JPH06319248A - チャッキング装置用アクチュエータ - Google Patents
チャッキング装置用アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH06319248A JPH06319248A JP12533893A JP12533893A JPH06319248A JP H06319248 A JPH06319248 A JP H06319248A JP 12533893 A JP12533893 A JP 12533893A JP 12533893 A JP12533893 A JP 12533893A JP H06319248 A JPH06319248 A JP H06319248A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- driving
- coil
- actuator
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electromagnets (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 滑らかな駆動が出来るチャッキング装置用ア
クチュエータを供する。 【構成】 断面がＥ型のヨーク１４と、そのセンタヨー
ク９の端面からバックヨーク１５の外側まで中央部に貫
通孔が設けられ、この貫通孔に爪１が固定された爪駆動
軸１２が可動的に挿入され、サイドヨーク１０の外面に
は爪駆動軸１２を支えるリニアガイド６が固定され、サ
イドヨークの内面には、永久磁石１１がセンタヨーク９
側に同じ磁極が発生するように磁化され、センタヨーク
９との間に所定のギャップが設けられるように固定さ
れ、センタヨーク９と永久磁石１１の間には駆動用コイ
ル８が配置され、前記駆動用コイル８の一端とリニアガ
イド６の一端と爪駆動軸１２の一端を一体に固定し、こ
の固定部とサイドヨーク１０に固定されたベース７の間
にばね５が配置された構造で、駆動用コイル８に流す電
流の制御によりアクチュエータの駆動方向と速度を制御
するチャッキング装置用アクチュエータ。
クチュエータを供する。 【構成】 断面がＥ型のヨーク１４と、そのセンタヨー
ク９の端面からバックヨーク１５の外側まで中央部に貫
通孔が設けられ、この貫通孔に爪１が固定された爪駆動
軸１２が可動的に挿入され、サイドヨーク１０の外面に
は爪駆動軸１２を支えるリニアガイド６が固定され、サ
イドヨークの内面には、永久磁石１１がセンタヨーク９
側に同じ磁極が発生するように磁化され、センタヨーク
９との間に所定のギャップが設けられるように固定さ
れ、センタヨーク９と永久磁石１１の間には駆動用コイ
ル８が配置され、前記駆動用コイル８の一端とリニアガ
イド６の一端と爪駆動軸１２の一端を一体に固定し、こ
の固定部とサイドヨーク１０に固定されたベース７の間
にばね５が配置された構造で、駆動用コイル８に流す電
流の制御によりアクチュエータの駆動方向と速度を制御
するチャッキング装置用アクチュエータ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体用基板上にスパ
ッタリング等により製膜する装置等で用いる、単結晶基
板等を保持する爪やチャックを駆動するチャッキング装
置用アクチュエータに関係する。
ッタリング等により製膜する装置等で用いる、単結晶基
板等を保持する爪やチャックを駆動するチャッキング装
置用アクチュエータに関係する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の用途に用いられるアクチ
ュエータは、図２に示すような、電磁ソレノイドが使用
されていた。チャッキング装置用アクチュエータは、図
２に示すような、先端に爪１の付いたプランジャ２を駆
動するアクチュエータが複数向かい合わせてチャッキン
グ装置に取付けられ、プランジャ２の先端に取り付けら
れた爪１を前後に移動させて基板の位置まで押し出し、
別にチャッキング装置本体に設けられ、前記アクチュエ
ータと接続した他のアクチュエータの移動により複数の
爪１がそれぞれ内側に移動され、基板を把持したり、外
側に移動して基板を開放したりする。図２に示す爪１を
前後に移動させるチャッキング装置用アクチュエータの
例について以下説明する。このチャッキング装置用アク
チュエータの移動動作は、電磁ソレノイドのオン・オフ
により、磁気回路の電磁吸引力とばね５の力のバランス
により、プランジャ２が移動して、その先端に固定され
た基板保持用の爪１を駆動していた。このチャッキング
装置は非常に精密なパターンが印刷される半導体用基板
等を保持するために使用されるので、爪１やチャックの
移動は滑らかに行なわれる必要があった。従来の構造で
は、復元用のばね５の力に抗する電磁ソレノイドの吸引
力により、プランジャ２（爪駆動軸）を移動しているた
め、構造的にプランジャ２の位置により吸引力の大きさ
が異なり、特に終端部で急激に大きくなるため、ストロ
