JP5347318B2 - 基板接合装置及び基板接合方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板接合装置及び基板接合方法に関する。より詳細には、ウエハ等の基板を接合して、その状態を保持する装置及び方法に関する。

各々に素子および回路が形成された基板を積層した積層型の半導体装置がある（特許文献１参照）。積層型の半導体装置は、立体的な構造を形成することにより、素子面積を拡大することなく実効的に高い集積密度を有する。また、積層された基板相互の配線が短いので、動作速度の向上及び低消費電力化にも寄与する。

基板を貼り合わせる場合には、互いに平行に保持された一対の基板を、半導体回路の線幅精度で精密に位置合わせして積層した後、これを基板全体に加熱、加圧して接合させる。このため、一対の基板を位置合わせする位置決め装置（特許文献２参照）と、加熱加圧して接合を恒久的に保持する加熱加圧装置（特許文献３）とを組み合わせた接合装置が用いられる。

位置決め装置と加熱加圧装置を組み合わせた接合装置では、それぞれの装置の稼働時間が著しく異なる場合がある。即ち、位置決め装置では、位置決めが終了した基板を仮接合すれば処理が完了する。これに対して、加熱加圧装置は、例えば接合させる部位が金属バンプの場合、バンプ同士が溶融もしくは固相拡散してオーミックな接合が完了するまで動作を継続しなければならない。そこで、位置決め装置と、当該位置決め装置よりも多数の加熱加圧装置とを組み合わせて接合装置を形成し、装置の稼働効率を改善することが提案されている。

特開平１１−２６１０００号公報 特開２００５−２５１９７２号公報 特開２００７−１１４１０７号公報

しかしながら、多数の加熱加圧装置が同時に起動した場合、著しく大きな電力を要する場合がある。このため、複数の加熱加圧装置を組み合わせる場合には、容量の大きな電力源を用意しなければならず、設備コストの上昇が避けられなかった。

そこで、上記課題を解決すべく、本発明の第１の形態として、積層される又は積層された基板の組を加熱および加圧して接合する基板接合装置であって、複数の前記組を加熱および加圧する複数の加熱加圧部と、前記複数の加熱加圧部のそれぞれに供給される電力を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記複数の加熱加圧部のうち少なくとも一つの加熱加圧部への電力の供給を、他の前記加熱加圧部への電力供給の開始時点と異なる時点で開始させる基板接合装置が提供される。

本発明の第２の形態として、積層される又は積層された基板を互いに接合すべく積層された前記基板の複数の組を、それぞれ前記基板の組を加熱および加圧するための複数の加熱加圧部に装填する段階と、前記複数の加熱加圧部のうち少なくとも一つの加熱加圧部への電力の供給を、他の前記加熱加圧部への電力供給の開始時点と異なる時点で開始させる電力供給段階と、を含むことを特徴とする基板接合方法が提供される。

なお、上記の発明の概要は、発明の全ての特徴を列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションも発明となり得る。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。以下に記載する実施形態は、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせ全てが発明の解決に必須であるとは限らない。

図１は、接合装置１００の構造を模式的に示す平面図である。接合装置は、ケース１０１に収容されたウエハカセット部１１０、ウエハプリアラインメント部１２０、ホルダカセット１３０、ホルダプリアラインメント部１４０、加熱加圧部１５０、ハンドラ１６０、位置合わせ部１７０および制御部４００を備える。

ウエハカセット部１１０は、ケース１０１に対して着脱自在な複数のウエハカセット１１２、１１４、１１６を含む。ウエハカセット１１４、１１６の各々は、接合される基板であるウエハ１１１を収容している。ウエハカセット１１４、１１６は、相互に異なる種類のウエハ１１１を収容してもよい。

また、ウエハカセット１１２、１１４、１１６のひとつ（本実施形態ではウエハカセット１１２）は、接合した後の製品を収容する。このようなウエハカセット１１２、１１４、１１６を用いて、接合装置１００にウエハ１１１を装入し、また、搬出できる。ここで、ウエハ１１１は基板の一例である。

ホルダカセット１３０は、複数のウエハホルダ１３１を収容する。ウエハホルダ１３１は、接合装置１００の内部で繰り返し使用されるので、接合装置１００毎に一定数が用意されていれば足りる。

