JP3008436B2 - フライング・プローブ・ヘッド - Google Patents
フライング・プローブ・ヘッドInfo
- Publication number
- JP3008436B2 JP3008436B2 JP2104954A JP10495490A JP3008436B2 JP 3008436 B2 JP3008436 B2 JP 3008436B2 JP 2104954 A JP2104954 A JP 2104954A JP 10495490 A JP10495490 A JP 10495490A JP 3008436 B2 JP3008436 B2 JP 3008436B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving coil
- base
- probe
- swing arm
- probe head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフライング・プローブ・ヘッド、特に、半導
体を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・
プローブ・ヘッドに関する。
体を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・
プローブ・ヘッドに関する。
従来のフライング・プローブ・ヘッドは、一端に平行
バネとプローブを取り付け、他端には永久磁石とヨーク
からなる磁気回路の空隙内を磁束と直角な内面で直線運
動するムービグコイルを有し、フライング・プローブ・
ヘッドを全体を保持するスライド・レールとを含んで構
成される。
バネとプローブを取り付け、他端には永久磁石とヨーク
からなる磁気回路の空隙内を磁束と直角な内面で直線運
動するムービグコイルを有し、フライング・プローブ・
ヘッドを全体を保持するスライド・レールとを含んで構
成される。
次に従来のフライング・プローブ・ヘッドについて図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
第２図は従来のフライング・プローブ・ヘッドの一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
フライング・プローブ・ヘッド本体101の一端にはプ
ローブ103、他端には箱型のムービングコイル104が取り
付けられている。ヘッド本体101はスライド・レール102
に従い図中矢印Ａのように直線運動し、被検査物（多層
配線基板）109のパッド100に当たる。ヨーク152はＥの
字の右側を上にした形状で、永久磁石151はその両側の
突起の上部の内側に位置して磁気回路105を構成してい
る。
ローブ103、他端には箱型のムービングコイル104が取り
付けられている。ヘッド本体101はスライド・レール102
に従い図中矢印Ａのように直線運動し、被検査物（多層
配線基板）109のパッド100に当たる。ヨーク152はＥの
字の右側を上にした形状で、永久磁石151はその両側の
突起の上部の内側に位置して磁気回路105を構成してい
る。
箱型のムービングコイル104はヨーク152の中央の突起
を取り巻いていて、その両側のコイルは磁気回路105の
空隙内にあるため、ムービングコイル104に電流を流す
ことによりヘッド本体101を駆動出来る。上下速度を大
きくするとパッド100へ当る衝撃が大きくなりパッド100
が損傷するため、平行バネ11を設けてある。
を取り巻いていて、その両側のコイルは磁気回路105の
空隙内にあるため、ムービングコイル104に電流を流す
ことによりヘッド本体101を駆動出来る。上下速度を大
きくするとパッド100へ当る衝撃が大きくなりパッド100
が損傷するため、平行バネ11を設けてある。
しかし、平行バネ11の力の強さは通常固定でありパッ
ド100の損傷の度合を調整することは困難であった。
ド100の損傷の度合を調整することは困難であった。
上述した従来のフライング・プローブ・ヘッドは、上
下速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、損
傷の度合を調整することは困難であるという欠点があっ
た。
下速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、損
傷の度合を調整することは困難であるという欠点があっ
た。
本発明のフライング・プローブ・ヘッドは、一端にプ
ローブを取り付け揺動中心を有する揺動アームと、前記
プローブから見て前記揺動中心を挟んで前記揺動アーム
の他端に位置する第一のムービングコイルと、前記揺動
アームの位置を検出する位置検出器と、前記揺動中心の
軸受けを保持する第一のベースと、前記第一のベースを
支えるスライド・レールと、前記第一のベースに設けら
れる第二のムービングコイルと、前記スライドレールを
保持する第二のベースと、前記第二のベース上に位置し
第一のムービングコイルと第二のムービングコイルとに
磁束を与える磁気回路とを含んで構成される。
ローブを取り付け揺動中心を有する揺動アームと、前記
プローブから見て前記揺動中心を挟んで前記揺動アーム
の他端に位置する第一のムービングコイルと、前記揺動
アームの位置を検出する位置検出器と、前記揺動中心の
軸受けを保持する第一のベースと、前記第一のベースを
支えるスライド・レールと、前記第一のベースに設けら
れる第二のムービングコイルと、前記スライドレールを
保持する第二のベースと、前記第二のベース上に位置し
第一のムービングコイルと第二のムービングコイルとに
磁束を与える磁気回路とを含んで構成される。
次に、本発明の一実施例について、図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのように
揺動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で
検出する。揺動アーム１の一端にはプローブ３、他端に
は揺動軸２を挟んで第一のムービングコイル41が取り付
けられている。揺動軸２は第一のベース６で支えられて
いる。第一のベース６は第二のムービングコイル42を有
しスライドレール７によって第二のベース８に取りつけ
てある。
揺動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で
検出する。揺動アーム１の一端にはプローブ３、他端に
は揺動軸２を挟んで第一のムービングコイル41が取り付
けられている。揺動軸２は第一のベース６で支えられて
いる。第一のベース６は第二のムービングコイル42を有
しスライドレール７によって第二のベース８に取りつけ
てある。
第一のムービングコイル41と第二のムービングコイル
42は、これらを挟む１対の磁石52とＥ型のヨーク62とか
らなる同じ磁気回路56の中に位置する。すなわに、磁気
回路56は第二のベース８に取り付けてあり、スライドレ
ール７上に乗った第二のムービングコイル42、第一のベ
ース６を動かす駆動力源であり、また第一のムービング
コイル41、揺動アーム１、プローブ３、位置検出器５を
動かす駆動力源となっている。
42は、これらを挟む１対の磁石52とＥ型のヨーク62とか
らなる同じ磁気回路56の中に位置する。すなわに、磁気
回路56は第二のベース８に取り付けてあり、スライドレ
ール７上に乗った第二のムービングコイル42、第一のベ
ース６を動かす駆動力源であり、また第一のムービング
コイル41、揺動アーム１、プローブ３、位置検出器５を
動かす駆動力源となっている。
第一のムービングコイル41に流す電流は位置検出器５
により知り得た位置を保持する様、制御する。第二のム
ービングコイル42はスライド・レール７に従い図中矢印
のように直線運動し、被検査物（多層配線基板）９のパ
ッド10に当たる。この時揺動アーム１は第一のムービン
グコイル41に流す電流は位置検出器５により知り得た位
置を保持されており、この保持力の強さが第２図の従来
例に示した平行バネ111の強さに相当する。
により知り得た位置を保持する様、制御する。第二のム
ービングコイル42はスライド・レール７に従い図中矢印
のように直線運動し、被検査物（多層配線基板）９のパ
ッド10に当たる。この時揺動アーム１は第一のムービン
グコイル41に流す電流は位置検出器５により知り得た位
置を保持されており、この保持力の強さが第２図の従来