ークエンドでの発進、停止時の衝撃が大きくなり、装置
内に粉塵を発生させたり、真空度を低下させたりし、
又、チャッキングした基板の位置ずれを発生させたりし
て、製品が不良と成るという問題があった。
ュエータは、図２に示すような、電磁ソレノイドが使用
されていた。チャッキング装置用アクチュエータは、図
２に示すような、先端に爪１の付いたプランジャ２を駆
動するアクチュエータが複数向かい合わせてチャッキン
グ装置に取付けられ、プランジャ２の先端に取り付けら
れた爪１を前後に移動させて基板の位置まで押し出し、
別にチャッキング装置本体に設けられ、前記アクチュエ
ータと接続した他のアクチュエータの移動により複数の
爪１がそれぞれ内側に移動され、基板を把持したり、外
側に移動して基板を開放したりする。図２に示す爪１を
前後に移動させるチャッキング装置用アクチュエータの
例について以下説明する。このチャッキング装置用アク
チュエータの移動動作は、電磁ソレノイドのオン・オフ
により、磁気回路の電磁吸引力とばね５の力のバランス
により、プランジャ２が移動して、その先端に固定され
た基板保持用の爪１を駆動していた。このチャッキング
装置は非常に精密なパターンが印刷される半導体用基板
等を保持するために使用されるので、爪１やチャックの
移動は滑らかに行なわれる必要があった。従来の構造で
は、復元用のばね５の力に抗する電磁ソレノイドの吸引
力により、プランジャ２（爪駆動軸）を移動しているた
め、構造的にプランジャ２の位置により吸引力の大きさ
が異なり、特に終端部で急激に大きくなるため、ストロ
ークエンドでの発進、停止時の衝撃が大きくなり、装置
内に粉塵を発生させたり、真空度を低下させたりし、
又、チャッキングした基板の位置ずれを発生させたりし
て、製品が不良と成るという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
の問題を解消し、爪やアクチュエータが接続されたアク
チュエータの駆動を滑らかに行なうことの出来るチャッ
キング装置用アクチュエータを供する事にある。
の問題を解消し、爪やアクチュエータが接続されたアク
チュエータの駆動を滑らかに行なうことの出来るチャッ
キング装置用アクチュエータを供する事にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するため、アクチュエータの駆動系に、永久磁石と
駆動コイルの組み合わせを取り入れたアクチュエータを
用いたもので、アクチュエータの移動速度や移動方向の
制御が簡単に出来る構造のチャッキング装置用アクチュ
エータである。
解決するため、アクチュエータの駆動系に、永久磁石と
駆動コイルの組み合わせを取り入れたアクチュエータを
用いたもので、アクチュエータの移動速度や移動方向の
制御が簡単に出来る構造のチャッキング装置用アクチュ
エータである。
【０００５】即ち、本発明は、チャッキング装置に用い
るアクチュエータにおいて、柱状のセンタヨークとその
外側に配置されるサイドヨークの一端がバックヨークに
固定され磁気的に接合された断面がＥ型を呈するヨーク
と、このヨークのセンタヨークの端面からバックヨーク
の外側の面まで中央部に貫通孔が設けられ、この貫通孔
に爪や他のアクチュエータが駆動される爪駆動軸が可動
的に挿入され、サイドヨークの外面に爪駆動軸を支える
リニアガイドが固定され、サイドヨークの内面には、セ
ンタヨークとの間に所定のギャップが設けられるよう永
久磁石が固定され、この永久磁石はセンタヨーク側に同
じ磁極が発生するよう磁化され、センタヨークと永久磁
石の間には駆動用コイルが配置され、前記駆動用コイル
の一端とリニアガイドの一端と爪駆動軸の一端を一体に
固定し、この固定部とサイドヨークに固定されたベース
との間にばねが圧縮状態で配置された構造を有し、前記
駆動用コイルに流す電流の制御によりアクチュエータの
駆動方向と速度を制御することを特徴とするチャッキン
グ装置用アクチュエータである。
るアクチュエータにおいて、柱状のセンタヨークとその
外側に配置されるサイドヨークの一端がバックヨークに
固定され磁気的に接合された断面がＥ型を呈するヨーク
と、このヨークのセンタヨークの端面からバックヨーク
の外側の面まで中央部に貫通孔が設けられ、この貫通孔
に爪や他のアクチュエータが駆動される爪駆動軸が可動
的に挿入され、サイドヨークの外面に爪駆動軸を支える
リニアガイドが固定され、サイドヨークの内面には、セ
ンタヨークとの間に所定のギャップが設けられるよう永
久磁石が固定され、この永久磁石はセンタヨーク側に同
じ磁極が発生するよう磁化され、センタヨークと永久磁
石の間には駆動用コイルが配置され、前記駆動用コイル
の一端とリニアガイドの一端と爪駆動軸の一端を一体に
固定し、この固定部とサイドヨークに固定されたベース
との間にばねが圧縮状態で配置された構造を有し、前記
駆動用コイルに流す電流の制御によりアクチュエータの
駆動方向と速度を制御することを特徴とするチャッキン