ウエハプリアラインメント部１２０は、ウエハ１１１のプリアラインメントを実行する領域を提供する。ホルダプリアラインメント部１４０は、ウエハホルダ１３１のプリアラインメントを実行する領域を提供する。

位置合わせ部１７０は、ケース１７２に収容されたアライナ３００を含む。アライナ３００は、互いに直交する３つの軸方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）及び該各軸周り方向（θｘ、θｙ、θｚ）に移動させることができる移動テーブル３１０を有する。なお、この接合装置１００は、符号Ｐ、Ｑにより識別される一対の位置合わせ部１７０を備える。

加熱加圧部１５０は、気密なケース１５４を有する。加熱加圧部１５０も複数設けられ、この接合装置１００では符号Ａ〜Ｅにより識別される。

ハンドラ１６０は、走行ベース１６４、及び、搬送部である一対のロボットアームＭ、Ｎを有する。ロボットアームＭ，Ｎの各々は、それぞれ回転アーム１６６およびエンドエフェクタ１６８を有する。走行ベース１６４は、個別のガイドレール１６２に沿って走行する。回転アーム１６６は、関節を有して屈曲すると共に、走行ベース１６４上で回転する。

エンドエフェクタ１６８は、回転アーム１６６の先端に装着され、回転アーム１６６に対して回転すると共に、回転アーム１６６に対して進退もする。また、エンドエフェクタ１６８は、ウエハ１１１、ウエハホルダ１３１およびウエハ１１１を保持したウエハホルダ１３１を保持する機能を有する。更に、エンドエフェクタ１６８は、その長手方向の軸の周りに回転する。

これらの部材により、ハンドラ１６０は、接合装置１００内のウエハカセット１１２、１１４、１１６、ウエハプリアラインメント部１２０、ホルダカセット１３０、ホルダプリアラインメント部１４０、加熱加圧部１５０、ハンドラ１６０および位置合わせ部１７０の各々に対して、ウエハ１１１およびウエハホルダ１３１を個別に搬入または搬出できる。また、エンドエフェクタ１６８の回転により、ウエハ１１１を裏返すこともできる。

制御部４００は、加熱加圧部１５０、位置合わせ部１７０およびハンドラ１６０の動作を総合的に制御する。また、これらの動作に伴って消費される電力の供給も、制御部４００が担う。

図２は、接合装置１００が動作している状態を示す平面図である。図示の状態では、一方のロボットアームＭが、ウエハカセット１１４から搬出したウエハ１１１をウエハプリアラインメント部１２０に搬入する。また、他方のロボットアームＮは、ホルダカセット１３０から搬出したウエハホルダ１３１を、ホルダプリアラインメント部１４０に搬入する。

これにより、ウエハ１１１はロボットアームＭに対して、ウエハホルダ１３１はロボットアームＮに対して、それぞれプリアラインメントされる。従って、最終的なアラインメントにおいて指標となる画像（例えば、アラインメントマーク）が高精度顕微鏡の狭い視野に入る範囲に位置合わせされる。

更に、ホルダプリアラインメント部１４０においては、ウエハホルダ１３１に、ウエハ１１１を保持させる作業も実行される。即ち、ホルダカセット１３０から取り出してプリアラインメントされたウエハホルダ１３１に対して、ウエハカセット１１４から取り出してプリアラインメントされたウエハ１１１が搭載される。

これにより、後述する位置合わせ部１７０における位置合わせで補償できる範囲の精度で、ウエハホルダ１３１の所定の位置にウエハ１１１が保持される。これらの作業は、複数のウエハ１１１およびウエハホルダ１３１に対して順次実行される。

接合装置１００の内部において、ウエハ１１１は、ウエハホルダ１３１に保持された状態で取り扱われる。ウエハホルダ１３１は、ウエハ１１１を保護すると共に、ウエハ１１１の位置合わせ等を実行する場合に、ウエハ１１１の位置を示す指標としても使用される場合がある。

図３は、接合装置１００が動作している他の状態を示す平面図である。ホルダプリアラインメント部１４０においてウエハホルダ１３１に保持されたウエハ１１１は、ハンドラ１６０により搬出され、アライナ３００に装填される。

