石と、前記センターヨークを駆動させる
ための制御電流が通電される固定コイルと、前記固定コ
イルの内部に装填されたサイドヨークとを有することを
特徴とするリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29994793A JPH07156091A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29994793A JPH07156091A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | リニアアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07156091A true JPH07156091A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=17878881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29994793A Pending JPH07156091A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | リニアアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07156091A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222683A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Yaskawa Electric Corp | 把持装置 |
| CN105666503A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-06-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种运输机器人的端送托盘及运输机器人 |
| CN114688196A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-07-01 | 智己汽车科技有限公司 | 一种推杆流通孔式减振器 |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP29994793A patent/JPH07156091A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222683A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Yaskawa Electric Corp | 把持装置 |
| CN105666503A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-06-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种运输机器人的端送托盘及运输机器人 |
| CN114688196A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-07-01 | 智己汽车科技有限公司 | 一种推杆流通孔式减振器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021211 |