グ装置用アクチュエータである。
【０００６】
【作用】ヨーク回路の永久磁石による磁界とその磁界中
のコイルに流れる電流とコイルを押えているばねの力に
より駆動される構造で、磁界が一定の範囲で均一にして
あるので、コイルに流す電流の向きと大きさで、コイル
に接続固定された爪やアクチュエータの移動方向や速度
が決められ、この電流の精密な制御により、滑らかで精
密な駆動が出来る。
のコイルに流れる電流とコイルを押えているばねの力に
より駆動される構造で、磁界が一定の範囲で均一にして
あるので、コイルに流す電流の向きと大きさで、コイル
に接続固定された爪やアクチュエータの移動方向や速度
が決められ、この電流の精密な制御により、滑らかで精
密な駆動が出来る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。図１は、本発明のチャッキング装置用ア
クチュエータの断面を示す正面図である。
して説明する。図１は、本発明のチャッキング装置用ア
クチュエータの断面を示す正面図である。
【０００８】図１に示すように、ヨーク１４の中央のセ
ンタヨーク９の中央に、爪駆動軸１２が可動的な嵌め合
いとなる貫通孔が設けられ、ヨーク１４の外側のサイド
ヨーク１０の外面にはリニアガイド６を案内するコイル
が固定されている。さらに、サイドヨーク１０の内面に
はセンタヨーク９との間に所定のギャップが得られ磁極
の方向がセンタヨーク９に対して同じに成るように着磁
された永久磁石１１が接着などにより固定されている。
永久磁石１１とセンタヨーク９との間のギャップに駆動
用コイル８が可動的に配置されている。駆動用コイル８
とリニアガイド６と爪駆動軸１２の一端はヨーク１４の
開放端側でねじ１３により一体に固定されている。一体
に固定したねじ１３部分と、ヨーク１４に固定されたベ
ース７の中央部との間にばね５が圧縮状態で配置され、
爪駆動軸１２と駆動用コイル８を、ヨーク側に押し付け
ている。
ンタヨーク９の中央に、爪駆動軸１２が可動的な嵌め合
いとなる貫通孔が設けられ、ヨーク１４の外側のサイド
ヨーク１０の外面にはリニアガイド６を案内するコイル
が固定されている。さらに、サイドヨーク１０の内面に
はセンタヨーク９との間に所定のギャップが得られ磁極
の方向がセンタヨーク９に対して同じに成るように着磁
された永久磁石１１が接着などにより固定されている。
永久磁石１１とセンタヨーク９との間のギャップに駆動
用コイル８が可動的に配置されている。駆動用コイル８
とリニアガイド６と爪駆動軸１２の一端はヨーク１４の
開放端側でねじ１３により一体に固定されている。一体
に固定したねじ１３部分と、ヨーク１４に固定されたベ
ース７の中央部との間にばね５が圧縮状態で配置され、
爪駆動軸１２と駆動用コイル８を、ヨーク側に押し付け
ている。
【０００９】このように構成されたチャッキング装置用
アクチュエータは、駆動用コイル８に通電していない状
態では、アクチュエータの爪駆動軸１２は図１のように
左側に押し付けられて、チャックキング状態にある。爪
１を後退させて基板を開放するには、駆動用コイル８に
通電する事により駆動用コイル８が永久磁石１１の磁界
と駆動用コイル８の電流の大きさと向きにより爪駆動軸
１２が静かに後退して開放する。電流と磁界の強さ及び
方向により移動速度（移動させる力）と移動方向と停止
位置を制御できるので、駆動用コイルに所定の方向の所
定の大きさの電流を制御しながら通電することにより、
爪１を静かに移動し、チャックを開放したり、保持状態
にしたりできる。従って、この様に駆動用コイル８の通
電電流の大きさと方向を制御することで、ストロークエ
ンドやスタートでの速度や位置を調節して、滑らかな爪
１やアクチュエータの移動が出来、粉塵の発生や基板の
位置ずれを防止出来るチャッキング装置用アクチュエー
タが得られた。通電電流の方向と大きさの制御は市販の
電子式電源装置により簡単に行なうことが出来た。
アクチュエータは、駆動用コイル８に通電していない状
態では、アクチュエータの爪駆動軸１２は図１のように
左側に押し付けられて、チャックキング状態にある。爪
１を後退させて基板を開放するには、駆動用コイル８に
通電する事により駆動用コイル８が永久磁石１１の磁界
と駆動用コイル８の電流の大きさと向きにより爪駆動軸
１２が静かに後退して開放する。電流と磁界の強さ及び
方向により移動速度（移動させる力）と移動方向と停止
位置を制御できるので、駆動用コイルに所定の方向の所
定の大きさの電流を制御しながら通電することにより、
爪１を静かに移動し、チャックを開放したり、保持状態
にしたりできる。従って、この様に駆動用コイル８の通
電電流の大きさと方向を制御することで、ストロークエ
ンドやスタートでの速度や位置を調節して、滑らかな爪
１やアクチュエータの移動が出来、粉塵の発生や基板の
位置ずれを防止出来るチャッキング装置用アクチュエー
タが得られた。通電電流の方向と大きさの制御は市販の
電子式電源装置により簡単に行なうことが出来た。
【００１０】