アライナ３００においては、移動テーブル３１０の上に、ウエハホルダ１３１を介してウエハ１１１が載置される。また、表裏を反転させて、移動テーブル３１０上のウエハ１１１に対向してもうひとつのウエハ１１１が固定される。

これら一対のウエハ１１１は、移動テーブル３１０を適宜移動させることにより、ウエハ１１１上の回路の配線幅に相当する精度で位置合わせして重ねられる。重ねられた一対のウエハ１１１は、ウエハ１１１同士の接合、ウエハホルダ１３１相互の固定等により位置合わせされた状態を維持する。

図４は、接合装置１００が動作している更に他の状態を示す図である。位置合わせ部１７０において位置合わせされた一対のウエハ１１１およびウエハホルダ１３１は、加熱加圧部１５０に装填される。加熱加圧部１５０は、シャッタ１５２を有する。

ウエハ１１１およびウエハホルダ１３１が装填された加熱加圧部１５０は、ケース１５４の開口をシャッタ１５２により閉鎖して内部を減圧する。これにより、加熱中に生じるウエハ１１１の酸化雰囲気による劣化を防止する。

更に、加熱加圧部１５０において加熱および加圧することにより、位置合わせして積層された一対のウエハ１１１の接合を固定する。こうして接合を固定された積層ウエハ１１３は、ウエハホルダ１３１から取り外されて、搬出用のウエハカセット１１２に蓄積される。

図４に示した状態では、５基の加熱加圧部１５０のうち、Ａは加熱および加圧を実行している。加熱加圧部１５０のＢは、位置合わせして積層されたウエハ１１１およびウエハホルダ１３１を、一方のロボットアームＮにより装填されつつある。一方、他方のロボットアームＭは、既に、別のウエハ１１１をウエハプリアラインメント部１２０に向かって搬送しつつある。

このように、接合装置１００においては、一対の位置合わせ部１７０およびふたつのロボットアームＭ、Ｎが個別に動作して、上記の一連の作業を順次実行すると共に、複数の作業を並行して実行できる。また、作業時間が相対的に短いウエハプリアラインメント部１２０およびホルダプリアラインメント部１４０に対して、作業時間が長い位置合わせ部１７０は一対設けられる。更に、作業時間が一層長い加熱加圧部１５０は５基設けられるので、各部の稼働効率が高い。

図５は、加熱加圧部１５０の概略を示す側面図である。図５に示す加熱加圧部１５０は、互いに対向して配された上プレス２５２および下プレス２５４、並びに、これらの内部に配されたヒータ２３２、２３４を有する。これら上プレス２５２および下プレス２５４は加圧部２５０の一例であり、ヒータ２３２、２３４は加熱部２３０の一例である。

上プレス２５２及び下プレス２５４は、互いに協働して両ウエハ１１１を加圧すべく互いに近接する方向に相対的に移動する。ヒータ２３２、２３４の熱により、上プレス２５２および下プレス２５４を所定の温度プロファイルが加熱されることにより、各ウエハホルダ１３１がそれぞれ加熱され、これにより、各ウエハ１１１がそれぞれ加熱される。上プレス２５２及び下プレス２５４から作用する圧力、及び、各ヒータ２３２、２３４からの熱により、各ウエハホルダ１３１に保持された各ウエハ１１１が互いに接合される。

図６は、制御部４００の構造を模式的に示す図である。制御部４００は、加圧部２５０の動作制御に関与する圧力プロファイル格納部４１０、圧力設定部４２０および加圧経過時間計測部４３２と、加熱部２３０の加熱に関与する温度プロファイル格納部４５０、温度設定部４４０および加熱経過時間計測部４３４とを含む。

圧力プロファイル格納部４１０は圧力プロファイルを格納する。圧力プロファイルは、加熱加圧部１５０に加圧を開始させてからの圧力と時間との関係を示す。圧力プロファイル格納部４１０を参照して、圧力プロファイルに従って加圧部２５０の動作を制御することにより、ウエハ１１１に衝撃を与えることなく、効率よくウエハ１１１を加圧できる。