例に示した平行バネ111の強さに相当する。
本発明のフライング・プローブ・ヘッドは、プローブ
を取り付けた揺動アームと、この揺動アームに保持力を
与える機構を有するため、上下速度を大きくしたさいに
も被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調整
することが可能であるという効果がある。
を取り付けた揺動アームと、この揺動アームに保持力を
与える機構を有するため、上下速度を大きくしたさいに
も被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調整
することが可能であるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
の一例を示す斜視図である。 １……揺動アーム、２……揺動軸、3,103……プロー
ブ、41,42,104……ムービングコイル、５……位置検出
器、56,105……磁気回路、6,8……ベース、7,102……ス
ライドレール、9,109……被検査物（多層配線基板）、5
1,151……磁石、62,152……ヨーク、10,100……パッ
ド、101……ヘッド本体、111……平行バネ。
の一例を示す斜視図である。 １……揺動アーム、２……揺動軸、3,103……プロー
ブ、41,42,104……ムービングコイル、５……位置検出
器、56,105……磁気回路、6,8……ベース、7,102……ス
ライドレール、9,109……被検査物（多層配線基板）、5
1,151……磁石、62,152……ヨーク、10,100……パッ
ド、101……ヘッド本体、111……平行バネ。
Claims (1)
- 【請求項１】一端にプローブを取り付け揺動中心を有す
る揺動アームと、 前記プローブから見て前記揺動中心を挟んで前記揺動ア
ームの他端に位置する第一のムービングコイルと、 前記揺動アームの位置を検出する位置検出器と、 前記揺動中心の軸受けを保持する第一のベースと、 前記第一のベースを支えるスライド・レールと、 前記第一のベースに設けられる第二のムービングコイル
と、 前記スライド・レールを保持する第二のベースと、 前記第二のベース上に位置し第一のムービングコイルと
第二のムービングコイルとに磁束を与える磁気回路とを
含むことを特徴とするフライング・プローブ・ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104954A JP3008436B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | フライング・プローブ・ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104954A JP3008436B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | フライング・プローブ・ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042969A JPH042969A (ja) | 1992-01-07 |
| JP3008436B2 true JP3008436B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=14394489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2104954A Expired - Fee Related JP3008436B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | フライング・プローブ・ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3008436B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19844428B4 (de) | 1998-09-28 | 2004-05-13 | Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg | Prüfsonde für einen Fingertester, ein Verfahren zum Ansteuern einer Prüfsonde, Fingertester zum Prüfen von Leiterplatten und ein Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten mit einem Fingertester |
| CN102713585A (zh) | 2010-10-13 | 2012-10-03 | 松下电器产业株式会社 | 气体传感器及使用它检测流体中含有的气体的方法和测定流体中含有的气体的浓度的方法、气体检测器以及气体浓度测定器 |
| CN103499785A (zh) * | 2013-10-14 | 2014-01-08 | 无锡俊达测试技术服务有限公司 | 一种飞针测试装置 |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP2104954A patent/JP3008436B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH042969A (ja) | 1992-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61109637A (ja) | テ−ブル装置 | |
| JPS607725A (ja) | 電磁アラインメント装置 | |
| JP3998883B2 (ja) | ディスクプレーヤのレンズ駆動装置 | |
| JP3008436B2 (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JP2005020901A (ja) | リニアアクチュエータ | |
| JP2881865B2 (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JP2881860B2 (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| JP2002354779A (ja) | リニアモータ | |
| JPH0340566B2 (ja) | ||
| JP2000048336A (ja) | キャリッジ／アクチュエ―タ組立体 | |
| JPH0110754Y2 (ja) | ||
| JPS6341655Y2 (ja) | ||
| JPS60156584A (ja) | ２軸振動発生機 | |
| JP2787218B2 (ja) | 光学式情報記録再生装置 | |
| JP2562343Y2 (ja) | チャッキング用アクチュエータ | |
| JPH07110083B2 (ja) | 電磁式搬送装置 | |
| JPH0371060A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH055831Y2 (ja) | ||
| JP2522018B2 (ja) | 回転ドラム装置 | |
| JP2001028874A (ja) | リニア・アクチュエータ | |
| JP3705609B2 (ja) | 磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ | |
| JPH038177A (ja) | リニアアクチュエータ機構 | |
| JPH04222451A (ja) | リニアモータ | |
| JPS59737Y2 (ja) | 電磁石装置 | |
| JP2000099152A (ja) | Ｘｙ軸ヘッド位置決め装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071203 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081203 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091203 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |