JP2011222683A - 把持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この電磁グリッパ(把持装置)100は、ウエハ9をクランプする方向に移動する可動部25を含むクランプ部24と、クランプ部24の可動部25をクランプする方向に常時付勢するばね部材30と、少なくともクランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に推力を発生させる電磁アクチュエータ22とを備える。また、電磁アクチュエータ22は、クランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に、ばね部材30のクランプ方向への付勢力による可動部25の移動速度を低減する方向に推力を発生させる励磁コイル27a〜27cを有する励磁回路28を含む。
【選択図】図2
Description
図1〜図5を参照して、本発明の第1実施形態による電磁グリッパ100を備える真空処理装置200について説明する。なお、電磁グリッパ100は、本発明の「把持装置」の一例である。
次に、図11を参照して、本発明の第1実施形態の変形例について説明する。この第1実施形態の変形例では、電磁アクチュエータ22の推力により、クランプ状態に移行する際の移動速度を低減するように構成した上記第1実施形態において、さらに、電磁アクチュエータの推力によりウエハのクランプ力をアシストする例について説明する。
次に、図12を参照して、本発明の第2実施形態について説明する。この第2実施形態では、コンデンサを含む励磁回路を電磁アクチュエータに適用した上記第1実施形態とは異なり、ダイオードを含む励磁回路を電磁アクチュエータに適用した例について説明する。
次に、図14を参照して、本発明の第3実施形態について説明する。この第3実施形態では、励磁回路の3つの励磁コイル27a〜27cを直列接続した上記第1実施形態とは異なり、励磁回路の3つの励磁コイル27a〜27cを並列接続した例について説明する。
次に、図18を参照して、本発明の第4実施形態について説明する。この第4実施形態では、電磁アクチュエータを励磁するために直流電源およびスイッチ部により構成した上記第1実施形態とは異なり、電磁アクチュエータを励磁するために電流制御回路50により励磁オフ時に電流のコントロールを行い、徐々に励磁コイルに流れる電流をオフする例について説明する。
22 電磁アクチュエータ
24 クランプ部
25 可動部
27a、27b、27c 励磁コイル
28、28a、28b、28c、128 励磁回路
30 ばね部材
35 コンデンサ
41a、41b、41c スイッチ部
100、101、102、103、104 電磁グリッパ(把持装置)
281a バイパス回路
281b ダイオード
Claims (8)
- 薄板状物をクランプする方向に移動する可動部を含むクランプ部と、
前記クランプ部の可動部をクランプする方向に常時付勢するばね部材と、
少なくともクランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に推力を発生させる電磁アクチュエータとを備え、
前記電磁アクチュエータは、前記クランプ解除状態から前記クランプ状態に移行する際に、前記ばね部材のクランプ方向への付勢力による前記可動部の移動速度を低減する方向に推力を発生させる励磁コイルを有する励磁回路を含む、把持装置。 - 前記電磁アクチュエータは、前記クランプ解除状態から前記クランプ状態に移行する際に前記励磁回路をオン状態からオフ状態にする時に、前記励磁回路を流れる電流が徐々に減少されることにより、前記ばね部材の付勢力による可動部の移動速度を低減する方向に推力を発生させるように構成されている、請求項1に記載の把持装置。
- 前記励磁回路は、前記励磁回路の電流を蓄電するコンデンサを含み、
前記励磁回路をオン状態からオフ状態にする時に、前記コンデンサに蓄電された電流を流すことにより、前記励磁回路を流れる電流が徐々に減少するように構成されている、請求項2に記載の把持装置。 - 前記励磁回路は、オン時には電流が流れずにオフ時の逆起電力発生時に電流を流すためのダイオードを含むバイパス回路を含み、
前記励磁回路をオン状態からオフ状態にする時に、前記励磁コイルに過渡的に発生する逆起電力による電流を、前記バイパス回路を介して流すことにより、前記励磁回路を流れる電流が徐々に減少するように構成されている、請求項2に記載の把持装置。 - 前記励磁回路は、複数の前記励磁コイルと、前記複数の励磁コイルのそれぞれに対応するように設けられ、前記複数の励磁コイルのオンオフ動作を制御する複数のスイッチ部とを含み、
前記励磁回路をオン状態からオフ状態にする時に、前記複数の励磁コイルが順次オフするように前記複数のスイッチ部を制御することにより、前記励磁回路を流れる電流が徐々に減少するように構成されている、請求項2に記載の把持装置。 - 前記クランプ部および前記電磁アクチュエータは、真空中において使用され、
前記電磁アクチュエータは、前記クランプ解除状態から前記クランプ状態に移行する際に加えて、前記クランプ解除状態でも推力を発生するように構成されており、
前記クランプ解除状態では、前記励磁回路がオン状態にされて電流が流されることにより前記ばね部材の付勢力に抗する方向の推力が前記電磁アクチュエータに発生されて前記可動部がクランプ方向とは逆方向に移動されるとともに、前記クランプ状態では、前記励磁回路がオフ状態にされて電流が流れないことにより前記電磁アクチュエータに推力が発生されないとともに前記ばね部材の付勢力により前記可動部がクランプする方向に付勢されることによりクランプが行われるように構成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の把持装置。 - 前記電磁アクチュエータの励磁回路は、流れる電流の方向を変更可能なように構成されており、
前記クランプ状態で、前記励磁回路のオン時とは逆方向に電流を流すことによって、前記ばね部材の付勢力による前記可動部のクランプ力をアシストする方向の推力を前記電磁アクチュエータに発生させるように構成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の把持装置。 - 前記電磁アクチュエータは、扁平型のリニアモータを含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の把持装置。
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