JPH06319248A - チャッキング装置用アクチュエータ - Google Patents

チャッキング装置用アクチュエータ

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Publication number
JPH06319248A
JPH06319248A JP12533893A JP12533893A JPH06319248A JP H06319248 A JPH06319248 A JP H06319248A JP 12533893 A JP12533893 A JP 12533893A JP 12533893 A JP12533893 A JP 12533893A JP H06319248 A JPH06319248 A JP H06319248A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
yoke
driving
coil
actuator
fixed
Prior art date
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Pending
Application number
JP12533893A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuo Yanuma
達夫 矢沼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokin Corp filed Critical Tokin Corp
Priority to JP12533893A priority Critical patent/JPH06319248A/ja
Publication of JPH06319248A publication Critical patent/JPH06319248A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 滑らかな駆動が出来るチャッキング装置用ア
クチュエータを供する。 【構成】 断面がE型のヨーク14と、そのセンタヨー
ク9の端面からバックヨーク15の外側まで中央部に貫
通孔が設けられ、この貫通孔に爪1が固定された爪駆動
軸12が可動的に挿入され、サイドヨーク10の外面に
は爪駆動軸12を支えるリニアガイド6が固定され、サ
イドヨークの内面には、永久磁石11がセンタヨーク9
側に同じ磁極が発生するように磁化され、センタヨーク
9との間に所定のギャップが設けられるように固定さ
れ、センタヨーク9と永久磁石11の間には駆動用コイ
ル8が配置され、前記駆動用コイル8の一端とリニアガ
イド6の一端と爪駆動軸12の一端を一体に固定し、こ
の固定部とサイドヨーク10に固定されたベース7の間
にばね5が配置された構造で、駆動用コイル8に流す電
流の制御によりアクチュエータの駆動方向と速度を制御
するチャッキング装置用アクチュエータ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体用基板上にスパ
ッタリング等により製膜する装置等で用いる、単結晶基
板等を保持する爪やチャックを駆動するチャッキング装
置用アクチュエータに関係する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の用途に用いられるアクチ
ュエータは、図2に示すような、電磁ソレノイドが使用
されていた。チャッキング装置用アクチュエータは、図
2に示すような、先端に爪1の付いたプランジャ2を駆
動するアクチュエータが複数向かい合わせてチャッキン
グ装置に取付けられ、プランジャ2の先端に取り付けら
れた爪1を前後に移動させて基板の位置まで押し出し、
別にチャッキング装置本体に設けられ、前記アクチュエ
ータと接続した他のアクチュエータの移動により複数の
爪1がそれぞれ内側に移動され、基板を把持したり、外
側に移動して基板を開放したりする。図2に示す爪1を
前後に移動させるチャッキング装置用アクチュエータの
例について以下説明する。このチャッキング装置用アク
チュエータの移動動作は、電磁ソレノイドのオン・オフ
により、磁気回路の電磁吸引力とばね5の力のバランス
により、プランジャ2が移動して、その先端に固定され
た基板保持用の爪1を駆動していた。このチャッキング
装置は非常に精密なパターンが印刷される半導体用基板
等を保持するために使用されるので、爪1やチャックの
移動は滑らかに行なわれる必要があった。従来の構造で
は、復元用のばね5の力に抗する電磁ソレノイドの吸引
力により、プランジャ2(爪駆動軸)を移動しているた
め、構造的にプランジャ2の位置により吸引力の大きさ
が異なり、特に終端部で急激に大きくなるため、ストロ
ークエンドでの発進、停止時の衝撃が大きくなり、装置
内に粉塵を発生させたり、真空度を低下させたりし、
又、チャッキングした基板の位置ずれを発生させたりし
て、製品が不良と成るという問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
の問題を解消し、爪やアクチュエータが接続されたアク
チュエータの駆動を滑らかに行なうことの出来るチャッ
キング装置用アクチュエータを供する事にある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するため、アクチュエータの駆動系に、永久磁石と
駆動コイルの組み合わせを取り入れたアクチュエータを
用いたもので、アクチュエータの移動速度や移動方向の
制御が簡単に出来る構造のチャッキング装置用アクチュ
エータである。
【0005】即ち、本発明は、チャッキング装置に用い
るアクチュエータにおいて、柱状のセンタヨークとその
外側に配置されるサイドヨークの一端がバックヨークに
固定され磁気的に接合された断面がE型を呈するヨーク
と、このヨークのセンタヨークの端面からバックヨーク
の外側の面まで中央部に貫通孔が設けられ、この貫通孔
に爪や他のアクチュエータが駆動される爪駆動軸が可動
的に挿入され、サイドヨークの外面に爪駆動軸を支える
リニアガイドが固定され、サイドヨークの内面には、セ
ンタヨークとの間に所定のギャップが設けられるよう永
久磁石が固定され、この永久磁石はセンタヨーク側に同
じ磁極が発生するよう磁化され、センタヨークと永久磁
石の間には駆動用コイルが配置され、前記駆動用コイル
の一端とリニアガイドの一端と爪駆動軸の一端を一体に
固定し、この固定部とサイドヨークに固定されたベース
との間にばねが圧縮状態で配置された構造を有し、前記
駆動用コイルに流す電流の制御によりアクチュエータの
駆動方向と速度を制御することを特徴とするチャッキン
グ装置用アクチュエータである。
【0006】
【作用】ヨーク回路の永久磁石による磁界とその磁界中
のコイルに流れる電流とコイルを押えているばねの力に
より駆動される構造で、磁界が一定の範囲で均一にして
あるので、コイルに流す電流の向きと大きさで、コイル
に接続固定された爪やアクチュエータの移動方向や速度
が決められ、この電流の精密な制御により、滑らかで精
密な駆動が出来る。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。図1は、本発明のチャッキング装置用ア
クチュエータの断面を示す正面図である。
【0008】図1に示すように、ヨーク14の中央のセ
ンタヨーク9の中央に、爪駆動軸12が可動的な嵌め合
いとなる貫通孔が設けられ、ヨーク14の外側のサイド
ヨーク10の外面にはリニアガイド6を案内するコイル
が固定されている。さらに、サイドヨーク10の内面に
はセンタヨーク9との間に所定のギャップが得られ磁極
の方向がセンタヨーク9に対して同じに成るように着磁
された永久磁石11が接着などにより固定されている。
永久磁石11とセンタヨーク9との間のギャップに駆動
用コイル8が可動的に配置されている。駆動用コイル8
とリニアガイド6と爪駆動軸12の一端はヨーク14の
開放端側でねじ13により一体に固定されている。一体
に固定したねじ13部分と、ヨーク14に固定されたベ
ース7の中央部との間にばね5が圧縮状態で配置され、
爪駆動軸12と駆動用コイル8を、ヨーク側に押し付け
ている。
【0009】このように構成されたチャッキング装置用
アクチュエータは、駆動用コイル8に通電していない状
態では、アクチュエータの爪駆動軸12は図1のように
左側に押し付けられて、チャックキング状態にある。爪
1を後退させて基板を開放するには、駆動用コイル8に
通電する事により駆動用コイル8が永久磁石11の磁界
と駆動用コイル8の電流の大きさと向きにより爪駆動軸
12が静かに後退して開放する。電流と磁界の強さ及び
方向により移動速度(移動させる力)と移動方向と停止
位置を制御できるので、駆動用コイルに所定の方向の所
定の大きさの電流を制御しながら通電することにより、
爪1を静かに移動し、チャックを開放したり、保持状態
にしたりできる。従って、この様に駆動用コイル8の通
電電流の大きさと方向を制御することで、ストロークエ
ンドやスタートでの速度や位置を調節して、滑らかな爪
1やアクチュエータの移動が出来、粉塵の発生や基板の
位置ずれを防止出来るチャッキング装置用アクチュエー
タが得られた。通電電流の方向と大きさの制御は市販の
電子式電源装置により簡単に行なうことが出来た。
【0010】
【発明の効果】以上、説明したように本発明のチャッキ
ング装置用アクチュエータによれば、移動速度や位置を
簡単に制御でき、スタートからストロークエンドまで滑
らかに移動停止出来、本体装置の真空度の低下や粉塵の
発生の心配の無いチャッキング装置用アクチュエータが
提供でき、スッパタリング装置などに用いることによ
り、信頼性の高い製品が供給できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のチャッキング装置用アクチ
ュエータの断面を示す正面図。
【図2】従来のチャッキング装置用アクチュエータの断
面を示す正面図。
【符号の説明】
1 爪 2 プランジャ 3 駆動用コイル 4 外周ヨーク 5 ばね 6 リニアガイド 7 ベース 8 駆動用コイル 9 センタヨーク 10 サイドヨーク 11 永久磁石 12 爪駆動軸 13 ねじ 14 ヨーク 15 バックヨーク 16 (移動方向を示す)矢印