圧力設定部４２０は、ウエハ１１１を接合する場合に加圧部２５０に求められる圧力を供給する。加圧部２５０により形態は異なるが、例えば、圧力源と加圧部２５０との連通または遮断を司るバルブ等で圧力設定部４２０を構成することができる。

温度プロファイル格納部４５０は温度プロファイルを格納する。温度プロファイルは、加熱加圧部１５０に加熱を実行させるべく供給する電力の大きさと供給を開始してからの時間との関係を示す。本実施例においては、温度プロファイル格納部４５０を参照して、温度プロファイルに従って加熱部２３０の動作を制御することにより、ウエハ１１１を効率よく加熱または冷却して熱構成性接着剤を硬化させることができる。また、ウエハ１１１に熱衝撃が加わることを防止できる。

温度設定部４４０は、ウエハ１１１を接合する場合に求められる温度を、加熱部２３０に設定する。具体的には、例えば、加熱部２３０に供給する電力量を制御して、加熱部２３０に所期の加熱を実行させる。

なお、位置合わせ部１７０における位置合わせ作業に要する時間は、ウエハ１１１自体の工作精度並びにウエハ１１１およびウエハホルダ１３１のプリアラインメントの精度に応じてばらつきがある。このため、加熱加圧部１５０に搬入されるタイミングは一様ではない。

そこで、ＡからＥまでの５基の加熱加圧部１５０は、積層されたウエハ１１１が装入された場合に個別に動作を開始することが望ましい。このため、圧力設定部４２０および温度設定部４４０は、加熱加圧部１５０の各々に対して個別に電力および圧力を供給し、またはその供給を遮断する。また、圧力設定部４２０および温度設定部４４０は、加圧および加熱を開始した場合は、開始のタイミングに関わらず、一定の圧力プロファイル格納部４１０または温度プロファイル格納部４５０を参照して制御を実行する。

更に、制御部４００は、複数の加熱加圧部１５０を識別する識別情報に対応付けて、複数の加熱加圧部１５０のそれぞれに電力の供給を開始してからの経過時間を計測する加熱経過時間計測部４３４を有し、温度設定部４４０は、加熱経過時間計測部４３４の計測結果に基づいて温度プロファイル格納部４５０に格納された温度プロファイルを参照することにより、加熱加圧部１５０の各々に加熱の電力を供給してもよい。

また、制御部４００は、複数の加熱加圧部１５０を識別する識別情報に対応付けて、複数の加熱加圧部１５０のそれぞれに圧力の供給を開始してからの加圧経過時間を計測する加圧経過時間計測部４３２をさらに有し、圧力設定部４２０は、加圧経過時間計測部４３２の計測結果に基づいて圧力プロファイル格納部４１０に格納された圧力プロファイルを参照することにより、加熱加圧部１５０の各々に加圧を開始させてもよい。これにより、加圧開始のタイミングによらず、圧力プロファイルを使用して正確に加圧できる。

図７は、加熱加圧部１５０において生じる電力ピークを説明するグラフである。なお、以下の説明は、制御部４００による加熱部２３０への電力供給に着目して説明する。

この実施例に係る接合装置１００は、前記したように、図示の例では、一対の位置合わせ部１７０と一対のロボットアームＭ、Ｎを備える。このため、各ロボットアームＭ，Ｎがそれぞれ５つの加熱加圧部１５０のうち２つの加熱加圧部１５０に略同時にウエハ１１１およびウエハホルダ１３１を搬入する場合がある。このような場合、各加熱加圧部１５０にウエハ１１１及びウエハホルダ１３１が搬入された時点から電力が供給される時点までの時間が固定されている場合には、２つの加熱加圧部１５０が略同時に動作を開始することがあり得る。

ここで、電力供給が開始されて抵抗熱を発生する加熱部２３０の各々には、電力供給の開始当初に大きな突入電流が流れ、曲線Ａ、Ｂに示すように、各加熱加圧部１５０に電力ピークＰ_０が生じる。このような電力ピークＰ_０が、２つの加熱加圧部１５０に同時に生じた場合、図中に太い曲線Ｔで示すように、総合的な消費電力に著しく大きな電力ピークＰ_１が生じる。