【発明の効果】以上、説明したように本発明のチャッキ
ング装置用アクチュエータによれば、移動速度や位置を
簡単に制御でき、スタートからストロークエンドまで滑
らかに移動停止出来、本体装置の真空度の低下や粉塵の
発生の心配の無いチャッキング装置用アクチュエータが
提供でき、スッパタリング装置などに用いることによ
り、信頼性の高い製品が供給できる。
ング装置用アクチュエータによれば、移動速度や位置を
簡単に制御でき、スタートからストロークエンドまで滑
らかに移動停止出来、本体装置の真空度の低下や粉塵の
発生の心配の無いチャッキング装置用アクチュエータが
提供でき、スッパタリング装置などに用いることによ
り、信頼性の高い製品が供給できる。
【図１】本発明の一実施例のチャッキング装置用アクチ
ュエータの断面を示す正面図。
ュエータの断面を示す正面図。
【図２】従来のチャッキング装置用アクチュエータの断
面を示す正面図。
面を示す正面図。
１ 爪 ２ プランジャ ３ 駆動用コイル ４ 外周ヨーク ５ ばね ６ リニアガイド ７ ベース ８ 駆動用コイル ９ センタヨーク １０ サイドヨーク １１ 永久磁石 １２ 爪駆動軸 １３ ねじ １４ ヨーク １５ バックヨーク １６ （移動方向を示す）矢印
Claims (1)
- 【請求項１】 チャッキング装置に用いるアクチュエー
タにおいて、柱状のセンタヨークとその外側に配置され
るサイドヨークの一端がバックヨークに固定され磁気的
に接合された断面がＥ型を呈するヨークと、このヨーク
のセンタヨークの端面からバックヨークの外側の面まで
中央部に貫通孔が設けられ、この貫通孔に爪や他のアク
チュエータが駆動される爪駆動軸が可動的に挿入され、
サイドヨークの外面に爪駆動軸を支えるリニアガイドが
固定され、サイドヨークの内面には、センタヨークとの
間に所定のギャップが設けられるよう永久磁石が固定さ
れ、この永久磁石はセンタヨーク側に同じ磁極が発生す
るよう磁化され、センタヨークと永久磁石の間には駆動
用コイルが配置され、前記駆動用コイルの一端とリニア
ガイドの一端と爪駆動軸の一端を一体に固定し、この固
定部とサイドヨークに固定されたベースとの間にばねが
圧縮状態で配置された構造を有し、前記駆動用コイルに
流す電流の制御によりアクチュエータの駆動方向と速度
を制御することを特徴とするチャッキング装置用アクチ
ュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12533893A JPH06319248A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | チャッキング装置用アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12533893A JPH06319248A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | チャッキング装置用アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06319248A true JPH06319248A (ja) | 1994-11-15 |
Family
ID=14907649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12533893A Pending JPH06319248A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | チャッキング装置用アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06319248A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104617732A (zh) * | 2015-01-28 | 2015-05-13 | 上海携福电器有限公司 | 个人清洁护理用具 |
| KR20150124294A (ko) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 주식회사 인팩 | 차량용 솔레노이드 |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP12533893A patent/JPH06319248A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150124294A (ko) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 주식회사 인팩 | 차량용 솔레노이드 |
| CN104617732A (zh) * | 2015-01-28 | 2015-05-13 | 上海携福电器有限公司 | 个人清洁护理用具 |
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