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チャッキング装置に用いるアクチュエー
    タにおいて、柱状のセンタヨークとその外側に配置され
    るサイドヨークの一端がバックヨークに固定され磁気的
    に接合された断面がE型を呈するヨークと、このヨーク
    のセンタヨークの端面からバックヨークの外側の面まで
    中央部に貫通孔が設けられ、この貫通孔に爪や他のアク
    チュエータが駆動される爪駆動軸が可動的に挿入され、
    サイドヨークの外面に爪駆動軸を支えるリニアガイドが
    固定され、サイドヨークの内面には、センタヨークとの
    間に所定のギャップが設けられるよう永久磁石が固定さ
    れ、この永久磁石はセンタヨーク側に同じ磁極が発生す
    るよう磁化され、センタヨークと永久磁石の間には駆動
    用コイルが配置され、前記駆動用コイルの一端とリニア
    ガイドの一端と爪駆動軸の一端を一体に固定し、この固
    定部とサイドヨークに固定されたベースとの間にばねが
    圧縮状態で配置された構造を有し、前記駆動用コイルに
    流す電流の制御によりアクチュエータの駆動方向と速度
    を制御することを特徴とするチャッキング装置用アクチ
    ュエータ。
JP12533893A 1993-04-28 1993-04-28 チャッキング装置用アクチュエータ Pending JPH06319248A (ja)

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JP12533893A JPH06319248A (ja) 1993-04-28 1993-04-28 チャッキング装置用アクチュエータ

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JPH06319248A true JPH06319248A (ja) 1994-11-15

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ID=14907649

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JP12533893A Pending JPH06319248A (ja) 1993-04-28 1993-04-28 チャッキング装置用アクチュエータ

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JP (1) JPH06319248A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104617732A (zh) * 2015-01-28 2015-05-13 上海携福电器有限公司 个人清洁护理用具
KR20150124294A (ko) * 2014-04-28 2015-11-05 주식회사 인팩 차량용 솔레노이드

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150124294A (ko) * 2014-04-28 2015-11-05 주식회사 인팩 차량용 솔레노이드
CN104617732A (zh) * 2015-01-28 2015-05-13 上海携福电器有限公司 个人清洁护理用具

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