図８は、温度設定部４４０に対する制御部４００の制御を説明する図である。制御部４００は、各ロボットアームＭ，Ｎがそれぞれ５つの加熱加圧部１５０のうち２つの加熱加圧部１５０に略同時にウエハ１１１およびウエハホルダ１３１を搬入した場合に、２つの加熱加圧部１５０のうち一方の加熱加圧部１５０への電力の供給を、他方の加熱加圧部１５０への電力供給の開始時点と異なる時点で開始する。図示の例では、制御部４００は、前記一方の加熱加圧部１５０へのウエハ１１１及びウエハホルダ１３１の搬入時点から電力供給開始時点までの時間を、前記他方の加熱加圧部１５０における前記時間よりも遅延させる。

これにより、２つの加熱加圧部１５０に対して電力供給が開始される時点が時間的にずれるので、曲線Ａ、Ｂで示す加熱加圧部１５０の各々において生じる電力ピークＰ_０は、異なるタイミングで発生する。従って、図中に太い曲線Ｔで示すように、総合的な消費電力生じる電力ピークＰ_２が極端に高くなることが防止される。

制御部４００の制御によって温度設定部４４０から前記一方の加熱加圧部１５０への電力の供給開始時間を遅延させるとき、温度設定部４４０は、電力の供給を開始する時間を遅延させない場合に参照する温度プロファイルと同じ温度プロファイルを参照して、加熱加圧部１５０に電力を供給してもよい。

また、各ロボットアームＭ，Ｎによる各加熱加圧部１５０へのウエハ１１１およびウエハホルダ１３１の搬入がほぼ同時ではなく時間的にずれて行われた場合、各加熱加圧部１５０へのウエハ１１１及びウエハホルダ１３１の搬入時点から電力供給開始時点までの時間を所定の時間に固定することができる。

なお、温度設定部４４０による加熱部２３０への電力供給を例に挙げて説明した。しかしながら、制御部４００の制御の対象は電力供給に限定されない。例えば、圧力設定部４２０による加圧部２５０への圧力供給についても、同様に、一部の加熱加圧部１５０に対する駆動開始のタイミングを遅らせて、圧力源の圧力低下のピーク重畳を抑制できる。

このように、制御部４００は、いずれかの加熱加圧部１５０に対して加熱のための電力の供給を開始する時間を遅延する場合に、当該加熱加圧部１５０による加圧を開始する時間も他の加熱加圧部１５０による加圧の開始時間よりも遅延させてもよい。

また、圧力設定部４２０は、加圧を開始する時間を遅延する場合も、該時間を遅延させない場合に参照する圧力プロファイルと同じ圧力プロファイルを圧力プロファイル格納部４１０から参照して、加熱加圧部１５０に圧力を供給してもよい。これにより、少ないリソースで多くの加熱加圧部１５０を効率よく制御できる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。また、上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることが当業者に明らかである。更に、その様な変更または改良を加えた形態も発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

本実施例では、複数の加熱加圧部１５０のうち２つの加熱加圧部１５０に２つのロボットアームＭ，Ｎによってウエハ１１１及びウエハホルダ１３１がほぼ同時に搬送された場合に、２つの加熱加圧部１５０の一方の加熱加圧部１５０へのウエハ１１１及びウエハホルダ１３１の搬入時点から温度設定部４４０による電力供給開始時点までの時間を、他方の加熱加圧部１５０における前記時間よりも遅延させることによって、前記２つの加熱加圧部１５０への電力供給の開始時点を時間的に互いにずらす例を示した。

これに代えて、前記２つの加熱加圧部１５０への電力供給の開始時点を時間的にずらすことを目的として、各ロボットアームＭ，Ｎによる各加熱加圧部１５０への搬入の時点を互いにずらすことができる。この場合、制御部４００は、各ロボットアームＭ，Ｎのうち例えば一方のロボットアームＭによる加熱加圧部１５０へのウエハ１１１及びウエハホルダ１３１の搬入を、他方のロボットアームＮによる加熱加圧部１５０への前記搬入時点と異なる時点で行わせる。

このとき、各加熱加圧部１５０への前記搬入時点から前記電気供給時点までの時間が一定である場合には、各ロボットアームＭ，Ｎによる前記搬入時点を時間的にずらすことにより、ウエハ１１１及びウエハホルダ１３１が搬入された２つの加熱加圧部１５０への電気供給時点が互いにずれる。これにより、総合的な消費電力生じる電力ピークＰ_２が極端に高くなることが防止される。

また、各ロボットアームＭ，Ｎによる前記搬入時点を互いにずらす場合において、前記一方の加熱加圧部１５０への前記搬入時点から前記電力供給開始時点までの時間を、制御部４００の制御下で、他方の加熱加圧部１５０における前記時間よりも遅延させることができる。

なお、本実施例では、ハンドラ１６０が、一対のロボットアームＭ、Ｎを有する例を示したが、これに代えて、３つ以上のロボットアームを有するハンドラに当該発明を適用することができる。この場合、制御部４００は、各ロボットアームによる各加熱加圧部１５０へのウエハ１１１及びウエハホルダ１３１の搬入がほぼ同時に行われた場合、各加熱加圧部１５０のうち少なくとも一つの加熱加圧部１５０への電力の供給を、他の各加熱加圧部１５０への電力供給の開始時点と異なる時点で開始させる。これにより、各加熱加圧部１５０への電力供給の開始時点をそれぞれ時間的にずらすことができる。

また、この場合、制御部４００は、複数のロボットアームのうち少なくとも一つの該ロボットアームによる加熱加圧部１５０への搬入を、他の各ロボットアームによる搬入時点と異なる時点で行わせる。これにより、各加熱加圧部１５０への電力供給の開始時点をそれぞれ時間的にずらすことができる。

なお、上記実施形態においては、ウエハ１１１の組を接合する接合装置１００を説明したが、接合装置１００の例はこれに限られない。他の接合装置１００の例として個別のチップをボンディングするチップボンダーが挙げられる。

接合装置１００の構造を模式的に示す平面図である。 接合装置１００が動作している状態を示す平面図である。 接合装置１００が動作している他の状態を示す平面図である。 接合装置１００が動作している更に他の状態を示す図である。 加熱加圧部１５０の構造を示す縦断面図である。 加熱加圧部１５０の制御部４００の構造を模式的に示す図である。 加熱加圧部１５０において生じる電力ピークを説明するグラフである。 温度設定部４４０に対する制御部４００の制御を説明する図である。

符号の説明

１００ 接合装置、１０１、１５４、１７２ ケース、１１０ ウエハカセット部、１１１ ウエハ、１１２、１１４、１１６ ウエハカセット、１１３ 積層ウエハ、１２０ ウエハプリアラインメント部、１３０ ホルダカセット、１３１ ウエハホルダ、１４０ ホルダプリアラインメント部、１５０ 加熱加圧部、１５２ シャッタ、１６０ ハンドラ、１６２ ガイドレール、１６４ 走行ベース、１６６ 回転アーム、１６８ エンドエフェクタ、１７０ 位置合わせ部、２３０ 加熱部、２３２ ヒータ、２３４ ヒータ、２５０ 加圧部、２５２ 上プレス、２５４ 下プレス、３００ アライナ、３１０ 移動テーブル、４００ 制御部、４１０ 圧力プロファイル格納部、４２０ 圧力設定部、４３２ 加圧経過時間計測部、４３４ 加熱経過時間計測部、４４０ 温度設定部、４５０ 温度プロファイル格納部

Claims (12)

1. 複数の基板を接合すべく加熱する複数の加熱部と、
   前記複数の加熱部に供給される電力を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記複数の加熱部のうち少なくとも二つに前記基板の組がほぼ同時に装填されたとき、前記組が装填された前記複数の加熱部のうち少なくとも一つの前記加熱部に供給される電力のピークが他の前記加熱部に供給される電力のピークと異なる時点で発生するように、前記少なくとも一つの加熱部への電力供給を制御する基板接合装置。
2. 前記制御部は、前記複数の加熱部のうち少なくとも一つの加熱部への電力の供給を、他の前記加熱部への電力供給の開始時点と異なる時点で開始させる請求項１に記載の基板接合装置。
3. 前記制御部は、前記組が装填された前記複数の加熱部のうち少なくとも一つの該加熱部への前記組の装填時点から電力供給の開始時点までの時間を遅延させることを特徴とする請求項２に記載の基板接合装置。
4. 前記制御部は、前記加熱部のひとつに供給する電力の大きさと電力の供給を開始してからの経過時間との関係を示す温度プロファイルを格納する温度プロファイル格納部、および、前記温度プロファイル格納部に格納された前記温度プロファイルを参照して前記加熱部に電力を供給して前記加熱部の温度を設定する温度設定部を有し、
   前記温度設定部は、電力の供給を開始する時間を遅延する場合も、該時間を遅延させない場合に参照する前記温度プロファイルと同じ温度プロファイルを参照して、前記加熱部に電力を供給する請求項３に記載の基板接合装置。
5. 前記制御部は、前記複数の加熱部を識別する識別情報に対応付けて、前記複数の加熱部のそれぞれに電力の供給を開始してからの経過時間を計測する加熱経過時間計測部をさらに有し、
   前記温度設定部は、前記経過時間計測部の計測結果に基づいて前記温度プロファイル格納部に格納された前記温度プロファイルを参照することにより、前記加熱部の各々に加熱のための電力を供給する請求項４に記載の基板接合装置。
6. 前記複数の基板の組を加圧する複数の加圧部を備え、
   前記制御部は、いずれかの前記加熱部に対して電力の供給を開始する時間を遅延させる場合に、前記加圧部による加圧を開始する時間も他の前記加圧部による加圧の開始時間よりも遅延させる請求項２から請求項５までのいずれか１項に記載の基板接合装置。
7. 前記制御部は、前記加圧部に加圧を開始させてからの時間との関係を示す圧力プロファイルを格納する圧力プロファイル格納部、および、前記圧力プロファイル格納部に格納された前記圧力プロファイルを参照して前記加圧部による加圧の圧力を設定する圧力設定部を有し、
   前記圧力設定部は、加圧を開始する時間を遅延する場合も、該時間を遅延させない場合に参照する前記圧力プロファイルと同じ圧力プロファイルを参照して、前記加圧部に加圧を開始させる請求項６に記載の基板接合装置。
8. 前記制御部は、前記複数の加圧部を識別する識別情報に対応付けて、前記複数の加圧部のそれぞれに加圧を開始してからの経過時間を計測する加圧経過時間計測部をさらに有し、
   前記圧力設定部は、前記経過時間計測部の計測結果に基づいて前記圧力プロファイル格納部に格納された前記圧力プロファイルを参照することにより、前記加圧部の各々に加圧を開始させる請求項７に記載の基板接合装置。
9. 積層される又は積層された複数の基板を加圧して接合する基板接合装置であって、
   前記複数の基板を加圧する複数の加圧部と、
   前記複数の加圧部に供給される電力を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記複数の加圧部のうち少なくとも二つに前記基板の組がほぼ同時に装填されたとき、前記組が装填された前記複数の加圧部のうち少なくとも一つの前記加圧部に供給される電力のピークが他の前記加圧部に供給される電力のピークと異なる時点で発生するように、前記少なくとも一つの加圧部への電力供給を制御する基板接合装置。
10. 積層される又は積層された基板を互いに接合すべく積層された前記基板の複数の組を、それぞれ前記基板の組を加熱するための複数の加熱部に装填する段階と、
    前記複数の加熱部のうち少なくとも二つに前記基板の組がほぼ同時に装填されたとき、前記組が装填された前記複数の加熱部のうち少なくとも一つの前記加熱部に供給される電力のピークが他の前記加熱部に供給される電力のピークと異なる時点で発生するように、前記少なくとも一つの加熱部に電力供給する電力供給段階とを含むことを特徴とする基板接合方法。
11. 前記電力供給段階では、前記複数の加熱部のうち少なくとも一つの加熱部への電力の供給を、他の前記加熱部への電力供給の開始時点と異なる時点で開始させることを特徴とする請求項１０に記載の基板接合方法。
12. 前記電力供給段階では、前記組が装填された前記複数の加熱部のうち少なくとも一つの該加熱部への前記組の装填時点から電力供給の開始時点までの時間を遅延させることを特徴とする請求項１１に記載の基板接合方法。

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